JP2585335B2 - 立方晶窒化ほう素の製造方法 - Google Patents

立方晶窒化ほう素の製造方法

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Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、立方晶窒化ほう素(以下、cBNと称する)
の製造方法に関するものであり、さらに詳しく述べるな
らば、六方晶窒化ほう素(以下、hBNと称する)を原料
とし、これとcBN合成用触媒を機械的に混合し、成形し
て得られた圧粉体を加圧加熱することによりcBNを製造
する方法に関するものである。
(従来の技術) 第1図はcBN製造用加圧加熱装置の概要し示し、図
中、1は黒鉛製円筒形発熱体、2、2′は原料hBNとcBN
合成触媒を混合成形して得られた圧粉体、3、3′は通
電環、4、4′は通電環3、3′と黒鉛製円筒形発熱体
1の間に介在する通電板、5、6(5′、6′)は3、
4(3′,4′)と一体になってアンビル部を構成するパ
イロフェライト、7はコア部を構成するパイロフェライ
トである。従来は、原料hBNとcBN合成用触媒を機械的に
混合し、それを冷間で成形した圧粉体を第1図に2で示
すように装填し、cBNの熱力学的安定域で加圧加熱する
ことによりcBNの単結晶を合成している。
(発明が解決しようとする問題点) 従来の方法では、原料hBNと触媒の混合物を圧粉して
得た圧粉体の密度は理論密度の約75%程度としかなら
ず、そのため加圧加熱バッチ当りのcBNの収率が低くな
る。cBNの収率を高めるためには加圧の圧力を高くする
ことが必要となり、この結果コアやアンビルの寿命が短
くなり、工業的に問題となっていた。
したがって、本発明者は原料hBNとcBN合成触媒の混合
物の圧粉体の密度を高めることにより、バッチ当りの収
率を高める方法を提供すべく鋭意研究を行なった。
(問題点を解決するための手段) 本発明に係るcBNの製造方法は、hBNとcBN合成触媒と
の混合物を、真空または不活性雰囲気下でかつ前記触媒
の融点以上でホットプレスして得られた圧粉体をcBNの
熱力学的安定域で加圧加熱することにより立方晶窒化ほ
う素を特徴とする。
以下、本発明の構成を具体的に説明する。
原料として使用するhBNは、特に限定されないが、粒
度が30μm以下のものが適当である。また、hBNと触媒
の混合比率も、特に限定されないが、重量比で1:0.01〜
0.3の範囲であることが適当である。
cBN合成触媒としては、特に限定されないが、アルカ
リ金属、アルカリ土類金属、これらの窒化物(M3N、た
だしMはLi,Na,K,Ca,Ba,Srなどのアルカリ金属またはア
ルカリ土類金属)、Ca3N2,Li3BN2,LiBaBN2などを使用す
ることができる。
なお、cBNをシードとして原料粉末中に10重量%以下使
用することも可能である。
真空または不活性雰囲気は原料hBNの酸化を防止する
ために使用する。真空度は1×10-2Torr以下が適当であ
り、不活性雰囲気はアルゴン、水素、窒素などが適当で
ある。
ホットプレスの加熱は触媒を溶解させ、圧粉体中に均
一に分散させるために触媒の融点以上で行なう。この加
熱温度は触媒の融点以上100℃であると触媒の均一分散
効果が高められる。しかし、加熱温度が触媒の融点より
500℃以上高くなると混合粉末が過度に変形して好まし
くないため、融点より500℃以下が適当である。
ホットプレスの圧力は従来法による密度以上の圧粉体
を得るように適宜定める。この圧力は100〜1000kg/cm2
の範囲が適当である。圧力が300kg/cm2以上であると、
理論密度の約95%の極めて密実な圧粉体が得られる。
(作用) hBNと合成触媒の混合物のホットプレス中に合成触媒
が溶融し、hBN粉末粒子間の空孔を埋めるように流動す
るとともに、混合粉末が圧縮変形され易くなり、これら
の結果圧粉体の密度が高められる。かかる圧粉体をcBN
の熱力学的安定域で加圧加熱するとcBNのバッチ当り収
率(変換率)が高められる。また、合成触媒は圧粉体中
に均一に分散している状態になっているのでcBNの核発
生がサンプル空間で一様に起こるため、所望の大きさの
粒の収率が高められる。
以下、実施例により本発明をさらに詳しく説明する。
(実施例) 粒度が30μm以下、平均10μmのhBNを100重量部に対
して1重量部のLiCaBN2(融点750℃)を配合しポットミ
ルで1時間混合した後、その混合物を温度900℃、圧力7
00kg/cm2、真空中(10-2Torr)でホットプレスした。得
られた圧粉体の密度は2.16であり、理論密度の95%に相
当した。
なお、比較のために同様に配合混合した後、冷間で20
00kg/cm2の圧力で成形した圧粉対の密度は1.70であり、
理論密度の75%に該当した。
これらの圧粉体を第1図に構造を示す装置で45kb,145
0℃,10分間の高圧高温処理を行なった。
結果を第1表に示す。
第1表より、本発明によればcBNの収率が高くなりま
た#140の粒子を得ようとした場合所望の大きさの粒の
収率も高くなることが分かる。さらに、本発明によれば
バッチ当りの処理量も多くなる。
(発明の効果) 本発明によれば、原料hBNと触媒との混合物をホット
プレスにより圧粉体の密度を予め高めて置くことによ
り、高圧高温処理でのcBNの合成収率が高くなりまた所
望の大きさの粒の収率も高くなる。
【図面の簡単な説明】
第1図はcBN合成用加圧加熱装置の概要を示す断面図で
ある。 1−黒鉛製円筒形発熱体、2−原料hBNとcBN合成触媒の
混合物、3−通電環、4−通電板、5、6−アンビル部
(パイロフェライト)、7−コア部(パイロフェライ
ト)

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】六方晶窒化ほう素と立方晶窒化ほう素合成
    触媒との混合物を、真空または不活性雰囲気下でかつ前
    記触媒の融点以上で、ホットプレスして得られた圧粉体
    を立方晶窒化ほう素の熱力学的安定域で加圧加熱するこ
    とにより立方晶窒化ほう素を合成することを特徴とする
    立方晶窒化ほう素の製造方法。
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