JP2541837B2 - セラミックスと金属との接合体の製造方法 - Google Patents
セラミックスと金属との接合体の製造方法Info
- Publication number
- JP2541837B2 JP2541837B2 JP63047910A JP4791088A JP2541837B2 JP 2541837 B2 JP2541837 B2 JP 2541837B2 JP 63047910 A JP63047910 A JP 63047910A JP 4791088 A JP4791088 A JP 4791088A JP 2541837 B2 JP2541837 B2 JP 2541837B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ceramics
- metal
- brazing material
- active
- alumina
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B37/00—Joining burned ceramic articles with other burned ceramic articles or other articles by heating
- C04B37/02—Joining burned ceramic articles with other burned ceramic articles or other articles by heating with metallic articles
- C04B37/023—Joining burned ceramic articles with other burned ceramic articles or other articles by heating with metallic articles characterised by the interlayer used
- C04B37/026—Joining burned ceramic articles with other burned ceramic articles or other articles by heating with metallic articles characterised by the interlayer used consisting of metals or metal salts
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2237/00—Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
- C04B2237/02—Aspects relating to interlayers, e.g. used to join ceramic articles with other articles by heating
- C04B2237/12—Metallic interlayers
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2237/00—Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
- C04B2237/02—Aspects relating to interlayers, e.g. used to join ceramic articles with other articles by heating
- C04B2237/12—Metallic interlayers
- C04B2237/122—Metallic interlayers based on refractory metals
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2237/00—Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
- C04B2237/02—Aspects relating to interlayers, e.g. used to join ceramic articles with other articles by heating
- C04B2237/12—Metallic interlayers
- C04B2237/125—Metallic interlayers based on noble metals, e.g. silver
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2237/00—Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
- C04B2237/02—Aspects relating to interlayers, e.g. used to join ceramic articles with other articles by heating
- C04B2237/12—Metallic interlayers
- C04B2237/126—Metallic interlayers wherein the active component for bonding is not the largest fraction of the interlayer
- C04B2237/127—The active component for bonding being a refractory metal
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2237/00—Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
- C04B2237/30—Composition of layers of ceramic laminates or of ceramic or metallic articles to be joined by heating, e.g. Si substrates
- C04B2237/32—Ceramic
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2237/00—Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
- C04B2237/50—Processing aspects relating to ceramic laminates or to the joining of ceramic articles with other articles by heating
- C04B2237/72—Forming laminates or joined articles comprising at least two interlayers directly next to each other
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Ceramic Products (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、ろう材を用いて接合を行なうセラミックス
と金属との接合体の製造方法に関する。
と金属との接合体の製造方法に関する。
［従来の技術］ 従来より、アルミナやジルコニア等の酸化物系セラミ
ックスと金属との接合方法としては、高融点金属法が行
われていた。この高融点金属法は、Mo−Mnを有機バイン
ダに含ませたペーストを、セラミックスの表面に塗布
し、水素雰囲気中で焼成してメタライズ層を設け、更に
その表面にNiメッキを行った後にシンター処理し、Agろ
う材を用いてセラミックスと金属との接合を行うもので
ある。
ックスと金属との接合方法としては、高融点金属法が行
われていた。この高融点金属法は、Mo−Mnを有機バイン
ダに含ませたペーストを、セラミックスの表面に塗布
し、水素雰囲気中で焼成してメタライズ層を設け、更に
その表面にNiメッキを行った後にシンター処理し、Agろ
う材を用いてセラミックスと金属との接合を行うもので
ある。
また、窒化珪素や炭化珪素等の比酸化物系セラミック
スと金属の接合方法としては、活性金属法が行われてい
た。この活性金属法は、Tiなどの活性金属を含む活性ろ
う材を用いてセラミックスと金属の接合を行うものであ
る。
スと金属の接合方法としては、活性金属法が行われてい
た。この活性金属法は、Tiなどの活性金属を含む活性ろ
う材を用いてセラミックスと金属の接合を行うものであ
る。
［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、前者の高融点金属法を、酸化物系セラ
ミックス、特に高純度のアルミナセラミックスやジルコ
ニアセラミックスと金属との接合に適用した場合には、
十分な接合強度は得られるが、多くの接合作業の工程が
必要であり、更に、焼成時の雰囲気及び温度の管理を厳
密に行う必要があり、その操作が複雑であるという問題
点があった。
ミックス、特に高純度のアルミナセラミックスやジルコ
ニアセラミックスと金属との接合に適用した場合には、
十分な接合強度は得られるが、多くの接合作業の工程が
必要であり、更に、焼成時の雰囲気及び温度の管理を厳
密に行う必要があり、その操作が複雑であるという問題
点があった。
一方、後者の活性金属法は、接合工程が少なく簡単な
方法であるが、酸化物系セラミックスと金属との接合に
適用した場合には、セラミックス、特に高純度のアルミ
ナセラミックスやジルコニアセラミックスとろう材との
濡れ性が不十分で信頼性の高い接合が得られないという
問題点があった。
方法であるが、酸化物系セラミックスと金属との接合に
適用した場合には、セラミックス、特に高純度のアルミ
ナセラミックスやジルコニアセラミックスとろう材との
濡れ性が不十分で信頼性の高い接合が得られないという
問題点があった。
本発明は、セラミックス、特に酸化物系セラミックス
である高純度のアルミナセラミックスやジルコニアセラ
ミックスと金属との接合の作業が容易で、かつ信頼性の
高い接合が得られるセラミックスと金属との接合体の製
造方法を提供することを目的とする。
である高純度のアルミナセラミックスやジルコニアセラ
ミックスと金属との接合の作業が容易で、かつ信頼性の
高い接合が得られるセラミックスと金属との接合体の製
造方法を提供することを目的とする。
［課題を解決するための手段］ かかる問題点を解決するための本発明の構成は、 セラミックスと金属との接合体の製造方法において、
セラミックスの表面にMn,Cr又はTiのうち１種又は２種
以上の金属，或はそれらの合金を蒸着させた後に、酸素
を含んだ雰囲気にて加熱し、その後、Ag−Cu−Ti系の活
性ろう材を用いて、セラミックスと金属とを接合するこ
とを特徴とするセラミックスと金属との接合体の製造方
法を要旨とする。
セラミックスの表面にMn,Cr又はTiのうち１種又は２種
以上の金属，或はそれらの合金を蒸着させた後に、酸素
を含んだ雰囲気にて加熱し、その後、Ag−Cu−Ti系の活
性ろう材を用いて、セラミックスと金属とを接合するこ
とを特徴とするセラミックスと金属との接合体の製造方
法を要旨とする。
ここで、セラミックスとは、酸化物系セラミックスや
非酸化物系セラミックスであり、酸化物系セラミックス
とは、例えばアルミナセラミックス，ジルコニアセラミ
ックス，チタニアセラミックス等である。また、非酸化
物系セラミックススとは、例えば窒化珪素，サイアロ
ン，炭化珪素等である。
非酸化物系セラミックスであり、酸化物系セラミックス
とは、例えばアルミナセラミックス，ジルコニアセラミ
ックス，チタニアセラミックス等である。また、非酸化
物系セラミックススとは、例えば窒化珪素，サイアロ
ン，炭化珪素等である。
また、金属とは、例えばニッケル，銅，炭素鋼などの
鉄等の通常の金属である。更に、接合に用いるろう材と
しては、Ag−Cu−Ti系の活性ろう材を使用するが、その
成分比として、Ag:Cu:Ti＝25〜98:20〜40:0.1〜５の範
囲を用いることができる。このうち、Ag:Cu:Ti＝64〜7
2:25〜30:1.5〜３の範囲の活性ろう材が、溶融温度,Ti
による濡れ性，及びAgやCuと接合する金属とのろう付性
の上からも好適である。
鉄等の通常の金属である。更に、接合に用いるろう材と
しては、Ag−Cu−Ti系の活性ろう材を使用するが、その
成分比として、Ag:Cu:Ti＝25〜98:20〜40:0.1〜５の範
囲を用いることができる。このうち、Ag:Cu:Ti＝64〜7
2:25〜30:1.5〜３の範囲の活性ろう材が、溶融温度,Ti
による濡れ性，及びAgやCuと接合する金属とのろう付性
の上からも好適である。
［作用］ 本発明のセラミックスと金属との接合体の製造方法で
は、セラミックスの表面にMn,Cr又はTi,或はそれらを含
有する合金を蒸着させることにより、セラミックスの表
面としっかり結び付いたMn,Cr又はTi,或はそれらを含有
する合金の薄い被膜を容易に形成することができる。次
に、上記蒸着によって形成した被膜を、例えば空気等の
酸素を含んだ雰囲気にて加熱するので、蒸着した金属
（Mn,Cr又はTi）が酸化する。この金属の酸化物は、活
性ろう材中の活性金属であるTiと結合しやすいので、ろ
う材の濡れ性が向上する。従って、その後、Ag−Cu−Ti
系の活性ろう材をセラミックスと金属との間に置いて加
熱し、活性ろう材を溶融して接合する際に、通常のろう
材として接合力に加えて、上記濡れ性の向上という点
で、セラミックスと金属との接合をより強固にする。
は、セラミックスの表面にMn,Cr又はTi,或はそれらを含
有する合金を蒸着させることにより、セラミックスの表
面としっかり結び付いたMn,Cr又はTi,或はそれらを含有
する合金の薄い被膜を容易に形成することができる。次
に、上記蒸着によって形成した被膜を、例えば空気等の
酸素を含んだ雰囲気にて加熱するので、蒸着した金属
（Mn,Cr又はTi）が酸化する。この金属の酸化物は、活
性ろう材中の活性金属であるTiと結合しやすいので、ろ
う材の濡れ性が向上する。従って、その後、Ag−Cu−Ti
系の活性ろう材をセラミックスと金属との間に置いて加
熱し、活性ろう材を溶融して接合する際に、通常のろう
材として接合力に加えて、上記濡れ性の向上という点
で、セラミックスと金属との接合をより強固にする。
［実施例］ 以下本発明の一実施例を図面に従って説明する。
第１図は本実施例のセラミックスと金属との接合体の
製造方法の工程を示し、第２図は接合によって形成され
たセラミックスと金属との接合体１の断面を示してい
る。
製造方法の工程を示し、第２図は接合によって形成され
たセラミックスと金属との接合体１の断面を示してい
る。
第２図に示す様に、この接合体１は図の下から、アル
ミナ部材2,Mn層3,活性ろう材4,ニッケル板5,第１のろう
材6,タングステン板7,第２のろう材8,ニッケル棒９の順
で積層されている。
ミナ部材2,Mn層3,活性ろう材4,ニッケル板5,第１のろう
材6,タングステン板7,第２のろう材8,ニッケル棒９の順
で積層されている。
次に、これらの部材及びその接合体の製造方法につい
て詳細に説明する。尚、本実施例のアルミナ部材２が上
記セラミックスに該当し、ニッケル棒９が上記金属に該
当するものであり、このアルミナ部材２とニッケル棒９
とを強固に接合するセラミックスと金属との接合体の製
造方法である。
て詳細に説明する。尚、本実施例のアルミナ部材２が上
記セラミックスに該当し、ニッケル棒９が上記金属に該
当するものであり、このアルミナ部材２とニッケル棒９
とを強固に接合するセラミックスと金属との接合体の製
造方法である。
まず、アルミナ部材２として、高純度のアルミナセラ
ミックス（純度99.9％）の円柱状の部材用い、10-4Torr
以下の真空中で図示しないMnの粉末又は板を、1500℃〜
200℃で１分〜２分間加熱する。この加熱によって、ア
ルミナ部材２の表面にMnを蒸着させて、厚さ約１μｍ以
下の薄いMn層３を形成する（蒸着工程…Ｉ）。
ミックス（純度99.9％）の円柱状の部材用い、10-4Torr
以下の真空中で図示しないMnの粉末又は板を、1500℃〜
200℃で１分〜２分間加熱する。この加熱によって、ア
ルミナ部材２の表面にMnを蒸着させて、厚さ約１μｍ以
下の薄いMn層３を形成する（蒸着工程…Ｉ）。
次に、Mnを蒸着したアルミナ部材２を、空気中で1650
℃に保って15分間加熱し、酸化反応拡散処理を行う。こ
の酸化反応拡散処理は、Mnを酸化させることにより、活
性ろう材４との濡れ性を向上させるための処理である
（酸化反応拡散工程…II）。
℃に保って15分間加熱し、酸化反応拡散処理を行う。こ
の酸化反応拡散処理は、Mnを酸化させることにより、活
性ろう材４との濡れ性を向上させるための処理である
（酸化反応拡散工程…II）。
次に、Mn層３の表面に厚さ0.1mmの活性ろう材４を置
く。この活性ろう材４は、Ag,Ti,Cuの重量比がAg:Ti:Cu
＝71:27:2のAg−Ti−Cu系の活性ろう材４である。更
に、この活性ろう材４の上に、上述したように、順次、
各部材を積層する。即ち、活性ろう材４と直接に接する
厚さ0.8〜1.2mmのニッケル板5,厚さ0.1mmの第１のAg−C
u系のろう材（JIS規格BAg8）6,厚さ2mmのタングステン
板7,厚さ0.1mmの第２のAg−Cu系のろう材（JIS規格BAg
8）8,ニッケル棒９の順で積層する。ここで、上記ニッ
ケル板６とタングステン板８は、接合するアルミナ部材
２とニッケル棒９との間の熱膨張差による残留応力の緩
和のために用いられるものである。また、第１及び第２
のAg−Cu系のろう材6,8は、ニッケル板５とタングステ
ン板7,タングステン板７とニッケル棒９等の金属同志を
接合するために用いられるろう材である（積層工程…II
I）。
く。この活性ろう材４は、Ag,Ti,Cuの重量比がAg:Ti:Cu
＝71:27:2のAg−Ti−Cu系の活性ろう材４である。更
に、この活性ろう材４の上に、上述したように、順次、
各部材を積層する。即ち、活性ろう材４と直接に接する
厚さ0.8〜1.2mmのニッケル板5,厚さ0.1mmの第１のAg−C
u系のろう材（JIS規格BAg8）6,厚さ2mmのタングステン
板7,厚さ0.1mmの第２のAg−Cu系のろう材（JIS規格BAg
8）8,ニッケル棒９の順で積層する。ここで、上記ニッ
ケル板６とタングステン板８は、接合するアルミナ部材
２とニッケル棒９との間の熱膨張差による残留応力の緩
和のために用いられるものである。また、第１及び第２
のAg−Cu系のろう材6,8は、ニッケル板５とタングステ
ン板7,タングステン板７とニッケル棒９等の金属同志を
接合するために用いられるろう材である（積層工程…II
I）。
そしてこの積層して固定した状態で、10-5Torrの真空
中で850℃に保って約30分間加熱することにより、Ag−C
u−Ti系の活性ろう材４と第１及び第２のAg−Cu系のろ
う材7,9を溶融させて、アルミナ部材２とニッケル棒３
とのろう付を行う。
中で850℃に保って約30分間加熱することにより、Ag−C
u−Ti系の活性ろう材４と第１及び第２のAg−Cu系のろ
う材7,9を溶融させて、アルミナ部材２とニッケル棒３
とのろう付を行う。
即ち、この加熱によって、上記酸化反応拡散処理によ
って酸化されたMn層５の表面で、Ag−Ti−Cu系の活性ろ
う材４を溶融させることにより、酸化活性を有するTiと
酸化マンガンの酸素が結び付いて、活性ろう材４がなじ
みやすくなり、ろう付の際の濡れ性が向上する。それに
よって、アルミナ部材２とニッケル板６が強固に接合す
る。また、活性ろう材４が溶融するとともに、第１及び
第２のろう材7,9も溶融し、ニッケル板6,タングステン
板8,及びニッケル棒３を接合する。その結果、高純度の
セラミックスであるアルミナ部材２と金属であるニッケ
ル棒３とを強固に接合することができる。（加熱工程…
IV） 次に、この様にして接合したアルミナ部材２と、ニッ
ケル棒３との接合の強度を確認するために行った実験例
について説明する。
って酸化されたMn層５の表面で、Ag−Ti−Cu系の活性ろ
う材４を溶融させることにより、酸化活性を有するTiと
酸化マンガンの酸素が結び付いて、活性ろう材４がなじ
みやすくなり、ろう付の際の濡れ性が向上する。それに
よって、アルミナ部材２とニッケル板６が強固に接合す
る。また、活性ろう材４が溶融するとともに、第１及び
第２のろう材7,9も溶融し、ニッケル板6,タングステン
板8,及びニッケル棒３を接合する。その結果、高純度の
セラミックスであるアルミナ部材２と金属であるニッケ
ル棒３とを強固に接合することができる。（加熱工程…
IV） 次に、この様にして接合したアルミナ部材２と、ニッ
ケル棒３との接合の強度を確認するために行った実験例
について説明する。
（実験例） まず、この実施例のアルミナ部材２とニッケル棒３と
の接合体１を、直径10mmの円柱状に成形する。そしてこ
の接合体１について、下方から２点で支え、上方から２
点で押圧する周知の４点まげ試験を行った。その試験の
実験条件は、クロスヘッドスピード0.5mm/分，上部スパ
ン18mm,下部スパン40mmとし、大気中でかつ室温で実験
を行った。この実験結果を表に示す。尚、実験例１〜４
は実施例のニッケル板５の厚さを変えたものであり、比
較例は、Mn蒸着を行わずに接合したものである。
の接合体１を、直径10mmの円柱状に成形する。そしてこ
の接合体１について、下方から２点で支え、上方から２
点で押圧する周知の４点まげ試験を行った。その試験の
実験条件は、クロスヘッドスピード0.5mm/分，上部スパ
ン18mm,下部スパン40mmとし、大気中でかつ室温で実験
を行った。この実験結果を表に示す。尚、実験例１〜４
は実施例のニッケル板５の厚さを変えたものであり、比
較例は、Mn蒸着を行わずに接合したものである。
この表から明らかなように、Mn蒸着を行った後に、活
性ろう材４で接合した実験例No.1〜No.4の接合体１は、
破断強度が21.3kg/mm2以上と大きく、その破断も接合部
分ではなくセラミックスであるアルミナ部材２で生じて
いる。即ち、本実施例では十分大きな接合強度が得られ
る。尚、接合の際に用いるニッケル板５の厚さが0.9mm
〜1.2mmの範囲であれば、破断強度が23.4kg/mm2以上と
一層好適である。一方、Mn蒸着を行わずに活性ろう材４
で接合した比較例は、破断強度も18.8kg/mm2と小さく、
破断も接合面で生じてしまい十分な強度が得られない。
性ろう材４で接合した実験例No.1〜No.4の接合体１は、
破断強度が21.3kg/mm2以上と大きく、その破断も接合部
分ではなくセラミックスであるアルミナ部材２で生じて
いる。即ち、本実施例では十分大きな接合強度が得られ
る。尚、接合の際に用いるニッケル板５の厚さが0.9mm
〜1.2mmの範囲であれば、破断強度が23.4kg/mm2以上と
一層好適である。一方、Mn蒸着を行わずに活性ろう材４
で接合した比較例は、破断強度も18.8kg/mm2と小さく、
破断も接合面で生じてしまい十分な強度が得られない。
即ち、アルミナ部材２の表面にMnを蒸着した後に、酸
化反応拡散処理を行い、Ag−Cu−Ti系の活性ろう材４及
び上述した各種の接合のための部材を介して、アルミナ
部材２とニッケル棒３とをろう付することにより、アル
ミナ部材２とニッケル棒４とを、非常に簡単な工程で強
固に接合することができる。
化反応拡散処理を行い、Ag−Cu−Ti系の活性ろう材４及
び上述した各種の接合のための部材を介して、アルミナ
部材２とニッケル棒３とをろう付することにより、アル
ミナ部材２とニッケル棒４とを、非常に簡単な工程で強
固に接合することができる。
尚、上記実施例で、蒸着する金属としてMnについて述
べたが、Cr又はTiを蒸着しても同様な強度が得られるの
で好適である。また酸化物系セラミックスとして、アル
ミナセラミックスを例示したが、アルミナセラミックス
以外の酸化物系セラミックス、例えばジルコニアセラミ
ックス等に適用できることはもちろんであり、更に酸化
物系セラミックス以外にも、窒化珪素，サイアロン等の
非酸化物系セラミックスにも適用できる。その上、金属
に関してもニッケル以外に各種の金属に適応できること
はもちろんである。
べたが、Cr又はTiを蒸着しても同様な強度が得られるの
で好適である。また酸化物系セラミックスとして、アル
ミナセラミックスを例示したが、アルミナセラミックス
以外の酸化物系セラミックス、例えばジルコニアセラミ
ックス等に適用できることはもちろんであり、更に酸化
物系セラミックス以外にも、窒化珪素，サイアロン等の
非酸化物系セラミックスにも適用できる。その上、金属
に関してもニッケル以外に各種の金属に適応できること
はもちろんである。
［発明の効果］ 以上説明したように、本発明によれば、セラミックス
の表面にMn,Cr又はTi,或はそれらを含有する合金を蒸着
させた後に、Ag−Cu−Ti系の活性ろう材を用いて、セラ
ミックスと金属とを接合するので、セラミックスと金属
との接合作業の工程が少なくかつ容易である。特に本発
明では、活性ろう材を用いてろう付けする際に、予め酸
素を含んだ雰囲気にて加熱することにより、蒸着した金
属が酸化するので、活性ろう材との濡れ性が向上し、そ
れによって接合力が大きくなるという効果を奏する。
の表面にMn,Cr又はTi,或はそれらを含有する合金を蒸着
させた後に、Ag−Cu−Ti系の活性ろう材を用いて、セラ
ミックスと金属とを接合するので、セラミックスと金属
との接合作業の工程が少なくかつ容易である。特に本発
明では、活性ろう材を用いてろう付けする際に、予め酸
素を含んだ雰囲気にて加熱することにより、蒸着した金
属が酸化するので、活性ろう材との濡れ性が向上し、そ
れによって接合力が大きくなるという効果を奏する。
第１図は本実施例の接合の工程を示す説明図、第２図は
接合体の断面図である。 ２……アルミナ部材（アルミナセラミックス） ３……ニッケル棒 ４……活性ろう材
接合体の断面図である。 ２……アルミナ部材（アルミナセラミックス） ３……ニッケル棒 ４……活性ろう材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 成田 敏夫 北海道札幌市北区新琴似１条９丁目７― ８ (56)参考文献 特開 昭60−81069（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−72472（ＪＰ，Ａ) 特公 昭33−9285（ＪＰ，Ｂ１) 高塩治男外２名編「実用セラミック接 合とハイテクろう付」美巧社（昭62−６ −21）Ｐ．65
Claims (1)
- 【請求項１】セラミックスと金属との接合体の製造方法
において、セラミックスの表面にMn,Cr又はTiのうち１
種又は２種以上の金属，或はこれらの金属を含む合金を
蒸着させた後に、酸素を含んだ雰囲気にて加熱し、その
後、Ag−Cu−Ti系の活性ろう材を用いて、セラミックス
と金属とを接合することを特徴とするセラミックスと金
属との接合体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63047910A JP2541837B2 (ja) | 1988-03-01 | 1988-03-01 | セラミックスと金属との接合体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63047910A JP2541837B2 (ja) | 1988-03-01 | 1988-03-01 | セラミックスと金属との接合体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01224279A JPH01224279A (ja) | 1989-09-07 |
| JP2541837B2 true JP2541837B2 (ja) | 1996-10-09 |
Family
ID=12788528
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63047910A Expired - Fee Related JP2541837B2 (ja) | 1988-03-01 | 1988-03-01 | セラミックスと金属との接合体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2541837B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102429043B1 (ko) * | 2015-10-27 | 2022-08-05 | 주식회사 아모센스 | 세라믹 기판 제조 방법 |
| KR102496717B1 (ko) * | 2015-10-27 | 2023-02-07 | 주식회사 아모센스 | 세라믹 기판 제조 방법 및 이 제조방법으로 제조된 세라믹 기판 |
| KR102496716B1 (ko) * | 2015-10-27 | 2023-02-07 | 주식회사 아모센스 | 세라믹 기판 제조 방법 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6081069A (ja) * | 1983-10-11 | 1985-05-09 | 三井造船株式会社 | ΖｒＯ↓２系セラミツクスの接合方法 |
| JPS6272472A (ja) * | 1985-09-27 | 1987-04-03 | Hitachi Ltd | セラミツクスと金属等との接合方法 |
-
1988
- 1988-03-01 JP JP63047910A patent/JP2541837B2/ja not_active Expired - Fee Related
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 高塩治男外２名編「実用セラミック接合とハイテクろう付」美巧社（昭６２−６−２１）Ｐ．６５ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01224279A (ja) | 1989-09-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0147360B1 (en) | Method for bonding ceramics and metals | |
| US4624404A (en) | Method for bonding ceramics and metals | |
| JP3057932B2 (ja) | セラミックス焼結体の接合方法 | |
| JP2541837B2 (ja) | セラミックスと金属との接合体の製造方法 | |
| JPS62289396A (ja) | セラミツクスの接合方法 | |
| JPH0460946B2 (ja) | ||
| JPH0292872A (ja) | セラミック体と銅材の接合方法 | |
| JPH0472793B2 (ja) | ||
| JP2001048670A (ja) | セラミックス−金属接合体 | |
| JPH0651594B2 (ja) | 非酸化物セラミックスと金属との接合体の製法 | |
| JP2826840B2 (ja) | セラミック体と金属部材の接合方法 | |
| JP2729751B2 (ja) | アルミナセラミックスとアルミニウムの接合方法 | |
| JP2003048785A (ja) | 金属部材とセラミック部材との接合構造および金属部材とセラミック部材との接合方法 | |
| JPS61215272A (ja) | セラミツクス部材と金属部材との接合方法 | |
| JPH07187839A (ja) | 窒化物系セラミックス−金属接合体およびその製造方法 | |
| JPH0362674B2 (ja) | ||
| JPH059396B2 (ja) | ||
| JP3059540B2 (ja) | 繊維含浸複合セラミックスと金属との接合体及びその製造法 | |
| JP3292767B2 (ja) | 炭化珪素セラミックスとシリコンとの接合方法 | |
| JPH07172944A (ja) | 接着用組成物、接合体およびその接合方法 | |
| JP2001114575A (ja) | セラミックスとセラミックスとの接合体及びその接合方法 | |
| JPH01299790A (ja) | セラミックスと金属との接合用合金 | |
| JPS62171979A (ja) | 非酸化物系セラミックスのメタライズ方法 | |
| JPH061671A (ja) | セラミック体と金属部材の接合方法 | |
| JPS6016877A (ja) | セラミツクス焼結体と金属部材の接合体およびその製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |