JPH0295244U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の第１実施例を示す斜視図、第
２図は半導体ウエハの収容状態を示す側断面図、
第３図はその要部拡大断面図、第４図はガイドピ
ンの配置図、第５図、第６図はそれぞれ本考案の
第２実施例及び第３実施例の斜視図及び断面図、
第７図は従来例の斜視図、第８図はその断面図、
第９図はその要部拡大断面図である。 １１，２１，３１…アーム本体、１１ａ，２１
ａ…収容部、１１ｂ，３５…外周部、１１ｃ…外
端縁、１２…半導体ウエハ、１３…開口部、１４
，２３…ウエハ支持用ブツシユ、１５，１７…孔
、１６…ガイドピン、２２…円錐台状ガイドピン
、２２ａ，２３ａ…孔、３３…周縁部、３４…収
容部、３５…外周部、３６…ガイドピン、３６ａ
…孔、３７…ブツシユ。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) アーム本体と、その先端に設けられた半導
   体ウエハとほぼ同一径の収容部と、その外周部と
   からなり、一端に開口部を有するウエハ搬送アー
   ムにおいて、 前記収容部の所定の同心円周上に複数個の半球
   状のウエハ支持用ブツシユを植立し、 前記外周部の収容部との境界近傍に、ウエハと
   の接触面が円弧状に形成され、かつ、ウエハが収
   容し易い傾斜角度で複数個のガイドピンを設けた ことを特徴とするウエハ搬送アーム。 (2) ウエハ支持用ブツシユ及びガイドピンが弗
   素系樹脂からなる請求項(1)記載のウエハ搬送ア
   ーム。 (3) ウエハ支持用ブツシユが、収容部内側の所
   定同心円周上に３個均等間隔で配設された請求項
   (1)記載のウエハ搬送アーム。 (4) 外周部が、収容部との境界から所定角度傾
   斜している請求項(1)記載のウエハ搬送アーム。 (5) ガイドピンが、ウエハ支持用ブツシユと対
   向して配設された請求項(1)記載のウエハ搬送ア
   ーム。 (6) ガイドピンが、第１ガイドピンＡを含むア
   ーム本体軸に対称に配設された第２ガイドピンＢ
   と第３ガイドピンＣの他に、第４ガイドピンＤと
   第５ガイドピンＥを同一円周上のそれぞれ第１ガ
   イドピンＡと、第４ガイドピンＢ間及び第１ガイ
   ドピンＡと第３ガイドピンＣ間において、∠ＢＤ
   Ｅ＝∠ＣＥＤ＜９０°，＝ＵＣＥとなる位置
   に設けた請求項(3)記載のウエハ搬送アーム。 (7) ガイドピンが、垂直方向となす角αが１０
   °＜α＜４５°の範囲である請求項(1)又は(4)記
   載のウエハ搬送アーム。 (8) 外周部を収容部より隆起せしめた請求項(1)
   又は(7)記載のウエハ搬送アーム。 (9) 外周部と収容部とを同一平面ならしめ、ガ
   イドピンが、円錐台状に形成されている請求項(1
   )記載のウエハ搬送アーム。