JP2572120Y2 - 傾斜測定装置 - Google Patents
傾斜測定装置Info
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- JP2572120Y2 JP2572120Y2 JP1991041641U JP4164191U JP2572120Y2 JP 2572120 Y2 JP2572120 Y2 JP 2572120Y2 JP 1991041641 U JP1991041641 U JP 1991041641U JP 4164191 U JP4164191 U JP 4164191U JP 2572120 Y2 JP2572120 Y2 JP 2572120Y2
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Description
【考案の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、液晶パネル等のよう
に、入射光の方向によってその反射光または透過光の強
度が相違するような装置の光学特性を測定する傾斜測定
装置に関するものである。
に、入射光の方向によってその反射光または透過光の強
度が相違するような装置の光学特性を測定する傾斜測定
装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来において、入射光の方向によってそ
の反射光または透過光の強度が相違するような液晶パネ
ルに対しては、表示装置を測定ステージ上に載置して入
射光の入射角θ及び方位角ψを変えながら特性を測定す
る必要があるが、この角度は手動によって測定ステージ
を移動させることにより変えるものであった。
の反射光または透過光の強度が相違するような液晶パネ
ルに対しては、表示装置を測定ステージ上に載置して入
射光の入射角θ及び方位角ψを変えながら特性を測定す
る必要があるが、この角度は手動によって測定ステージ
を移動させることにより変えるものであった。
【０００３】
【考案が解決しようとする課題】入射光の入射角θ及び
方位角ψを手動によって変えるのは、極めて煩雑な作業
であり、正確な角度を設定して測定することは誠に困難
であった。
方位角ψを手動によって変えるのは、極めて煩雑な作業
であり、正確な角度を設定して測定することは誠に困難
であった。
【０００４】そこで本考案の目的は、煩雑な作業を必要
としないで、正確な入射角θ及び方位角ψを被測定体に
対して設定することを可能にし、正しい測定結果を得て
品質の向上に寄与し得る傾斜測定装置を提供することに
ある。
としないで、正確な入射角θ及び方位角ψを被測定体に
対して設定することを可能にし、正しい測定結果を得て
品質の向上に寄与し得る傾斜測定装置を提供することに
ある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本考案の傾斜測定装置は、被測定体の測定点に光を
投射してその反射光または透過光の強度を測定する投光
素子及び受光素子を含む測定手段と、被測定体をＸＹ方
向に移動自在に保持し、測定点を所望位置に設定可能な
ＸＹテーブルと、ＸＹテーブルを支持している第１傾斜
ステージと、第１傾斜ステージを変位自在に支持してい
る第２傾斜ステージと、第１傾斜ステージを変位させる
第１駆動モータと、第２傾斜ステージをＸＹ平面に対し
実質的に垂直方向に揺動自在に支持しかつ投光素子の光
軸が被測定体の測定点に一致するように第２傾斜ステー
ジを支持している保持フレームと、第２傾斜ステージを
揺動させる第２駆動モータとを具備している。そして上
記の第１駆動モータ及び第２駆動モータの駆動により、
第１傾斜ステージ及び第２傾斜ステージを所望角度に傾
斜させ、被測定体の測定点への入射光の入射角θ及び方
位角ψを所望角度に設定可能にしている。
に、本考案の傾斜測定装置は、被測定体の測定点に光を
投射してその反射光または透過光の強度を測定する投光
素子及び受光素子を含む測定手段と、被測定体をＸＹ方
向に移動自在に保持し、測定点を所望位置に設定可能な
ＸＹテーブルと、ＸＹテーブルを支持している第１傾斜
ステージと、第１傾斜ステージを変位自在に支持してい
る第２傾斜ステージと、第１傾斜ステージを変位させる
第１駆動モータと、第２傾斜ステージをＸＹ平面に対し
実質的に垂直方向に揺動自在に支持しかつ投光素子の光
軸が被測定体の測定点に一致するように第２傾斜ステー
ジを支持している保持フレームと、第２傾斜ステージを
揺動させる第２駆動モータとを具備している。そして上
記の第１駆動モータ及び第２駆動モータの駆動により、
第１傾斜ステージ及び第２傾斜ステージを所望角度に傾
斜させ、被測定体の測定点への入射光の入射角θ及び方
位角ψを所望角度に設定可能にしている。
【０００６】上記の第１傾斜ステージは、上記の第１駆
動モータの駆動によって第２傾斜ステージの揺動方向に
対して実質的に垂直方向に揺動自在としてもよい。
動モータの駆動によって第２傾斜ステージの揺動方向に
対して実質的に垂直方向に揺動自在としてもよい。
【０００７】また上記の第１傾斜ステージは、上記の第
１駆動モータの駆動によって第２傾斜ステージに対して
ＸＹ平面上で回転自在としてもよい。
１駆動モータの駆動によって第２傾斜ステージに対して
ＸＹ平面上で回転自在としてもよい。
【０００８】
【作用】第２傾斜ステージは保持フレームによって、投
光素子の光軸が被測定体の測定点に一致するように支持
されており、ＸＹテーブルを支持している第１傾斜ステ
ージ及び第２傾斜ステージはそれぞれ第１駆動モータ及
び第２駆動モータによって変位または揺動されるように
なっており、第１駆動モータ及び第２駆動モータの回転
の制御によってＸＹテーブルにより保持されている被測
定体の傾斜状態を所望の角度とすることができ、測定点
への入射光の入射角θ及び方位角ψを所望角度に正確か
つ容易に設定が可能である。
光素子の光軸が被測定体の測定点に一致するように支持
されており、ＸＹテーブルを支持している第１傾斜ステ
ージ及び第２傾斜ステージはそれぞれ第１駆動モータ及
び第２駆動モータによって変位または揺動されるように
なっており、第１駆動モータ及び第２駆動モータの回転
の制御によってＸＹテーブルにより保持されている被測
定体の傾斜状態を所望の角度とすることができ、測定点
への入射光の入射角θ及び方位角ψを所望角度に正確か
つ容易に設定が可能である。
【０００９】
【実施例】図１乃至図３に示すように、液晶パネル等の
被測定体Ｐを保持しているＸテーブル１は、Ｙテーブル
２上にＸ方向に移動可能に配設してあり、このＹテーブ
ル２は、第１傾斜ステージ３上にＹ方向に移動可能に配
設してある。第１傾斜ステージ３は、第２傾斜ステージ
４に揺動可能に連結してあり、この第２傾斜ステージ４
は、保持フレーム５に揺動可能に連結してある。
被測定体Ｐを保持しているＸテーブル１は、Ｙテーブル
２上にＸ方向に移動可能に配設してあり、このＹテーブ
ル２は、第１傾斜ステージ３上にＹ方向に移動可能に配
設してある。第１傾斜ステージ３は、第２傾斜ステージ
４に揺動可能に連結してあり、この第２傾斜ステージ４
は、保持フレーム５に揺動可能に連結してある。
【００１０】Ｘテーブル１は殆ど全面が開口１ａである
枠状をなしており、被測定体Ｐの殆ど全面積が開口１ａ
に対向している。Ｘテーブル１のＸ方向の移動手段は、
Ｙテーブル２上にＸ方向に平行にスクリュー１１，１１
が回転自在に支持してあり、両スクリュー１１の一端部
と直交するように回転軸１２が回転自在に支持してあ
り、回転軸１２に設けた傘歯車１２ａ，１２ａとスクリ
ュー１１に設けた傘歯車１１ａ，１１ａとが噛合してい
る。回転軸１２の中央部に歯車１２ｂが固着してあり、
モータ１３の回転を歯車１２ｂに伝達するようになって
いる。両スクリュー１１には、Ｘテーブル１と一体に形
成してあるスライダ部１ｂ，１ｂがねじ合わされてお
り、スクリュー１１の回転に連動してＸテーブル１をＸ
方向（図１上下方向）に移動させる。
枠状をなしており、被測定体Ｐの殆ど全面積が開口１ａ
に対向している。Ｘテーブル１のＸ方向の移動手段は、
Ｙテーブル２上にＸ方向に平行にスクリュー１１，１１
が回転自在に支持してあり、両スクリュー１１の一端部
と直交するように回転軸１２が回転自在に支持してあ
り、回転軸１２に設けた傘歯車１２ａ，１２ａとスクリ
ュー１１に設けた傘歯車１１ａ，１１ａとが噛合してい
る。回転軸１２の中央部に歯車１２ｂが固着してあり、
モータ１３の回転を歯車１２ｂに伝達するようになって
いる。両スクリュー１１には、Ｘテーブル１と一体に形
成してあるスライダ部１ｂ，１ｂがねじ合わされてお
り、スクリュー１１の回転に連動してＸテーブル１をＸ
方向（図１上下方向）に移動させる。
【００１１】Ｙテーブル２は殆ど全面が開口２ａである
枠状をなしており、被測定体Ｐが移動する範囲に対向す
る全面積が開口２ａで占められている。Ｙテーブル２の
Ｙ方向の移動手段は、第１傾斜ステージ３上にＹ方向に
平行にスクリュー２１，２１が回転自在に支持してあ
り、両スクリュー２１の端部と直交するように回転軸２
２が回転自在に支持してあり、回転軸２２に設けた傘歯
車２２ａ，２２ａとスクリュー２１に設けた傘歯車２１
ａ，２１ａとが噛合している。回転軸２２の中央部に歯
車２２ｂが固着してあり、モータ２３のピニオン２３ａ
と歯車２２ｂとが噛合してモータの回転を伝達するよう
になっている。両スクリュー２１には、Ｙテーブル２と
一体に形成してあるスライダ部２ｂ，２ｂがねじ合わさ
れており、スクリュー２１の回転に連動してＹテーブル
２をＹ方向（図１左右方向）に移動させる。
枠状をなしており、被測定体Ｐが移動する範囲に対向す
る全面積が開口２ａで占められている。Ｙテーブル２の
Ｙ方向の移動手段は、第１傾斜ステージ３上にＹ方向に
平行にスクリュー２１，２１が回転自在に支持してあ
り、両スクリュー２１の端部と直交するように回転軸２
２が回転自在に支持してあり、回転軸２２に設けた傘歯
車２２ａ，２２ａとスクリュー２１に設けた傘歯車２１
ａ，２１ａとが噛合している。回転軸２２の中央部に歯
車２２ｂが固着してあり、モータ２３のピニオン２３ａ
と歯車２２ｂとが噛合してモータの回転を伝達するよう
になっている。両スクリュー２１には、Ｙテーブル２と
一体に形成してあるスライダ部２ｂ，２ｂがねじ合わさ
れており、スクリュー２１の回転に連動してＹテーブル
２をＹ方向（図１左右方向）に移動させる。
【００１２】第１傾斜ステージ３は殆ど全面が開口３ａ
である枠状をなしており、被測定体ＰがＸ及びＹ方向に
移動する範囲に対向する全面積が開口３ａで占められて
いる。第１傾斜ステージ３を第２傾斜ステージ４に揺動
可能に連結する手段は、第１傾斜ステージ３の両端部の
対向位置に立設部３１，３１が一体的に設けてあり、第
２傾斜ステージ４の対向位置から内方に突出して固着し
てある軸３２，３２に、両立設部３１が揺動自在に嵌合
している。一方の立設部３１の上面に、軸３２と同心の
円弧状に形成された歯部３１ａが形成してあり、第２傾
斜ステージ４に固着された第１駆動モータ３３のピニオ
ン３３ａと歯部３１ａとが噛合している。この為に第１
駆動モータ３３の駆動によるピニオン３３ａの回転が歯
部３１ａに伝達され、第１傾斜ステージ３が軸３２を揺
動中心として揺動される。
である枠状をなしており、被測定体ＰがＸ及びＹ方向に
移動する範囲に対向する全面積が開口３ａで占められて
いる。第１傾斜ステージ３を第２傾斜ステージ４に揺動
可能に連結する手段は、第１傾斜ステージ３の両端部の
対向位置に立設部３１，３１が一体的に設けてあり、第
２傾斜ステージ４の対向位置から内方に突出して固着し
てある軸３２，３２に、両立設部３１が揺動自在に嵌合
している。一方の立設部３１の上面に、軸３２と同心の
円弧状に形成された歯部３１ａが形成してあり、第２傾
斜ステージ４に固着された第１駆動モータ３３のピニオ
ン３３ａと歯部３１ａとが噛合している。この為に第１
駆動モータ３３の駆動によるピニオン３３ａの回転が歯
部３１ａに伝達され、第１傾斜ステージ３が軸３２を揺
動中心として揺動される。
【００１３】第２傾斜ステージ４は、第１傾斜ステージ
３が嵌合する大きさの開口４ａを有するほぼ口状をして
いる。第２傾斜ステージ４を保持フレーム５に揺動可能
に連結する手段は、ほぼＵ字状の保持フレーム５の立設
アーム部５ａ，５ａの対向位置から内方に突出して固着
してある軸４２，４２に、第２傾斜ステージ４が揺動自
在に嵌合している。第２傾斜ステージ４の下面に、一方
の軸４２と同心の円弧状に形成された歯部４１が形成し
てあり、保持フレーム５に固着された第２駆動モータ４
３のピニオン４３ａと歯部４１とが噛合している（図２
参照）。この為に第２駆動モータ４３の駆動によるピニ
オン４３ａの回転が歯部４１に伝達され、第２傾斜ステ
ージ４が軸４２を揺動中心として、ＸＹ平面に対し実質
的に垂直方向に揺動される。
３が嵌合する大きさの開口４ａを有するほぼ口状をして
いる。第２傾斜ステージ４を保持フレーム５に揺動可能
に連結する手段は、ほぼＵ字状の保持フレーム５の立設
アーム部５ａ，５ａの対向位置から内方に突出して固着
してある軸４２，４２に、第２傾斜ステージ４が揺動自
在に嵌合している。第２傾斜ステージ４の下面に、一方
の軸４２と同心の円弧状に形成された歯部４１が形成し
てあり、保持フレーム５に固着された第２駆動モータ４
３のピニオン４３ａと歯部４１とが噛合している（図２
参照）。この為に第２駆動モータ４３の駆動によるピニ
オン４３ａの回転が歯部４１に伝達され、第２傾斜ステ
ージ４が軸４２を揺動中心として、ＸＹ平面に対し実質
的に垂直方向に揺動される。
【００１４】第１傾斜ステージ３の揺動中心の軸３２
と、第２傾斜ステージ４の揺動中心の軸４２とは、両軸
心線の内方への延長線が同一平面で直交する位置関係に
あるので、第１傾斜ステージ３は第２傾斜ステージ４の
揺動方向に対して実質的に垂直方向に揺動する。さら
に、この交点の位置が被測定体Ｐの測定点となる。両軸
心線の内方への延長線が同一平面で直交することによっ
て、第１及び第２傾斜ステージ３，４がどの様な傾斜状
態にあっても測定点の位置は変らない。第２傾斜ステー
ジ４はこのような不変の測定点に投光素子７の光軸Ｌが
一致するように保持フレーム５に支持されている。
と、第２傾斜ステージ４の揺動中心の軸４２とは、両軸
心線の内方への延長線が同一平面で直交する位置関係に
あるので、第１傾斜ステージ３は第２傾斜ステージ４の
揺動方向に対して実質的に垂直方向に揺動する。さら
に、この交点の位置が被測定体Ｐの測定点となる。両軸
心線の内方への延長線が同一平面で直交することによっ
て、第１及び第２傾斜ステージ３，４がどの様な傾斜状
態にあっても測定点の位置は変らない。第２傾斜ステー
ジ４はこのような不変の測定点に投光素子７の光軸Ｌが
一致するように保持フレーム５に支持されている。
【００１５】保持フレーム５の中心部５ｂに中心孔５ｃ
が設けてあると共に、中心部５ｂの下端部外周に歯車５
１が固着してある。中心孔５ｃには基板６に立設する支
持軸６ａが回転自在に嵌合し、この支持軸の中心に中心
孔６ｂが設けてある。基板６に固着されたモータ５３の
ピニオン５３ａと歯車５１とが噛合している。この為に
モータ５３の駆動によるピニオン５３ａの回転が歯車５
１に伝達され、保持フレーム５が支持軸６ａを中心とし
て回転される。
が設けてあると共に、中心部５ｂの下端部外周に歯車５
１が固着してある。中心孔５ｃには基板６に立設する支
持軸６ａが回転自在に嵌合し、この支持軸の中心に中心
孔６ｂが設けてある。基板６に固着されたモータ５３の
ピニオン５３ａと歯車５１とが噛合している。この為に
モータ５３の駆動によるピニオン５３ａの回転が歯車５
１に伝達され、保持フレーム５が支持軸６ａを中心とし
て回転される。
【００１６】測定点に光を投射してその透過光の強度を
測定する測定手段１０として、図２及び図３に示すよう
に、中心孔６ｂを光軸Ｌが貫通するように、上方に投光
素子７が、また下方に受光素子８が配設してある。受光
素子８の出力は、インターフェイス部９を介してコンピ
ュータＣに供給されて当該測定点での被測定体Ｐの特性
が測定され、プリンタＰＲで測定データの打ち出しが可
能である。
測定する測定手段１０として、図２及び図３に示すよう
に、中心孔６ｂを光軸Ｌが貫通するように、上方に投光
素子７が、また下方に受光素子８が配設してある。受光
素子８の出力は、インターフェイス部９を介してコンピ
ュータＣに供給されて当該測定点での被測定体Ｐの特性
が測定され、プリンタＰＲで測定データの打ち出しが可
能である。
【００１７】そこで透過型の液晶パネルを被測定体Ｐと
し、本考案の傾斜測定装置を用いて透過光の強度を測定
する例について説明する。被測定体ＰをＸテーブル１に
取り付け、測定点が光軸Ｌと一致するまでモータ１３を
駆動してＸ軸方向にＸテーブル１を移動させると共に、
モータ２３を駆動してＹ軸方向にＹテーブル２を移動さ
せる。測定点が光軸Ｌに一致したら、図４に示すように
右手座標系Ｘ−Ｙ−Ｚで、Ｘ軸回りの回転中心となる軸
を軸４２及びＹ軸回りの回転中心となる軸を軸３２と
し、第２駆動モータ４３及び第１駆動モータ３３に所定
の回転を与える。第２駆動モータ４３の回転αによっ
て、ピニオン４３ａ及び歯部４１を介して第２傾斜ステ
ージ４を軸４２を揺動中心として傾斜させると共に、第
１駆動モータ３３の回転βによって、ピニオン３３ａ及
び歯部３１ａを介して第１傾斜ステージ３を、軸３２を
揺動中心とし、第２傾斜ステージ４の揺動方向に対して
実質的に垂直方向に揺動させる。これによって被測定体
Ｐは所望の傾斜状態となり、相対的に光軸Ｌは被測定体
Ｐに対して、入射光の入射角θの緯度θ1 及び方位角ψ
の角変位を行なうことができるので、いろいろな傾斜角
での透過光の強度の測定を行なう。
し、本考案の傾斜測定装置を用いて透過光の強度を測定
する例について説明する。被測定体ＰをＸテーブル１に
取り付け、測定点が光軸Ｌと一致するまでモータ１３を
駆動してＸ軸方向にＸテーブル１を移動させると共に、
モータ２３を駆動してＹ軸方向にＹテーブル２を移動さ
せる。測定点が光軸Ｌに一致したら、図４に示すように
右手座標系Ｘ−Ｙ−Ｚで、Ｘ軸回りの回転中心となる軸
を軸４２及びＹ軸回りの回転中心となる軸を軸３２と
し、第２駆動モータ４３及び第１駆動モータ３３に所定
の回転を与える。第２駆動モータ４３の回転αによっ
て、ピニオン４３ａ及び歯部４１を介して第２傾斜ステ
ージ４を軸４２を揺動中心として傾斜させると共に、第
１駆動モータ３３の回転βによって、ピニオン３３ａ及
び歯部３１ａを介して第１傾斜ステージ３を、軸３２を
揺動中心とし、第２傾斜ステージ４の揺動方向に対して
実質的に垂直方向に揺動させる。これによって被測定体
Ｐは所望の傾斜状態となり、相対的に光軸Ｌは被測定体
Ｐに対して、入射光の入射角θの緯度θ1 及び方位角ψ
の角変位を行なうことができるので、いろいろな傾斜角
での透過光の強度の測定を行なう。
【００１８】第２駆動モータ４３及び第１駆動モータ３
３に与えられる回転α，βは、所望の緯度θ1 及び方位
角ψを次の数式に与えることによって容易に算出でき
る。
３に与えられる回転α，βは、所望の緯度θ1 及び方位
角ψを次の数式に与えることによって容易に算出でき
る。
【００１９】 ｔａｎα＝ｔａｎθ1 ・ｓｉｎψ ｔａｎβ＝ｔａｎθ1 ・ｃｏｓψ そして本実施例では、図５に示すように、予め測定者が
所望の緯度θ1 または入射角θと所望の方位角ψとを演
算装置５４に入力すると上記の数式に基づいて角度α，
βを自動的に算出し、それに基いて制御装置５５からモ
ータ３３，３４に電気信号が送られ傾斜ステージ３，４
が傾斜して所望の入射角θおよび方位角ψが得られるよ
うな構成となっている。
所望の緯度θ1 または入射角θと所望の方位角ψとを演
算装置５４に入力すると上記の数式に基づいて角度α，
βを自動的に算出し、それに基いて制御装置５５からモ
ータ３３，３４に電気信号が送られ傾斜ステージ３，４
が傾斜して所望の入射角θおよび方位角ψが得られるよ
うな構成となっている。
【００２０】被測定体Ｐが、例えばモノトーン表示の液
晶パネルである場合には、入射光の緯度θ1 及び方位角
ψをいろいろに変えて透過光の強度を測定し、最も透過
光の強度が高い緯度θ1 を得て入射角θを、及び方位角
ψを見つけ出せばよいが、カラー表示の液晶パネルであ
る場合には、Ｒ，Ｇ，Ｂの各色のバランスが適当なバラ
ンス関係にないと色が綺麗に出ないので、各画素に対応
する多くの測定点での測定を繰り返して特性の測定を行
う。
晶パネルである場合には、入射光の緯度θ1 及び方位角
ψをいろいろに変えて透過光の強度を測定し、最も透過
光の強度が高い緯度θ1 を得て入射角θを、及び方位角
ψを見つけ出せばよいが、カラー表示の液晶パネルであ
る場合には、Ｒ，Ｇ，Ｂの各色のバランスが適当なバラ
ンス関係にないと色が綺麗に出ないので、各画素に対応
する多くの測定点での測定を繰り返して特性の測定を行
う。
【００２１】図６及び図７は他の実施例を示すもので、
第１傾斜ステージ１０３は円形を成し、円形リング状の
第２傾斜ステージ１０４内に軸受１０４ａによって回転
自在に嵌合している。第２傾斜ステージ１０４の上面に
放射状の歯形１０４ｂが設けてあり、第１傾斜ステージ
１０３の一部に立設した立設部１０３ａの上面に第１駆
動モータ１３３が固着してある。第１駆動モータ１３３
のピニオン１３３ａは歯形１０４ｂに噛合している。そ
の他の図１〜３に説明した構成と実質的に同一のものに
は同一の符号が付してある。従って第１駆動モータ１３
３の駆動によってピニオン１３３ａの回転が歯形１０４
ｂに伝達されるが、第２傾斜ステージ１０４は図１に示
したと同様に軸４２によって保持フレーム５に揺動自在
に連結してあるので、第２傾斜ステージ１０４は回転す
ることができず、相対的に第１傾斜ステージ１０３が回
転駆動される。
第１傾斜ステージ１０３は円形を成し、円形リング状の
第２傾斜ステージ１０４内に軸受１０４ａによって回転
自在に嵌合している。第２傾斜ステージ１０４の上面に
放射状の歯形１０４ｂが設けてあり、第１傾斜ステージ
１０３の一部に立設した立設部１０３ａの上面に第１駆
動モータ１３３が固着してある。第１駆動モータ１３３
のピニオン１３３ａは歯形１０４ｂに噛合している。そ
の他の図１〜３に説明した構成と実質的に同一のものに
は同一の符号が付してある。従って第１駆動モータ１３
３の駆動によってピニオン１３３ａの回転が歯形１０４
ｂに伝達されるが、第２傾斜ステージ１０４は図１に示
したと同様に軸４２によって保持フレーム５に揺動自在
に連結してあるので、第２傾斜ステージ１０４は回転す
ることができず、相対的に第１傾斜ステージ１０３が回
転駆動される。
【００２２】この実施例においては、上記と同様に測定
点が光軸Ｌに一致したら第２駆動モータ４３に所定の回
転を与える。第２駆動モータ４３の回転αによってピニ
オン４３ａ及び歯部４１を介して第２傾斜ステージ１０
４を軸４２を中心として傾斜させる。これによって被測
定体Ｐは所望の傾斜状態となり、相対的に光軸Ｌは被測
定体Ｐに対して入射光の緯度θ1 の角変位を行うことが
できる。次いで第１駆動モータ１３３に所定の回転を与
える。第１駆動モータ１３３の回転βによってピニオン
１３３ａ及び歯部１０４ｂを介して第１傾斜ステージ１
０３を軸受１０４ａの回りに、第２傾斜ステージ１０４
に対してＸＹ平面上で回転させる。これによって入射光
の方位角ψの角変位を行なうことができる。以上のよう
にこの実施例では、第１駆動モータ１３３の回転角βが
方位角ψを示し、第２駆動モータ４３の回転角αが入射
角θを示している。
点が光軸Ｌに一致したら第２駆動モータ４３に所定の回
転を与える。第２駆動モータ４３の回転αによってピニ
オン４３ａ及び歯部４１を介して第２傾斜ステージ１０
４を軸４２を中心として傾斜させる。これによって被測
定体Ｐは所望の傾斜状態となり、相対的に光軸Ｌは被測
定体Ｐに対して入射光の緯度θ1 の角変位を行うことが
できる。次いで第１駆動モータ１３３に所定の回転を与
える。第１駆動モータ１３３の回転βによってピニオン
１３３ａ及び歯部１０４ｂを介して第１傾斜ステージ１
０３を軸受１０４ａの回りに、第２傾斜ステージ１０４
に対してＸＹ平面上で回転させる。これによって入射光
の方位角ψの角変位を行なうことができる。以上のよう
にこの実施例では、第１駆動モータ１３３の回転角βが
方位角ψを示し、第２駆動モータ４３の回転角αが入射
角θを示している。
【００２３】上記実施例はいずれも光を透過させて透過
光の強度を測定するものであるが、これに限られず、光
を被測定体Ｐで反射させて反射光の強度を測定するよう
にしてもよい。この場合に、測定点は両軸３２，４２の
軸心の延長線の交点であるので、入射角θ，方位角ψの
値が変化してもこの交点は変化することはなく、光源か
らの距離を常に一定に保つことができる。
光の強度を測定するものであるが、これに限られず、光
を被測定体Ｐで反射させて反射光の強度を測定するよう
にしてもよい。この場合に、測定点は両軸３２，４２の
軸心の延長線の交点であるので、入射角θ，方位角ψの
値が変化してもこの交点は変化することはなく、光源か
らの距離を常に一定に保つことができる。
【００２４】また上記実施例では被測定体Ｐを光軸Ｌ方
向に上下に微調整する手段を図示していないが、微調整
手段を設けてもよい。
向に上下に微調整する手段を図示していないが、微調整
手段を設けてもよい。
【００２５】
【考案の効果】このように構成した本考案の傾斜測定装
置は、第１駆動モータ及び第２駆動モータの駆動によ
り、第１傾斜ステージ及び第２傾斜ステージを所望角度
に傾斜させるので、煩雑な作業を必要としないで、正確
に被測定体の測定点への入射光の入射角θ及び方位角ψ
を設定することが可能である。そして正しい測定結果が
得られることによって、液晶パネル等の品質の向上に寄
与することができる。
置は、第１駆動モータ及び第２駆動モータの駆動によ
り、第１傾斜ステージ及び第２傾斜ステージを所望角度
に傾斜させるので、煩雑な作業を必要としないで、正確
に被測定体の測定点への入射光の入射角θ及び方位角ψ
を設定することが可能である。そして正しい測定結果が
得られることによって、液晶パネル等の品質の向上に寄
与することができる。
【図１】本考案の一実施例を示す平面図
【図２】図１Ａ−Ａ線断面図
【図３】図１Ｂ−Ｂ線断面図
【図４】入射光を説明するための斜視図
【図５】本考案の制御ブロック図
【図６】本考案の他の実施例を示す平面図
【図７】図６Ｃ−Ｃ線断面図
１ Ｘテーブル ２ Ｙテーブル ３，１０３ 第１傾斜ステージ ４，１０４ 第２傾斜ステージ ５ 保持フレーム ７ 投光素子 ８ 受光素子 １０ 測定手段 ３３，１３３ 第１駆動モータ ４３ 第２駆動モータ Ｐ 被測定体Ｌ 光軸
Claims (3)
- 【請求項１】 被測定体の測定点に光を投射してその反
射光または透過光の強度を測定する投光素子及び受光素
子を含む測定手段と、 上記被測定体をＸＹ方向に移動自在に保持し、上記測定
点を所望位置に設定可能なＸＹテーブルと、 上記ＸＹテーブルを支持している第１傾斜ステージと、 上記第１傾斜ステージを変位自在に支持している第２傾
斜ステージと、 上記第１傾斜ステージを変位させる第１駆動モータと、 上記第２傾斜ステージをＸＹ平面に対し実質的に垂直方
向に揺動自在に支持しかつ上記投光素子の光軸が上記被
測定体の測定点に一致するように上記第２傾斜ステージ
を支持している保持フレームと、 上記第２傾斜ステージを揺動させる第２駆動モータとを
具備し、 上記第１駆動モータ及び上記第２駆動モータの駆動によ
り、上記第１傾斜ステージ及び上記第２傾斜ステージを
所望角度に傾斜させ、上記被測定体の測定点への入射光
の入射角θ及び方位角ψを所望角度に設定可能であるこ
とを特徴とする傾斜測定装置。 - 【請求項２】 請求項１において、上記第１傾斜ステー
ジは上記第１駆動モータの駆動により、上記第２傾斜ス
テージの揺動方向に対して実質的に垂直方向に揺動自在
であることを特徴とする傾斜測定装置。 - 【請求項３】 請求項１において、上記第１傾斜ステー
ジは上記第１駆動モータの駆動により上記第２傾斜ステ
ージに対してＸＹ平面上で回転自在であることを特徴と
する傾斜測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1991041641U JP2572120Y2 (ja) | 1991-06-04 | 1991-06-04 | 傾斜測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1991041641U JP2572120Y2 (ja) | 1991-06-04 | 1991-06-04 | 傾斜測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04134046U JPH04134046U (ja) | 1992-12-14 |
| JP2572120Y2 true JP2572120Y2 (ja) | 1998-05-20 |
Family
ID=31922361
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1991041641U Expired - Fee Related JP2572120Y2 (ja) | 1991-06-04 | 1991-06-04 | 傾斜測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2572120Y2 (ja) |
-
1991
- 1991-06-04 JP JP1991041641U patent/JP2572120Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04134046U (ja) | 1992-12-14 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |