JP2569375Y2 - 磁気浮上スライダ - Google Patents
磁気浮上スライダInfo
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- JP2569375Y2 JP2569375Y2 JP2839892U JP2839892U JP2569375Y2 JP 2569375 Y2 JP2569375 Y2 JP 2569375Y2 JP 2839892 U JP2839892 U JP 2839892U JP 2839892 U JP2839892 U JP 2839892U JP 2569375 Y2 JP2569375 Y2 JP 2569375Y2
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- Japan
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- frame
- rail
- electromagnet
- magnetic
- metal sheet
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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- Control Of Vehicles With Linear Motors And Vehicles That Are Magnetically Levitated (AREA)
- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この考案は磁気浮上スライダに関
し、特に、半導体製造産業などのクリーンルーム内に設
けられ、レール上を磁気浮上しながら半導体ウエハなど
を搬送するような磁気浮上スライダに関する。
し、特に、半導体製造産業などのクリーンルーム内に設
けられ、レール上を磁気浮上しながら半導体ウエハなど
を搬送するような磁気浮上スライダに関する。
【０００２】
【従来の技術】磁気浮上スライダは、敷設されたレール
に対して、電磁石の磁気力により磁気浮上しながら走行
するものであり、完全非接触であるため、接触摩耗によ
るごみが発生しないという特徴がある。しかしながら、
現実的には、電磁石のコイルやプリント基板に実装され
た電子部品やバッテリなどが露出した状態でスライダ本
体に取付けられている。このため、電子部品などから有
機性のガス（炭酸ガス）が発生し、シリコンウエハの表
面で化学反応を起こし、被膜を形成してしまうことがあ
る。すなわち、シリコンと炭酸ガスが反応してシリコン
ウエハの表面にＳｉＣの被膜が形成されてしまう。この
被膜は洗浄しても容易に取除くことができない。このよ
うな有機ガスが大気中に発散されるのを防止するため
に、電磁石やプリント基板などの実装部品をフレーム内
に収納し、フレームの開放面を非磁性の金属薄板で密封
することが考えられる。
に対して、電磁石の磁気力により磁気浮上しながら走行
するものであり、完全非接触であるため、接触摩耗によ
るごみが発生しないという特徴がある。しかしながら、
現実的には、電磁石のコイルやプリント基板に実装され
た電子部品やバッテリなどが露出した状態でスライダ本
体に取付けられている。このため、電子部品などから有
機性のガス（炭酸ガス）が発生し、シリコンウエハの表
面で化学反応を起こし、被膜を形成してしまうことがあ
る。すなわち、シリコンと炭酸ガスが反応してシリコン
ウエハの表面にＳｉＣの被膜が形成されてしまう。この
被膜は洗浄しても容易に取除くことができない。このよ
うな有機ガスが大気中に発散されるのを防止するため
に、電磁石やプリント基板などの実装部品をフレーム内
に収納し、フレームの開放面を非磁性の金属薄板で密封
することが考えられる。
【０００３】
【考案が解決しようとする課題】しかしながら、電磁石
は電流が流れることにより発熱し、密封されたフレーム
内の温度が上昇し、フレーム内の圧力が上昇してフレー
ムの開放面を覆っている非磁性金属薄板が膨脹し、レー
ルと接触したり、金属薄板が変形してフレームとの間に
隙間が生じ、有機性ガスが大気中に洩れてしまうおそれ
がある。
は電流が流れることにより発熱し、密封されたフレーム
内の温度が上昇し、フレーム内の圧力が上昇してフレー
ムの開放面を覆っている非磁性金属薄板が膨脹し、レー
ルと接触したり、金属薄板が変形してフレームとの間に
隙間が生じ、有機性ガスが大気中に洩れてしまうおそれ
がある。
【０００４】それゆえに、この考案の主たる目的は、実
装部品の温度上昇に伴う内部圧力を軽減できるような磁
気浮上スライダを提供することである。
装部品の温度上昇に伴う内部圧力を軽減できるような磁
気浮上スライダを提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この考案は、敷設された
レールに対して磁気浮上しながら走行する磁気浮上スラ
イダであって、その上面が開放された箱型のフレーム
と、レールに対向するようにフレーム内に設けられ、レ
ールとのギャップを検出するギャップセンサと、レール
に対向するようにフレーム内に設けられ、フレームを磁
気浮上させるための電磁石と、フレームの開放面を覆
い、レールとギャップセンサおよび電磁石との間を仕切
る非磁性金属薄板とを備え、フレームの一部に貫通孔を
形成し、その貫通孔を非磁性金属薄板よりも十分薄い金
属薄板で蓋をし、フレーム内部の気密性を保つように構
成される。
レールに対して磁気浮上しながら走行する磁気浮上スラ
イダであって、その上面が開放された箱型のフレーム
と、レールに対向するようにフレーム内に設けられ、レ
ールとのギャップを検出するギャップセンサと、レール
に対向するようにフレーム内に設けられ、フレームを磁
気浮上させるための電磁石と、フレームの開放面を覆
い、レールとギャップセンサおよび電磁石との間を仕切
る非磁性金属薄板とを備え、フレームの一部に貫通孔を
形成し、その貫通孔を非磁性金属薄板よりも十分薄い金
属薄板で蓋をし、フレーム内部の気密性を保つように構
成される。
【０００６】
【作用】この考案にかかる磁気浮上スライダは、フレー
ム内にギャップセンサと電磁石とを収納し、フレームの
開放面を非磁性金属薄板で覆い、フレームの一部に貫通
孔を形成し、そこに非磁性金属薄板よりも十分薄い金属
薄板で蓋をし、フレーム内部の圧力が加わったとき、蓋
部分が膨脹することにより吸収し、内部の圧力が上昇す
るのを防止する。
ム内にギャップセンサと電磁石とを収納し、フレームの
開放面を非磁性金属薄板で覆い、フレームの一部に貫通
孔を形成し、そこに非磁性金属薄板よりも十分薄い金属
薄板で蓋をし、フレーム内部の圧力が加わったとき、蓋
部分が膨脹することにより吸収し、内部の圧力が上昇す
るのを防止する。
【０００７】
【実施例】図１はこの考案の一実施例の断面図であり、
図２は図１に示したフレーム１３に形成される貫通孔を
示す図である。
図２は図１に示したフレーム１３に形成される貫通孔を
示す図である。
【０００８】まず、図１を参照して、断面Ｌ字状のレー
ル取付部２２，２２が１対対向して設けられ、それぞれ
の先端部には浮上用レール２１，２１が下向きに取付け
られる。
ル取付部２２，２２が１対対向して設けられ、それぞれ
の先端部には浮上用レール２１，２１が下向きに取付け
られる。
【０００９】スライダ１は上面が開放された箱型のフレ
ーム１３を含み、フレーム１３内には浮上用レール２
１，２１のそれぞれに対向するように浮上用電磁石１
１，１１とギャップセンサ１２，１２が設けられる。フ
レーム１３内の空間１７には、図示しないが制御用の電
子回路が実装されたプリント基板やバッテリなどが収納
されている。フレーム１３の上部の開放面には、非磁性
の金属薄板１４が取付けられ、止めねじ１５によってフ
レーム１３および浮上用電磁石１１の上面に強固に固定
される。なお、フレーム１３の上部には、シリコンウエ
ハなどが載置される荷受台１６が設けられる。
ーム１３を含み、フレーム１３内には浮上用レール２
１，２１のそれぞれに対向するように浮上用電磁石１
１，１１とギャップセンサ１２，１２が設けられる。フ
レーム１３内の空間１７には、図示しないが制御用の電
子回路が実装されたプリント基板やバッテリなどが収納
されている。フレーム１３の上部の開放面には、非磁性
の金属薄板１４が取付けられ、止めねじ１５によってフ
レーム１３および浮上用電磁石１１の上面に強固に固定
される。なお、フレーム１３の上部には、シリコンウエ
ハなどが載置される荷受台１６が設けられる。
【００１０】さらに、フレーム１３の側面には、図２に
示すように、貫通孔が形成され、そこに金属製薄板３１
が押え金具３２を介して止めねじ３３によって締め付け
られて取付けられる。この金属製薄板３１はフレーム１
３の開放面を覆う非磁性金属薄板１４よりも十分薄い、
たとえば０．１〜０．２ｍｍのアルミ薄板などが用いら
れる。このように、フレーム１３の側面に貫通孔を形成
し、そこに金属製薄板３１を取付けたことによって、フ
レーム１３内の電磁石１１からの発熱により内部の圧力
が上昇しても、金属製薄板３１が外側に膨み、内部圧力
の上昇を吸収することができるので、フレーム１３の開
放面を覆う非磁性金属薄板１４が変形して、フレーム１
３との間に隙間が生じ、レール２１と接触したり内部の
ガスが外部に放出することがない。
示すように、貫通孔が形成され、そこに金属製薄板３１
が押え金具３２を介して止めねじ３３によって締め付け
られて取付けられる。この金属製薄板３１はフレーム１
３の開放面を覆う非磁性金属薄板１４よりも十分薄い、
たとえば０．１〜０．２ｍｍのアルミ薄板などが用いら
れる。このように、フレーム１３の側面に貫通孔を形成
し、そこに金属製薄板３１を取付けたことによって、フ
レーム１３内の電磁石１１からの発熱により内部の圧力
が上昇しても、金属製薄板３１が外側に膨み、内部圧力
の上昇を吸収することができるので、フレーム１３の開
放面を覆う非磁性金属薄板１４が変形して、フレーム１
３との間に隙間が生じ、レール２１と接触したり内部の
ガスが外部に放出することがない。
【００１１】
【考案の効果】以上のように、この考案によれば、ギャ
ップセンサや電磁石を収納するフレームの開放面を非磁
性金属薄板で覆うとともに、フレームの一部に貫通孔を
形成し、そこに十分薄い金属製薄板で蓋をしたことによ
って、電磁石などから発生される熱でフレーム内の圧力
が上昇しても金属製薄板が外部に膨み、内部圧力の上昇
を吸収でき、開放面を覆う非磁性金属薄板が変形した
り、内部のガスが大気中に放出されることがない。
ップセンサや電磁石を収納するフレームの開放面を非磁
性金属薄板で覆うとともに、フレームの一部に貫通孔を
形成し、そこに十分薄い金属製薄板で蓋をしたことによ
って、電磁石などから発生される熱でフレーム内の圧力
が上昇しても金属製薄板が外部に膨み、内部圧力の上昇
を吸収でき、開放面を覆う非磁性金属薄板が変形した
り、内部のガスが大気中に放出されることがない。
【図１】この考案の一実施例の縦断面図である。
【図２】図１に示したフレームに形成される貫通孔を示
す図である。
す図である。
１ スライダ １１ 電磁石 １２ ギャップセンサ １３ フレーム １４ 金属薄板 １５ 止めねじ １６ 荷受台 ２１ 浮上用レール ２２ レール取付部 ３１ 金属製薄板 ３２ 押え金具 ３３ 止めねじ
Claims (1)
- 【請求項１】 敷設されたレールに対して磁気浮上しな
がら走行する磁気浮上スライダにおいて、 その上面が開放された箱型のフレームと、 前記レールに対向するように前記フレーム内に設けら
れ、前記レールとのギャップを検出するギャップセンサ
と、 前記レールに対向するように前記フレーム内に設けら
れ、前記フレームを磁気浮上させるための電磁石と、 前記フレームの開放面を覆い、前記レールと前記ギャッ
プセンサおよび前記電磁石との間を仕切る非磁性金属薄
板とを備え、 前記フレームの一部に貫通孔を形成し、該貫通孔を前記
非磁性金属薄板よりも十分薄い金属製薄板で蓋をし、前
記フレーム内部の気密性を保つようにしたことを特徴と
する、磁気浮上スライダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2839892U JP2569375Y2 (ja) | 1992-04-28 | 1992-04-28 | 磁気浮上スライダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2839892U JP2569375Y2 (ja) | 1992-04-28 | 1992-04-28 | 磁気浮上スライダ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0586932U JPH0586932U (ja) | 1993-11-22 |
| JP2569375Y2 true JP2569375Y2 (ja) | 1998-04-22 |
Family
ID=12247563
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2839892U Expired - Fee Related JP2569375Y2 (ja) | 1992-04-28 | 1992-04-28 | 磁気浮上スライダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2569375Y2 (ja) |
-
1992
- 1992-04-28 JP JP2839892U patent/JP2569375Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0586932U (ja) | 1993-11-22 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19971209 |
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| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |