JP2588920B2 - セラミックパッケージの異物除去装置およびその除去方法 - Google Patents
セラミックパッケージの異物除去装置およびその除去方法Info
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- JP2588920B2 JP2588920B2 JP63017680A JP1768088A JP2588920B2 JP 2588920 B2 JP2588920 B2 JP 2588920B2 JP 63017680 A JP63017680 A JP 63017680A JP 1768088 A JP1768088 A JP 1768088A JP 2588920 B2 JP2588920 B2 JP 2588920B2
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、集積回路のセラミックパッケージに付着し
た異物を除去するための異物除去装置およびその除去方
法に関する。
た異物を除去するための異物除去装置およびその除去方
法に関する。
［従来の技術］ 一般に、セラミックパッケージの製造工程時には、グ
リーンシート（未焼成セラミック生地）の切断、孔打抜
き、面取り時などに生じるシート屑や作業者の衣服の糸
屑などが付着し、ICパッケージとしての製品不良となる
場合がある。
リーンシート（未焼成セラミック生地）の切断、孔打抜
き、面取り時などに生じるシート屑や作業者の衣服の糸
屑などが付着し、ICパッケージとしての製品不良となる
場合がある。
このため、セラミックパッケージに付着した異物を除
去する方法として、生工程時には、ブラッシングにより
シート屑や糸屑などを払拭する方法、導体印刷や面押工
程の際に粘着ローラを使用してシート屑や糸屑などの異
物を粘着除去する方法、成形したグリーンシートを加工
する際に、クリーンシートの表面をテープ貼りして加工
し、異物が直接グリーンシートの表面に付着しないよう
にする方法などかある。
去する方法として、生工程時には、ブラッシングにより
シート屑や糸屑などを払拭する方法、導体印刷や面押工
程の際に粘着ローラを使用してシート屑や糸屑などの異
物を粘着除去する方法、成形したグリーンシートを加工
する際に、クリーンシートの表面をテープ貼りして加工
し、異物が直接グリーンシートの表面に付着しないよう
にする方法などかある。
また、焼成後の異物の除去方法としては、ブラッシン
グによる除去や、超音波洗浄による除去が行われてい
た。
グによる除去や、超音波洗浄による除去が行われてい
た。
［発明が解決しようとする課題］ ところが、生工程の際に除去できない異物が、焼成時
にパッケージ表面（特にキャビティー内）に固着した場
合には、上述のブラッシングや超音波洗浄による除去方
法では十分に異物を取り除くととができない問題点を備
えていた。
にパッケージ表面（特にキャビティー内）に固着した場
合には、上述のブラッシングや超音波洗浄による除去方
法では十分に異物を取り除くととができない問題点を備
えていた。
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、その目的
は、焼成後においてセラミックパッケージに付着してい
る異物の除去能力を向上させたセラミックパッケージの
異物除去装置およびその除去方法を提供することにあ
る。
は、焼成後においてセラミックパッケージに付着してい
る異物の除去能力を向上させたセラミックパッケージの
異物除去装置およびその除去方法を提供することにあ
る。
［課題を解決するための手段］ 上記目的を達成するために、本発明のセラミックパッ
ケージの異物除去装置は、集積回路のセラミックパッケ
ージを載置して搬送する搬送手段と、供給された純水を
加圧して吐出する高圧ポンプと、該高圧ポンプにより加
圧された純水を前記セラミックパッケージに噴射する噴
射手段と、該噴射手段を前記搬送手段の搬送面に対して
平行移動させる移動手段とからなることを技術手段とす
る。
ケージの異物除去装置は、集積回路のセラミックパッケ
ージを載置して搬送する搬送手段と、供給された純水を
加圧して吐出する高圧ポンプと、該高圧ポンプにより加
圧された純水を前記セラミックパッケージに噴射する噴
射手段と、該噴射手段を前記搬送手段の搬送面に対して
平行移動させる移動手段とからなることを技術手段とす
る。
また、前記セラミックパッケージに付着した異物の除
去方法として、前記噴射手段を水平移動させながら、前
記搬送手段により搬送される前記セラミックパッケージ
に高圧の純水を噴射させることにより前記セラミックパ
