JP2580604B2 - アンテナ一体化マイクロ波集積回路 - Google Patents

アンテナ一体化マイクロ波集積回路

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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、マイクロ波、ミリ波を用いる複数のアン
テナを有する位相合成アンテナなどの送受信機能を持つ
集積回路で構成したアンテナ一体化マイクロ波集積回路
に関するものである。
〔従来の技術〕
第4図は従来のアンテナ付マイクロ波集積回路の断面
図である。この図で、11は送受信機能を有するモジュー
ルであり、アンテナ1に給電するためにケーブルを備え
たコネクタ10を用い、取付ブロック12に挿入固定してい
る。13(13a,13b)は前記モジュール11に給電するコネ
クタである。マイクロ波集積回路はモジュール11のパッ
ケージ内に収納されており、アンテナ1とパッケージは
各々独立した構造となっている。12aは誘電体である。
次に動作について説明する。
複数の送受信アンテナをマイクロ波などの波長以下の
間隔で装着するため、第4図においては、アンテナ1が
取付ブロック12に図示はしないが複数個挿入固定されて
いる。アンテナ1から輻射される電波はコネクタ13より
供給され、モジュール11により増幅などの信号処理がな
され、コネクタ10を経てアンテナ1に給電される。一
方、受信する電波はアンテナ1からコネクタ10を経てモ
ジュール11内に組み立てられたマイクロ波集積回路によ
り信号処理され、コネクタ13から外部の信号処理装置に
送られる。モジュール11によって発生する熱は、取付ブ
ロック12に伝導放熱される。モジュール11の保守調整
は、コネクタ10のケーブルと取付ネジ14を外して実施で
きるようになっている。
〔発明が解決しようとする問題点〕
上記のように、従来のアンテナ1と送受信用のモジュ
ール11は保守調整時多くのケーブルを有するコネクタ10
の接続があり、故障の要因となり、また、コネクタ10
や、そのケーブルが特性の低下の原因になるとともに装
置が大型化し、かつ重量が大となり、多数のアンテナ1
を有する位相合成アンテナなどの場合は著しく不利とな
るなどの問題点があった。
この発明は、上記のような問題点を解消するためにな
されたもので、多数のアンテナを有する合成アンテナ装
置の場合にも小型軽量化するとともに、故障率を下げ保
守を容易にし、信号処理部とアンテナ一体化して、性能
を向上させたアンテナ一体化マイクロ波集積回路を得る
ことを目的とする。
〔問題点を解決するための手段〕
この発明に係るアンテナ一体化マイクロ波集積回路
は、集積回路基板に一端が取付板の絶縁板中に形成され
た導波路を介してアンテナに接続されるとともに、他端
が送受信端子に接続されて主線路となるバイアホールを
形成したマイクロ波集積回路をパッケージの裏面側に接
着し、このパッケージを、前記マイクロ波集積回路の表
面の電極パッドとワイヤボンディングされる電極パッド
を備えた引出用配線を介して、この引出用配線に接続さ
れる外部給電用配線を備えた、絶縁板と導体板からなる
取付板に固定し、さらに、前記パッケージの表面側を前
記取付板の裏面側に圧着固定することで、前記バイアホ
ールを介して前記マイクロ波集積回路の表面の送受信用
端子に導通せしめられるアンテナを、前記パッケージの
表面側において、前記パッケージと一体化して設けたも
のである。
〔作用〕
この発明においては、マイクロ波集積回路の集積回路
基板はパッケージに溶着されることにより、同時にアン
テナと一体化されるとともに、パッケージ周囲で、取付
板上に形成された給電用配線にも圧着される。そのた
め、マイクロ波集積回路とアンテナおよび給電用配線が
最短で接続され、マイクロ波装置に従来から実施されて
いる調整なしに、優れた伝送特性が得られる。
〔実施例〕
以下、この発明の一実施例を図面について説明する。
第1図はこの発明の一実施例を示すアンテナ一体化マ
イクロ波集積回路の構成断面図である。なお、ここでは
1個のアンテナ一体化について説明するが、一体化され
たマイクロ波集積回路を複数配設した場合にも同様に適
用できる。この図で、1はアンテナ、2はパッケージ
で、マイクロ波集積回路3を、第2図に拡大して示すよ
うに、接着ハンダ2bで溶着固定することにより、パッケ
ージ2上面にあるアンテナ1への導波路も同時に接続さ
れる。なお、2aは誘電体、3aは集積回路チップ、3bは絶
縁材量からなる集積回路基板、3cはバイアホール、3dは
バイアホールグランド、3eは前記マイクロ波集積回路3
の裏面電極、3fは送受信用端子である。
マイクロ波集積回路3は従来の集積回路の如き接地を
最短に行うバイアホール(第2図の3c)のみならず、主
線路としてのバイアホール3cを形成し、このバイアホー
ル3cを介してマイクロ波集積回路3の表面の送受信用端
子3fに導通せしめてアンテナ1を接続することができ
る。一方、マイクロ波集積回路3はパッケージ2に接着
された後、外部との給電のためのボンディングパッド4
を備えた引出用配線5を介して、この引出用配線5に接
続される外部給電用配線6を備えた取付板9上に取付ネ
ジ7により圧着固定される。取付板9は導体板9aと絶縁
板9bとからなり、冷却,固定および第3図に示すように
アンテナ一体化集積回路が配置され、複数の給電配線を
可能とする機能を有する。9Cは導波路である。すなわ
ち、第3図は位相合成するために取付板9に埋め込まれ
た複数のパッケージを示し、配列間隔は使用する波長に
より異なる。
なお、第1図における8は前記パッケージ2を取付板
9に取り付け後、マイクロ波集積回路3を覆うパッケー
ジ蓋である。
マイクロ波の送受信アンテナで複数個が必要な位相合
成アンテナは波長以下の間隔で数百個以上のモジュール
構成が要求されるため軽量小型で、かつ送受信ユニット
からアンテナまでの低損失が特に望まれる。このため、
この発明では第2図に示す如く、パッケージ2の表面側
にアンテナ1を一体化して接続し、パッケージ組立時に
マイクロ波集積回路3も組み込むようにしたものであ
る。特にアンテナ1と集積回路チップ3aを最短に接続す
るため、集積回路基板3bを貫通するバイアホール3cを介
して給電する。送信時の例をとればパッケージ2の外部
からマイクロ波信号,制御信号,電源などを一括して圧
着接続し、マイクロ波集積回路3およびその他の回路部
品に給電する。集積回路チップ3aで信号処理されたマイ
クロ波はマイクロ波集積回路3を貫通してアンテナ1の
導波路からパッケージ2上に形成されたパッチ型アンテ
ナなどに給電される。アンテナ1はパッケージ2の誘電
体2a上に形成されており、このアンテナ1より第3図に
示す等間隔に配置された各モジュールのアンテナととも
に位相合成され、空中に電波を輻射する。
なお、上記実施例は以下の点において、限定されるも
のではない。すなわち、 この装置のマイクロ波集積回路3は複数のチップで
構成されていても可能で、半導体素子のみならずサーキ
ュレータなどの誘電体部品を含めた広義の集積回路が対
象となる。
この装置のアンテナ1は各種の方式を用いることは
可能であり、ダイポール型,マイクロストリップ型,パ
ッチ型,スロット型に変形することも容易である。
この装置は複数で構成する位相合成型アンテナに有
利であるが、単体としても、あるいは送信,受信専用と
しても適用可能である。
この装置の取付板9の外部給電用配線6は複数層と
することも可能であり、また、その線路は印刷配線で形
成される。
〔発明の効果〕
以上説明したようにこの発明は、集積回路基板に一端
が取付板の絶縁板中に形成された導波路を介してアンテ
ナに接続されるとともに、他端が送受信端子に接続され
て主線路となるバイアホールを形成したマイクロ波集積
回路をパッケージの裏面側に接着し、このパッケージ
を、前記マイクロ波集積回路の表面の電極パッドとワイ
ヤボンディングされる電極パッドを備えた引出用配線を
介して、この引出用配線に接続される外部給電用配線を
備えた、絶縁板と導体板からなる取付板は固定し、さら
に、前記パッケージの表面側を前記取付板の裏面側に圧
着固定することで、バイアホールを介してマイクロ波集
積回路の表面の送受信用端子に導通せしめられるアンテ
ナをパッケージと一体化し設けたので、パッケージの表
面側において、前記パッケージとアンテナを一体化した
うえ、マイクロ波集積回路の組立てと同時にサブシステ
ムが形成されることにより、小型軽量で高密度実装が可
能となり高周波伝達の損失が少なく、システム全体の保
守上有利となる。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の一実施例を示すアンテナ一体化マイ
クロ波集積回路の構成断面図、第2図は、第1図の部分
拡大図、第3図は複数個のモジュールを取付けた平面
図、第4図は従来のアンテナ付マイクロ波集積回路の構
成図である。 図において、1はアンテナ、2はパッケージ、2aは誘電
体、2bは接着ハンダ、3はマイクロ波集積回路、3aは集
積回路チップ、3bは集積回路基板、3cはバイアホール、
3dはバイアホールグランド、3eは裏面電極、3fは送受信
用端子、4はボンディングパッド、5は引出用配線、6
は外部給電用配線、9は取付板である。 なお、各図中の同一符号は同一または相当部分を示す。

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】集積回路基板に一端が取付板の絶縁板中に
    形成された導波路を介してアンテナに接続されるととも
    に、他端が送受信端子に接続されて主線路となるバイア
    ホールを形成したマイクロ波集積回路をパッケージの裏
    面側に接着し、このパッケージを、前記マイクロ波集積
    回路の表面の電極パッドとワイヤボンディングされる電
    極パッドを備えた引出用配線を介して、この引出用配線
    に接続される外部給電用配線を備えた、絶縁板と導体板
    からなる取付板に固定し、さらに、前記パッケージの表
    面側を前記取付板の裏面側に圧着固定することで、前記
    バイアホールを介して前記マイクロ波集積回路の表面の
    送受信用端子に導通せしめられるアンテナを、前記パッ
    ケージの表面側において、前記パッケージと一体化して
    設けたことを特徴とするアンテナ一体化マイクロ波集積
    回路。
JP62154103A 1987-06-19 1987-06-19 アンテナ一体化マイクロ波集積回路 Expired - Lifetime JP2580604B2 (ja)

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Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4244971C2 (de) * 1991-12-27 1999-08-05 Hitachi Ltd Integrierte Mikrowellenschaltung
JP2840493B2 (ja) * 1991-12-27 1998-12-24 株式会社日立製作所 一体型マイクロ波回路
JPH1079623A (ja) 1996-09-02 1998-03-24 Olympus Optical Co Ltd アンテナ素子を内蔵する半導体モジュール
JP3786497B2 (ja) * 1997-06-13 2006-06-14 富士通株式会社 アンテナ素子を内蔵する半導体モジュール
JP2005086603A (ja) * 2003-09-10 2005-03-31 Tdk Corp 電子部品モジュールおよびその製造方法
US7733287B2 (en) * 2005-07-29 2010-06-08 Sony Corporation Systems and methods for high frequency parallel transmissions
US8901688B2 (en) * 2011-05-05 2014-12-02 Intel Corporation High performance glass-based 60 ghz / mm-wave phased array antennas and methods of making same
JPWO2022145206A1 (ja) * 2020-12-28 2022-07-07

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61123304A (ja) * 1984-11-20 1986-06-11 Sanyo Electric Co Ltd 衛星放送アンテナユニツト

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