JP2598463B2 - 走査方法及び装置 - Google Patents

走査方法及び装置

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JP2598463B2
JP2598463B2 JP63151324A JP15132488A JP2598463B2 JP 2598463 B2 JP2598463 B2 JP 2598463B2 JP 63151324 A JP63151324 A JP 63151324A JP 15132488 A JP15132488 A JP 15132488A JP 2598463 B2 JP2598463 B2 JP 2598463B2
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    • G11B19/20—Driving; Starting; Stopping; Control thereof
    • G11B19/24—Arrangements for providing constant relative speed between record carrier and head
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  • Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
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  • Rotational Drive Of Disk (AREA)
  • Optical Recording Or Reproduction (AREA)
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  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
  • Facsimile Scanning Arrangements (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、回転中心の周りで回転するディスク状の担
体の放射感応層を、担体に指向させた放射ビームによっ
て走査する走査方法であって、担体の角速度が回転軸
と、担体上への放射ビーム入射点との間の距離にほぼ逆
比例し、所定周波数のクロックパルスと、担体の角速度
に比例する周波数の速度パルスとを発生する走査方法に
関する。
また本発明は、回転する担体の放射感応面を放射ビー
ムによって走査する走査装置であって、担体を回転中心
の周りで回転させる駆動装置と、担体に対し半径方向に
移動自在で放射ビームを担体に指向させる光学系と、担
体の角速度を、回転中心及び担体上への放射ビーム入射
点の間の距離にほぼ逆比例する値に制御する速度制御回
路とを具え、速度制御回路に、クロックパルスを発生す
るクロックパルス発生器と、担体の角速度に比例する周
波数の速度パルスを発生する速度パルス発生器を設ける
走査装置に関する。
かかる方法及び装置は一定線速度で読取るべき光学的
読取可能記録担体の製造において使用される。担体上の
放射感応面、例えば、ホトレジストの走査に当り放射ビ
ームは記録すべき情報に従って変調される。然る後、走
査された担体にホトエッチング処理を施して所望の情報
構造を有する記録担体が作製され、これから複製を製造
できる。
冒頭に述べた方法及び装置は米国特許第4,190,860号
明細書から既知である。
これに記載された方法及び装置では担体の角速度を位
相ロックループ技術によって制御し、速度パルスが所望
角速度に比例する周波数の基準パルスと同相に維持され
るように担体の角速度を制御している。かかる基準パル
スは可変分周除数を有する分周器によりクロックパルス
から導出される。分周除数は放射ビームを担体に指向さ
せる光学系の半径方向位置から導出する。かかる角速度
制御を施された走査装置は、制御装置を作動させた場合
付加的制御装置を用いて、基準担体の角速度を、基準パ
ルス及び速度パルス間の周波数差を位相ロック動作を確
立するため十分低い値にする必要があるという欠点を有
する。更に、位相ロックループ技術は、プログラマブル
回路、例えば、マイクロコンピュータによって実現する
には好適でないという欠点を有する。
既知の走査装置の他の欠点は、限られた数の異なる走
査速度しか得られないことであた、その理由は基準パル
スを導出するのに整数の分周除数しか許容されないから
である。特に、極めて厳しい精度を要求される光学記録
担体の製造においてはこれが欠点となる。
最後に述べた欠点は分周のため極めて大きい分周除数
を使用することにより軽減できる。しかしこの方法はク
ロック信号の周波数を極めて高くする必要があるという
欠点を有する。かかる極めて高い周波数によっては、プ
ログラマブル回路による十分な調整精度を有する角速度
制御を行うのが最終的に不可能となる。
本発明の目的は上記欠点を軽減した走査方法及び走査
装置を提供するにある。かかる目的を達成するため本発
明の走査方法は、クロックパルスに応答して第１修正値
により和値を修正し、かつ速度パルスに応答して第１修
正値と符号反対の第２修正値により和値を修正し、記録
担体の角速度を和値に応じて、和値の平均値をほぼ一定
にする値に制御し、第２及び第１修正値の間の比を、第
１及び／又は第２修正値に適合させることにより前記距
離に比例する値に維持することを特徴とする。
また前記目的を達成するため本発明の走査装置は、速
度制御回路に、速度パルスに応答して第１修正値により
和値を修正する手段と、第２修正値により和値を修正す
る手段と、和値に応じ角速度を、平均和値がほぼ一定に
維持されるような値に制御する制御手段と、角速度を第
１及び／又は第２修正値に適合させることにより前記距
離に比例する値に調整する適合手段とを設けたことを特
徴とする。
本発明の走査方法では記録担体の角速度を、和値が一
定に維持されるような値に制御し、これは、角速度に比
例する速度パルスの周波数がクロックパルス周波数を乗
算された第１及び第２修正値の商に等しく維持されるこ
とを意味する。記録担体の角速度が２つの調整可能な値
の商に比例するから、速度を極めて正確に制御できる。
更に、所要精度につき、クロック信号の周波数を十分低
く維持できるので本発明方法をプログラマブル回路によ
って実施できる。
角速度の制御に当り和値は、低い速度パルス周波数又
はクロックパルス周波数に等しい周波数において変化す
る。かかる変化が角速度に悪影響を及ぼすのを防止する
ため、和値の変化の周波数を角速度制御装置の帯域幅の
遥かに外側に配置することが所望される。速度信号を発
生する高い周波数のクロックパルスの発生と、普通のパ
ルスディスク又はa.c.速度計発電機による記録担体の毎
回転当りの極めて数の多い速度パルスを比較することは
技術的に難しく、従ってクロックパルス周波数を、所望
の角速度に対応する速度パルス周波数より高くするのが
好適である。これは和値の変化に対し十分高い周波数を
得るのに最も簡単な方法である。
角速度を制御するため、速度パルスの所定位相に対応
する瞬時における和値のみ選定した場合、前記和値の変
化の影響を完全に除去できる。
一般の場合における如く、クロックパルスの周波数が
速度パルスの周波数の倍数に等しくない場合には、２つ
の順次の速度パルス間の時間間隔において発生するクロ
ックパルスの数がすべての時間間隔に対し同一ではなく
なり、これにより選択された和値において低周波数振動
が生じ、この振動は角速度制御に悪影響を及ぼす。かか
る悪影響は巡回（サイクリック）カウンタにより高い周
波数の周期信号からクロックパルスを導出することによ
って排除でき、クロックパルスは最終計数値に到達する
毎に発生して、選択された和値を、瞬時計数値によって
示される計数されたクロックパルスの数と、第１修正値
を乗算されたカウンタの計数範囲との比に等しい第３修
正値だけ修正し、記録担体の角速度を、修正され選択さ
れた和値の平均値がほぼ一定になる値に制御する。
かかる態様おいて、順次の制御値の間の差を、第２修
正値と、クロック周波数及び速度信号周波数の間の比を
乗算された第１修正値との間の差に常に対応させること
ができるので、２つの順次の制御値の間の差が記録担体
の所望角速度及び実際の角速度の間の差に対応し、その
結果、角速度制御における振動が除去される。
以下図面につき本発明の実施例を説明する。
第１図は軸３の周りで回転する担体４、例えば、ガラ
ス基板上に堆積した放射感応材料、例えばホトレジスト
の層２を放射ビーム５によって走査する走査装置１を示
す。放射ビーム５は光学系６によって層２に指向させ
