JP2569907B2

JP2569907B2 - 流体圧サーボ弁

Info

Publication number: JP2569907B2
Application number: JP2145952A
Authority: JP
Inventors: 尚樹袴田; 順明安藤
Original assignee: Nippon Soken Inc
Current assignee: Soken Inc
Priority date: 1990-06-04
Filing date: 1990-06-04
Publication date: 1997-01-08
Anticipated expiration: 2012-01-08
Also published as: JPH0439402A

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］本発明は油空圧回路等に使用され、電気等の入力信号
によって流体圧の制御を行なうサーボ弁に関するもので
ある。

［従来の技術］第16図には従来の流体圧サーボ弁の一例を示す。図に
おいてハウジング１′下半部内には水平方向（図中矢印
方向）に直線移動自在にスプール型案内弁２′が配さ
れ、該案内弁２′は、ハウジング１′上半部内の電磁コ
イル３′により揺動量を制御されるノズルフラッパ４′
によってその両端の流体圧が変化せしめられ、流体ポー
トを切替えている。

［発明が解決しようとする課題］しかしながら、上記従来の流体圧サーボ弁を、車両等
振動の大きいものに塔載した場合、その振動方向と上記
案内弁２′の移動方向（図中矢印方向）とが一致する
と、案内弁２′が直線振動して制御不能となるおそれが
あった。

本発明はかかる課題を解決しようとするもので、直線
的な振動入力により案内弁が誤作動し、制御不能に陥る
おそれのない流体圧サーボ弁を提供することを目的とす
る。

［課題を解決するための手段］請求項１記載の構成によれば、流体圧サーボ弁は、第
10図に示す如く、少なくとも供給ポート13A、13B、コン
トロールポート15A、15Bおよびリターンポート16Aが形
成されたハウジング11の円形開口内に、欠円形の板状案
内弁２をその中心回りに回転自在に設けて、該案内弁２
に弁の回転に応じて上記各ポートを連通せしめる切替流
路25A、25B（第９図）、25C（第12図）を設け、上記案
内弁２の周方向の端面に臨ましめて、上記供給ポート13
A、13Bとオリフィス23A、23Bを介して連通する第１の圧
力室9A、9Bを設けるとともに、駆動手段３（第９図）に
よって正逆回転制御されるノズルフラッパ４を設けて、
その回転角度に応じて上記第１の圧力室9A、9Bの流体圧
を変化させて上記案内弁２を正逆回転せしめるようにな
し、かつ上記コントロールポート15A、15Bと連通し、上
記案内弁２の正逆転に伴いその回転方向と逆方向へ上記
案内弁２を駆動すべく、その流体圧が変化する第２の圧
力室9C、9Dを設けたことを特徴とするものである。

請求項２記載の構成によれば、少なくとも供給ポート
13A,13B,14A,14B、コントロールポート15A,15Bおよびリ
ターンポート16A,16Bが形成されたハウジングと、この
ハウジング内に設けられ、回転駆動によって前記ポート
13A〜16B間の連通を制御する案内弁２と、前記ハウジン
グと前記案内弁２とに囲まれ、かつ前記供給ポート13A,
13B,14A,14Bと連通されており前記供給ポート13A,13B,1
4A,14Bからの流体圧力によって前記案内弁２を回転駆動
させる圧力室5A,5B,6A,6Bと、前記リターンポート16A,1
6Bと前記圧力室5A,5B,6A,6Bの連通を制御するために、
外部信号によって駆動される駆動手段３によって所定角
度回転し、前記圧力室5A,5B,6A,6Bの圧力を制御するノ
ズルフラッパ４と、からなる流体圧制御弁において、圧
力室5A,5B,6A,6Bは回転中心に関して対をなしており、
案内弁２に設けられた連通路53,63によって各対同士が
連通している。

