JP2579883Y2 - Ic搬送装置用試験装置 - Google Patents

Ic搬送装置用試験装置

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JP2579883Y2
JP2579883Y2 JP6051591U JP6051591U JP2579883Y2 JP 2579883 Y2 JP2579883 Y2 JP 2579883Y2 JP 6051591 U JP6051591 U JP 6051591U JP 6051591 U JP6051591 U JP 6051591U JP 2579883 Y2 JP2579883 Y2 JP 2579883Y2
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博 大矢
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Description

【考案の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この考案は、IC試験のために被
試験IC素子をIC試験装置との接続部に搬送し、その
試験結果に応じて分類収納するIC搬送装置の接続部を
試験するIC搬送装置用試験装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来においてIC搬送装置におけるIC
試験装置との接続部、つまりICソケットの接触不良
や、リークの存在などを試験するには、通常のIC試験
装置を用い、IC搬送装置の接続部に被試験IC素子の
代わりに既知のIC素子を接続した状態で、そのIC素
子の各ピンに、IC試験装置の各ピン対応の駆動回路を
通じて設定した高レベル、低レベルを選択的に印加し、
この状態でIC試験装置の直流試験部により、接続部、
つまりICソケットが不良か良品かの試験を行ってい
た。
【0003】
【考案が解決しようとする課題】このように従来におい
ては、IC搬送装置の試験にIC試験装置を用いていた
ため、それだけ高価なIC試験装置を、本来のIC素子
の試験に用いることができず、経済的に好ましくなかっ
た。
【0004】
【課題を解決するための手段】この考案によれば、出力
電圧を変更できるプログラマブル電源の出力電圧を、被
試験IC搬送装置の被試験IC素子のピン対応端子にそ
れぞれ独立に第1スイッチで印加可能とされ、またこれ
らピン対応端子に直流試験ユニットを第2スイッチで各
別に接続することができるようにされ、制御部により上
記電源電圧の設定、上記第1スイッチ、第2スイッチの
制御、直流試験ユニットの制御を行うようにされる。
【0005】
【実施例】図1にこの考案の実施例を示す。被試験IC
搬送装置11は被試験IC素子12を、IC試験装置と
の接続部、つまりICソケット13の位置に搬送し、そ
のICソケット13に装着し、図に示していないIC試
験装置と接続して、試験を行い、その試験結果に応じて
被試験IC素子12を分配収納する。この考案の試験装
置は、このIC搬送装置11のソケット(接続部)13
の接触不良やリークなどを試験するものである。
【0006】この試験装置は制御部14の制御のもとに
動作する。制御部14よりプログラマブル電源15から
出力する電圧がプログラマブルに変更可能とされる。プ
ログラマブル電源15は高レベル発生部15Hと、低レ
ベル発生部15Lとよりなり、これら高レベル発生部1
5H,低レベル発生部15LはそれぞれレジスタとDA
変換器と、バッファとよりなり、制御部14により制御
され、設定された電圧を出力し、その設定電圧を時間的
に変更することができる。高レベル発生部15H,低レ
ベル発生部15Lはそれぞれ通常のIC試験装置で出力
することができる高レベル範囲、低レベル範囲と同一の
範囲の電圧を設定することができる。
【0007】プログラマブル電源15の出力電圧は第1
スイッチ161 〜16n を通じて、被試験IC素子12
のピン対応端子171 〜17n に印加することができ
る。つまり切替えスイッチ181 〜18n が設けられ、
切替えスイッチ181 〜18nによりそれぞれ第1スイ
ッチ161 〜16n の一端を高レベル発生部15Hの出
力側と低レベル発生部15Lの出力側とのいずれかに各
別に切替え接続できるようにされ、第1スイッチ161
〜16n の他端がピン対応端子171 〜17n にそれぞ
れ接続される。
【0008】直流試験ユニット19が設けられる。直流
試験ユニット19は直流電圧を印加してその時流れる直
電流を測定し、また直流電流を供給してその時発生す
る直流電圧を測定することができるものであり、第2ス
イッチ211 〜21n を通じてピン対応端子171 〜1
n に各別に接続することができる。ピン対応端子17
1 〜17n は、テストヘッド22を通じてICソケット
13と接続することができる。テストヘッド22はIC
試験装置を、被試験IC素子を試験する際にIC搬送装
置に接続するために用いられるテストヘッドと同様のも
のを用いることができる。ただし、このテストヘッド2
2は直流信号を通し、高速信号を通す必要がないため、
IC試験装置のそれより安価に構成することができる。
【0009】制御部14により第1スイッチ161 〜1
n ,第2スイッチ211 〜21n,切替えスイッチ1
1 〜18n ,直流試験ユニット19をそれぞれ制御し
てICソケット13の接触不良、リークなどの試験を行
う。被試験IC素子12として正常のものをICソケッ
ト13に接続した状態で、高レベル発生部15H,低レ
ベル発生部15Lから設定した高レベル、低レベルを被
試験IC素子12の各ピンに印加し、被試験IC素子1
2から出力が発生している状態で、直流試験ユニット1
9を用いてICソケット13の接触不良、リークなどを
試験する。この試験方法は従来のIC試験装置を用いて
行っていた方法と同一である。つまり、従来はIC試験
装置の各ピン対応の駆動回路(ドライバ)を通じて高レ
ベル、低レベルを被試験IC素子12に与え、IC試験
装置の直流試験部で試験を行っていたが、その駆動回路
の出力をプログラマブル電源15で得、直流試験部の代
わりに直流試験ユニット19を用いている。
【0010】
【考案の効果】以上述べたように、この考案によれば制
御部14と、プログラマブル電源15と、スイッチ類
と、直流試験ユニット19とを主体として構成され、I
C試験装置と比較して著しく安価に構成することができ
る。従って、この試験装置を用意することにより、従来
においてIC搬送装置を試験するために用いた高価なI
C試験装置を、その本来のIC試験にのみ有効に用いる
ことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この考案の実施例を示すブロック図。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G01R 31/26 H01L 21/66

Claims (1)

    (57)【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】 出力電圧を変更できるプログラマブル電
    源と、 その電源の出力を、被試験IC搬送装置の被試験IC素
    子のピン対応端子にそれぞれ独立に印加可能な第1スイ
    ッチと、 直流試験ユニットと、 その直流試験ユニットを上記ピン対応端子に各別に接続
    する第2スイッチと、 上記電源の出力電圧設定、上記第1スイッチ、第2スイ
    ッチの制御、上記直流試験ユニットの制御を行う制御部
    と、 を備えたIC搬送装置用試験装置。
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