JP2540703Y2 - IC test equipment - Google Patents

IC test equipment

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JP2540703Y2
JP2540703Y2 JP10943090U JP10943090U JP2540703Y2 JP 2540703 Y2 JP2540703 Y2 JP 2540703Y2 JP 10943090 U JP10943090 U JP 10943090U JP 10943090 U JP10943090 U JP 10943090U JP 2540703 Y2 JP2540703 Y2 JP 2540703Y2
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outrail
shutter
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  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)
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  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Description

【考案の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 この考案は恒温槽によってICに熱ストレスを与えて試
験を行なう型式のIC試験装置に関する。
[Detailed description of the invention] "Industrial application field" This invention relates to an IC test apparatus of a type for performing a test by applying a thermal stress to an IC by a constant temperature bath.

「従来の技術」 第3図にIC試験装置のICの搬送通路の形態を示す。図
中1はICを収納したIC収納マガジンを示す。このIC収納
マガジン1は試験装置の上と下の2個所に設けられる。
上側のIC収納マガジン1は被試験IC2Aを収納し、被試験
IC2Aを順次接続ユニット3に送り出す動作を行う。
[Prior Art] FIG. 3 shows a form of an IC transfer path of an IC test apparatus. In the drawing, reference numeral 1 denotes an IC storage magazine that stores ICs. The IC storage magazine 1 is provided at two locations, that is, above and below the test apparatus.
The upper IC storage magazine 1 stores the IC under test 2A and
An operation of sequentially sending out IC2A to the connection unit 3 is performed.

これに対し、下側に設けたIC収納マガジン1は接続ユ
ニット3を介してテストヘッドTHに接続され、テストヘ
ッドTHを通じて試験装置本体(特に図示しない)に接続
され、試験装置本体で良否が判定されて良品と、不良品
とに仕分けされた試験済IC2Bを収納する動作を行う。
On the other hand, the IC storage magazine 1 provided on the lower side is connected to the test head TH via the connection unit 3 and connected to the test apparatus main body (not shown in particular) through the test head TH, and the test apparatus main body determines pass / fail. Then, an operation of storing the tested IC2B sorted into a good product and a defective product is performed.

接続ユニット3の部分と、接続ユニット3の上流側に
恒温槽4を設ける。恒温槽4は例えば−30℃〜+125℃
の範囲で自由に温度を設定することができ、被試験IC2A
に熱ストレスを与えて試験を行なうことができるように
構成される。
A thermostat 4 is provided on the connection unit 3 and on the upstream side of the connection unit 3. The thermostat 4 is, for example, −30 ° C. to + 125 ° C.
The temperature can be set freely within the range of
Is configured to be able to perform a test by applying a heat stress to the test piece.

恒温槽4の出口5にシャッタ6が設けられ、試験済IC
2Bが接続ユニット3から釈放される毎にシャッタ6が開
放される。このようにシャッタ6を設けることにより恒
温槽4の出口5が外気に触れる時間を短かくし、特に低
温試験時に出口5の部分が結露しないように構成してい
る。
A shutter 6 is provided at the outlet 5 of the constant temperature bath 4 and the tested IC
Each time 2B is released from the connection unit 3, the shutter 6 is opened. By providing the shutter 6 in this manner, the time during which the outlet 5 of the thermostatic bath 4 is exposed to the outside air is shortened, and in particular, the portion of the outlet 5 is prevented from dew condensation during the low-temperature test.

第4図に恒温槽4の出口5の部分の構造を示す。接続
ユニット3にはソケットSTが設けられ、このソケットST
に被試験IC2Aを装着して試験を行なう。
FIG. 4 shows the structure of the outlet 5 of the thermostat 4. The connection unit 3 is provided with a socket ST.
The IC2A to be tested is attached to the test.

被試験IC2AをソケットSTに装着する動作および試験終
了時にICを下方に排出する動作はICガイドレール7によ
って行なう。このICガイドレール7は矢印×方向及び×
×方向に移動できるように支持される。ICガイドレール
7は接続ユニット3に面して例えば4〜8本設けられ、
これら各ICガイドレール7に上流側から上下方向に並ん
だソケットSTの数に等しい所定個、例えば1本のICガイ
ドレール7に4個ずつ被試験IC2Aが投入され、この投入
された被試験IC2Aを所定の間隔(ソケットSTの間隔)を
保持して受け止める。各ICガイドレール7に被試験IC2A
を受け止めるとICガイドレール7は×方向に移動し、被
試験IC2AをソケットSTに装着する。試験終了後ICガイド
レール7は××方向に移動し、下流側に設けたアウトレ
ール8との軸芯が合致すると、ICガイドレール7に保持
しているICを下側から順次釈放しアウトレール8を通じ
て恒温槽4の外に排出する。
The operation of mounting the IC under test 2A in the socket ST and the operation of discharging the IC downward at the end of the test are performed by the IC guide rails 7. This IC guide rail 7 has the arrow x direction and x
It is supported so that it can move in the X direction. For example, four to eight IC guide rails 7 are provided facing the connection unit 3,
A predetermined number of ICs 2A to be tested are supplied to each of the IC guide rails 7 in a predetermined number equal to the number of sockets ST arranged in the vertical direction from the upstream side, for example, four ICs 2A to be tested are inserted into one IC guide rail 7. Is held at a predetermined interval (interval between sockets ST). IC2A under test is attached to each IC guide rail 7
When the IC guide rail 7 is received, the IC guide rail 7 moves in the X direction, and the IC 2A under test is mounted on the socket ST. After the test is completed, the IC guide rail 7 moves in the XX direction, and when the axis of the IC guide rail 7 is aligned with the out rail 8 provided on the downstream side, the ICs held on the IC guide rail 7 are sequentially released from the lower side and the out rail is released. The water is discharged out of the thermostat 4 through 8.

アウトレール8の下部にシャッタ6が設けられ、ICガ
イドレール7からICが釈放される毎にシャッタ6を開放
し、試験済IC2Bの通過を許し、試験済IC2Bがシャッタ6
の部分を通過すると、光センサ11がこれを検出し、直ち
にシャッタ6を閉じる。
A shutter 6 is provided below the out rail 8, and the shutter 6 is opened each time an IC is released from the IC guide rail 7, allowing passage of the tested IC 2B.
, The optical sensor 11 detects this and immediately closes the shutter 6.

シャッタ6は例えば第5図に示すようにICガイドレー
ル7及びアウトレール8の配列ピッチPの間隔で孔Hが
形成された二枚の帯状板6Aと6Bによって構成され、一方
の板6Aが固定され、他方の板6Bが可動板とされ、可動板
6Bを可動させ孔Hの位置を合致させるとシャッタ6が開
となり、孔Hの位置を異ならせるとシャッタ6が閉とさ
れる。
The shutter 6 is composed of, for example, two band-shaped plates 6A and 6B having holes H formed at intervals of an arrangement pitch P of the IC guide rails 7 and the out rails 8 as shown in FIG. And the other plate 6B is a movable plate,
When the position of the hole H is matched by moving the 6B, the shutter 6 is opened, and when the position of the hole H is changed, the shutter 6 is closed.

シャッタ6にはヒータ12が取付けられ、特に低温試験
時にシャッタ6が凍結することを防止するようにしてい
る。
A heater 12 is attached to the shutter 6 to prevent the shutter 6 from freezing, especially during a low-temperature test.

更にアウトレール8の上端側にノズル12が設けられ、
ノズル12から乾燥空気13を射出させ、シャッタ6が開い
たとき外気がシャッタ6を通じて内部に侵入し、外気が
アウトレール8の下部に接して結露することを防止する
ように構成している。
Further, a nozzle 12 is provided on the upper end side of the outrail 8,
Dry air 13 is ejected from the nozzle 12 so that when the shutter 6 is opened, outside air enters through the shutter 6 and prevents the outside air from contacting the lower part of the outrail 8 and forming dew.

「考案が解決しようとする課題」 アウトレール8は恒温槽4を構成する断熱壁4Aに形成
されたアウトレール収納用孔14の軸芯位置に支持され
る。この孔14はアウトレール8がICの種類が変わる毎に
交換するために直径が大きく選定される。
[Problem to be Solved by the Invention] The outrail 8 is supported at the axial center position of the outrail storage hole 14 formed in the heat insulating wall 4A constituting the constant temperature bath 4. The diameter of the hole 14 is selected to be large because the outrail 8 is replaced every time the type of IC changes.

アウトレール収納用孔14の直径が大きくなる理由は被
試験IC2Aの端子の導出形式に応じてICガイドレール7及
びアウトレール8を交換しなければならないからであ
る。
The reason why the diameter of the outrail housing hole 14 is increased is that the IC guide rail 7 and the outrail 8 must be replaced according to the lead-out type of the IC 2A under test.

つまりICは第6図乃至第8図に示すようにDIP型、SOJ
型、SOP型の各種の端子型式がある。これらDIP型、SOJ
型、SOP型は接続ユニット3に装着したソケットSTに対
してX軸方向に長手方向を持っている。
That is, the IC is a DIP type, SOJ
And SOP type terminal types. These DIP type, SOJ
The type and the SOP type have a longitudinal direction in the X-axis direction with respect to the socket ST mounted on the connection unit 3.

これに対し、第9図に示すZIP型のICは、ソケットST
に対してY軸方向に長手方向を持つ。よってDIP型、SOJ
型、SOP型のICをガイドするICガイドレール7とアウト
レール8の形状がX軸方向に横長であるのに対し、ZIP
型のICをガイドするレールはY軸方向の縦長形状とな
る。
On the other hand, the ZIP type IC shown in FIG.
Has a longitudinal direction in the Y-axis direction. Therefore, DIP type, SOJ
Guide rails 7 and out rails 8 that guide ICs of the SOP type and the SOP type are horizontally long in the X-axis direction.
The rail for guiding the mold IC has a vertically long shape in the Y-axis direction.

このように各種の端子形式のICを試験するIC試験装置
ではアウトレール8を貫通させるために断熱壁4Aに形成
するアウトレール収納用孔14は、各型式のICをガイドす
るレールの形状が各種変わってもアウトレール8をアウ
トレール収納用孔14に挿入できるようにするためにアウ
トレール収納用孔14の径を大きく採っている。
As described above, in the IC testing apparatus for testing ICs having various terminal types, the outrail storage hole 14 formed in the heat insulating wall 4A to penetrate the outrail 8 has various shapes of rails for guiding each type of IC. In order to allow the outrail 8 to be inserted into the outrail storage hole 14 even if it changes, the diameter of the outrail storage hole 14 is made large.

このようにアウトレール収納用孔14の径を大きく採る
とノズル12から乾燥空気13を射出してもその効果が薄く
なり、外気の侵入を完全に絶つことはむずかしい。
If the diameter of the outrail storage hole 14 is made large as described above, the effect of injecting the dry air 13 from the nozzle 12 is reduced, and it is difficult to completely prevent the invasion of the outside air.

このため従来を調整等のために恒温槽4を低温に下げ
た状態でシャッタ6を長時間開放させた場合にアウトレ
ール8の下部に結露が生じ、これが凍結してICの通過が
不能となる事故が起きる不都合がある。
Therefore, when the shutter 6 is opened for a long time in a state where the temperature of the constant temperature bath 4 is lowered to a low temperature for adjustment or the like, dew condensation occurs at the lower portion of the outrail 8 and freezes, and the IC cannot pass through. There is an inconvenience that an accident occurs.

このようにアウトレール8の下部が凍結した場合には
一旦恒温槽4の温度を室温に戻し、凍結を解除した状態
から再び温度を下げなくてはならない。
As described above, when the lower portion of the outrail 8 freezes, the temperature of the constant temperature bath 4 must be once returned to room temperature, and the temperature must be lowered again from the state where the freezing is released.

恒温槽4の温度を所定の温度まで低下させるには数時
間の長い時間が必要であり、試験に取掛るまでに無駄な
時間を浪費することになる。
It takes a long time of several hours to lower the temperature of the thermostat 4 to the predetermined temperature, and wasteful time is wasted before starting the test.

この考案は目的のシャッタ6を長時間開放してもアウ
トレール8の下部が凍結するような事故が起きることの
ないIC試験装置を提供しようとするものである。
This invention intends to provide an IC test apparatus in which the lower portion of the outrail 8 does not freeze even if the target shutter 6 is opened for a long time.

「試験を解決するための手段」 この考案では恒温槽に形成したアウトレール収納用孔
とアウトレールとの間の間隙を密封する断熱性気密材を
設けた構造とするものである。
[Means for Solving the Test] In the present invention, a structure is provided in which a heat-insulating airtight material is provided to seal the gap between the outrail storage hole formed in the thermostatic chamber and the outrail.

この考案の構成によればアウトレール収納用孔とアウ
トレールとの間の間隙を密封するから恒温槽内部の冷気
がアウトレール収納用孔の内壁とアウトレールの外壁の
間に形成される空隙を通じて恒温槽の出口側に洩れるこ
とはない。
According to the configuration of the present invention, since the gap between the outrail storage hole and the outrail is sealed, the cool air inside the constant temperature bath is formed through the gap formed between the inner wall of the outrail storage hole and the outer wall of the outrail. There is no leakage to the outlet side of the thermostat.

よってアウトレールが冷されることが阻止され、アウ
トレールの下端部に外気が触れても結露することがな
い。よって長時間シャッタを開放しても結露が凍結して
ICの通路を塞ぐような事故が起きることがなく、信頼性
の高いIC試験装置を提供することができる。
Accordingly, the outrail is prevented from being cooled, and there is no dew condensation even when the outside air touches the lower end of the outrail. Therefore, even if the shutter is opened for a long time, the condensation freezes
It is possible to provide a highly reliable IC test apparatus without an accident that blocks an IC passage.

「実施例」 第1図にこの考案の一実施例を示す。第1図におい
て、第4図と対応する部分には同一符号を付して示す。
FIG. 1 shows an embodiment of the present invention. In FIG. 1, parts corresponding to those in FIG. 4 are denoted by the same reference numerals.

この考案においてはアウトレール収納用孔14の上端に
例えばシリコンスポンジのような断熱性気密材15A及び1
5Bを設け、この断熱性気密材15Aと15Bによってアウトレ
ール収納用孔14とアウトレール8との間に形成される空
隙部分14Aを密封する構造としたものである。
In the present invention, heat-insulating airtight materials 15A and 15
5B is provided, and a gap portion 14A formed between the outrail storage hole 14 and the outrail 8 is sealed by the heat insulating airtight materials 15A and 15B.

つまりこの例ではアウトレール8の上端側を断熱性気
密材15Aと15Bによって前後方向から挟み付け空隙部分14
の上端を密封する構造とした場合を示す。この場合断熱
性気密材15Aは断熱壁4Aに固定されるが、他方の断熱性
気密材15Bは断熱壁4Aに対して蝶番16によって回動自在
に取付られ、アウトレール8を交換する際には破線で示
すように直立姿勢に回動させ、この状態でアウトレール
8を交換できるように構成する。
That is, in this example, the upper end side of the outrail 8 is sandwiched from the front and rear directions by the heat insulating airtight materials 15A and 15B, and
In this case, the upper end is sealed. In this case, the heat-insulating airtight material 15A is fixed to the heat-insulating wall 4A, while the other heat-insulating airtight material 15B is rotatably attached to the heat-insulating wall 4A by the hinge 16, and when the outrail 8 is replaced, The outrail 8 is rotated in the upright posture as shown by a broken line, and the outrail 8 can be replaced in this state.

このように空隙部分14Aの上端を断熱性気密材15Aと15
Bによって閉塞することによって恒温槽4内の冷気が空
隙14Aに流れ出ることはない。
In this way, the upper end of the gap portion 14A is insulated from the heat-insulating airtight materials 15A and 15A.
By closing with B, the cool air in the thermostat 4 does not flow out into the gap 14A.

よってアウトレール8が冷やされることがないからシ
ャッタ6が長時間開放されても、アウトレール8の下端
に結露が生じることを防止することができる。
Therefore, even if the shutter 6 is opened for a long time, dew condensation can be prevented from occurring at the lower end of the outrail 8 because the outrail 8 is not cooled.

「変形実施例」 第2図にこの考案の変形実施例を示す。この例では断
熱性気密材15A,15Bによって空隙部分14Aの上端を密封す
ると共に、アウトレール8とシャッタ6とに第1熱良導
体17Aに第2熱良導体17Bとを取付け、これら第1熱良導
体17Aと第2熱良導体17Bとを熱結合し、第1熱良導体17
Aにヒータ18を装着し、ヒータ18によってアウトレール
8を加熱し、更に熱良導体17Aと17Bを通じてシャッタ6
に熱を伝達し、シャッタ6に付設していたヒータ12を省
略するように構成した場合を示す。
"Modified embodiment" Fig. 2 shows a modified embodiment of the present invention. In this example, the upper end of the gap portion 14A is sealed by the heat insulating airtight materials 15A and 15B, and the first hot conductor 17A and the second heat conductor 17B are attached to the outrail 8 and the shutter 6, respectively. And the second thermal conductor 17B are thermally coupled to each other to form the first thermal conductor 17B.
A, a heater 18 is attached, the outrail 8 is heated by the heater 18, and the shutter 6 is further heated through the good conductors 17A and 17B.
In this case, heat is transmitted to the shutter 6 and the heater 12 attached to the shutter 6 is omitted.

この実施例によればアウトレール収納用孔14の上端は
断熱性気密材15Aと15Bによって密封されているから冷気
が空隙14Aに侵入することはない。
According to this embodiment, the upper end of the outrail storage hole 14 is sealed by the heat-insulating airtight materials 15A and 15B, so that cool air does not enter the gap 14A.

然もアウトレール8とシャッタ6はヒータ18によって
常時暖められている。よってアウトレール8の下端部に
外気が触れてもこの部分に結露が生じることはない。
Of course, the outrail 8 and the shutter 6 are always warmed by the heater 18. Therefore, even when the outside air comes into contact with the lower end of the outrail 8, dew condensation does not occur in this portion.

またこの例では第1熱良導体17Aと、第2熱良導体17B
との境界部分に乾燥空気供給孔19を形成し、この乾燥空
気供給孔19を通じて、空隙部分14Aに乾燥空気を流し込
むことにより、空隙部分14Aの内圧が高められるからシ
ャッタ6を開放したとき、外気が侵入することを阻止す
ることができる。また乾燥空気により結露の発生を抑え
ることができる。
Also, in this example, a first heat good conductor 17A and a second heat good conductor 17B
A dry air supply hole 19 is formed at the boundary between the opening and the opening, and by flowing dry air into the gap 14A through the dry air supply hole 19, the internal pressure of the gap 14A is increased. Can be prevented from entering. Further, the occurrence of dew condensation can be suppressed by the dry air.

「考案の効果」 以上説明したように、この考案によればアウトレール
収納用孔14とアウトレール8との間に形成される空隙部
分14Aを上端部において密封したから、シャッタ6が開
いたとき恒温槽4内部から冷気が空隙部分14Aに洩れる
ことがない。よってアウトレール8が冷やされる率が少
なく、従ってアウトレール8の下端部に結露が生じるこ
とを阻止することができる。
"Effects of the invention" As described above, according to the invention, the gap 14A formed between the outrail storage hole 14 and the outrail 8 is sealed at the upper end, so that when the shutter 6 is opened. Cool air does not leak from the inside of the thermostat 4 to the gap portion 14A. Therefore, the rate at which the outrail 8 is cooled is small, and thus it is possible to prevent the formation of condensation at the lower end of the outrail 8.

この結果アウトレール8の下端部が凍結することはな
く信頼性の高いIC試験装置を提供することができる。
As a result, the lower end of the outrail 8 does not freeze and a highly reliable IC test apparatus can be provided.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図はこの考案の一実施例を示す断面図、第2図はこ
の考案の変形実施例を示す断面図、第3図はIC試験装置
のIC搬送通路の形態を説明するための側面図、第4図は
従来の技術を説明するための断面図、第5図は恒温槽の
出口に設けられるシャッタの構造を説明するための平面
図、第6図乃至第9図はICの種類を説明するための正面
図である。 2A:被試験IC,2B:試験済IC,6:シャッタ,8:アウトレール,
14:アウトレール収納孔,14A:空隙部分,15A,15B:断熱性
気密材。
FIG. 1 is a cross-sectional view showing an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a cross-sectional view showing a modified embodiment of the present invention, and FIG. FIG. 4 is a cross-sectional view for explaining the prior art, FIG. 5 is a plan view for explaining the structure of a shutter provided at the outlet of the thermostat, and FIGS. It is a front view for explaining. 2A: IC under test, 2B: Tested IC, 6: Shutter, 8: Outrail,
14: Outrail storage hole, 14A: void portion, 15A, 15B: heat-insulating airtight material.

Claims (1)

(57)【実用新案登録請求の範囲】(57) [Scope of request for utility model registration] 【請求項1】A.恒温槽内において被試験ICを試験し、試
験されたICをアウトレールと恒温槽の出口に設けたシャ
ッタを通じて恒温槽から排出するように構成したIC試験
装置において、 B.上記アウトレールと恒温槽を構成する断熱壁との間に
形成される隙間を封止する断熱性気密材を設けて成るIC
試験装置。
A. An IC test apparatus configured to test an IC under test in a thermostat and discharge the tested IC from the thermostat through an outrail and a shutter provided at an outlet of the thermostat. An IC that is provided with a heat-insulating airtight material that seals a gap formed between the outrail and the heat-insulating wall that forms the thermostat
Testing equipment.
JP10943090U 1990-10-19 1990-10-19 IC test equipment Expired - Lifetime JP2540703Y2 (en)

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