請求項３記載の構成によれば、請求項２の構成になる
流体圧制御弁において、駆動手段３は、回転中心に対し
左右に位置するコイル33A,33Bと、このコイル33A,33Bの
内側中空部内を回転可能なアーマチャ34と、このアーマ
チャ34の両端を対をなして回転方向から挟むとともに、
回転中心に関しても対称位置で対をなす少なくとも２対
の永久磁石32A,32B,32C,32Dと、アーマチャ34の両端を
対をなして回転方向から挟むとともに、回転中心に関し
ても対称位置で対をなす少なくとも２対の平衡スプリン
グ35A,35B,36A,36Bと、によって構成されている。

［作用］請求項１記載の流体圧サーボ弁においては、ノズルフ
ラッパ４を正逆回転せしめると、第１の圧力室9A、9B間
に圧力差が生じて案内弁２を正逆転させ、コントロール
ポート15A、15Bと供給ポート13A、13Bまたはリターンポ
ート16Aを連通させる。この時のコントロールポート15
A、15Bの圧力変化は、これと連通する第２の圧力室9C、
9Dに導かれ、案内弁２に対しその回転方向と逆方向へ作
用する圧力差を生じる。しかして、案内弁２は第１の圧
力室9A、9Bの圧力差と第２の圧力室9C、9Dの圧力差が等
しくなる位置で平衡して停止する。

かくして、コントロールポート15A,15Bに得られる流
体圧は、ノズルフラッパ４の回転角に応じた所定圧に設
定される。

かかるサーボ弁は、案内弁２が回転作動を行なうもの
であるから、直線的な振動入力により誤作動することは
ない。

請求項２記載の構成によれば、流体圧力が案内弁２に
対して常に対称的に作用するから、案内弁２に半径方向
の荷重が作用することはなく、その作動が安定する。

請求項３記載の構成によれば、アーマチャ34の回転方
向以外のバネ反力は各対同士で相殺され、回転方向のバ
ネ反力のみがアーマチャ34に働くから、アーマチャ34は
傾くことなく円滑に回動する。

［第１実施例］第２図は本発明のサーボ弁の部分断面側面図であり、
下半部は詳細を後述する案内弁２が内設された流体制御
部１、上半部内は駆動手段であるトルクモータ部３とし
てある。該トルクモータ部３は左右位置にそれぞれ前後
一対の永久磁石32A、32B、32C、32Dを有し（第３図）、
これら永久磁石32A〜32Dは磁気回路を形成するヨーク31
に固定されている。これら永久磁石32A〜32D間に円筒状
の電磁コイル33A、33Bが対向して設けてあり、該電磁コ
イル33A、33B内空間に左右方向へ延びるアーマチャ34が
挿通配設されている。該アーマチャ34は、上記流体制御
部１内に立設された棒状ノズルフラッパ４の突出頭部に
中間位置が固定されて、ノズルフラッパ４を中心に電磁
コイル33A、33B内を回転可能である。上記アーマチャ34
は一端を平衡スプリング35A、36A、他端を平衡スプリン
グ35B、36Bにより、それぞれ前後から押圧されており、
かつ平衡スプリング35Aと35B、36Aと36Bはそれぞれアー
マチャ34の回転中心に対し点対称な位置にあって、電磁
コイル33A、33Bに通電しない中立位置では、アーマチャ
34は図示の如く左右方向に一致する中立位置に保持され
ている。また平衡スプリング35A〜36B後端の調整ネジ37
によりアーマチャ34の中立位置を微調整することができ
る。

永久磁石32A〜32Dの極性は、第３図において、上記ア
ーマチャ34に対し上側の永久磁石32A、32CがＮ極、下側
の永久磁石32B、32DがＳ極となるように取り付けられて
いる。電磁コイル33A、33Bに通電すると上記アーマチャ
34の左右端にそれぞれＮ極、Ｓ極が発生し、上記永久磁
石32A〜32Dとの間に引力あるいは斥力が発生して、平衡
スプリング35A〜36Bのバネ力と釣合うまで、上記アーマ
チャ34およびこれと一体のノズルフラッパ４を反時計方
向に回転する。この時、アーマチャ34が回動しても回動
中心に対し対称な位置にある平衡スプリング35Aと35B、
36Aと36Bとが同じように変形するため、回転方向以外の
バネ反力（分力）が各対同士で相殺され、回転方向のバ
ネ反力（分力）のみがアーマチャ34に働く。このため、
アーマチャ34が回転軸を傾かせるような力が発生せず、
ノズルフラッパ４がその軸線から傾いて回転することは
ない。しかして、電磁コイル33A、33Bへの通電量を増減
するとこれに応じた角度位置にノズルフラッパ４が回転
し、その回転方向は通電方向を切替えることにより反転
する。

なお、上記構成によれば、永久磁石32A〜32Dはアーマ
チャ34に対し直接対向して設けられているから、磁束の
全てが磁力の発生に寄与する。したがって、小型の永久
磁石であっても大きなアーマチャ回転力を生じる。

第１図は流体制御部１の水平断面図であり、本図は第
２図のＩ−Ｉ線に沿う断面図である。図において、流体
制御部１は外側ハウジング11と中空円筒状の内側ハウジ
ング12、および内側ハウジング12内に配された案内弁２
よりなる。該案内弁２は外周の上下対称位置を円弧状に
切欠いた欠円形の板体で、上記内側ハウジング12内で中
心回りに回動自在となしてある。上記案内弁２の上下２
つの切欠部内にはそれぞれストッパ7A、7Bが配されて案
内弁２の回動を規制しており、該ストッパ7A、7Bと案内
弁２との間の空間は圧力室5A、5B、6A、6Bとしてある。
ここで圧力室5Aと5B、6Aと6Bは、それぞれ案内弁２の回
転中心に対し点対称位置にあり、圧力室5Aと5Bは、第４
図（第２図のIV−IV線（Ａ−Ｂ−Ｃ−Ｄ−Ｅ−Ａ）断面
図）の如く、案内弁２の上面に形成した連通路たる環状
溝53により連通している。同様に、第５図（第２図のＶ
−Ｖ線断面図）の如く、圧力室6A、6Bは案内弁２の下面
に形成した連通路たる環状溝63により連通している。

上記内側ハウジング12左右内周壁には、点対称位置に
左右各一対の供給ポート13A、13B、供給ポート14A、14
B、コントロールポート15A、15B、リターンポート16A、
16Bが開口しており、これら各ポートは外側ハウジング1
1に設けられた供給ポート、コントロールポート、リタ
ーンポート（図示せず）にそれぞれ連通し、外部への連
通が確保されている。

上記案内弁２には、上記供給ポート13A、13B、14A、1
4Bの対向位置にそれぞれ流路21A、21B、22A、22Bが形成
してあり、各流路はそれぞれオリフィス23A、23B、24
A、24Bを介して圧力室5A、5B、6A、6Bに連通している。
案内弁２には圧力室5A、5B、6A、6Bの延長上に流路51
A、51B、61A、61Bが設けてあり、それぞれノズル52A、5
2B、62A、62Bを介してリターン路となる案内弁２の中心
開口８に連通している。該中心開口８は流路81A、81Bに
よりリターンポート16A、16Bと連通している。

案内弁２の上記中心開口８には、上記ノズルフラッパ
４下半部が挿通されており、その外周より上下に扇状に
突出する翼部が形成されて案内弁２の内周壁に密接して
いる。図示の中立位置では、上記ノズルフラッパ４翼部
のエッジ部41A、41B、42A、42Bは上記ノズル52A、52B、
62A、62Bの軸線上にあり、しかして、この状態では上記
供給ポート13A〜14Bより圧力室5A〜6Bに導入された流体
は、上記ノズル52A〜62Bより中心開口８に流入し、流路
81A、81Bを経てリターンポート16A、16Bに流出する。ま
たコントロールポート15A、15Bに対向する案内弁２外周
には切替流路25A、25Bが形成されている。

なお、それぞれ点対称位置にある各一対のポート、流
路、オリフィス、ノズル等はいずれも同一形状、同一サ
イズとしてある。

上記サーボ弁の作動を以下第６〜８図で設明する。

電磁コイル33A、33Bに通電することにより（第３
図）、ノズルフラッパ４を反時計方向に角度θだけ回転
させると、第６図に示す如く、ノズルフラッパ４のエッ
ジ部41A、41Bは上記ノズル52A、52Bの開口面積を増加さ
せ、反対にエッジ部42A、42Bは上記ノズル62A、62Bの開
口面積を減少させる。この結果、圧力室5A、5Bの圧力は
減少し、圧力室6A、6Bの圧力は増加する。このため圧力
室5A、5Bと6A、6Bとの間に圧力差が生じ、この圧力差が
案内弁２を反時計方向に回転させる。この案内弁２の回
転によって上記ノズル52A、52Bの開口面積は減少し始
め、ノズル62A、62Bの開口面積は増加し始める。そして
これらノズル52A〜62Bの開口面積が等しくなると、すな
わち案内弁２が角度θだけ回転すると、圧力室5A、5Bと
6A、6Bの圧力差がなくなり、案内弁２はこの位置で静止
する（第７図）。ただし、ここでは案内弁２に作用する
流体反力等は無視する。

これにより供給ポート13A、13Bが案内弁２の切替流路
25A、25Bに対し、角度θに応じた開度を持ち、これに応
じて流体が供給ポート13A、13Bからコントロールポート
15A、15Bにそれぞれ流入する（図中矢印参照）。

次に、入力電流の方向を切替えて、ノズルフラッパ４
を時計方向に回転させると、これに追従して案内弁２も
時計方向に回転し、この回転角度に応じた流量がコント
ロールポート15A、15Bからリターンポート16A、16Bにそ
れぞれ流入する。もし入力電流を零とすれば平衡スプリ
ング35A〜36Bによりノズルフラッパ４は中立位置に戻
る。

ここで各ポート、各圧力室、各流路等はいずれも案内
弁２の回転中心に対し点対称位置にあるので流体圧力の
非対称性のために案内弁２の半径方向に荷重がかかるこ
とはない。また、４ヶ所のオリフィス23A〜24Bの径φd
o、長さlo、あるいはノズル52A〜62Bの径φdn、長さln
（第８図）に加工誤差があった場合には各圧力室への流
入量に差ができて圧力差ができるおそれがあるが、上述
したように、案内弁２上下面の溝53、63（第４図、第５
図）により案内弁の静止時には圧力室5Aと5B、6Aと6Bの
圧力は常に等しい。つまり、流体圧力の非対称性のため
に案内弁２の半径方向に荷重がかかることはなく、安定
した作動が実現できる。さらに、ハウジングを外側ハウ
ジング11と内側ハウジング12に分割しているので、径φ
Ｌの内側ハウジング12の円形開口貫通加工が可能であ
り、案内弁２外周と接する下端縁Ｋ（第２図）にＲがつ
かないので、案内弁２はひっかかりなくスムーズに回転
し、往復回動動作を滑らかに行なうことができる。

このように上記構成によれば、入力電流に比例して案
内弁が回転し、案内弁の回転角度に比例した出力流量が
得られる。しかも、案内弁は、直線振動により起振され
るおそれがなく、安定した出力が得られる。

［第２実施例］第９図には本発明のサーボ弁の他の例を示し、流体制
御部１のＸ−Ｘ線に沿う断面図を第10図に、XI−XI線に
沿う断面図を第11図に示す。トルクモータ部３の構造お
よび作用は上記第１実施例と同じである。

第10図および第11図において、外側ハウジング11の円
形空間内には先端に筒状部121を設けた略扇状の内側ハ
ウジング12が密着して配され、該内側ハウジング12はネ
ジ122とピン123とで外側ハウジング11底壁に固定されて
いる（第12図）。内側ハウジング12は、上記筒状部121
中心が外側ハウジング11の上記円形空間と同心となるよ
うに配してあり、扇状の基部より外側ハウジング11内壁
に沿って左右に延びる弧状部124A、124Bを有している。

上記筒状部121内にはノズルフラッパ４が配してあ
り、ノズルフラッパ４は略円形で上面に図示の中立点で
中央から左右方向へ傾斜するエッジ部43A、43Bを有し、
上記筒状部121内を所定角度内で回動可能となしてあ
る。

外側ハウジング11と内側ハウジング12によって形成さ
れる弧状空間には、これに沿う欠円形の案内弁２が、該
弧状空間を所定角度内で回動可能に設けてある。案内弁
２は周方向の端面を、内側ハウジング12の上記弧状部12
4A、124Bに沿う形状に切欠いてあり、案内弁２の周方向
端面と内側ハウジング12との間の空間を第１の圧力室9
A、9B、上記切欠部と上記弧状部124A、124Bとの間の空
間を第２の圧力室9C、9Dとしてある。また、弧状空間に
面する外側ハウジング11の底壁には、左右位置に一対の
供給ポート13A、13Bが開口しており、これら供給ポート
13A、13B間の中央位置にリターンポート16Aが、さらに
該リターンポート16Aと供給ポート13A、13B間にコント
ロールポート15A、15Bが開口している。上記案内弁２
は、上記供給ポート13A、13Bに対向する扇形の部分を薄
肉として、外側ハウジング11底壁との間に空隙を形成
し、それぞれ切替流路25A、25Bとしてある（第９図）。
また同様にしてリターンポート16A上方に形成した空隙
を切替流路25Cとしてある（第12図）。

また外側ハウジング11底壁に接している上記案内弁２
の両端部には、各供給ポート13A、13Bと第１の圧力室9
A、9Bとを連通する流路21A、21B、オリフィス23A、23B
がそれぞれ設けてある。上記内側ハウジング12先端の筒
状部121には、筒内と各圧力室9A、9Bとを連通するノズ
ル91A、91Bが設けてあり、供給ポート13A、13Bより第１
の圧力室9A、9Bを経て筒内に流入した流体は、上記ノズ
ルフラッパ４を貫通する流路44、筒状部121の開口125を
経てリターンポート16Aに至る。

コントロールポート15A、15Bは図示の中立位置におい
て閉鎖されている。またコントロールポート15A、15Bは
第２の圧力室9C、9Dと、外側ハウジング11に設けられた
圧力フィードバック流路17A、17B（流路全体図は略）に
よりそれぞれ連通している。

上記サーボ弁の作動を以下第13図および14図で設明す
る。

第13図において、ノズルフラッパ４を反時計方向に回
転させると（図中矢印）、ノズルフラッパ４のエッジ部
43Aと上記ノズル91Aの間の空隙は減少し、反対にエッジ
部43Bとノズル91Bの間の空隙は増大する。この結果、上
記ノズル91Aからの流体の流出量が減少し、ノズル91Bか
らの流体の流出量は増大するので、これに伴い圧力室9A
の圧力は増加し、圧力室9Bの圧力は減少する。しかし
て、ノズルフラッパ４の回転角度によって上記エッジ部
43A、43Bとノズル91A、91Bの間の空隙の大きさ、すなわ
ち圧力室9A、9Bの圧力が決まる。このため圧力室9Aと9B
との間に圧力差が生じ、案内弁２は時計方向に回転し始
める。この案内弁２の回転によって、中立位置において
閉じていたコントロールポート15A、15Bが開口し始め、
供給ポート13Aからコントロールポート15Aに、コントロ
ールポート15Bからリターンポート16Aに流体が流れ込む
（第14図）。この結果、コントロールポート15Aの圧力
は増加し、コントロールポート15Bの圧力は減少し始め
る。

一方、コントロールポート15Aの圧力増加に伴い、圧
力フィードバック用流路17Bによってコントロールポー
ト15Aと連通する圧力室9Cの圧力は増加し始め、コント
ロールポート15Bの圧力減少に伴い、圧力フィードバッ
ク用流路17Aによってコントロールポート15Bと連通する
圧力室9Dの圧力は減少し始める。そして第２の圧力室9
C、9Dの差圧が第１の圧力室9A、9Bの差圧を越えた瞬間
に案内弁２は反対方向に回転し始め、第１の圧力室9A、
9Bと第２の圧力室9C、9Dの差圧が等しくなる位置まで戻
って平衡する。ただし、ここでは案内弁２に作用する流
体反力等は無視する。

次に、入力電流の方向を切替えてノズルフラッパ４を
時計方向に回転させると、第１の圧力室9A、9Bの差圧に
より案内弁２は一旦反時計方向に回転し、供給ポート13
Bからコントロールポート15Bに、コントロールポート15
Aからリターンポート16Aにそれぞれ流入する。これに伴
いコントロールポート15Bと圧力室9Dの圧力が増加し、
コントロールポート15Aと圧力室9Cの圧力は減少する。
第２の圧力室9C、9Dの差圧が第１の圧力室9A、9Bの差圧
を越えた瞬間に案内弁２は反対方向（時計方向）に回転
し始め、第１の圧力室9A、9Bと第２の圧力室9C、9Dの差
圧が等しくなる位置で平衡する。

このように、入力電流に比例した圧力差が第１の圧力
室9A、9B間にでき、これと同じ圧力差がコントロールポ
ート15A、15B間にできるように案内弁が回転する。

第15図は上記第２実施例サーボ弁を使用した制御シス
テムの一例であり、本システムはアクチュエータ（油圧
ピストンシリンダ）500で負荷600の速度制御を行なうも
のである。上記サーボ弁のコントロールポート15A、15B
はアクチュエータ500の左右油圧室にそれぞれ連通して
おり、これら左右油圧室の圧力差によって外部負荷600
を駆動するようになしてある。供給ポート13A、13B、リ
ターンポート16Aは油圧供給源560のポンプ562およびタ
ンク561にそれぞれ連通している。

今、制御信号発生部510から速度設定信号が制御系の
入力端520に加えられると、ここで負荷600の現在速度を
検出器530にて検出し、これをフィードバック信号とし
て上記速度設定信号と比較し、誤差信号を生ずる。この
誤差信号は増幅器540により増幅されてサーボ弁550の作
動信号となり、油圧供給源560よりポンプ562によってア
クチュエータ500の左右油圧室に誤差信号に比例した油
圧を供給する。これによりアクチュエータ500が駆動さ
れ、そのピストン軸に連結された負荷600を目標速度に
到達させる。

［発明の効果］以上のように、本発明の流体圧サーボ弁は、ハウジン
グの円形開口内に欠円形の案内弁を設けてこれを回転作
動させる構成としたので、直線的な振動入力により案内
弁が誤作動し、制御不能に陥るおそれがない。従って車
両等、振動の大きなものに塔載されて安定した制御動作
を発揮することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第８図には本発明のサーボ弁の一実施例を示
し、第１図は流体制御部の水平断面図で、第２図のＩ−
Ｉ線断面図、第２図はサーボ弁の部分断面側面図、第３
図はトルクモータ部の水平断面図で、第２図のIII−III
線断面図、第４図および第５図は流体制御部の水平断面
図で、それぞれ第２図のIV−IV線およびＶ−Ｖ線断面
図、第６図および第７図はサーボ弁の作動を示す流体制
御部の水平断面図、第８図は流体制御部の水平断面図、
第９図〜第15図には本発明のサーボ弁の他の例を示し、
第９図はサーボ弁の部分断面側面図、第10図および第11
図は流体制御部の水平断面図で、それぞれ第９図のＸ−
Ｘ線およびXI−XI線断面図、第12図は第10図のXII−XII
線断面図、第13図および第14図は流体制御部の作動を示
す水平断面図、第15図は第２実施例のサーボ弁を適用し
た制御システムの一例であり、第16図は従来のサーボ弁
の全体断面図である。 11……外側ハウジング（ハウジング） 12……内側ハウジング（ハウジング） 13A、13B、14A、14B……供給ポート 15A、15B……コントロールポート 16A、16B……リターンポート２……案内弁 23A、23B、24A、24B……オリフィス 25A、25B、25C……切替流路３……トルクモータ部（駆動手段）４……ノズルフラッパ 5A、5B、6A、6B……圧力室 52A、52B、62A、62B……ノズル 53、63……環状溝（連通路） 9A、9B……第１の圧力室 9C、9D……第２の圧力室

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】少なくとも供給ポート、コントロールポー
トおよびリターンポートが形成されたハウジングの円形
開口内に、欠円形の板状案内弁をその中心回りに回転自
在に設けて、該案内弁に弁の回転に応じて上記各ポートを連通せしめ
る切替流路を設け、上記案内弁の周方向の端面に臨ましめて、上記供給ポー
トとオリフィスを介して連通する第１の圧力室を設ける
とともに、駆動手段によって正逆回転制御されるノズルフラッパを
設けて、その回転角度に応じて上記第１の圧力室の流体
圧を変化させて上記案内弁を正逆回転せしめるようにな
し、かつ上記コントロールポートと連通し、上記案内弁の正
逆転に伴いその回転方向と逆方向へ上記案内弁を駆動す
べく、その流体圧が変化する第２の圧力室を設けたこと
を特徴とする流体圧サーボ弁。
【請求項２】少なくとも供給ポート、コントロールポー
トおよびリターンポートが形成されたハウジングと、このハウジング内に設けられ、回転駆動によって前記ポ
ート間の連通を制御する案内弁と、前記ハウジングと前記案内弁とに囲まれ、かつ前記供給
ポートと連通されており、前記供給ポートからの液体圧
力によって前記案内弁を回転駆動させる圧力室と、前記リターンポートと前記圧力室の連通を制御するため
に、外部信号によって駆動される駆動手段によって所定
角度回転し、前記圧力室の圧力を制御するノズルフラッ
パと、からなる流体圧サーボ弁において、前記圧力室は回転中心に関して対をなしており、前記案
内弁に設けられた連通路によって各対同士が連通してい
ることを特徴とする流体圧サーボ弁。
【請求項３】少なくとも供給ポート、コントロールポー
トおよびリターンポートが形成されたハウジングと、このハウジング内に設けられ、回転駆動によって前記ポ
ート間の連通を制御する案内弁と、前記ハウジングと前記案内弁とに囲まれ、かつ前記供給
ポートと連通されており、前記供給ポートからの液体圧
力によって前記案内弁を回転駆動させる圧力室と、前記リターンポートと前記圧力室の連通を制御するため
に、外部信号によって駆動される駆動手段によって所定
角度回転し、前記圧力室の圧力を制御するノズルフラッ
パと、からなる流体圧サーボ弁において、前記駆動手段は、回転中心に対し左右に位置するコイル
と、このコイルの内側中空部を回転可能なアーマチャと、このアーマチャの両端を対をなして回転方向から挟むと
ともに、回転中心に関しても対称位置で対をなす少なく
とも２対の永久磁石と、アーマチャの両端を対をなして回転方向から挟むととも
に、回転中心に関しても対称位置で対をなす少なくとも
２対の平衡スプリングと、によって構成されていることを特徴とする流体圧サーボ
弁。