JP2592419B2 - 被研削物の研削方法と研削機 - Google Patents
被研削物の研削方法と研削機Info
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- JP2592419B2 JP2592419B2 JP30809187A JP30809187A JP2592419B2 JP 2592419 B2 JP2592419 B2 JP 2592419B2 JP 30809187 A JP30809187 A JP 30809187A JP 30809187 A JP30809187 A JP 30809187A JP 2592419 B2 JP2592419 B2 JP 2592419B2
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- ground
- cemented carbide
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、酸化しやすい超硬合金等の被研削物を研削
する被研削物の研削方法と該方法に用いる研削機に関す
る。
する被研削物の研削方法と該方法に用いる研削機に関す
る。
［従来の技術］ 0.1μｍオーダの高い寸法精度が要求される電子部品
等の超精密部品を製造する金型のポンチ、ダイ等には、
耐摩耗性のある超硬合金が多く使用される。
等の超精密部品を製造する金型のポンチ、ダイ等には、
耐摩耗性のある超硬合金が多く使用される。
この超硬合金は酸化タングステン、酸化チタンなどの
非常に硬い化合物の粉末を、主としてコバルトなどの金
属粉末を結合剤として、粉末冶金法により高温で焼結成
形したものである。
非常に硬い化合物の粉末を、主としてコバルトなどの金
属粉末を結合剤として、粉末冶金法により高温で焼結成
形したものである。
この超硬合金を用いて上記超精密部品製造用金型のポ
ンチ、ダイ等を製造するには、従来、ダイヤモンド砥石
を装着した研削機で上記超硬合金を、その表面に研削液
を掛けて研削中の超硬合金を冷却しながら、研削し、該
超硬合金を各種ポンチ、ダイ等の形状に精密形成してい
た。
ンチ、ダイ等を製造するには、従来、ダイヤモンド砥石
を装着した研削機で上記超硬合金を、その表面に研削液
を掛けて研削中の超硬合金を冷却しながら、研削し、該
超硬合金を各種ポンチ、ダイ等の形状に精密形成してい
た。
［発明が解決しようとする問題点］ ところで、ダイヤモンド砥石を装着した研削機で超硬
合金をその表面に研削液を掛けながら研削した場合は、
研削液が掛ける超硬合金中の活性状態にあるコバルトが
Co++となって研削液中に溶出し、被研削物の超硬合金表
面にしみや錆等の腐食が発生した。
合金をその表面に研削液を掛けながら研削した場合は、
研削液が掛ける超硬合金中の活性状態にあるコバルトが
Co++となって研削液中に溶出し、被研削物の超硬合金表
面にしみや錆等の腐食が発生した。
そのため、超硬合金を用いて形成するポンチ、ダイ等
が0.2mm以下等の極く薄いものであったり、その直径が
0.2mm以下等の極く細いものであったりすると、該超硬
合金を用いて研削形成したポンチ、ダイ等の表面各所に
散点状に腐食孔が形成されることとなって、該超硬合金
を用いて形成したポンチ、ダイ等を用いて超精密部品の
製造を行った場合に、該ポンチ、ダイ等が頻繁に破損し
て、該ポンチ、ダイ等が超精密部品製造用金型のポン
チ、ダイ等としてその使用に耐え得なかった。
が0.2mm以下等の極く薄いものであったり、その直径が
0.2mm以下等の極く細いものであったりすると、該超硬
合金を用いて研削形成したポンチ、ダイ等の表面各所に
散点状に腐食孔が形成されることとなって、該超硬合金
を用いて形成したポンチ、ダイ等を用いて超精密部品の
製造を行った場合に、該ポンチ、ダイ等が頻繁に破損し
て、該ポンチ、ダイ等が超精密部品製造用金型のポン
チ、ダイ等としてその使用に耐え得なかった。
なお、上述研削時における超硬合金を用いて形成する
ポンチ、ダイ等の表面の腐食を防ぐために、従来より、
研削時に研削液を被研削物の超硬合金表面に掛けずに超
硬合金を乾燥状態のままでポンチ、ダイ等の研削形成す
ることも行われている。
ポンチ、ダイ等の表面の腐食を防ぐために、従来より、
研削時に研削液を被研削物の超硬合金表面に掛けずに超
硬合金を乾燥状態のままでポンチ、ダイ等の研削形成す
ることも行われている。
しかしながら、上記のように超硬合金をその表面に研
削液を掛けずに乾燥状態のままで研削を行った場合は、
研削中の超硬合金とダイヤモンド砥石との間に発生する
摩擦熱で超硬合金が1000℃前後の高温に加熱されるた
め、該超硬合金を用いて研削形成するポンチ、ダイ等が
その厚さが極く薄いものやその直径が細くものである
と、該超硬合金を用いて研削形成するポンチ、ダイ等に
大きな反りや捩れ等の歪みが発生するとともに該研削形
成したポンチ、ダイ等の表面あらさも劣化することとな
って、超精密部品製造用金型のポンチ、ダイ等としては
その使用に耐え得なかった。
削液を掛けずに乾燥状態のままで研削を行った場合は、
研削中の超硬合金とダイヤモンド砥石との間に発生する
摩擦熱で超硬合金が1000℃前後の高温に加熱されるた
め、該超硬合金を用いて研削形成するポンチ、ダイ等が
その厚さが極く薄いものやその直径が細くものである
と、該超硬合金を用いて研削形成するポンチ、ダイ等に
大きな反りや捩れ等の歪みが発生するとともに該研削形
成したポンチ、ダイ等の表面あらさも劣化することとな
って、超精密部品製造用金型のポンチ、ダイ等としては
その使用に耐え得なかった。
そしてこのことは、上述超硬合金のみでなく、酸化し
やすい活性状態にある各種金属を含んだ被研削物を研削
機等を用いて各種形状に研削形成する場合にも同様であ
った。
やすい活性状態にある各種金属を含んだ被研削物を研削
機等を用いて各種形状に研削形成する場合にも同様であ
った。
本発明は、かかる問題点を解決するためになされたも
ので、その目的は、超硬合金のような酸化しやすい被研
削物を、研削液を掛けながら、被研削物表面にしみ、錆
等の腐食を生じさせずに研削形成できる被研削物の研削
方法と該方法に用いる研削機を提供することにある。
ので、その目的は、超硬合金のような酸化しやすい被研
削物を、研削液を掛けながら、被研削物表面にしみ、錆
等の腐食を生じさせずに研削形成できる被研削物の研削
方法と該方法に用いる研削機を提供することにある。
［問題点を解決するための手段］ 上記目的を達成するために、本発明の一つの被研削物
の研削方法は、酸化しやすい被研削物の表面に研削液を
掛けながら前記被研削物を研削する被研削物の研削にお
いて、前記研削液に通電する電極を備えて、該電極に正
電圧を印加するとともに前記被研削物に負電圧を印加し
ながら、前記被研削物を研削することを特徴としてい
る。
の研削方法は、酸化しやすい被研削物の表面に研削液を
掛けながら前記被研削物を研削する被研削物の研削にお
いて、前記研削液に通電する電極を備えて、該電極に正
電圧を印加するとともに前記被研削物に負電圧を印加し
ながら、前記被研削物を研削することを特徴としてい
る。
この被研削物の研削方法においては、被研削物が超硬
合金であるのが好ましい。
合金であるのが好ましい。
本発明のもう一つの被研削物の研削方法は、酸化しや
すい被研削物の表面に研削液を掛けながら前記被研削物
を研削する被研削物の研削において、前記研削液に通電
する電極を備えて、該電極と前記被研削物に正電圧と負
電圧を交互に繰り返し印加しながら、前記被研削物を研
削することを特徴としている。
すい被研削物の表面に研削液を掛けながら前記被研削物
を研削する被研削物の研削において、前記研削液に通電
する電極を備えて、該電極と前記被研削物に正電圧と負
電圧を交互に繰り返し印加しながら、前記被研削物を研
削することを特徴としている。
この被研削物の研削方法においては、被研削物が超硬
合金であるのが好ましい。
合金であるのが好ましい。
本発明の一つの研削機は、被研削物の表面に研削液を
掛けながら前記被研削物を研削する研削機において、前
記研削液に通電する電極を備え、かつ、該電極に正電圧
を印加するとともに前記被研削物に負電圧を印加する電
源機構を備えたことを特徴としている。
掛けながら前記被研削物を研削する研削機において、前
記研削液に通電する電極を備え、かつ、該電極に正電圧
を印加するとともに前記被研削物に負電圧を印加する電
源機構を備えたことを特徴としている。
本発明のもう一つの研削機は、被研削物の表面に研削
液を掛けながら前記被研削物を研削する研削機におい
て、前記研削液に通電する電極を備え、かつ、該電極と
前記被研削物に正電圧と負電圧を交互に繰り返し印加す
る電源機構を備えたことを特徴としている。
液を掛けながら前記被研削物を研削する研削機におい
て、前記研削液に通電する電極を備え、かつ、該電極と
前記被研削物に正電圧と負電圧を交互に繰り返し印加す
る電源機構を備えたことを特徴としている。
［作用］ 本発明の一つの被研削物の研削方法においては、電極
に正電圧が印加されて、電極が陽極となるとともに、被
研削物に負電圧が印加されて、被研削物が陰極となる。
そして、めっき浴中に所定電位を持つ陽極と陰極を浸漬
したのと同様な原理により、研削液を掛けながら研削中
の被研削物の表面から被研削物内部の酸化しやすい活性
状態にあるコバルト等の金属がCo++等の金属イオンとな
って研削液中に溶出しようとした際に、その金属イオン
が陰極を構成する被研削物内部に引き戻される。そし
て、被研削物内部のコバルト等の金属がCo++等の金属イ
オンとなって研削液中に溶出するのが防止される。
に正電圧が印加されて、電極が陽極となるとともに、被
研削物に負電圧が印加されて、被研削物が陰極となる。
そして、めっき浴中に所定電位を持つ陽極と陰極を浸漬
したのと同様な原理により、研削液を掛けながら研削中
の被研削物の表面から被研削物内部の酸化しやすい活性
状態にあるコバルト等の金属がCo++等の金属イオンとな
って研削液中に溶出しようとした際に、その金属イオン
が陰極を構成する被研削物内部に引き戻される。そし
て、被研削物内部のコバルト等の金属がCo++等の金属イ
オンとなって研削液中に溶出するのが防止される。
本発明のもう一つの被研削物の研削方法においては、
電極と被研削物に交互に繰り返し印加される正電圧と負
電圧により、電極と被研削物が交互に陽極となったり陰
極となったりする。そして、めっき浴中に所定電位を持
つ陽極と陰極を浸漬したのと同様な原理により、研削液
に掛けながら研削中の被研削物の表面から被研削物内部
の酸化しやすい活性状態にあるコバルト等の金属の一部
がCo++等の金属イオンとなって研削液中に溶出したり、
その研削液中に溶出したCo++等の金属イオンの一部が陰
極を構成する被研削物に引き戻されて被研削物の表面に
付着したりする。そして、被研削物の表面に、被研削物
の切削加工精度等に悪影響を与えない程度の極く薄いコ
バルト等の不活性な金属酸化被膜が形成される。そし
て、その金属酸化被膜により研削液を掛けながら研削中
の被研削物の表面から被研削物内部の酸化しやすい活性
状態にあるコバルト等の金属がCo++等の金属イオンとな
って研削液中に溶出するのが防止される。
電極と被研削物に交互に繰り返し印加される正電圧と負
電圧により、電極と被研削物が交互に陽極となったり陰
極となったりする。そして、めっき浴中に所定電位を持
つ陽極と陰極を浸漬したのと同様な原理により、研削液
に掛けながら研削中の被研削物の表面から被研削物内部
の酸化しやすい活性状態にあるコバルト等の金属の一部
がCo++等の金属イオンとなって研削液中に溶出したり、
その研削液中に溶出したCo++等の金属イオンの一部が陰
極を構成する被研削物に引き戻されて被研削物の表面に
付着したりする。そして、被研削物の表面に、被研削物
の切削加工精度等に悪影響を与えない程度の極く薄いコ
バルト等の不活性な金属酸化被膜が形成される。そし
て、その金属酸化被膜により研削液を掛けながら研削中
の被研削物の表面から被研削物内部の酸化しやすい活性
状態にあるコバルト等の金属がCo++等の金属イオンとな
って研削液中に溶出するのが防止される。
本発明の一つの研削機においては、電源機構を用い
て、電極に正電圧を印加するとともに被研削物に負電圧
を印加しながら、被研削物をその表面に研削液を掛けな
がら研削できる。そして、本発明の一つの被研削物の研
削方法を用いて、被研削物内部の酸化しやすい活性状態
にあるコバルト等の金属がCo++等の金属イオンとなって
研削液中に溶出するのを防ぎながら、酸化しやすい被研
削物を研削できる。
て、電極に正電圧を印加するとともに被研削物に負電圧
を印加しながら、被研削物をその表面に研削液を掛けな
がら研削できる。そして、本発明の一つの被研削物の研
削方法を用いて、被研削物内部の酸化しやすい活性状態
にあるコバルト等の金属がCo++等の金属イオンとなって
研削液中に溶出するのを防ぎながら、酸化しやすい被研
削物を研削できる。
本発明のもう一つの研削機においては、電源機構を用
いて、電源と被研削物に正電圧と負電圧を交互に繰り返
し印加しながら、被研削物をその表面に研削液を掛けな
がら研削できる。そして、本発明のもう一つの被研削物
の研削方法を用いて、被研削物内部の酸化しやすい活性
状態にあるコバルト等の金属がCo++等の金属イオンとな
って研削液中に溶出するのを防ぎながら、酸化しやすい
被研削物を研削できる。
いて、電源と被研削物に正電圧と負電圧を交互に繰り返
し印加しながら、被研削物をその表面に研削液を掛けな
がら研削できる。そして、本発明のもう一つの被研削物
の研削方法を用いて、被研削物内部の酸化しやすい活性
状態にあるコバルト等の金属がCo++等の金属イオンとな
って研削液中に溶出するのを防ぎながら、酸化しやすい
被研削物を研削できる。
［実施例］ 次に、本発明の実施例を図面に従い説明する。
第１図は本発明の被研削物の研削方法に用いる研削機
の好適な実施例を示し、詳しくは該研削機の概略構成図
を示す。以下、上記図中の実施例を説明する。
の好適な実施例を示し、詳しくは該研削機の概略構成図
を示す。以下、上記図中の実施例を説明する。
図において、６は、台座７上に、研削液受け皿８を介
して、平板状の基台９が備えられた研削機本体である。
して、平板状の基台９が備えられた研削機本体である。
この研削機本体の基台９上には、基台９表面に沿って
左右に往復移動する、被研削物１を搭載するテーブル10
が備えられている。
左右に往復移動する、被研削物１を搭載するテーブル10
が備えられている。
また、研削機本体６には、その裏側から上方に向けて
アーム11が延設されている。
アーム11が延設されている。
そして、このアーム11前面に、支軸12がその前方に向
けて延設され、該支軸12先端に円盤状のダイヤモンド砥
石13が回転自在に装着されている。
けて延設され、該支軸12先端に円盤状のダイヤモンド砥
石13が回転自在に装着されている。
さらに、上記支軸12先端に装着されたダイヤモンド砥
石13近傍には、上記テーブル10上に搭載した被研削物１
表面に研削液２を掛ける金属製の筒状をしたノズル14
が、研削機本体６やテーブル10と電気的に絶縁させた状
態で、配設されている。
石13近傍には、上記テーブル10上に搭載した被研削物１
表面に研削液２を掛ける金属製の筒状をしたノズル14
が、研削機本体６やテーブル10と電気的に絶縁させた状
態で、配設されている。
そして、上記ノズル14後端が、パイプ15a、研削液一
時濾過装置16、パイプ15b、研削液循環ポンプ17、パイ
プ15cを介して、研削機本体６脇部の研削液貯溜タンク1
8内に連通されている。
時濾過装置16、パイプ15b、研削液循環ポンプ17、パイ
プ15cを介して、研削機本体６脇部の研削液貯溜タンク1
8内に連通されている。
また、上記研削液貯溜タンク18外部には、該タンク18
内に貯溜した研削液２を低温な恒温状態に冷却する冷凍
ポンプ19が備えられ、該ポンプ19内と上記タンク18内と
が、パイプ15d,15eを介して、連通されている。
内に貯溜した研削液２を低温な恒温状態に冷却する冷凍
ポンプ19が備えられ、該ポンプ19内と上記タンク18内と
が、パイプ15d,15eを介して、連通されている。
以上の構成は、従来汎用されている研削機と同様であ
るが、本発明の研削機においては、さらに、研削機本体
６脇部に、電源機構５を構成する所定電位の直流電圧ま
たは所定電位の正負のパルス電圧を発生させる電源装置
20を備えた。
るが、本発明の研削機においては、さらに、研削機本体
６脇部に、電源機構５を構成する所定電位の直流電圧ま
たは所定電位の正負のパルス電圧を発生させる電源装置
20を備えた。
そして、該電源装置20の正負の電源出力ターミナル
を、その中途部に電磁マグネットスイッチ21を介在させ
たワイヤ22を介して、研削液２に通電する電極４を構成
する上記研削液の通路３に沿って備えた金属製のノズル
14後部に電気的に導通する該ノズル後部に一体に備えた
ターミナル23と、被研削物１を搭載する金属製のテーブ
ル10に電気的に導通する該テーブル側縁に一体に備えた
ターミナル24にそれぞれ電気的に接続した。
を、その中途部に電磁マグネットスイッチ21を介在させ
たワイヤ22を介して、研削液２に通電する電極４を構成
する上記研削液の通路３に沿って備えた金属製のノズル
14後部に電気的に導通する該ノズル後部に一体に備えた
ターミナル23と、被研削物１を搭載する金属製のテーブ
ル10に電気的に導通する該テーブル側縁に一体に備えた
ターミナル24にそれぞれ電気的に接続した。
この点が、本発明の研削機の特徴とするところであ
り、第１図に示した本発明の研削機は以上のように構成
した。
り、第１図に示した本発明の研削機は以上のように構成
した。
次に、上述実施例の研削機を用いての本発明の一方の
被研削物の研削方法を説明する。
被研削物の研削方法を説明する。
まず、研削機のテーブル10上に超硬合金1a等の被研削
物１を搭載する。そして、該超硬合金1a等の被研削物１
を基台９上に沿ってテーブル10とともに左右に往復移動
させる。またそれとともに、支軸12先端に装着したダイ
ヤモンド砥石13を所定方向に高速回転させる。そして、
高速回転するダイヤモンド砥石13周面をテーブル10上に
搭載した被研削物１表面に沿って左右に相対的に往復移
動させて、ダイヤモンド砥石13でテーブル10上に搭載し
た超硬合金1a等の被研削物１表面の研削を行う。
物１を搭載する。そして、該超硬合金1a等の被研削物１
を基台９上に沿ってテーブル10とともに左右に往復移動
させる。またそれとともに、支軸12先端に装着したダイ
ヤモンド砥石13を所定方向に高速回転させる。そして、
高速回転するダイヤモンド砥石13周面をテーブル10上に
搭載した被研削物１表面に沿って左右に相対的に往復移
動させて、ダイヤモンド砥石13でテーブル10上に搭載し
た超硬合金1a等の被研削物１表面の研削を行う。
またそれと同時に、研削機本体６脇部の研削液貯溜タ
ンク18内の冷凍ポンプ19内を循環させて低温な恒温状態
に冷却した研削液２を、研削液循環ポンプ17を回転させ
て、パイプ15c、研削液循環ポンプ17、パイプ15b、研削
液一時濾過装置16、パイプ15a内を介して、ノズル14内
を通して、該ノズル14先端外方に噴射し続ける。そし
て、該噴射させた研削液２をテーブル10上の被研削物１
表面に掛けて、該研削液２で上記ダイヤモンド砥石13で
研削中のテーブル10上の被研削物１表面を冷却し続け
る。さらに、被研削物１表面に掛けた研削液２は、テー
ブル10表面、基台９表面を介して、台座７上の研削液受
け皿８内に受けて該皿８内に集め、該皿８隅部に備え
た、研削液受け皿８内と上記研削液貯溜タンク18内を連
通する研削液回収パイプ25内を通して、再び研削機本体
６脇部の研削液貯溜タンク18内に回収し続ける。
ンク18内の冷凍ポンプ19内を循環させて低温な恒温状態
に冷却した研削液２を、研削液循環ポンプ17を回転させ
て、パイプ15c、研削液循環ポンプ17、パイプ15b、研削
液一時濾過装置16、パイプ15a内を介して、ノズル14内
を通して、該ノズル14先端外方に噴射し続ける。そし
て、該噴射させた研削液２をテーブル10上の被研削物１
表面に掛けて、該研削液２で上記ダイヤモンド砥石13で
研削中のテーブル10上の被研削物１表面を冷却し続け
る。さらに、被研削物１表面に掛けた研削液２は、テー
ブル10表面、基台９表面を介して、台座７上の研削液受
け皿８内に受けて該皿８内に集め、該皿８隅部に備え
た、研削液受け皿８内と上記研削液貯溜タンク18内を連
通する研削液回収パイプ25内を通して、再び研削機本体
６脇部の研削液貯溜タンク18内に回収し続ける。
またそれとともに、研削機本体６脇部に備えた電源機
構５を構成する電源装置20を作動させるとともに電磁マ
グネットスイッチ21をオン状態として、上記電源装置20
の電源出力ターミナルとワイヤ22を介して電気的に接続
した電極４を構成する金属製のノズル14に所定電位の正
電圧を印加し続けるとともに、ターミナル24およびテー
ブル10を介して該テーブル10上に搭載した超硬合金1a等
の被研削物１に、第２図に示したような、所定電位の負
電圧を印加し続ける。
構５を構成する電源装置20を作動させるとともに電磁マ
グネットスイッチ21をオン状態として、上記電源装置20
の電源出力ターミナルとワイヤ22を介して電気的に接続
した電極４を構成する金属製のノズル14に所定電位の正
電圧を印加し続けるとともに、ターミナル24およびテー
ブル10を介して該テーブル10上に搭載した超硬合金1a等
の被研削物１に、第２図に示したような、所定電位の負
電圧を印加し続ける。
すると、テーブル10上の研削液２を掛けながら研削中
の超硬合金1a等の被研削物１に電源機構５を用いて印加
した負電圧が、研削液２に通電する電極４を構成するノ
ズル14に電源機構５を用いて印加した正電圧とともに、
超硬合金1a等の被研削物１表面からその内部の酸化しや
すい活性状態にあるコバルトの金属がCo++等の金属イオ
ンとなって研削液２中に溶出するのを的確に防ぐ。
の超硬合金1a等の被研削物１に電源機構５を用いて印加
した負電圧が、研削液２に通電する電極４を構成するノ
ズル14に電源機構５を用いて印加した正電圧とともに、
超硬合金1a等の被研削物１表面からその内部の酸化しや
すい活性状態にあるコバルトの金属がCo++等の金属イオ
ンとなって研削液２中に溶出するのを的確に防ぐ。
実験結果によれば、上述研削方法を用いて、電極４を
構成するノズル14とテーブル10上の超硬合金1a等の被研
削物１に電流密度0.2A/dm2以上の電流を流しながら、超
硬合金1aを研削したところ、該超硬合金1a表面にしみ、
錆等の腐食を発生させたり該超硬合金1aに歪みを発生さ
せたりせずに、表面あらさの良好な超硬合金1aを用いた
超精密部品製造用金型の極く薄いまたは極く細いポン
チ、ダイ等を的確に研削形成できた。
構成するノズル14とテーブル10上の超硬合金1a等の被研
削物１に電流密度0.2A/dm2以上の電流を流しながら、超
硬合金1aを研削したところ、該超硬合金1a表面にしみ、
錆等の腐食を発生させたり該超硬合金1aに歪みを発生さ
せたりせずに、表面あらさの良好な超硬合金1aを用いた
超精密部品製造用金型の極く薄いまたは極く細いポン
チ、ダイ等を的確に研削形成できた。
次に、既述実施例の研削機を用いての本発明のもう一
つの研削方法を説明する。
つの研削方法を説明する。
上述実施例の研削方法と同様に、既述実施例の研削機
を用いて高速回転するダイヤモンド砥石13でテーブル10
上に搭載した超硬合金1a等の被研削物１表面を、その表
面に低温な恒温状態に冷却した研削液貯溜タンク18内の
研削液２をノズル14先端から掛けて超硬合金1a等の被研
削物１表面を冷却しながら、研削する。
を用いて高速回転するダイヤモンド砥石13でテーブル10
上に搭載した超硬合金1a等の被研削物１表面を、その表
面に低温な恒温状態に冷却した研削液貯溜タンク18内の
研削液２をノズル14先端から掛けて超硬合金1a等の被研
削物１表面を冷却しながら、研削する。
またそれとともに、研削機本体６脇部に備えた電源機
構５を構成する電源装置20を作動させるとともに電磁マ
グネットスイッチ21をオン状態として、上記電源装置20
の電源出力ターミナルとワイヤ22を介して電気的に接続
した電極４を構成する金属製のノズル14と、ターミナル
24およびテーブル10を介して該テーブル10上に搭載した
超硬合金1a等の被研削物１に、第３図に示したような、
パルス形状をなす所定電位の正電圧と負電圧を交互に繰
り返し印加し続ける。
構５を構成する電源装置20を作動させるとともに電磁マ
グネットスイッチ21をオン状態として、上記電源装置20
の電源出力ターミナルとワイヤ22を介して電気的に接続
した電極４を構成する金属製のノズル14と、ターミナル
24およびテーブル10を介して該テーブル10上に搭載した
超硬合金1a等の被研削物１に、第３図に示したような、
パルス形状をなす所定電位の正電圧と負電圧を交互に繰
り返し印加し続ける。
すると、テーブル10上の研削液２を掛けながら研削中
の超硬合金1a等の被研削物１表面に、該被研削物１内部
の酸化しやすい活性状態にあるコバルト等の金属が、極
く薄い不活性な金属酸化被膜を形成する。そして、該金
属酸化被膜が研削液２を掛けながら研削中の被研削物１
内部の酸化しやすい活性状態にあるコバルト等の金属が
Co++等の金属イオンとなって研削液２中に溶出するのを
的確に防ぐ。
の超硬合金1a等の被研削物１表面に、該被研削物１内部
の酸化しやすい活性状態にあるコバルト等の金属が、極
く薄い不活性な金属酸化被膜を形成する。そして、該金
属酸化被膜が研削液２を掛けながら研削中の被研削物１
内部の酸化しやすい活性状態にあるコバルト等の金属が
Co++等の金属イオンとなって研削液２中に溶出するのを
的確に防ぐ。
実験結果によれば、上述研削方法を用いて、電極４を
構成するノズル14とテーブル10上の超硬合金1a等の被研
削物１との間に電流密度0.2A/dm2前後の電流を流しなが
ら、超硬合金1aの研削をしたところ、既述実施例の研削
方法と同様かまたは該研削方法より良好に、超硬合金1a
表面にしみ、錆等の腐食を発生させたり該超硬合金1aに
歪みを発生させたりせずに、表面あらさの良好な超硬合
金1aを用いた超精密部品製造用金型の極く薄いまたは極
く細いポンチ、ダイ等を的確に研削形成できた。
構成するノズル14とテーブル10上の超硬合金1a等の被研
削物１との間に電流密度0.2A/dm2前後の電流を流しなが
ら、超硬合金1aの研削をしたところ、既述実施例の研削
方法と同様かまたは該研削方法より良好に、超硬合金1a
表面にしみ、錆等の腐食を発生させたり該超硬合金1aに
歪みを発生させたりせずに、表面あらさの良好な超硬合
金1aを用いた超精密部品製造用金型の極く薄いまたは極
く細いポンチ、ダイ等を的確に研削形成できた。
ここで、電源機構５を用いて超硬合金1a等の被研削物
１に正電圧を印加した場合の、電極４を構成するノズル
14と上記超硬合金1aとの間に流れる電流の電流密度が0.
3A/dm2以上に達すると、超硬合金1a表面にコバルトの金
属酸化被膜が形成されずに、超硬合金1a内部の活性状態
にあるコバルトがCo++となって研削液２中に溶出するの
で注意を要する。
１に正電圧を印加した場合の、電極４を構成するノズル
14と上記超硬合金1aとの間に流れる電流の電流密度が0.
3A/dm2以上に達すると、超硬合金1a表面にコバルトの金
属酸化被膜が形成されずに、超硬合金1a内部の活性状態
にあるコバルトがCo++となって研削液２中に溶出するの
で注意を要する。
なお、上記各実施例の研削方法において、電源機構５
を用いて電極４を構成するノズル14とテーブル10を介し
て被研削物１に印加する正電圧と負電圧は、第４図また
は第５図に示したような、山形状をなす直流電圧または
山形状をなす正負のパルス電圧でも良く、該電圧を印加
して超硬合金1aの研削を行ったところ、上述各実施例の
研削方法と同様な作用、効果が得られた。
を用いて電極４を構成するノズル14とテーブル10を介し
て被研削物１に印加する正電圧と負電圧は、第４図また
は第５図に示したような、山形状をなす直流電圧または
山形状をなす正負のパルス電圧でも良く、該電圧を印加
して超硬合金1aの研削を行ったところ、上述各実施例の
研削方法と同様な作用、効果が得られた。
また、場合によっては、研削液２に通電する電極４と
金属製のノズル14を共用せずに、別途棒状等の電極を被
研削物１表面に掛ける研削液が通過する通路３を形成す
るノズル14内部や該ノズル14先端近傍に、研削機本体６
やテーブル10と電気的に絶縁させた状態で、配設しても
良い。
金属製のノズル14を共用せずに、別途棒状等の電極を被
研削物１表面に掛ける研削液が通過する通路３を形成す
るノズル14内部や該ノズル14先端近傍に、研削機本体６
やテーブル10と電気的に絶縁させた状態で、配設しても
良い。
［発明の効果］ 以上説明したように、本発明の一つの被研削物の研削
方法においては、研削液を掛けながら研削中の被研削物
に印加した負電圧が、研削液に通電する電極に印加した
正電圧とともに、陰極を構成する被研削物の表面から被
研削物内部の酸化しやすい活性状態にある金属が金属イ
オンとなって研削液中に溶出するのを防ぐ。
方法においては、研削液を掛けながら研削中の被研削物
に印加した負電圧が、研削液に通電する電極に印加した
正電圧とともに、陰極を構成する被研削物の表面から被
研削物内部の酸化しやすい活性状態にある金属が金属イ
オンとなって研削液中に溶出するのを防ぐ。
また、本発明のもう一つの被研削物の研削方法におい
ては、研削液を掛けながら研削中の被研削物と研削液に
通電する電極に交互に繰り返し印加した正電圧と負電圧
により、研削中の被研削物表面にその内部の酸化しやす
い活性状態にある金属が極く薄い不活性な金属酸化被膜
を形成して、該金属酸化被膜が研削液を掛けながら研削
中の被研削物内部の酸化しやすい活性状態にある金属が
金属イオンとなって研削液中に溶出するのを防ぐ。
ては、研削液を掛けながら研削中の被研削物と研削液に
通電する電極に交互に繰り返し印加した正電圧と負電圧
により、研削中の被研削物表面にその内部の酸化しやす
い活性状態にある金属が極く薄い不活性な金属酸化被膜
を形成して、該金属酸化被膜が研削液を掛けながら研削
中の被研削物内部の酸化しやすい活性状態にある金属が
金属イオンとなって研削液中に溶出するのを防ぐ。
そのため、本発明の被研削物の研削方法を用いて酸化
しやすい被研削物を研削すれば、該被研削物表面にし
み、錆等の腐食を生じさせずに被研削物の研削を行うこ
とができる。
しやすい被研削物を研削すれば、該被研削物表面にし
み、錆等の腐食を生じさせずに被研削物の研削を行うこ
とができる。
また、本発明の被研削物の研削方法を用いて被研削物
を研削すれば、従来と同様に研削中の被研削物表面に低
温な恒温状態に冷却等した研削液を掛けて被研削物を冷
却しながら被研削物の研削を行うことができるため、表
面あらさの良好な0.1μｍオーダの超精密部品用金型の
ポンチ、ダイ等を捩れ、反り等の歪みを生じさせずに研
削形成できる。
を研削すれば、従来と同様に研削中の被研削物表面に低
温な恒温状態に冷却等した研削液を掛けて被研削物を冷
却しながら被研削物の研削を行うことができるため、表
面あらさの良好な0.1μｍオーダの超精密部品用金型の
ポンチ、ダイ等を捩れ、反り等の歪みを生じさせずに研
削形成できる。
さらに、本発明の被研削物の研削機を用いれば、該研
削機に備えた電源機構を用いて、研削液に通電する電極
と研削中の被研削物にそれぞれ正電圧と不電圧を印加し
たり、上記電極と被研削物に交互に繰り返し正電圧と不
電圧を印加することにより、本発明の被研削物の研削方
法を用いて被研削物の研削を容易かつ的確に行うことが
できる。
削機に備えた電源機構を用いて、研削液に通電する電極
と研削中の被研削物にそれぞれ正電圧と不電圧を印加し
たり、上記電極と被研削物に交互に繰り返し正電圧と不
電圧を印加することにより、本発明の被研削物の研削方
法を用いて被研削物の研削を容易かつ的確に行うことが
できる。
第１図は本発明の研削機の概略構成図、第２図は本発明
の一つの被研削物の研削方法の被研削物に印加する電圧
の電位図、第３図は本発明のもう一つの被研削物の研削
方法の被研削物に印加する電圧の電位図、第４図は第５
図はそれぞれ第３図と第４図の電位図のもう一つの実施
例を示す電位図である。 １……被研削物、1a……超硬合金、 ３……通路、４……電極、 ５……電源機構、10……テーブル、 14……ノズル、20……電源装置、 21……電磁マグネットスイッチ、22……ワイヤ、 23,24……ターミナル。
の一つの被研削物の研削方法の被研削物に印加する電圧
の電位図、第３図は本発明のもう一つの被研削物の研削
方法の被研削物に印加する電圧の電位図、第４図は第５
図はそれぞれ第３図と第４図の電位図のもう一つの実施
例を示す電位図である。 １……被研削物、1a……超硬合金、 ３……通路、４……電極、 ５……電源機構、10……テーブル、 14……ノズル、20……電源装置、 21……電磁マグネットスイッチ、22……ワイヤ、 23,24……ターミナル。
Claims (6)
- 【請求項１】酸化しやすい被研削物の表面に研削液を掛
けながら前記被研削物を研削する被研削物の研削におい
て、前記研削液に通電する電極を備えて、該電極に正電
圧を印加するとともに前記被研削物に負電圧を印加しな
がら、前記被研削物を研削することを特徴とする被研削
物の研削方法。 - 【請求項２】被研削物が超硬合金である特許請求の範囲
第１項記載の被研削物の研削方法。 - 【請求項３】酸化しやすい被研削物の表面に研削液を掛
けながら前記被研削物を研削する被研削物の研削におい
て、前記研削液に通電する電極を備えて、該電極と前記
被研削物に正電圧と負電圧を交互に繰り返し印加しなが
ら、前記被研削物を研削することを特徴とする被研削物
の研削方法。 - 【請求項４】被研削物が超硬合金である特許請求の範囲
第３項記載の被研削物の研削方法。 - 【請求項５】被研削物の表面に研削液を掛けながら前記
被研削物を研削する研削機において、前記研削液に通電
する電極を備え、かつ、該電極に正電圧を印加するとと
もに前記被研削物に負電圧を印加する電源機構を備えた
ことを特徴とする研削機。 - 【請求項６】被研削物の表面に研削液を掛けながら前記
被研削物を研究する研削機において、前記研削液に通電
する電極を備え、かつ、該電極と前記被研削物に正電圧
と負電圧を交互に繰り返し印加する電源機構を備えたこ
とを特徴とする研削機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30809187A JP2592419B2 (ja) | 1987-12-04 | 1987-12-04 | 被研削物の研削方法と研削機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30809187A JP2592419B2 (ja) | 1987-12-04 | 1987-12-04 | 被研削物の研削方法と研削機 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01153256A JPH01153256A (ja) | 1989-06-15 |
| JP2592419B2 true JP2592419B2 (ja) | 1997-03-19 |
Family
ID=17976757
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30809187A Expired - Lifetime JP2592419B2 (ja) | 1987-12-04 | 1987-12-04 | 被研削物の研削方法と研削機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2592419B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101362428B1 (ko) * | 2012-06-07 | 2014-02-14 | 남부대학교산학협력단 | 초경합금봉 절단장치 |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6547648B1 (en) * | 1999-10-15 | 2003-04-15 | Trustees Of Stevens Institute Of Technology - Graduate School And Research Services | Method and device for high speed electrolytic in-process dressing for ultra-precision grinding |
| JP2006255836A (ja) * | 2005-03-17 | 2006-09-28 | Shoichi Shimada | ＶＩＩＩａ族の４周期に属する元素またはＴｉのいずれかを含む材料の加工方法および加工装置 |
| CN106041707B (zh) * | 2016-07-25 | 2018-01-16 | 黄文正 | 一种金属制品无尘抛光装置 |
| CN106956195A (zh) * | 2017-03-11 | 2017-07-18 | 深圳市丰顺泰和投资合伙企业（有限合伙） | 圆柱型模组正负极焊接表面清洁设备及方法 |
-
1987
- 1987-12-04 JP JP30809187A patent/JP2592419B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101362428B1 (ko) * | 2012-06-07 | 2014-02-14 | 남부대학교산학협력단 | 초경합금봉 절단장치 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01153256A (ja) | 1989-06-15 |
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