る。光学系６はサーボ装置８を介して駆動されるスピン
ドル７により記録担体４に対し半径方向に移動できる。
普通の態様においてサーボ装置８により光学系６の半径
方向位置Xrを制御して、中央制御装置12によって設定さ
れる所望の位置値を得るようにする。担体４はd.c.モー
タ９を含む駆動装置によって回転させる。モータ９に機
械的に結合したパルス発生器例えば、パルスディスク又
はa.c.速度計発電機10はモータ９及び担体４の角速度Ｗ
に比例する周波数の速度パルスPsを発生する。速度パル
スPsは速度制御回路11へ供給して担体４の角速度Ｗを同
じく中央処理装置12によって設定できる所望角速度値Wg
に制御するようにする。
層２を走査する際には光学系６を、中央処理装置12及
びサーボ装置８により半径方向において移動させる。放
射ビーム５の入射点及び軸３で示した回転中心の間の距
離Xrに対応する光学系の位置に対する所望値Xrgは中央
処理装置12により時間の所定関数（第４図参照）に従っ
て制御される。更に、中央処理装置12は所望の角速度Wg
を距離Xrに逆比例する値に制御するので、リニア走査速
度は常に一定に維持される。中央処理装置12は、例え
ば、普通の形式のコンピュータを具えることができ、こ
れにおいては等間隔の瞬時における前記関数の関数値が
ルックアップテーブルに記憶される。走査に当り等間隔
瞬時における関数の関数値がルックアップテーブルから
読出され、所望の位置Xrgが読出された関数値に従って
制御される。更に、所望値Wgは所望値Xrgに従って制御
できる。時間の関数としてのWg及びXrgの所定値の設定
も走査に当り所定のアルゴリズムに従って計算できる。
上述した形式の走査装置１は主としていわゆるCLV形
式の光学的読出可能ディスクの製造において使用され、
かかる形式のディスクは一定リニア速度で読出す必要が
ある。層２の走査に当り放射ビーム５は記録すべき情報
に従って変調される。次いで層２が、例えば、層２の被
走査部分が除去されるホトエッチング処理を介して現像
され、然る後、所望の情報構造を有するマスタディスク
が得られ、これから複製が作製される。
第２図は速度制御回路11の１例を詳細に示す。制御回
路11は第１レジスタ20及び第２レジスタ21を具え、これ
らレジスタには中央処理装置12により第１ディジタル修
正値DEC及び第２ディジタル修正値INCをそれぞれ供給す
る。レジスタ20の出力端子は累算回路23の入力端子22に
接続する。
レジスタ21の出力端子は累算回路23の入力端子24に接
続する。また速度パルスPsも累算回路23に供給する。ま
た一定周波数fkのクロックパルスPkも累算回路23に供給
する。クロックパルスPkは発振器26及び分周器27を具え
る普通のクロック発生器25によって発生する。
累算回路23は、クロックパルスPkに応答して、入力端
子22に供給されるディジタル修正値DECだけディジタル
和値Swをデクレメントし、かつ速度パルスPsに応答し
て、入力端子24に供給されるディジタル修正値INCだけ
ディジタル和値Swをインクリメントする形式のものとす
る。和値SwはD/Aコンバータ（ディジタル・アナログ・
コンバータ）28に供給してディジタル和値Swを対応する
アナログ信号に変換し、これをアナログ制御器29、例え
ば、PID制御器29に供給し、この和値Swに従ってモータ
９を付勢して和値の平均値を一定に維持するようにす
る。次に速度制御回路の動作を第３図につき詳細に説明
することとし、この図は速度PSにおける和値Swを発生し
たクロックパルスPkの数ｎの関数として示す。速度パル
スPsの正縁に応答して和値Swは値INCだけインクリメン
トする。各クロックパルスPkに応答して和値は値DECだ
けデクリメントする。このようにして得た和値Swはアナ
ログ信号に変換され、制御器29に供給される。速度制御
回路11と、モータ９と、a.c.速度計発電機10を含む制御
ループの帯域幅と、クロックパルスPk及び速度パルスPs
の周波数とを互いに適合させ、速度パルスPsの周波数に
等しい和値Swにおける変化周波数を適切に高くしてこれ
が制御帯域幅の外部に配置されるようにし、これにより
和値Swの変化が角速度Ｗに著しく影響するようにする。
その場合モータ９は、平均値が一定値、本例ではゼロに
維持されるよう付勢される。
PID制御器29を適切に構成配置して、平均和値Swが前
記一定値を超えた場合モータ９の付勢電流が減少し、モ
ータ９の回転数従って速度パルスPsの周波数fsが減少す
る。従って単位時間当りの和値Swのインクリメントの数
が減少するので、平均和値Swは前記一定値に等しくなる
まで減少する。
平均和値Swが一定値より大きい場合には付勢は、平均
和値が再び一定値に等しくなるまで適応する。一定平均
和値Swの場合速度パルスPsの周波数fsを乗算された値IN
CはクロックパルスPkの周波数fkを乗算された値DECに等
しい。モータ従って記録担体４の角速度Ｗは次式 Ｗ＝２π（fk×DEC/INC）/N （１） で表わされ、ここでＮはモータ９の毎回転当りの速度パ
ルスPsの数である。
角速度は値INC及びDECの商によって調整できるから、
可能な設定の数が極めて大きくなり、極めて正確な制御
が得られる。
従って担体４を一定走査速度で走査した場合所望角速
度は、中央処理装置12により、商INC/DECを放射ビーム
５の入射点及び軸３間の距離Xrに比例する値に簡単かつ
極めて正確に設定できる。これは、例えば、所望値Xrg
から商INC/DECを設定すべき値を導出することによって
行うことができる（第５図参照）。
しかし代案として中央処理装置のメモリに値INC及びD
ECを記憶させる（第８図参照）か、又はこれらの値をX
rgの時間における所望変化に関する２つの関数として時
間の関数で計算することもできる。
その簡単さのために魅力的である他の実施例では走査
過程以前に制御回路に次の３つの信号を供給する。
・走査過程の初めにおける担体の所望角速度を示す第１
信号Vb、 ・走査過程の終わりにおける担体の所望角速度を示す第
２信号Ve、 ・走査過程の初め及び終わりの間において得るべき回転
数を示す第３信号Vn。
信号Vbに基づいてINC及びDECに対し適切な組合せの値
を選定し、これに対し角速度は信号Vbによって示される
値に対応する。既に決定されたDECの値に対し信号Veに
よってINCの値が決定され、これに対して角速度は信号V
eによって示された値に従う。INCに対して決定された２
つの値及びVnで示される回転数から適応値Δincが計算
され、これは走査過程に際しINCの変化の値を回転数の
１次関数ならしめるためINCの値をＸ回転（Ｘは整数で
あり、例えば１又は２）当りどれだけ増大すべきか示
す。走査過程に当りDECの値は一定に維持される。更
に、分周器COaにより担体４の毎回転当りＸの回転パル
スP0が速度パルスPsから導出される。回転パルスは中央
処理装置12、例えば、プログラム割込入力端子に供給す
る。中央処理装置には各回転パルスPqに応答してINCの
値を適応値Δincに適応させる割込制御ルーチンが格納
されている。担体の角速度はINCの値に逆比例している
から、速度制御が達成され、その場合角速度は回転数に
逆比例し、従って、通常の如く、毎回転当りの半径方向
変位が一定である場合には担体上における走査スポット
の半径方向位置に逆比例する。なお、原理的には光学系
６の半径方向速度は角速度と同様にして制御できる。
和値Swにおける変化の影響を最小にするため２つの周
波数Fs及びfkの低い方をできるだけ高く選定することが
所望される。モータ９の毎回転当りに発生する速度パル
スPsの数Ｎを増大するより周波数fkを増大する方が容易
であるから、制御ループを適切に構成配置して、所望の
角速度WgにおいてクロックパルスPkの周波数fkを速度パ
ルスPsの周波数fsより高くすると好適である。
第６図は角速度Ｗに対する和値Swの変化の影響をほぼ
除去できるようにする制御回路11の変形例を示す。本例
はメモリ30、例えば累算回路23及びD/Aコンバータ28の
間に配設したクロックド（clocked）レジスタを具え
る。メモリ30には速度パルスPsの所定位相に対応する瞬
時における和値Swを格納する。図示の例における如く、
速度パルスPsの相対パルス幅（衝撃係数）が一定の場合
には、メモリ30は速度パルスPsの負方向縁部によって制
御されるレジスタを具えることができる。
和値Sw及び速度パルスPsに加え第７図はメモリ30の出
力信号SwをクロックパルスPkの数ｎの関数としても示
す。メモリ30の格納瞬時の間の時間間隔Tlは速度パルス
Psの周期Ｔに等しいので、Swの変化はDECの値からｋ倍
のINCの値を減算した値に対応し、ここでｋは時間間隔T
l当りのクロックパルスPkの数である。本例における如
く、比INC/DECが整数である場合には角速度Ｗは、周波
数fk及び周波数fsの比も整数ならしめるような値に制御
される。
これは、メモリ30の格納瞬時の間の和値Sw′（これは
差DEC−ｋ・INCに等しい）が正確にゼロになるので、角
速度Ｗの特に安定な制御が得られることを意味する。し
かし一般の場合における如く、INC/DECが整数でない場
合角速度Ｗは２つの順次の格納瞬時における和値Sw′の
間の差（＝DEC−ｋ・INC）に対しゼロ以外の値に調節さ
れる。更に、２つの順次の格納瞬時の間のクロックパル
スの数は常には同一でない。これにより和値Sw及びメモ
リ30の出力端子における選択された和値Sw′の低周波振
動が生ずる。
第９図はINC/DEC＝3000/512の値に対するSw及びSw′
の上記低周波振動を示す。この振動が制御動作に悪影響
を及ぼすのを防止するため、振動の周波数が制御帯域の
外側に位置するように制御ループの帯域幅を選定でき
る。
上記不所望な振動を呈しない速度制御回路11の一例を
第10図に示し、この図において第２及び６図におけると
同一要素は同一番号で示す。
第10図に示した制御回路11の分周器27は、発振器26に
よって発生したパルスを計数する巡回カウンタを具え、
最大計数値MAXに到達した後ゼロにセットされると同時
にクロックパルスPkを発生する。カウンタの計数値TEL
を乗算回路40の一方の入力端子に供給する。この乗算回
路の他方入力端子にはレジスタ20に格納したDECの値を
供給する。乗算回路40はその出力端子にTEL/MAX×DECに
等しい出力が生ずるように適切に構成配置する。
減算回路41により、累算回路23の出力端子における和
値Swから乗算結果RMを減算する。減算の結果Sw ＊はメモ
リ30の入力端子に供給する。
Sw ＊の値は速度パルスPsの負方向縁部によって規定さ
れる瞬時にメモリ30に格納される。
和値Sw及び値RMから導出されかつメモリ30の出力端子
に現れる制御値SRはD/Aコンバータ28を介して制御器29
に供給する。
代案として、乗算回路40によって行われた乗算の結果
を累算回路23に供給し、速度パルスに応答して和値を差
（INC−RM）に変えることによっても低周波数振動を除
去できる。その場合減算回路を省略でき、累算回路23の
出力信号をメモリ30に直接供給できる。
なお分周器の除数をDECの数値に等しく選定した場
合、乗算回路を省略できる。
第11図は速度パルスPs、クロックパルスPk、和値SW、
値SW＊及び制御値SRを時間ｔの関数として示す。第11図
から明らかなように、値RMにより和値Swを修正した結果
としてSw ＊従って制御値SRから低周波振動が完全に除去
される。
第12図は中央処理装置12と共に普通の形式のマイクロ
コンピュータシステムに包含される速度制御回路11の他
の例を示す。しかし中央処理装置及び速度制御回路を別
個のコンピュータシステムに収容できることは明らかで
ある。マイクロコンピュータシステムは中央処理ユニッ
ト（CPU）50を具え、この中央処理ユニットはバス51を
介してランダムアクセスメモリ（RAM）52と、読出専用
メモリ（ROM）53と、ラッチ形式の入力レジスタ54の出
力端子と、出力レジスタ55の入力端子とに接続する。カ
ウンタ27の計数値TELは入力レジスタ54の入力端子へ転
送する。
出力レジスタ55の出力端子はD/Aコンバータ28の入力
端子に接続する。読出専用メモリ53には、速度パルスPs
及びクロックパルスPkに応答して和値Swを適合させ、制
御値SRを導出し、所望位置Xrg並びに値INC及びDECを、
例えば、第４及び８図に示す如き相互関係時間関数に従
って適合させるプログラムを格納する。該関数の関数値
はあらかじめ定められ、メモリ52におけるテーブルに格
納されるか、又は走査に当り適当なアルゴリズムに従っ
て計算される。
第13及び14図は上記アルゴリズムの例のフローチャー
トを示す。プログラムINT1は、中央処理ユニット50の第
１割込入力端子56における各速度パルスPsに応答して実
行される割込プログラムである。このプログラムにおい
てステップS11に際し和値Swが値INCだけインクリメント
される。次いでステップS12においてカウンタ27の計数
値TELが読出され、ステップS13においてRMの値がMAX,DE
C及びTELの値から導出される。ステップS14においてSw
及びRM値から制御値SRが導出され、ステップS15におい
て値SRが、出力レジスタ55に格納することによりD/Aコ
ンバータ28へ転送される。プログラムINT2は第２割込入
力端子57におけるクロックパルスPkに応答して実行され
る割込プログラムである。このプログラムのステップS2
1に際し和値Swが値DECだけデクリメントされる。ステッ
プS22において時間TIMEの数が計数され、値DEC,INC及び
Xrgの値の最後の適応後プログラムINT2が呼出される。
プログラムINT2が呼出される頻度は一定であるから、TI
MEの値は常に、INC,DEC及びXrgの最後の適応以来経過し
た時間を示す。
ステップS23において、TIMEの値が限界値TMAX以上で
あるか否かがテストされる。その結果が肯定であれば、
ステップS24においてXrg,INC及びDECの値が再び適合さ
れ、TIMEの値がゼロにセットされる。Xrg,DEC及びINCの
適合は、例えば、Xrg,DEC及びINCの値を、メモリ52にお
けるテーブルに記憶した関数の次の関数値に等しくする
ことにより可能となる。
第15図はプログラムINT1及びINT2を介し時間の関数と
して導出した和値Sw、修正値RM及び制御値SRを示す。PI
D制御器29は、制御値SRをゼロに等しくするようモータ
９の付勢を制御する。従って値SRと一定の差を有するSw
の値も一定になるので、この制御回路により角速度も２
π（fk×INC/DEC）Ｎに等しい所望値Wgに等しく維持さ
れる。
【図面の簡単な説明】
第１図は担体の放射感応面を走査するための本発明装置
の実施例を示す線図、 第２図は第１図の走査装置において使用する制御回路の
一例のブロック図、 第３図は第２図の制御回路において発生する信号を示す
図、 第４図は所望の半径方向位置Xrgの変化を時間の関数と
して示す図、 第５図は所望の半径方向位置Xrgと値INC及びDECの比と
の間の関係を示す図， 第６図は第２図の制御回路の変形例を示すブロック図、 第７図は第６図の変形制御回路において発生する信号を
示す図、 第８図は走査中において時間の関数として修正値INC及
びDECの所望変化の一例を示す図、 第９図は第６図の変形制御回路において発生する信号を
示す図、 第10図は制御回路の他の例のブロック図、 第11図は第10図の制御回路において発生する信号を示す
図、 第12図は制御回路の他の例を示すブロック図、 第13及び14図は第12図の制御回路におけるコンピュータ
によって実行されるプログラムのフローチャート、 第15図は上記プログラムによって計算された変数を時間
の関数として示す図である。 １……走査装置、２……放射感応材料層 ３……軸、４……担体 ５……放射ビーム、６……光学系 ７……スピンドル、８……サーボ装置 ９……モータ、10……速度計発電機 11……速度制御回路、12……中央処理装置 20,21……レジスタ、23……累算回路 25……クロック発生器、26……発振器 27……分周器、28……D/Aコンバータ 29……アナログ制御器、30……メモリ 40……乗算回路、41……減算回路 50……中央処理ユニット、51……バス 52……RAM、53……ROM 54……入力レジスタ、55……出力レジスタ
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭59−90263（ＪＰ，Ａ) 特開 昭56−140563（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−93569（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−3118（ＪＰ，Ａ)

Claims (10)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】回転中心の周りで回転するディスク状の担
    体の放射感応層を、担体に指向させた放射ビームによっ
    て走査する走査方法であって、担体の角速度が回転軸
    と、担体上への放射ビーム入射点との間の距離にほぼ逆
    比例し、所定周波数のクロックパルスと、担体の角速度
    に比例する周波数の速度パルスとを発生する走査方法に
    おいて、クロックパルスに応答して第１修正値により和
    値を修正し、かつ速度パルスに応答して第１修正値と符
    号反対の第２修正値により和値を修正し、記録担体の角
    速度を和値に応じて、和値の平均値をほぼ一定にする値
    に制御し、第２及び第１修正値の間の比を、第１及び／
    又は第２修正値に適合させることにより前記距離に比例
    する値に維持することを特徴とする走査方法。
  2. 【請求項２】クロックパルス周波数が所望角速度に対応
    する速度パルス周波数より高いことを特徴とする請求項
    １に記載の走査方法。
  3. 【請求項３】角速度を制御するため速度パルスの所定位
    相に対応する瞬時における和値のみ選択することを特徴
    とする請求項２に記載の走査方法。
  4. 【請求項４】クロックパルスを巡回カウンタにより高い
    周波数の周期信号から導出し、最終係数値に到達する毎
    にクロックパルスを発生して、瞬時計数時によって示さ
    れた計数されたクロックパルスの数と、第１修正値を乗
    算された前記カウンタの計数範囲との比に等しい第３修
    正値により、選択された和値を修正し、記録担体の角速
    度を、修正された選択された和値の平均値がほぼ一定に
    なるような値に制御することを特徴とする請求項３に記
    載の走査方法。
  5. 【請求項５】分周により速度パルスから、速度パルスの
    周波数より低い周波数の第２のクロックパルスを導出
    し、第２修正値の値を前記第２クロックパルスの各々に
    応答して特定の一定値に適合させることを特徴とする請
    求項１〜４のいずれかに記載の走査方法。
  6. 【請求項６】回転する担体の放射感応面を放射ビームに
    よって走査する走査装置であって、担体を回転中心の周
    りで回転させる駆動装置と、担体に対し半径方向に移動
    自在で放射ビームを担体に指向させる光学系と、担体の
    角速度を、回転中心及び担体上への放射ビーム入射点の
    間の距離にほぼ逆比例する値に制御する速度制御回路と
    を具え、速度制御回路に、クロックパルスを発生するク
    ロックパルス発生器と、担体の角速度に比例する周波数
    の速度パルスを発生する速度パルス発生器を設ける走査
    装置において、速度制御回路に、速度パルスに応答して
    第１修正値により和値を修正する手段と、第２修正値に
    より和値を修正する手段と、和値に応じ角速度を、平均
    和値がほぼ一定に維持されるような値に制御する制御手
    段と、角速度を第１及び／又は第２修正値に適合させる
    ことにより前記距離に比例する値に調整する適合手段と
    を設けたことを特徴とする走査装置。
  7. 【請求項７】クロックパルス周波数が所望角速度に対応
    する速度パルス周波数より高くなるようにクロックパル
    ス発生器及び速度パルス発生器を構成したことを特徴と
    する請求項６に記載の走査装置。
  8. 【請求項８】速度制御回路に、速度パルスに応答して和
    値をメモリへ転送する手段を設け、制御手段により角周
    波数を、メモリに連続的に記憶させる平均和値がほぼ一
    定になるように構成したことを特徴とする請求項７に記
    載の走査装置。
  9. 【請求項９】クロックパルス発生器に、クロックパルス
    の周波数より高い周波数のパルスを発生する発振器と、
    発振器からのパルスを計数しかつ最大計数値に到達した
    場合、次のクロックパルスを発生する巡回カウンタを設
    け、速度制御回路に、計数値に第１修正値を乗算して計
    数値及び最大計数値間の比に等しい第３係数値を求める
    手段と、第３修正値により修正された和値を速度パルス
    に応答してメモリへ転送する手段を設けたことを特徴と
    する請求項８に記載の走査方法。
  10. 【請求項１０】分周により速度パルスから第２クロック
    パルスを導出する分周器と、第２クロックパルスに応答
    して第２修正値を特定の一定値に適合させる手段とを具
    えたことを特徴とする請求項６〜９のいずれかに記載の
    走査装置。
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