JP2534042Y2 - ダイボンダーの突上げキャップ - Google Patents
ダイボンダーの突上げキャップInfo
- Publication number
- JP2534042Y2 JP2534042Y2 JP7574190U JP7574190U JP2534042Y2 JP 2534042 Y2 JP2534042 Y2 JP 2534042Y2 JP 7574190 U JP7574190 U JP 7574190U JP 7574190 U JP7574190 U JP 7574190U JP 2534042 Y2 JP2534042 Y2 JP 2534042Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- push
- cap
- die bonder
- pellet
- sheet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Die Bonding (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は半導体ペレットのダイボンダーに関し、特に
半導体ペレットの突上げ部のキャップの構造に関する。
半導体ペレットの突上げ部のキャップの構造に関する。
従来のダイボンダーの突上げキャップは、第４図に示
すように上面中央に半導体ペレット２の突上げニードル
３の上下スライドをガイドするとともに突上げニードル
３により半導体ペレット２を突上げる際、半導体ペレッ
ト２の貼り付けられたシート４を吸着保持し、半導体ペ
レット２のシートからの剥離を容易に行なうための真空
経路となる小貫通穴５を有した円柱体で小貫通穴５の周
囲には複数の同心円状の凹溝７と全ての凹溝７が小貫通
穴５と通じるように割り溝８が設けられていた。
すように上面中央に半導体ペレット２の突上げニードル
３の上下スライドをガイドするとともに突上げニードル
３により半導体ペレット２を突上げる際、半導体ペレッ
ト２の貼り付けられたシート４を吸着保持し、半導体ペ
レット２のシートからの剥離を容易に行なうための真空
経路となる小貫通穴５を有した円柱体で小貫通穴５の周
囲には複数の同心円状の凹溝７と全ての凹溝７が小貫通
穴５と通じるように割り溝８が設けられていた。
しかしながら、半導体ペレット２の表面の一部に例え
ばメモリパターン等の表面が複雑な凹凸状態となってい
る領域のあるものやシート上４上のペレット配列間隔が
極端に狭いものについては認識を行なう際、二値化レベ
ルや照明ランプの光量により調整を行なうが、外形及び
表面を白く映し出そうとすると周囲に隣接するペレット
の表面の白部分とつながりやすくなるため認識調整がか
なり困難となり良品を外形不良と判定する誤認識をひき
おこしていた。
ばメモリパターン等の表面が複雑な凹凸状態となってい
る領域のあるものやシート上４上のペレット配列間隔が
極端に狭いものについては認識を行なう際、二値化レベ
ルや照明ランプの光量により調整を行なうが、外形及び
表面を白く映し出そうとすると周囲に隣接するペレット
の表面の白部分とつながりやすくなるため認識調整がか
なり困難となり良品を外形不良と判定する誤認識をひき
おこしていた。
このため第５図に示すように認識対象のペレット２の
みフラット状態にして周囲のペレット２′は傾斜させて
周囲のペレット２′の反射光による影響を極力少なく
し、認識を容易に行なえるように突上げキャップ１の中
央部に周囲より段差９だけ高いフラット部６を設けてい
た。
みフラット状態にして周囲のペレット２′は傾斜させて
周囲のペレット２′の反射光による影響を極力少なく
し、認識を容易に行なえるように突上げキャップ１の中
央部に周囲より段差９だけ高いフラット部６を設けてい
た。
この従来の突上げキャップでは外形が円形であるた
め、半導体ペレットを突上げる際のシート吸着時に周囲
のペレットの裏面と突上げキャップの外周とが第６図の
ように点接触となり、接触部の周囲から真空がリークし
シートの保持力が弱くなり半導体ペレットのシートから
の剥離ミスを引き起こすという問題があった。
め、半導体ペレットを突上げる際のシート吸着時に周囲
のペレットの裏面と突上げキャップの外周とが第６図の
ように点接触となり、接触部の周囲から真空がリークし
シートの保持力が弱くなり半導体ペレットのシートから
の剥離ミスを引き起こすという問題があった。
本考案のダイボンダーの突上げキャップは、上面中央
に小貫通穴を有し外形が八角形となっており、また上面
中央に小貫通穴を有する矩形面と矩形面周囲に隣接し１
度から数度に傾斜した４個の矩形面と４個の三角形面と
からなる多面体より形成され、上面の矩形面の４箇所の
コーナー部に上下左右の矩形傾斜面より若干傾斜角の小
さい平面でカットされた平面を有するとともに上面矩形
面に上下・左右方向に矩形傾斜面に達する十字の凹溝を
有し外形が八角形となっている。
に小貫通穴を有し外形が八角形となっており、また上面
中央に小貫通穴を有する矩形面と矩形面周囲に隣接し１
度から数度に傾斜した４個の矩形面と４個の三角形面と
からなる多面体より形成され、上面の矩形面の４箇所の
コーナー部に上下左右の矩形傾斜面より若干傾斜角の小
さい平面でカットされた平面を有するとともに上面矩形
面に上下・左右方向に矩形傾斜面に達する十字の凹溝を
有し外形が八角形となっている。
次に、本考案について図面を参照して説明する。第1,
2図は本考案の一実施例のダイボンダーの突上げキャッ
プの平面図及び断面図である。突上げキャップ１の外形
は八角形で上面中央には半導体ペレット２を突上げる突
上げニードル３のガイド及びシート４の吸着保持用の真
空引きのための小貫通穴５が設けられ小貫通穴５の外側
には半導体ペレット２を支持するフラット部６が設けら
れている。さらにフラット部６の外側にはシート吸着の
ための凹溝７が割り溝８により小貫通穴５と通じるよう
に設けてある。前記フラット部６は八角形の外周より段
差９分だけ高くなっており中央の半導体ペレット２のみ
フラットで支持され周囲の半導体ペレット２′は傾斜す
るようになっている。
2図は本考案の一実施例のダイボンダーの突上げキャッ
プの平面図及び断面図である。突上げキャップ１の外形
は八角形で上面中央には半導体ペレット２を突上げる突
上げニードル３のガイド及びシート４の吸着保持用の真
空引きのための小貫通穴５が設けられ小貫通穴５の外側
には半導体ペレット２を支持するフラット部６が設けら
れている。さらにフラット部６の外側にはシート吸着の
ための凹溝７が割り溝８により小貫通穴５と通じるよう
に設けてある。前記フラット部６は八角形の外周より段
差９分だけ高くなっており中央の半導体ペレット２のみ
フラットで支持され周囲の半導体ペレット２′は傾斜す
るようになっている。
次に第３図は本考案の第２の実施例の平面図及び断面
図である。
図である。
第１の実施例と同様に外形は八角形で上面中央には小
貫通穴５が設けられ、その外側にはフラット部６が設け
られている。さらにフラット部６の周囲には複数の傾斜
面が設けられ各傾斜面の傾斜角の関係はＡ＞Ｂ＞Ｃとな
っている。また上面には上下左右方向に傾斜面Ｂに達す
る十字の凹溝10が設けられ、周囲の半導体ペレット２′
を吸着できるようになっている。
貫通穴５が設けられ、その外側にはフラット部６が設け
られている。さらにフラット部６の周囲には複数の傾斜
面が設けられ各傾斜面の傾斜角の関係はＡ＞Ｂ＞Ｃとな
っている。また上面には上下左右方向に傾斜面Ｂに達す
る十字の凹溝10が設けられ、周囲の半導体ペレット２′
を吸着できるようになっている。
第１の実施例が周囲のペレット２′の裏面とキャップ
とが線接触であるのに対し、本実施例では面接触となる
ためシート吸着時の半導体ペレット2,2′どうしのかん
しょうによるチッピング等を防止できる利点がある。
とが線接触であるのに対し、本実施例では面接触となる
ためシート吸着時の半導体ペレット2,2′どうしのかん
しょうによるチッピング等を防止できる利点がある。
以上説明したように本考案は外形が八角形であるため
半導体ペレットを突上げる際のシート吸着時に周囲のペ
レットの裏面と突上げキャップとが線または面接触とな
るためシート吸着保持用真空のリークを最小限におさえ
ることができ半導体ペレットのシート剥離を確実に行な
うことができるという効果を有する。
半導体ペレットを突上げる際のシート吸着時に周囲のペ
レットの裏面と突上げキャップとが線または面接触とな
るためシート吸着保持用真空のリークを最小限におさえ
ることができ半導体ペレットのシート剥離を確実に行な
うことができるという効果を有する。
第１図，第２図は本考案の一実施例の平面図及び断面
図、第３図は本考案の第２の実施例の平面図及び断面
図、第４図，第５図，第６図は従来の突上げキャップの
平面図及び断面図である。 １……突上げキャップ、2,2′……半導体ペレット、３
……突上げニードル、４……シート、５……小貫通穴、
６……フラット部、７……凹溝、８……割り溝、９……
段差、10……十字凹溝。
図、第３図は本考案の第２の実施例の平面図及び断面
図、第４図，第５図，第６図は従来の突上げキャップの
平面図及び断面図である。 １……突上げキャップ、2,2′……半導体ペレット、３
……突上げニードル、４……シート、５……小貫通穴、
６……フラット部、７……凹溝、８……割り溝、９……
段差、10……十字凹溝。
Claims (1)
- 【請求項１】上面中央に小貫通穴を有する外形が八角形
よりなることを特徴とするダイボンダーの突上げキャッ
プ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7574190U JP2534042Y2 (ja) | 1990-07-17 | 1990-07-17 | ダイボンダーの突上げキャップ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7574190U JP2534042Y2 (ja) | 1990-07-17 | 1990-07-17 | ダイボンダーの突上げキャップ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0434739U JPH0434739U (ja) | 1992-03-23 |
| JP2534042Y2 true JP2534042Y2 (ja) | 1997-04-30 |
Family
ID=31616585
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7574190U Expired - Lifetime JP2534042Y2 (ja) | 1990-07-17 | 1990-07-17 | ダイボンダーの突上げキャップ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2534042Y2 (ja) |
-
1990
- 1990-07-17 JP JP7574190U patent/JP2534042Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0434739U (ja) | 1992-03-23 |
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