ッケージに付着した異物を除去することを特徴とする。
去方法として、前記噴射手段を水平移動させながら、前
記搬送手段により搬送される前記セラミックパッケージ
に高圧の純水を噴射させることにより前記セラミックパ
ッケージに付着した異物を除去することを特徴とする。
［作用および発明の効果］ 上記構成よりなる本発明は、搬送手段によって搬送さ
れたセラミックパッケージに、高圧ポンプで加圧した純
水を噴射手段より噴射させる。このとき移動手段によっ
て、例えば、円運動など、噴射手段を搬送手段の搬送面
に対して平行移動させる。これにより、順次搬送される
セラミックパッケージに噴射される純水の水圧によりセ
ラミックパッケージに付着した異物を吹き飛ばし除去す
ることができる。
れたセラミックパッケージに、高圧ポンプで加圧した純
水を噴射手段より噴射させる。このとき移動手段によっ
て、例えば、円運動など、噴射手段を搬送手段の搬送面
に対して平行移動させる。これにより、順次搬送される
セラミックパッケージに噴射される純水の水圧によりセ
ラミックパッケージに付着した異物を吹き飛ばし除去す
ることができる。
また噴射手段を、円運動などの平行移動させることに
より、セラミックパッケージの一定場所に噴射されるこ
とがなく、セラミックパッケージに対する噴射むらをな
くすとともに、特に、セラミックパッケージのキャビテ
ィー内に付着した異物を効果的に除去することができ
る。
より、セラミックパッケージの一定場所に噴射されるこ
とがなく、セラミックパッケージに対する噴射むらをな
くすとともに、特に、セラミックパッケージのキャビテ
ィー内に付着した異物を効果的に除去することができ
る。
上述のように、噴射手段を移動させながら高圧水をセ
ラミックパッケージに噴射させることから、セラミック
パッケージに付着した異物を吹き飛ばして除去すること
ができ、従来のブラッシングや超音波洗浄による除去方
法と比較して、その除去能力を向上させることができ
る。
ラミックパッケージに噴射させることから、セラミック
パッケージに付着した異物を吹き飛ばして除去すること
ができ、従来のブラッシングや超音波洗浄による除去方
法と比較して、その除去能力を向上させることができ
る。
［実施例］ 次に、本発明のセラミックパッケージの異物除去装置
およびその除去方法の一実施例を図面に基づき説明す
る。
およびその除去方法の一実施例を図面に基づき説明す
る。
第１図は、セラミックパッケージの異物除去装置の概
略斜視図を示す。
略斜視図を示す。
セラミックパッケージの異物除去装置１を構成する高
圧ポンプ（図示しない）は、周知の構造である油圧バラ
ンス型のプランジャポンプの使用し、最高2,000kgf/cm2
まで加圧できる。なお本発明では、上記高圧ポンプによ
って加圧される水に純水を使用する。
圧ポンプ（図示しない）は、周知の構造である油圧バラ
ンス型のプランジャポンプの使用し、最高2,000kgf/cm2
まで加圧できる。なお本発明では、上記高圧ポンプによ
って加圧される水に純水を使用する。
本発明の搬送手段としては、ドラム２によって回転駆
動されるベルトコンベア３を使用し、このベルトコンベ
ア３に設置した洗浄用治具４に焼成後のセラミックパッ
ケージ５を多数載置して順次搬送する。
動されるベルトコンベア３を使用し、このベルトコンベ
ア３に設置した洗浄用治具４に焼成後のセラミックパッ
ケージ５を多数載置して順次搬送する。
ベルトコンベア３の所定上部位置には、本発明の噴射
手段である多数の噴射ノズル６を一体に偏心回転させる
ための偏心ノズルユニット７が設けられている。
手段である多数の噴射ノズル６を一体に偏心回転させる
ための偏心ノズルユニット７が設けられている。
この偏心ノズルユニット７は、内部に電動モータ８を
有し、電動モータ８の回転出力が、出力軸8aに取り付け
られた駆動用プーリー９および駆動ベルト10を介して、
従動軸11に取り付けられた従動用プーリー12に伝達され
る。
有し、電動モータ８の回転出力が、出力軸8aに取り付け
られた駆動用プーリー９および駆動ベルト10を介して、
従動軸11に取り付けられた従動用プーリー12に伝達され
る。
従動用プーリー12の下面には、その回転中より5mm偏
心した位置に偏心軸13が固着され、この偏心軸13の下端
部（第１図下端）に、例えば15個の噴射ノズル６を10mm
間隔でベルトコンベア３の巾方向に一列に組み付けた噴
射パイプ14を取り付けたロッド15の一端15aが回動自在
に組み付けられ、他端15bが前後方向（ベルトコンベア
３の搬送方向）に移動可能に設けられている。
心した位置に偏心軸13が固着され、この偏心軸13の下端
部（第１図下端）に、例えば15個の噴射ノズル６を10mm
間隔でベルトコンベア３の巾方向に一列に組み付けた噴
射パイプ14を取り付けたロッド15の一端15aが回動自在
に組み付けられ、他端15bが前後方向（ベルトコンベア
３の搬送方向）に移動可能に設けられている。
上述のような構成により、電動モータ８が通電された
場合に、電動モータ８の回転出力が従動用プーリー12に
伝達され、偏心軸13が従動軸11を中心として円運動する
ことになる。そして、噴射パイプ14を取り付けたロッド
15の一端15aが偏心軸13に対して回動自在に組み付けら
れていることから、15個の噴射ノズル６が、ベルトコン
ベア３の搬送面に対して平行に、それぞれ直径10mmの偏
心回転を行うことになる。
場合に、電動モータ８の回転出力が従動用プーリー12に
伝達され、偏心軸13が従動軸11を中心として円運動する
ことになる。そして、噴射パイプ14を取り付けたロッド
15の一端15aが偏心軸13に対して回動自在に組み付けら
れていることから、15個の噴射ノズル６が、ベルトコン
ベア３の搬送面に対して平行に、それぞれ直径10mmの偏
心回転を行うことになる。
各噴射ノズル６の先端部には、互換性を有する口径0.
1φのノズルチップ（図示しない）が収納され、異なる
口径のチップとの交換を自由に行うことができる。
1φのノズルチップ（図示しない）が収納され、異なる
口径のチップとの交換を自由に行うことができる。
噴射パイプ14には、高圧ポンプに接続された吐出用ホ
ース16を介して、高圧ポンプで加圧（例えば、500kgf/c
m2）された高圧純水が供給され、各噴射ノズル６より高
圧噴射される。
ース16を介して、高圧ポンプで加圧（例えば、500kgf/c
m2）された高圧純水が供給され、各噴射ノズル６より高
圧噴射される。
実験結果によると、上述した口径0.1φのノイズチッ
プを使用した場合に、ポンプ圧力が300kgf/cm2時で、各
噴射ノズル６より噴射される水の噴射スピードが約300m
/sとなり、セラミックパッケージ５の表面で約300kgf/c
m2の衝撃圧力を得ることができる。
プを使用した場合に、ポンプ圧力が300kgf/cm2時で、各
噴射ノズル６より噴射される水の噴射スピードが約300m
/sとなり、セラミックパッケージ５の表面で約300kgf/c
m2の衝撃圧力を得ることができる。
なお、上述の偏心ノズルユニット７は、本発明の移動
手段を構成し、電動モータ８、駆動用プーリー９、駆動
ベルト10、従動軸11、従動用プーリー12、偏心軸13、ロ
ッド15から構成される。
手段を構成し、電動モータ８、駆動用プーリー９、駆動
ベルト10、従動軸11、従動用プーリー12、偏心軸13、ロ
ッド15から構成される。
次に、本実施例の作動について説明する。
ベルトコンベア３に設置した洗浄用治具４に焼成後の
セラミックパッケージ５を載置し、ドラム２を回転駆動
して順次搬送する。同時に、偏心ノズルユニット７を構
成する電動モータ８を通電することにより、駆動ベルト
10を介して電動モータ８の回転出力が従動用プーリー12
に伝達され、従動用プーリー12に固着された偏心軸13が
従動軸11を中心に円運動する。
セラミックパッケージ５を載置し、ドラム２を回転駆動
して順次搬送する。同時に、偏心ノズルユニット７を構
成する電動モータ８を通電することにより、駆動ベルト
10を介して電動モータ８の回転出力が従動用プーリー12
に伝達され、従動用プーリー12に固着された偏心軸13が
従動軸11を中心に円運動する。
偏心軸13の円運動に伴い、噴射パイプ14に組み付けら
れた15個の噴射ノズル６が偏心回転する。このとき噴射
パイプ14に、高圧ポンプで加圧された純水が供給される
ことで、15個の各噴射ノズル６より純水が高圧噴射され
る。
れた15個の噴射ノズル６が偏心回転する。このとき噴射
パイプ14に、高圧ポンプで加圧された純水が供給される
ことで、15個の各噴射ノズル６より純水が高圧噴射され
る。
これにより、ベルトコンベア３で搬送されたセラミッ
クパッケージ５に純水が高圧噴射され、セラミックパッ
ゲージ５に付着した異物を吹き飛ばし除去する。またこ
のとき、15個の噴射ノズル６が偏心回転していることに
より、セラミックパッケージ５に対する噴射むらが少な
くなり、特にセラミックパッケージ５のキャビティー内
などに付着した異物を効果的に除去することができる。
クパッケージ５に純水が高圧噴射され、セラミックパッ
ゲージ５に付着した異物を吹き飛ばし除去する。またこ
のとき、15個の噴射ノズル６が偏心回転していることに
より、セラミックパッケージ５に対する噴射むらが少な
くなり、特にセラミックパッケージ５のキャビティー内
などに付着した異物を効果的に除去することができる。
上述のように、偏心回転させながら高圧水を噴射させ
ることにより、従来のブラッシングや超音波洗浄による
除去方法と比較して、セラミックパッケージ５に付着し
た異物を効果的に除去できるとともに、その除去能力を
向上させることができる。
ることにより、従来のブラッシングや超音波洗浄による
除去方法と比較して、セラミックパッケージ５に付着し
た異物を効果的に除去できるとともに、その除去能力を
向上させることができる。
また、除去能力の向上により、セラミックパッケージ
５にICチップを収容した製品としてのICパッケージの歩
留まりを向上させることができる。
５にICチップを収容した製品としてのICパッケージの歩
留まりを向上させることができる。
第２図に本発明の第２実施例を示す。
本実施例では、第１実施例で示した偏心ノズルユニッ
ト７を回転ノズルユニット17とし、その構成を、第２図
に示すように、電動モータ８により駆動される従動軸11
に、直接円盤状の噴射装置18を取り付け、その噴射装置
18の外周部に20個の噴射ノズル６を組み付けたものであ
る。これにより、電動モータ８が通電された際に、噴射
装置18が従動軸11を中心として回転することになり、従
って、20個の噴射ノズル６が従動軸11を中心として回転
する。
ト７を回転ノズルユニット17とし、その構成を、第２図
に示すように、電動モータ８により駆動される従動軸11
に、直接円盤状の噴射装置18を取り付け、その噴射装置
18の外周部に20個の噴射ノズル６を組み付けたものであ
る。これにより、電動モータ８が通電された際に、噴射
装置18が従動軸11を中心として回転することになり、従
って、20個の噴射ノズル６が従動軸11を中心として回転
する。
この様な構成により、噴射ノズル６のいくつかに目詰
まりが生じても、回転式ノズルのため噴射むらを少なく
することができ、さらに、上述した第１実施例のものよ
り有効噴射範囲が拡大することから洗浄効果が向上し、
異物の除去能力を向上させることができる。
まりが生じても、回転式ノズルのため噴射むらを少なく
することができ、さらに、上述した第１実施例のものよ
り有効噴射範囲が拡大することから洗浄効果が向上し、
異物の除去能力を向上させることができる。
（変形例） 上記実施例では、平行移動として、噴射ノズルを偏心
回転、および円回転させた場合を例示したが、前後方
向、斜め方向、横方向などの平行移動、あるいはこれら
の組合わせの移動であってもよい。
回転、および円回転させた場合を例示したが、前後方
向、斜め方向、横方向などの平行移動、あるいはこれら
の組合わせの移動であってもよい。
各噴射ノズルの先端部に、口径0.1φのノズルチップ
をそれぞれ収納した場合を例示したが、各噴射ノズルに
複数個のノズルチップを収納するようにしても良い。
をそれぞれ収納した場合を例示したが、各噴射ノズルに
複数個のノズルチップを収納するようにしても良い。
高圧ポンプとして往復ポンプ型のプランジャポンプを
使用したが、ベーンポンプなどの回転ポンプ、あるいは
ターボ形ポンプなど他のポンプを使用しても良い。
使用したが、ベーンポンプなどの回転ポンプ、あるいは
ターボ形ポンプなど他のポンプを使用しても良い。
第１図は本発明の第１実施例を示すセラミックパッケー
ジの異物除去装置の概略斜視図、第２図は本発明の第２
実施例を示すセラミックパッケージの異物除去装置の概
略斜視図である。 図中 １……セラミックパッケージの異物除去装置、３
……ベルトコンベア（搬送手段）、５……セラミックパ
ッケージ、６……噴射ノズル（噴射手段）、７……偏心
ノズルユニット（移動手段）、17……回転ノズルユニッ
ト（移動手段）
ジの異物除去装置の概略斜視図、第２図は本発明の第２
実施例を示すセラミックパッケージの異物除去装置の概
略斜視図である。 図中 １……セラミックパッケージの異物除去装置、３
……ベルトコンベア（搬送手段）、５……セラミックパ
ッケージ、６……噴射ノズル（噴射手段）、７……偏心
ノズルユニット（移動手段）、17……回転ノズルユニッ
ト（移動手段）
Claims (2)
- 【請求項１】集積回路のセラミックパッケージを載置し
て搬送する搬送手段と、 供給された純水を加圧して吐出する高圧ポンプと、 該高圧ポンプにより加圧された純水を前記セラミックパ
ッケージに噴射する噴射手段と、 該噴射手段を前記搬送手段の搬送面に対して平行移動さ
せる移動手段と からなるセラミックパッケージの異物除去装置。 - 【請求項２】前記噴射手段を水平移動させながら、前記
搬送手段により搬送される前記セラミックパッケージに
高圧の純水を噴射させることにより前記セラミックパッ
ケージに付着した異物を除去することを特徴とする請求
項１記載のセラミックパッケージの異物除去方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63017680A JP2588920B2 (ja) | 1988-01-28 | 1988-01-28 | セラミックパッケージの異物除去装置およびその除去方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63017680A JP2588920B2 (ja) | 1988-01-28 | 1988-01-28 | セラミックパッケージの異物除去装置およびその除去方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01192144A JPH01192144A (ja) | 1989-08-02 |
| JP2588920B2 true JP2588920B2 (ja) | 1997-03-12 |
Family
ID=11950556
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63017680A Expired - Fee Related JP2588920B2 (ja) | 1988-01-28 | 1988-01-28 | セラミックパッケージの異物除去装置およびその除去方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2588920B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2934447B2 (ja) | 1989-02-27 | 1999-08-16 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | ワーク洗浄・バリ取り装置 |
| JP7393801B2 (ja) | 2021-04-14 | 2023-12-07 | 株式会社ケイズベルテック | 除水機 |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100701820B1 (ko) * | 2006-12-20 | 2007-03-30 | 거성 이.엔.지 주식회사 | 골프 클럽 자동 세척 장치 |
| JP2014128776A (ja) * | 2012-12-28 | 2014-07-10 | Hoei Service Co Ltd | タイルカーペット洗浄装置、及び、タイルカーペット洗浄方法 |
| CN107170667B (zh) * | 2017-05-25 | 2020-07-28 | 昆山国显光电有限公司 | 基板湿制程工艺方法及基板湿制程工艺装置 |
| CN110976376A (zh) * | 2019-12-09 | 2020-04-10 | 三峡大学 | 一种复合砌块全方位清洗接料机 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58147245U (ja) * | 1982-03-30 | 1983-10-03 | 富士通株式会社 | 基板の液体搬送装置 |
| JPS6490588A (en) * | 1987-10-01 | 1989-04-07 | Irex Corp | Manufacture of printed circuit board |
-
1988
- 1988-01-28 JP JP63017680A patent/JP2588920B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2934447B2 (ja) | 1989-02-27 | 1999-08-16 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | ワーク洗浄・バリ取り装置 |
| JP7393801B2 (ja) | 2021-04-14 | 2023-12-07 | 株式会社ケイズベルテック | 除水機 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01192144A (ja) | 1989-08-02 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |