JP2531306B2 - 蛍光ｘ線分析装置 - Google Patents
蛍光ｘ線分析装置Info
- Publication number
- JP2531306B2 JP2531306B2 JP2410957A JP41095790A JP2531306B2 JP 2531306 B2 JP2531306 B2 JP 2531306B2 JP 2410957 A JP2410957 A JP 2410957A JP 41095790 A JP41095790 A JP 41095790A JP 2531306 B2 JP2531306 B2 JP 2531306B2
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- JP
- Japan
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- ray
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- measurement
- measured
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、蛍光Ｘ線分析装置にお
いて、広い蛍光Ｘ線強度範囲で常に最適の感度で測定で
きるようにするための構成に関する。
いて、広い蛍光Ｘ線強度範囲で常に最適の感度で測定で
きるようにするための構成に関する。
【０００２】
【従来の技術】Ｘ線検出器ではＸ線光子の計数の数え落
としがあり、その数え落としを補正している。しかし、
計数率（検出強度）が一定範囲を超えると、補正が不可
能になる。そこで計数率が一定範囲を超えると予め分か
っている時には、励起Ｘ線用Ｘ線管の管電流を小さくし
たり、検出器に入射するＸ線をその光路で一定比に減衰
せしめる減衰器を挿入して、計数率を低下させることに
より、数え落としの補正可能範囲を超えないようにして
測定を行っていた。しかし、測定途中で数え落とし補正
が出来ない程、計数率が高いと判明した時は、測定を中
断し、再度測定しなければならないと云う問題があっ
た。このため。測定Ｘ線の強度の変化幅が大きいと予想
される時は、測定感度を全体的に下げて測定していたた
め。微量元素の検出感度，定量精度が低くなっていた。
としがあり、その数え落としを補正している。しかし、
計数率（検出強度）が一定範囲を超えると、補正が不可
能になる。そこで計数率が一定範囲を超えると予め分か
っている時には、励起Ｘ線用Ｘ線管の管電流を小さくし
たり、検出器に入射するＸ線をその光路で一定比に減衰
せしめる減衰器を挿入して、計数率を低下させることに
より、数え落としの補正可能範囲を超えないようにして
測定を行っていた。しかし、測定途中で数え落とし補正
が出来ない程、計数率が高いと判明した時は、測定を中
断し、再度測定しなければならないと云う問題があっ
た。このため。測定Ｘ線の強度の変化幅が大きいと予想
される時は、測定感度を全体的に下げて測定していたた
め。微量元素の検出感度，定量精度が低くなっていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、測定Ｘ線の
強度変化幅が大きい時でも、微量元素等の弱いＸ線も感
度，精度良く測定できるようにしようとすることを目的
とする。
強度変化幅が大きい時でも、微量元素等の弱いＸ線も感
度，精度良く測定できるようにしようとすることを目的
とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】蛍光Ｘ線分析装置におい
て、蛍光Ｘ線強度を測定する手段と、同測定手段からの
測定値と或る設定した基準値とを比較する手段と、測定
値が基準値より大きい場合に、Ｘ線管の管電流を一定割
合だけ減衰する手段と、その減衰期間で得られた測定値
にその減衰期間における管電流の減衰率の逆数を掛算す
る手段を設けた。
て、蛍光Ｘ線強度を測定する手段と、同測定手段からの
測定値と或る設定した基準値とを比較する手段と、測定
値が基準値より大きい場合に、Ｘ線管の管電流を一定割
合だけ減衰する手段と、その減衰期間で得られた測定値
にその減衰期間における管電流の減衰率の逆数を掛算す
る手段を設けた。
【０００５】
【作用】微量成分と多量成分を連続して測定する時に、
微量成分を測定する時には高感度で測定しなければなら
ず、多量成分を測定する時には、測定値の最大値が測定
範囲を超えない感度で測定しなければならない。本発明
は、当初微量成分の測定に対応する高感度に設定してお
くことにより、実測値が一定レベルを超えた時に、実測
値が測定範囲内に収まるように励起Ｘ線管の管電流を減
らし測定感度を低下させて測定することにより、微量成
分も多量成分も連続して夫々に可能な最高感度で測定す
ることができる。
微量成分を測定する時には高感度で測定しなければなら
ず、多量成分を測定する時には、測定値の最大値が測定
範囲を超えない感度で測定しなければならない。本発明
は、当初微量成分の測定に対応する高感度に設定してお
くことにより、実測値が一定レベルを超えた時に、実測
値が測定範囲内に収まるように励起Ｘ線管の管電流を減
らし測定感度を低下させて測定することにより、微量成
分も多量成分も連続して夫々に可能な最高感度で測定す
ることができる。
【０００６】
【実施例】図１に本発明の一実施例の構成を示す。図に
おいて、１はＸ線管で、試料ＳにＸ線を照射する。試料
ＳはＸ線で励起され、蛍光Ｘ線を放射する。蛍光Ｘ線は
分光器２によって分光されＸ線検出器３によって検出さ
れる。検出信号は計数回路４で計数され、インターフェ
イス５を通って、データ処理装置６で処理される。７は
Ｘ線発生制御装置で、Ｘ線管の管電流を制御する。８は
インターフェイスである。データ処理装置６では、予め
設定してある一定計数値を超えた場合に、Ｘ線発生制御
装置７を制御し、Ｘ線管の電流値を１／ａに低下させる
と共に、得られた計数値に上記設定された低下率の逆数
ａを掛算し、正しい測定値に変換する。
おいて、１はＸ線管で、試料ＳにＸ線を照射する。試料
ＳはＸ線で励起され、蛍光Ｘ線を放射する。蛍光Ｘ線は
分光器２によって分光されＸ線検出器３によって検出さ
れる。検出信号は計数回路４で計数され、インターフェ
イス５を通って、データ処理装置６で処理される。７は
Ｘ線発生制御装置で、Ｘ線管の管電流を制御する。８は
インターフェイスである。データ処理装置６では、予め
設定してある一定計数値を超えた場合に、Ｘ線発生制御
装置７を制御し、Ｘ線管の電流値を１／ａに低下させる
と共に、得られた計数値に上記設定された低下率の逆数
ａを掛算し、正しい測定値に変換する。
【０００７】定性及び定量分析におけるデータ処理装置
６の制御動作を、図２のフローチャートを用いて詳しい
説明を行う。当初Ｘ線管１の管電流は最大に設定されて
いる。まず、分光器２を１ステップ駆動し、蛍光Ｘ線強
度を測定する（ア）。測定された実測強度が基準値より
高いかどうか判定する（イ）。高くない場合は、ステッ
プ（オ）に行き、測定値を蛍光Ｘ線強度としてデータ処
理し、ステップ（カ）に進む。高い場合は、管電流を１
／ａに減衰して再度蛍光Ｘ線強度を測定する（ウ）。実
測強度をａ倍して測定値とし（エ）、ａ倍した測定値を
蛍光Ｘ線強度としてデータ処理し（オ）、ステップ
（カ）に進む。スッテプ（カ）では、測定波長がまだあ
るかどうか判断する（カ）。測定波長がある場合には、
ステップ（ア）に戻る。測定波長が無くなった場合に
は、測定を終了する。
６の制御動作を、図２のフローチャートを用いて詳しい
説明を行う。当初Ｘ線管１の管電流は最大に設定されて
いる。まず、分光器２を１ステップ駆動し、蛍光Ｘ線強
度を測定する（ア）。測定された実測強度が基準値より
高いかどうか判定する（イ）。高くない場合は、ステッ
プ（オ）に行き、測定値を蛍光Ｘ線強度としてデータ処
理し、ステップ（カ）に進む。高い場合は、管電流を１
／ａに減衰して再度蛍光Ｘ線強度を測定する（ウ）。実
測強度をａ倍して測定値とし（エ）、ａ倍した測定値を
蛍光Ｘ線強度としてデータ処理し（オ）、ステップ
（カ）に進む。スッテプ（カ）では、測定波長がまだあ
るかどうか判断する（カ）。測定波長がある場合には、
ステップ（ア）に戻る。測定波長が無くなった場合に
は、測定を終了する。
【０００８】上の実施例はＸ線強度が増加して行く場合
のみ適用できる。Ｘ線強度が上下変動を繰返す場合、各
Ｘ線ピーク毎にＸ線強度増加時は、上述動作により励起
Ｘ線管の管電流制御を行い、強度が低下して行く過程で
は、データ処理装置６は管電流の初期設定値に対する低
減比を記憶しており、上述の逆の動作で、分光器２が検
出ピーク位置を超えてＸ線強度が減少する場合、管電流
をａ倍してみて、Ｘ線強度が基準値を超える間は低い管
電流で測定を続け、ａ倍して基準値を超えないようにな
ければ、次のステップからは、管電流をａ倍にしたま
ゝ、つまり元に戻して測定する。即ち、図３に示すよう
に、実際のＸ線強度のプロファイル（点線）に対して、
鋸歯状の実測データ（実線）が得られる。この実測デー
タに管電流の減衰率の逆数を掛算して、正しいＸ線強度
に変換する。
のみ適用できる。Ｘ線強度が上下変動を繰返す場合、各
Ｘ線ピーク毎にＸ線強度増加時は、上述動作により励起
Ｘ線管の管電流制御を行い、強度が低下して行く過程で
は、データ処理装置６は管電流の初期設定値に対する低
減比を記憶しており、上述の逆の動作で、分光器２が検
出ピーク位置を超えてＸ線強度が減少する場合、管電流
をａ倍してみて、Ｘ線強度が基準値を超える間は低い管
電流で測定を続け、ａ倍して基準値を超えないようにな
ければ、次のステップからは、管電流をａ倍にしたま
ゝ、つまり元に戻して測定する。即ち、図３に示すよう
に、実際のＸ線強度のプロファイル（点線）に対して、
鋸歯状の実測データ（実線）が得られる。この実測デー
タに管電流の減衰率の逆数を掛算して、正しいＸ線強度
に変換する。
【０００９】図４に管電流を低下させた時の検量線を示
す。Ａ（一点鎖線）は数え落とし補正可能レベル、Ｂ
（実線）は実測データ、Ｃは実Ｘ線強度データを示して
おり、Ｔ１区間は管電流の低下率が１の時のデータを、
Ｔ２区間は管電流の低下率が１／ａの時のデータを、Ｔ
３区間は管電流の低下率が１／ａ2 の時のデータを示し
ている。このように実測データが数え落とし補正可能レ
ベルを超えないように、管電流を低下させることによ
り、出来るだけ高感度な状態で高精度に測定することが
できる。
す。Ａ（一点鎖線）は数え落とし補正可能レベル、Ｂ
（実線）は実測データ、Ｃは実Ｘ線強度データを示して
おり、Ｔ１区間は管電流の低下率が１の時のデータを、
Ｔ２区間は管電流の低下率が１／ａの時のデータを、Ｔ
３区間は管電流の低下率が１／ａ2 の時のデータを示し
ている。このように実測データが数え落とし補正可能レ
ベルを超えないように、管電流を低下させることによ
り、出来るだけ高感度な状態で高精度に測定することが
できる。
【００１０】
【発明の効果】本発明によれば、実測データが一定レベ
ルを超えた時に、管電流を一定割合で低下させることに
より、実測データを測定範囲内に収まるようにし、なお
低下期間で得られた実測データに低下率の逆数を掛ける
ことにより、全ての測定データを当初の管電流の測定デ
ータレベルに統一して表示することが可能となり、微量
成分と多量成分を連続して夫々に可能な最高感度で測定
できるようになり、一段と高精度で定量測定できるよう
になった。
ルを超えた時に、管電流を一定割合で低下させることに
より、実測データを測定範囲内に収まるようにし、なお
低下期間で得られた実測データに低下率の逆数を掛ける
ことにより、全ての測定データを当初の管電流の測定デ
ータレベルに統一して表示することが可能となり、微量
成分と多量成分を連続して夫々に可能な最高感度で測定
できるようになり、一段と高精度で定量測定できるよう
になった。
【図１】本発明の一実施例の構成図である。
【図２】上記実施例のフローチャートである。
【図３】上記実施例の実測Ｘ線強度と実際のＸ線強度の
プロファイル図である。
プロファイル図である。
【図４】上記実施例の検量線図である。
Ｓ 試料 １ Ｘ線管 ２ 分光器 ３ Ｘ線検出器 ４ 計数回路 ５ インターフェイス ６ データ処理装置 ７ Ｘ線発生制御装置 ８ インターフェイス
Claims (1)
- 【請求項１】 蛍光Ｘ線強度を測定する手段と、同測
定手段からの測定値と或る設定した基準値とを比較する
手段と、測定値が基準値より大きい場合に、Ｘ線管の管
電流を一定割合だけ減衰する手段と、その減衰期間で得
られた測定値にその減衰期間における管電流の減衰率の
逆数を掛算する手段を設けたことを特徴とする蛍光Ｘ線
分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2410957A JP2531306B2 (ja) | 1990-12-14 | 1990-12-14 | 蛍光ｘ線分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2410957A JP2531306B2 (ja) | 1990-12-14 | 1990-12-14 | 蛍光ｘ線分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05107205A JPH05107205A (ja) | 1993-04-27 |
| JP2531306B2 true JP2531306B2 (ja) | 1996-09-04 |
Family
ID=18520037
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2410957A Expired - Lifetime JP2531306B2 (ja) | 1990-12-14 | 1990-12-14 | 蛍光ｘ線分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2531306B2 (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5618399A (en) * | 1979-07-23 | 1981-02-21 | Toshiba Corp | X-ray tomograph |
| JPH01105854U (ja) * | 1988-01-09 | 1989-07-17 |
-
1990
- 1990-12-14 JP JP2410957A patent/JP2531306B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05107205A (ja) | 1993-04-27 |
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Legal Events
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