JP2548525Y2

JP2548525Y2 - 薄膜製造装置

Info

Publication number: JP2548525Y2
Application number: JP7574591U
Authority: JP
Inventors: 登伊藤
Original assignee: 大井電気株式会社
Priority date: 1991-08-26
Filing date: 1991-08-26
Publication date: 1997-09-24
Anticipated expiration: 2006-08-26
Also published as: JPH0518670U

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本考案は、例えば有機薄膜等のＬ
Ｂ（ラングミュアー・ブロジェット）膜を製造する際に
用いられる薄膜製造装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来より有機薄膜は、例えば非線形光学
分野における導波路（光ＩＣ等）や電子工学分野におけ
る絶縁薄膜等への応用が期待されており、その製造装置
としては例えば図２に示すような、一般にムービングウ
ォールと呼ばれる方式の装置が用いられている。

【０００３】図２は従来の薄膜製造装置の概略構成を示
す平面図で、図２中１は純水２が貯留された水槽であ
り、該水槽１内には、図示しない上下動装置に保持され
た基板３が上下動可能に配設されて、純水２に対して出
没可能となっている。前記水槽１内の純水２上には、前
記基板３の前面３ａに対向して可動バリア４が配設され
ており、前記基板３の両側で且つ該基板３の後面３ｂ側
となる水槽１の一周縁には第１ガイドローラ５，５が配
設されている。前記第１ガイドローラ５は図３（ａ），
（ｂ）に示すように、上下方向に挿通された軸Ｊの回り
に回動するもので、上下端にフランジ５ａ，５ａを有す
る円柱状を呈しており、上下のフランジ５ａ，５ａ間の
周面５ｂに、上下方向に所定の幅を有する第１（第２）
サイドバリア６ａ（６ｂ）が巻回されるようになってい
る。また、図２に示すように、前記可動バリア４の一端
４ａには、前記基板３の一端３ｃを通って一方の第１ガ
イドローラ５に巻回される、第１サイドバリア６ａの一
端が取着されており、前記可動バリア４の他端４ｂに
は、前記基板３の他端３ｄを通って他方の第１ガイドロ
ーラ５に巻回された後に前記一方の第１ガイドローラ５
に巻回される、第２サイドバリア６ｂの一端が取着され
ている。また、前記第１及び第２サイドバリア６ａ，６
ｂの他端は接続片７に取着されており、該接続片７には
ひも８の一端が取着されている。

【０００４】一方、図２に示すように、前記第１ガイド
ローラ５，５の配設側とは反対側の前記水槽１の一周縁
には第２及び第３ガイドローラ９，１０が配設されてお
り、前記ひも８は、前記第２及び第３ガイドローラ９，
１０に巻回されている。そして、前記ひも８の他端は前
記可動バリア４の長手方向略中央部の側面に取着されて
いる。尚、図２に示すように、前記第３ガイドローラ１
０は、近接する前記水槽１の短辺に対してスプリングＳ
を介して取りつけられており、前記第２及び第３ガイド
ローラ９，１０にガイドされたひも８は、スプリングＳ
の弾性力により常時緊張された状態となっている。また
前記第２ガイドローラ９には図示しないモータが接続さ
れており、このモータが駆動することにより第２ガイド
ローラ９が回転し、これに伴って前記ひも８、可動バリ
ア４、接続片７及び第１及び第２サイドバリア６ａ，６
ｂの各々が、前記第１及び第２サイドバリア６ａ，６ｂ
の長手方向に移動するようになっている。即ち、前記図
示しないモータ、第２及び第３ガイドローラ９，１０、
接続片７、及びひも８によって、前記第１及び第２サイ
ドバリア６ａ，６ｂを移動させる駆動手段を構成してい
る。

【０００５】そして、上述した従来の薄膜製造装置によ
って有機薄膜を製造する際には、前記第１及び第２サイ
ドバリア６ａ，６ｂと、可動バリア４の基板３側の面４
ｃと、基板３の前面３ａとで形成される領域内の純水２
上に、例えばポリジアセチレン４ＢＣＭＵ等の有機材料
の薄膜（図示せず）を形成し、次にこの状態で前記第３
ガイドローラ９を回転させて前記可動バリア４を終局的
に前記基板３に近接する方向に移動させると共に、これ
に連動させて前記基板３を純水２に対して上下させる。
すると、前記純水２上の図示しない薄膜が前記可動バリ
ア４の基板３側の面４ｃによって該基板３側に付勢さ
れ、また、基板３の純水２に対する出没動作に伴って前
記図示しない薄膜が順次基板３の前面３ａ上に付着し、
これらの動作によって前記基板３の前面３ａ上に有機薄
膜が形成される。

【０００６】

【考案が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たようなムービングウォール方式の薄膜製造装置では、
前記純水２上の薄膜の表面張力が前記第１及び第２サイ
ドバリア６ａ，６ｂの各々内側の面に作用し、各第１及
び第２サイドバリア６ａ，６ｂの外側の面に作用する純
水２の表面張力とのバランスが崩れるので、該第１及び
第２サイドバリア６ａ，６ｂが捩れて傾いてしまい、場
合によっては、第１及び第２サイドバリア６ａ，６ｂ
と、可動バリア４の基板３側の面４ｃと、基板３の前面
３ａとで画成される領域内の前記薄膜が、該領域から外
に流出してしまうおそれがあった。

【０００７】そして、このように、前記第１及び第２サ
イドバリア６ａ，６ｂの外側に薄膜が流出すると、前記
領域内における薄膜の膜圧が下がり、所望の膜圧を維持
することや薄膜の異方性及び密度を所望の状態に維持す
ることが困難になる。本考案は上記問題点に鑑みてなさ
れたものであり、サイドバリアの傾倒を防止して薄膜の
膜圧や該薄膜内の異方性及び密度を所望の状態に維持す
ることができる薄膜製造装置を提供することを目的とす
る。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本考案は、貯留水が貯留された水槽と、前記水槽内に
上下動可能に配設された基板と、薄膜を形成すべき前記
基板の前面に対向して配設された可動バリアと、前記基
板の後面側に配設されたガイドローラと、前記可動バリ
アの両端に取着され、前記基板の両端を通って前記ガイ
ドローラに巻回される、上下方向に所定の幅を有するテ
ープ状のサイドバリアと、前記サイドバリアを移動させ
る駆動手段とを有する薄膜製造装置であって、前記貯留
水の水面上方の所定位置に配設され、前記サイドバリア
に摺接して該サイドバリアの傾倒を阻止するガイド部材
を備えたことを特徴とする。

【０００９】

【実施例】以下、本考案の実施例について図面に基づい
て説明する。図１は本考案の一実施例による薄膜製造装
置の概略構成を示すもので、図１（ａ）はその平面図、
図１（ｂ）は図１（ａ）のＢ−Ｂ線拡大矢視図、図１
（ｃ）は図１（ｂ）のガイド部材の部分をさらに詳細に
示す説明図であり、図１（ａ），（ｂ），（ｃ）中に示
す要素で図２に示した要素と同様のものには図２で付し
たものと同一の引用符号を付してその説明を省略する。
そして、図１（ａ）において１１は、前記水槽１内の純
水２の水面上方に臨んで位置し、前記第１及び第２サイ
ドバリア６ａ，６ｂの各々内側の面に摺接するガイド部
材である。

【００１０】前記第１サイドバリア６ａに摺接するガイ
ド部材１１は図１（ｂ）にあるように、前記水槽１の側
縁１ａに立設された略Ｌ字状の支持部材１２の先端１２
ａに取着されており、前記ガイド部材１１は図１（ｃ）
にあるように、前記支持部材１２の先端１２ａに対し
て、該先端１２ａの軸方向の回り（図１（ｃ）中矢印Ｔ
方向）に揺動可能であるように取着されていて、図示し
ないコイルスプリング等の付勢手段により、常時前記純
水２の水面方向を指向するように付勢されている。

【００１１】尚、前記ガイド部材１１及び支持部材１２
は、前記図示しない薄膜の付着を防止するために、例え
ばフッ化樹脂による表面処理を施した部材やステンレス
等によって形成されており、また、前記支持部材１２
は、前記水槽１に貯留された純水２の嵩に合わせてガイ
ド部材１１の高さを調節できるように、前記水槽１の両
側縁１ａにねじ込む等して立設されている。そして、図
１（ｂ）には第１サイドバリア６ａに摺接するガイド部
材１１の水槽１への取付状態のみが示してあるが、前記
第２サイドバリア６ｂに摺接するガイド部材１１の水槽
１への取付についても同様である。

【００１２】このような構成による本実施例の薄膜製造
装置では、前記ガイド部材１１，１１が前記第１及び第
２サイドバリア６ａ，６ｂの各々内側の面に摺接してい
るため、該第１及び第２サイドバリア６ａ，６ｂの内外
各面に作用する表面張力のバランスが釣り合わなくて
も、前記第１及び第２サイドバリア６ａ，６ｂが捩れて
内側に傾くことが防止される。そして、前記ガイド部材
１１，１１が支持部材１２，１２の先端１２ａ，１２ａ
に揺動可能に取着されているので、前記第１及び第２サ
イドバリア６ａ，６ｂの移動に伴って、前記可動バリア
４が基板３に近接する方向に移動して前記ガイド部材１
１，１１に接触しても、該ガイド部材１１，１１が可動
バリア４の移動方向に沿った方向に揺動し、可動バリア
４の移動の妨げとなることがない。また、前記ガイド部
材１１，１１は、水槽１に貯留された純水２に直接接触
しないので純水２上の薄膜を破壊することがない。

【００１３】尚、本実施例では、前記ガイド部材１１を
第１及び第２サイドバリア６ａ，６ｂの各々内側の面に
摺接するように配設したが、該第１及び第２サイドバリ
ア６ａ，６ｂの各々外側の面に、或はそれらの内外両面
に摺接するように配設してもよい。

【００１４】

【考案の効果】上述したように本考案の薄膜製造装置に
よれば、貯留水が貯留された水槽と、前記水槽内に上下
動可能に配設された基板と、薄膜を形成すべき前記基板
の前面に対向して配設された可動バリアと、前記基板の
後面側に配設されたガイドローラと、前記可動バリアの
両端に取着され、前記基板の両端を通って前記ガイドロ
ーラに巻回される、上下方向に所定の幅を有するテープ
状のサイドバリアと、前記サイドバリアを移動させる駆
動手段とを有する薄膜製造装置であって、前記貯留水の
水面上方の所定位置に配設され、前記サイドバリアに摺
接して該サイドバリアの傾倒を阻止するガイド部材を備
える構成としたので、サイドバリアの傾倒を防止して薄
膜の膜圧や該薄膜内の異方性及び密度を所望の状態に維
持することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例による薄膜製造装置の概略構
成を示すもので、図１（ａ）はその平面図、図１（ｂ）
は図１（ａ）のＢ−Ｂ線拡大矢視図、図１（ｃ）は図１
（ｂ）のガイド部材の部分をさに詳細に示す説明図であ
る。

【図２】従来の薄膜製造装置の概略構成を示す平面図で
ある。

【図３】図２に示す第１ガイドローラの形状、構成を示
すもので、図３（ａ）はその平面図、図３（ｂ）は図３
（ａ）のＡ−Ａ線矢視図である。

【符号の説明】

１水槽２純水（貯留水）３基板３ａ基板前面３ｂ基板後面３ｃ，３ｄ基板端部４可動バリア４ａ，４ｂ可動バリア端部６ａ，６ｂ第１，第２サイドバリア（サイドバリア）７接続片（駆動手段）８ひも（駆動手段）９，１０第２，第３ガイドローラ（駆動手段）１１ガイド部材

Claims

(57)【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】貯留水が貯留された水槽と、前記水槽内に上下動可能に配設された基板と、薄膜を形成すべき前記基板の前面に対向して配設された
可動バリアと、前記基板の後面側に配設されたガイドローラと、前記可動バリアの両端に取着され、前記基板の両端を通
って前記ガイドローラに巻回される、上下方向に所定の
幅を有するテープ状のサイドバリアと、前記サイドバリアを移動させる駆動手段と、を有する薄膜製造装置であって、前記貯留水の水面上方の所定位置に配設され、前記サイ
ドバリアに摺接して該サイドバリアの傾倒を阻止するガ
イド部材を備えた、ことを特徴とする薄膜製造装置。
【請求項２】前記ガイド部材は、前記サイドバリアの
移動方向に沿って揺動可能であることを特徴とする請求
項１記載の薄膜製造装置。