JP2579384Y2 - 研磨用バキュームチャック - Google Patents
研磨用バキュームチャックInfo
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- JP2579384Y2 JP2579384Y2 JP5166692U JP5166692U JP2579384Y2 JP 2579384 Y2 JP2579384 Y2 JP 2579384Y2 JP 5166692 U JP5166692 U JP 5166692U JP 5166692 U JP5166692 U JP 5166692U JP 2579384 Y2 JP2579384 Y2 JP 2579384Y2
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- Japan
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- suction
- polishing
- vacuum chuck
- retainer
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、シリコンウエハー等の
金属製薄板またはセラミックス製薄板の研磨に用いる研
磨用バキュームチャックに関する。
金属製薄板またはセラミックス製薄板の研磨に用いる研
磨用バキュームチャックに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、シリコンウエハー等の金属製
薄板またはセラミックス製薄板を研磨するには、各部が
セラミックス製のバキュームチャックが用いられてい
る。
薄板またはセラミックス製薄板を研磨するには、各部が
セラミックス製のバキュームチャックが用いられてい
る。
【０００３】従来のバキュームチャックでの研磨方法
は、まず、バキュームチャックの表面を研磨する校正工
程、次いで、該表面に被研磨板を載せ吸引孔より−１０
０〜３００ｍｍＨｇで吸引して被研磨板を固着して研磨
作業を行なう研磨工程、さらに研磨板を交換して、再び
校正工程を行うもので、これらの工程が複数回繰り返し
行なわれている。
は、まず、バキュームチャックの表面を研磨する校正工
程、次いで、該表面に被研磨板を載せ吸引孔より−１０
０〜３００ｍｍＨｇで吸引して被研磨板を固着して研磨
作業を行なう研磨工程、さらに研磨板を交換して、再び
校正工程を行うもので、これらの工程が複数回繰り返し
行なわれている。
【０００４】しかし、従来のバキュームチャックは、各
部材がセラミックス製のため、粗研磨（例えば、砥石加
工の場合、＃３００〜４００）を行なう校正工程と、細
研磨（例えば、砥石加工の場合＃４０００〜８０００）
を行なう研磨工程では、それぞれ適応した研磨材を使用
しなければならず、粗研磨を行なう校正工程の研磨材で
統一すれば、被研磨板の面精度が悪化し、面にキズが付
き、また、細研磨用の研磨工程の研磨材を用いれば、校
正工程の研磨に時間がかかりすぎ、研磨材を工程ごとに
交換する必要があり、作業が煩雑で自動化に難があっ
た。
部材がセラミックス製のため、粗研磨（例えば、砥石加
工の場合、＃３００〜４００）を行なう校正工程と、細
研磨（例えば、砥石加工の場合＃４０００〜８０００）
を行なう研磨工程では、それぞれ適応した研磨材を使用
しなければならず、粗研磨を行なう校正工程の研磨材で
統一すれば、被研磨板の面精度が悪化し、面にキズが付
き、また、細研磨用の研磨工程の研磨材を用いれば、校
正工程の研磨に時間がかかりすぎ、研磨材を工程ごとに
交換する必要があり、作業が煩雑で自動化に難があっ
た。
【０００５】そこで、本考案者は、バキュームチャック
のリテーナ部を特定の緻密質カーボン材料として、また
吸引部を特定の多孔質カーボン材料として、これらをカ
ーボンフィラー混入の樹脂で接着したバキュームチャッ
クを提案した（実願平３−３０４０５号、実開平４−１
１８９４５号）。
のリテーナ部を特定の緻密質カーボン材料として、また
吸引部を特定の多孔質カーボン材料として、これらをカ
ーボンフィラー混入の樹脂で接着したバキュームチャッ
クを提案した（実願平３−３０４０５号、実開平４−１
１８９４５号）。
【０００６】
【考案が解決しようとする課題】しかし、素材がオール
カーボン製であると、上記各工程で同一の研磨材を使用
できるが、くり返し使用しているうちに、吸引時にリテ
ーナが変形し、吸引部上面がくぼむ欠点がある。
カーボン製であると、上記各工程で同一の研磨材を使用
できるが、くり返し使用しているうちに、吸引時にリテ
ーナが変形し、吸引部上面がくぼむ欠点がある。
【０００７】このため、繰り返し使用しても、吸引時に
窪みが生ぜず、かつ、オールカーボンの特徴が生かせる
バキュームチャックの開発が望まれていた。
窪みが生ぜず、かつ、オールカーボンの特徴が生かせる
バキュームチャックの開発が望まれていた。
【０００８】本考案は、校正工程、研磨工程とも同一の
研磨材を利用でき、かつ、繰り返し使用しても窪むこと
がないバキュームチャックを提供することを目的とす
る。
研磨材を利用でき、かつ、繰り返し使用しても窪むこと
がないバキュームチャックを提供することを目的とす
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】そこで、本考案者らは、
前記課題を解決するため鋭意研究を重ねた結果、リテー
ナの凹部に吸引部の外周を内接させて設置し、リテーナ
部が気体不透過性セラミックス材料、吸引部がカーボン
材料で構成され、かつ吸引部上部がリテーナの上面より
突出させれば、前記課題が解決できるとの知見を得て本
考案を完成した。
前記課題を解決するため鋭意研究を重ねた結果、リテー
ナの凹部に吸引部の外周を内接させて設置し、リテーナ
部が気体不透過性セラミックス材料、吸引部がカーボン
材料で構成され、かつ吸引部上部がリテーナの上面より
突出させれば、前記課題が解決できるとの知見を得て本
考案を完成した。
【００１０】以下、本考案の一実施態様を図面に基づい
て説明するが、本考案のバキュームチャックの形状等は
これらに限定されるものでない。
て説明するが、本考案のバキュームチャックの形状等は
これらに限定されるものでない。
【００１１】図１は、本考案のバキュームチャックの平
面図、図２は、そのＡ−Ａ線断面図を示す。
面図、図２は、そのＡ−Ａ線断面図を示す。
【００１２】本考案のバキュームチャック１は、吸引孔
３を有するリテーナ部２の凹部に吸引部４の外周が内接
されており接合部は密封される。吸引孔の数は、一又は
複数個を適宜設ける。
３を有するリテーナ部２の凹部に吸引部４の外周が内接
されており接合部は密封される。吸引孔の数は、一又は
複数個を適宜設ける。
【００１３】リテーナ部２は、気体不透過性セラミック
ス材料、例えば、高密度のアルミナ、炭化ケイ素、窒化
ケイ素等の高密度セラミックスで構成される。高密度の
セラミックス材料で構成したリテーナ部２は高弾性のた
め吸引時のたわみが生じにくく、かつ、くり返し使用に
よる変形も生じにくくなる。また、リテーナ２には、吸
引部の外周を内接するための凹部が設けられている。
ス材料、例えば、高密度のアルミナ、炭化ケイ素、窒化
ケイ素等の高密度セラミックスで構成される。高密度の
セラミックス材料で構成したリテーナ部２は高弾性のた
め吸引時のたわみが生じにくく、かつ、くり返し使用に
よる変形も生じにくくなる。また、リテーナ２には、吸
引部の外周を内接するための凹部が設けられている。
【００１４】吸引部４は、吸引部本体４１と外周部４２
からなり、吸引部本体４１は、カサ比重０．７〜１．０
の多孔質カーボン材料で構成する。このとき、カサ比重
０．７未満だと吸引時に粒が破壊されて剥離し、材料の
粒の結合による強度が低下するおそれがあり、また、カ
サ比重が１．０を越えると吸引が不十分となりチャック
機能が低下するため好ましくない。
からなり、吸引部本体４１は、カサ比重０．７〜１．０
の多孔質カーボン材料で構成する。このとき、カサ比重
０．７未満だと吸引時に粒が破壊されて剥離し、材料の
粒の結合による強度が低下するおそれがあり、また、カ
サ比重が１．０を越えると吸引が不十分となりチャック
機能が低下するため好ましくない。
【００１５】また、多孔質カーボン材料は、上記のカサ
比重の範囲でポア孔が平均直径２０〜１００μｍである
ことが好ましく、ポア孔が２０μｍ未満では研磨材の目
詰りが発生しやすく、また１００μｍを越えるとチャツ
ク機能が低下するため好ましくない。
比重の範囲でポア孔が平均直径２０〜１００μｍである
ことが好ましく、ポア孔が２０μｍ未満では研磨材の目
詰りが発生しやすく、また１００μｍを越えるとチャツ
ク機能が低下するため好ましくない。
【００１６】特に粉末状または球状の不溶融性フェノー
ル樹脂と、粉末状または球状の溶融性フェノール樹脂と
をメカノケミカル法により乾式混合するか、もしくは溶
剤、例えばメタノール、エタノール等を用いて湿式混合
して、不溶融性フェノール樹脂の表面を溶融性フェノー
ル樹脂で被覆したのち加圧下で成形、硬化し、ついで焼
成、炭化することによって得られる材料がポアー直径が
均一でかつ曲げ強さが２００〜５５０ｋｇ／ｃｍ と高
強度であり最も好ましい。
ル樹脂と、粉末状または球状の溶融性フェノール樹脂と
をメカノケミカル法により乾式混合するか、もしくは溶
剤、例えばメタノール、エタノール等を用いて湿式混合
して、不溶融性フェノール樹脂の表面を溶融性フェノー
ル樹脂で被覆したのち加圧下で成形、硬化し、ついで焼
成、炭化することによって得られる材料がポアー直径が
均一でかつ曲げ強さが２００〜５５０ｋｇ／ｃｍ と高
強度であり最も好ましい。
【００１７】外周部４２は、吸引部本体４１を、カサ比
重１．７以上の極力ポアのない緻密質カーボン材料で吸
引部本体の外周を包囲してなる。このとき、緻密質カー
ボン材料は、特に好ましくは、カサ比重１．７〜２．０
で極力ポアのない特にラバープレスで成形後、焼成，黒
鉛化した黒鉛質材料が好ましい。カサ比重が１．７未満
では、吸引時のエアー流入が激しくなりチャック機能が
低下し好ましくない。吸引部４は、図２に示すように、
その外周部がリテーナ上部の凹部に内接し、吸引部上部
がリテーナ上面より突出する。
重１．７以上の極力ポアのない緻密質カーボン材料で吸
引部本体の外周を包囲してなる。このとき、緻密質カー
ボン材料は、特に好ましくは、カサ比重１．７〜２．０
で極力ポアのない特にラバープレスで成形後、焼成，黒
鉛化した黒鉛質材料が好ましい。カサ比重が１．７未満
では、吸引時のエアー流入が激しくなりチャック機能が
低下し好ましくない。吸引部４は、図２に示すように、
その外周部がリテーナ上部の凹部に内接し、吸引部上部
がリテーナ上面より突出する。
【００１８】リテーナ部と吸引部４の接着面、及び／ま
たは、吸引部本体４１と外周部４２は、内接する接着面
を黒鉛粉、カーボンブラック、カーボンフアイバー等の
カーボンフィラー混入樹脂（例えば、フェノール、エポ
キシ樹脂等）の接着剤で固着することによって一体化す
る。
たは、吸引部本体４１と外周部４２は、内接する接着面
を黒鉛粉、カーボンブラック、カーボンフアイバー等の
カーボンフィラー混入樹脂（例えば、フェノール、エポ
キシ樹脂等）の接着剤で固着することによって一体化す
る。
【００１９】
【実施例】以下、本考案の実施例を説明する。 実施例 １３５ｍｍφ×厚さ１０ｍｍの吸引部本体４１を、カサ
比重０．８、ポア平均直径５０μｍの多孔質カーボン材
料（商品名：ＶＣＰ、日本カーボン株式会社製）で作成
し、この外周にカサ比重１．９０の緻密質カーボン材料
（商品名：ＥＸ−１３、日本カーボン株式会社製）で包
囲し、１５５ｍｍφ×厚さ１０ｍｍの吸引部４を得た。
比重０．８、ポア平均直径５０μｍの多孔質カーボン材
料（商品名：ＶＣＰ、日本カーボン株式会社製）で作成
し、この外周にカサ比重１．９０の緻密質カーボン材料
（商品名：ＥＸ−１３、日本カーボン株式会社製）で包
囲し、１５５ｍｍφ×厚さ１０ｍｍの吸引部４を得た。
【００２０】１０ｍｍφの吸引孔３を４か所に有し、か
つ前記吸引部４の内接部を設けた、外径２１５φ×厚さ
３０ｍｍのリテーナ部２を、高密度アルミナセラミック
スで作成した。
つ前記吸引部４の内接部を設けた、外径２１５φ×厚さ
３０ｍｍのリテーナ部２を、高密度アルミナセラミック
スで作成した。
【００２１】リテーナ部２と吸引部４、及び、吸引部本
体４１と外周部４２の内接面を黒鉛粉混入フェノール樹
脂接着剤（商品名：ＧＢＴ、日本カーボン株式会社製）
で接着し、図２に示す研磨用バキュームチャックを形成
した。
体４１と外周部４２の内接面を黒鉛粉混入フェノール樹
脂接着剤（商品名：ＧＢＴ、日本カーボン株式会社製）
で接着し、図２に示す研磨用バキュームチャックを形成
した。
【００２２】得られたバキュームチャックと、吸引部を
カサ比重０．８の多孔質カーボン、リテーナ部をカサ比
重１．９の緻密質カーボンからなり、黒鉛粉混入フェノ
ール樹脂接着剤で接着面を固着して形成したオールカー
ボン製バキュームチャックを作成した。砥石＃６０００
で校正工程を行ない、被研磨材として、１５２ｍｍφ×
厚み０．５ｍｍのシリコンウエハーを載せ、−２００ｍ
ｍＨｇで吸引して被研磨材を固着して、校正工程に用い
たのと同一の砥石＃６０００で研磨した。これらの工程
を繰返し、研磨後、被研磨材を目視にて検査したとこ
ろ、本考案品は１００回の研磨使用でも問題なかった
が、オールカーボン製は７５回の研磨使用で上面にくぼ
みが生じる不具合が生じた。
カサ比重０．８の多孔質カーボン、リテーナ部をカサ比
重１．９の緻密質カーボンからなり、黒鉛粉混入フェノ
ール樹脂接着剤で接着面を固着して形成したオールカー
ボン製バキュームチャックを作成した。砥石＃６０００
で校正工程を行ない、被研磨材として、１５２ｍｍφ×
厚み０．５ｍｍのシリコンウエハーを載せ、−２００ｍ
ｍＨｇで吸引して被研磨材を固着して、校正工程に用い
たのと同一の砥石＃６０００で研磨した。これらの工程
を繰返し、研磨後、被研磨材を目視にて検査したとこ
ろ、本考案品は１００回の研磨使用でも問題なかった
が、オールカーボン製は７５回の研磨使用で上面にくぼ
みが生じる不具合が生じた。
【００２３】
【効果】本考案によれば、吸引部上部がリテーナの上面
より突出しているので、校正工程、研磨工程とも同一の
研磨材を利用でき、かつ、リテーナ部が気体不透過性セ
ラミックス材料、吸引部がカーボン材料で構成されてい
るので、複数回の使用によってもくぼみが生ずることが
なく、研磨作業を容易にし、かつ工程の自動化を可能に
した研磨用バキュームチャックを提供することができ
る。
より突出しているので、校正工程、研磨工程とも同一の
研磨材を利用でき、かつ、リテーナ部が気体不透過性セ
ラミックス材料、吸引部がカーボン材料で構成されてい
るので、複数回の使用によってもくぼみが生ずることが
なく、研磨作業を容易にし、かつ工程の自動化を可能に
した研磨用バキュームチャックを提供することができ
る。
【図１】本考案のバキュームチャックの平面図。
【図２】本考案のバキュームチャックのＡ−Ａ線断面
図。
図。
【符号の説明】１ バキュームチャツク ２ リテーナ部 ３ 吸引孔 ４ 吸引部 ４１ 吸引部本体 ４２ 外周部 ５ リテーナ部上面
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平６−8087（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−169243（ＪＰ，Ａ) 実開 平４−118945（ＪＰ，Ｕ) 特公 平３−61340（ＪＰ，Ｂ２) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) B23Q 3/08 B24B 41/06 H01L 21/68
Claims (4)
- 【請求項１】 リテーナの凹部に吸引部の外周を内接さ
せて設置し、リテーナ部が気体不透過性セラミックス材
料、吸引部がカーボン材料で構成され、かつ吸引部上部
がリテーナ上面より突出してなる研磨用バキュームチャ
ック。 - 【請求項２】 請求項１において、吸引部は、吸引部本
体と外周部からなり、吸引部本体は、カサ比重０．７〜
１．０の多孔質カーボン材料、吸引部本体を包囲する外
周部は、カサ比重１．７以上の緻密質カーボン材料から
なる研磨用バキュームチャック。 - 【請求項３】 請求項１において、リテーナ部の気体不
透過性セラミックス材料が高密度アルミナセラミックス
である研磨用バキュームチャック。 - 【請求項４】 請求項１〜３のいずれかにおいて、リテ
ーナ部と吸引部の接触面、及び／または、吸引部本体と
外周部の接触面をカーボンフィラー混入樹脂接着剤で固
着してなる研磨用バキュームチャック。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5166692U JP2579384Y2 (ja) | 1992-06-30 | 1992-06-30 | 研磨用バキュームチャック |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5166692U JP2579384Y2 (ja) | 1992-06-30 | 1992-06-30 | 研磨用バキュームチャック |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH065836U JPH065836U (ja) | 1994-01-25 |
| JP2579384Y2 true JP2579384Y2 (ja) | 1998-08-27 |
Family
ID=12893210
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5166692U Expired - Fee Related JP2579384Y2 (ja) | 1992-06-30 | 1992-06-30 | 研磨用バキュームチャック |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2579384Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010135443A (ja) * | 2008-12-02 | 2010-06-17 | Tanken Seal Seiko Co Ltd | 真空吸着パッドおよび真空吸着装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4724770B2 (ja) * | 2009-10-02 | 2011-07-13 | 株式会社タンケンシールセーコウ | 吸着体 |
-
1992
- 1992-06-30 JP JP5166692U patent/JP2579384Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010135443A (ja) * | 2008-12-02 | 2010-06-17 | Tanken Seal Seiko Co Ltd | 真空吸着パッドおよび真空吸着装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH065836U (ja) | 1994-01-25 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19980526 |
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