JP2527158Y2 - 実体顕微鏡用同軸落射照明装置 - Google Patents
実体顕微鏡用同軸落射照明装置Info
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- JP2527158Y2 JP2527158Y2 JP15192588U JP15192588U JP2527158Y2 JP 2527158 Y2 JP2527158 Y2 JP 2527158Y2 JP 15192588 U JP15192588 U JP 15192588U JP 15192588 U JP15192588 U JP 15192588U JP 2527158 Y2 JP2527158 Y2 JP 2527158Y2
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Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、実体顕微鏡用同軸落射照明装置に関する。
最近実体顕微鏡が種々の検査装置に取付けて使用され
ているが、反射率の高い半導体や偏光観察の必要な液晶
等の検査では、照明光軸と観察光軸が一致していないと
観察系に入射する光量が激減して観察不能になってしま
うので専ら同軸落射照明装置が用いられている。
ているが、反射率の高い半導体や偏光観察の必要な液晶
等の検査では、照明光軸と観察光軸が一致していないと
観察系に入射する光量が激減して観察不能になってしま
うので専ら同軸落射照明装置が用いられている。
そして、この種同軸落射照明装置では光源ランプ像を
対物レンズの瞳に投影するための光学系が必要であるた
め、ある程度の光路長を持たせる必要があった。又、光
源ランプの熱の顕微鏡本体への影響を軽減したり、空気
流通を良くして光源ランプの冷却効率を高めるために、
光源ランプを顕微鏡本体からできるだけ離しておくこと
が好ましかった。そこで、従来の同軸落射照明装置は下
記の如く、光路が水平方向に展開される構成となってい
た。
対物レンズの瞳に投影するための光学系が必要であるた
め、ある程度の光路長を持たせる必要があった。又、光
源ランプの熱の顕微鏡本体への影響を軽減したり、空気
流通を良くして光源ランプの冷却効率を高めるために、
光源ランプを顕微鏡本体からできるだけ離しておくこと
が好ましかった。そこで、従来の同軸落射照明装置は下
記の如く、光路が水平方向に展開される構成となってい
た。
第２図（Ａ），（Ｂ）及び（Ｃ）は夫々一従来例の光
学系を示す平面図，背面図及び側面図である。１は光源
ランプ、2,2は光源ランプ１の左右に配置されたコレク
タレンズ、3,3はコレクタレンズ2,2を通った光を夫々水
平面内にて前方に曲げるミラー、4,4はミラー3,3からの
反射光路中に夫々配置された瞳投影レンズ、5,5は瞳投
影レンズ4,4の後方に配置されたポラライザ、6,6はポラ
ライザ5,5を通った光を夫々水平面内にて内側に曲げる
ミラー、7,7はミラー6,6からの光を夫々下方に曲げてそ
の方向を後述すの一対の観察光軸と一致せしめるハーフ
ミラーであって、これらが左右一対の同軸落射照明系を
構成している。8,8は物体面Ｍにて10°〜14°の角度で
交差する一対の観察光軸上に夫々配置されたズームレン
ズである対物レンズ、９は対物レンズ8,8と物体面Ｍと
の間に配置されている物体面Ｍからの反射光の明るさ
（偏光状態）を変える1/4波長板、10,10は上記一対の観
察光軸上でハーフミラー7,7の上方に夫々配置されたア
ナライザ、11,11はアナライザ10,10の上方に夫々配置さ
れていて上記一対の観察光軸を夫々曲げるプリズム、1
2,12はプリズム11,11の後方に夫々配置された接眼レン
ズであって、これらが左右一対の観察系を構成してい
る。
学系を示す平面図，背面図及び側面図である。１は光源
ランプ、2,2は光源ランプ１の左右に配置されたコレク
タレンズ、3,3はコレクタレンズ2,2を通った光を夫々水
平面内にて前方に曲げるミラー、4,4はミラー3,3からの
反射光路中に夫々配置された瞳投影レンズ、5,5は瞳投
影レンズ4,4の後方に配置されたポラライザ、6,6はポラ
ライザ5,5を通った光を夫々水平面内にて内側に曲げる
ミラー、7,7はミラー6,6からの光を夫々下方に曲げてそ
の方向を後述すの一対の観察光軸と一致せしめるハーフ
ミラーであって、これらが左右一対の同軸落射照明系を
構成している。8,8は物体面Ｍにて10°〜14°の角度で
交差する一対の観察光軸上に夫々配置されたズームレン
ズである対物レンズ、９は対物レンズ8,8と物体面Ｍと
の間に配置されている物体面Ｍからの反射光の明るさ
（偏光状態）を変える1/4波長板、10,10は上記一対の観
察光軸上でハーフミラー7,7の上方に夫々配置されたア
ナライザ、11,11はアナライザ10,10の上方に夫々配置さ
れていて上記一対の観察光軸を夫々曲げるプリズム、1
2,12はプリズム11,11の後方に夫々配置された接眼レン
ズであって、これらが左右一対の観察系を構成してい
る。
そして、光源ランプ１を発した光は左右に分かれてコ
レクタレンズ2,2で夫々集光され、ミラー3,3で夫々前方
に曲げられ、瞳投影レンズ44,ポラライザ5,5を経てミラ
ー6,6で夫々内側へ曲げられ、ハーフミラー7,7で夫々下
方へ曲げられて上記一対の観察光軸と一致せしめられ
る。更にこれらの光は夫々対物レンズ8,8,1/4波長板９
を通った後照明光として物体面に照射されるが、一方の
対物レンズ８を通った照明光は物体面Ｍで正反射して観
察光として1/4波長板９を通って他方の対物レンズ８に
入射し、該他方の対物レンズ８を通った光は同じく物体
面Ｍで正反射して観察光として1/4波長板９を通って上
記一方の対物レンズ８に入射する。そして、一対の対物
レンズ8,8を通った光は夫々ハーフミラー7,7を透過し、
アナライザ10,10を夫々通り、プリズム11,11で曲げら
れ、接眼レンズ12,12により立体像として観察される。
尚、ポラライザ5,アナライザ10はフレア光除去のために
設けられている。
レクタレンズ2,2で夫々集光され、ミラー3,3で夫々前方
に曲げられ、瞳投影レンズ44,ポラライザ5,5を経てミラ
ー6,6で夫々内側へ曲げられ、ハーフミラー7,7で夫々下
方へ曲げられて上記一対の観察光軸と一致せしめられ
る。更にこれらの光は夫々対物レンズ8,8,1/4波長板９
を通った後照明光として物体面に照射されるが、一方の
対物レンズ８を通った照明光は物体面Ｍで正反射して観
察光として1/4波長板９を通って他方の対物レンズ８に
入射し、該他方の対物レンズ８を通った光は同じく物体
面Ｍで正反射して観察光として1/4波長板９を通って上
記一方の対物レンズ８に入射する。そして、一対の対物
レンズ8,8を通った光は夫々ハーフミラー7,7を透過し、
アナライザ10,10を夫々通り、プリズム11,11で曲げら
れ、接眼レンズ12,12により立体像として観察される。
尚、ポラライザ5,アナライザ10はフレア光除去のために
設けられている。
第３図（Ａ）及び（Ｂ）は夫々他の従来例の光学系の
平面図及び側面図であって、これは光源ランプ１の光を
左右に振り分けるのではなく斜め前方に二つに振り分け
るようにした点以外は上記従来例と同じ構造，機能を有
している。
平面図及び側面図であって、これは光源ランプ１の光を
左右に振り分けるのではなく斜め前方に二つに振り分け
るようにした点以外は上記従来例と同じ構造，機能を有
している。
ところで、検査装置では多くの検査用電気回路やプロ
ーブ等が設けられるため、実体顕微鏡の専有面積はでき
るかぎり小さい方が良いが、上記二つの従来例は何れも
光路が水平方向に展開される構成となっていたため、奥
行きが大きくなり過ぎ、その結果専有面積が大きくなる
という問題があった。又、光源ランプが顕微鏡本体の水
平方向に位置するための光源ランプからの放射熱を受け
る顕微鏡本体の面積が大きく且つ熱気が顕微鏡本体に入
り込み易く、その結果顕微鏡本体の光学系に悪影響が及
び易いという問題があった。
ーブ等が設けられるため、実体顕微鏡の専有面積はでき
るかぎり小さい方が良いが、上記二つの従来例は何れも
光路が水平方向に展開される構成となっていたため、奥
行きが大きくなり過ぎ、その結果専有面積が大きくなる
という問題があった。又、光源ランプが顕微鏡本体の水
平方向に位置するための光源ランプからの放射熱を受け
る顕微鏡本体の面積が大きく且つ熱気が顕微鏡本体に入
り込み易く、その結果顕微鏡本体の光学系に悪影響が及
び易いという問題があった。
本考案は、上記問題点に鑑み、実体顕微鏡の専有面積
が小さくなり且つ顕微鏡本体へ熱が伝わりにくくなるよ
うにした実体顕微鏡用同軸落射照明装置を提供すること
を目的としている。
が小さくなり且つ顕微鏡本体へ熱が伝わりにくくなるよ
うにした実体顕微鏡用同軸落射照明装置を提供すること
を目的としている。
本考案による実体顕微鏡用同軸落射照明装置では、光
学的に同一に構成された対物レンズ及び接眼レンズを夫
々有する一対の観察光学系と、少なくとも前記対物レン
ズよりも上側において夫々前記観察光学系と同軸になる
ように光線分割部材を介して照明光を入射せしめる光源
を有する照明光学系とを備え、且つ前記接眼レンズ側と
光源側に夫々振動方向を直交させた偏光板を配置すると
共に、前記対物レンズと試料との間に1/4波長板を配置
してなる実体顕微鏡用同軸落射照明装置において、前記
光源を含む光学素子を保持するランプハウスを顕微鏡本
体と一体的に構成し、前記照明光学系の光路をほぼ直角
に偏向せしめる偏向部材を前記光線分割部材に近接さ
せ、かつ該偏向部材の反射面が前記光線分割部材の反射
面に対してほぼ平行になるように配置せしめ、前記ラン
プハウスを前記対物レンズの光軸を挟んで前記接眼レン
ズと反対位置に配置せしめる共に、前記照明光学系の光
源を顕微鏡本体から上方に離隔して配置し、且つ前記ラ
ンプハウスの下部及び上部に設けた空気流入口と空気流
出口を前記接眼レンズとは反対の方向に向けたことを特
徴とする。
学的に同一に構成された対物レンズ及び接眼レンズを夫
々有する一対の観察光学系と、少なくとも前記対物レン
ズよりも上側において夫々前記観察光学系と同軸になる
ように光線分割部材を介して照明光を入射せしめる光源
を有する照明光学系とを備え、且つ前記接眼レンズ側と
光源側に夫々振動方向を直交させた偏光板を配置すると
共に、前記対物レンズと試料との間に1/4波長板を配置
してなる実体顕微鏡用同軸落射照明装置において、前記
光源を含む光学素子を保持するランプハウスを顕微鏡本
体と一体的に構成し、前記照明光学系の光路をほぼ直角
に偏向せしめる偏向部材を前記光線分割部材に近接さ
せ、かつ該偏向部材の反射面が前記光線分割部材の反射
面に対してほぼ平行になるように配置せしめ、前記ラン
プハウスを前記対物レンズの光軸を挟んで前記接眼レン
ズと反対位置に配置せしめる共に、前記照明光学系の光
源を顕微鏡本体から上方に離隔して配置し、且つ前記ラ
ンプハウスの下部及び上部に設けた空気流入口と空気流
出口を前記接眼レンズとは反対の方向に向けたことを特
徴とする。
従って、本考案の装置は、照明光学系を観察光学系に
対して近接させて、ほぼ上方に延出させることにより、
顕微鏡本体の専有面積を小さくできる。また、光源を顕
微鏡本体から上方に離間して配置することにり、光源か
ら発する熱による顕微鏡本体への悪影響を抑制でき、且
つランプハウスを接眼レンズと反対に位置せしめること
により、観察者から光源を遠ざけることができる。
対して近接させて、ほぼ上方に延出させることにより、
顕微鏡本体の専有面積を小さくできる。また、光源を顕
微鏡本体から上方に離間して配置することにり、光源か
ら発する熱による顕微鏡本体への悪影響を抑制でき、且
つランプハウスを接眼レンズと反対に位置せしめること
により、観察者から光源を遠ざけることができる。
以下、図示した一実施例に基づき上記従来例と同一の
部材には同一符号を付して本考案を詳細に説明する。
部材には同一符号を付して本考案を詳細に説明する。
第１図（Ａ），（Ｂ）及び（Ｃ）は夫々一実施例の光
学系を示す平面図，背面図及び側面図である。光源ラン
プ１は顕微鏡本体の上方に隔離して配置されており、光
源ランプ１を発し左右のコンタクレンズ2,2で夫々集光
せしめられた光はミラー13,13でほぼ直角に下方に曲げ
られ、その各光路上に瞳投影レンズ4,4,ポラライザ5,5
が夫々配置されている。そして、ポラライザ5,5を通っ
た光は夫々ミラー14,14で水平方向に曲げられてハーフ
ミラー7,7に入射せしめられ観察光軸と一致せしめられ
るようになっているが、ミラー14,14とハーフミラー7,7
との間隔は夫々極めて短く（第１図（Ｃ）参照）、夫々
の反射面はほぼ平行になっている。即ち、照明光学系の
光路の大部分はミラー14,14により対物レンズ8,8の光軸
とほぼ平行になるように上方に展開されている。又、15
は光源ランプ１からミラー14,14までを収納している縦
長のランプハウスであって、その背面及び側面の下部に
は空気流入口15a,15bが夫々形成され、更に該背面及び
側面の上部と頂面には空気流出口15c及び15dと15eが夫
々形成されている。
学系を示す平面図，背面図及び側面図である。光源ラン
プ１は顕微鏡本体の上方に隔離して配置されており、光
源ランプ１を発し左右のコンタクレンズ2,2で夫々集光
せしめられた光はミラー13,13でほぼ直角に下方に曲げ
られ、その各光路上に瞳投影レンズ4,4,ポラライザ5,5
が夫々配置されている。そして、ポラライザ5,5を通っ
た光は夫々ミラー14,14で水平方向に曲げられてハーフ
ミラー7,7に入射せしめられ観察光軸と一致せしめられ
るようになっているが、ミラー14,14とハーフミラー7,7
との間隔は夫々極めて短く（第１図（Ｃ）参照）、夫々
の反射面はほぼ平行になっている。即ち、照明光学系の
光路の大部分はミラー14,14により対物レンズ8,8の光軸
とほぼ平行になるように上方に展開されている。又、15
は光源ランプ１からミラー14,14までを収納している縦
長のランプハウスであって、その背面及び側面の下部に
は空気流入口15a,15bが夫々形成され、更に該背面及び
側面の上部と頂面には空気流出口15c及び15dと15eが夫
々形成されている。
本実施例は上述の如く構成されており、照明光学系の
光路の大部分が対物レンズ8,8の夫々の光軸とほぼ平行
になるように上方に展開されているから奥行きが小さく
なり、その結果実体顕微鏡の専有面積が小さくなる。
尚、準焦のために対物レンズ8,8の光軸方向のスペース
には予め余裕を持たせているので、照明光学系を上方に
展開しても支障はない。又、光源ランプ１が顕微鏡本体
の上方に隔離して配置されているので、放射熱を受ける
割合が小さく且つ熱気が顕微鏡本体に入り込みにくい。
従って、顕微鏡本体へ熱が伝わりにくくなり、熱膨脹に
よる光路長変化等の悪影響が及びにくい。更に、光源ラ
ンプ１を顕微鏡本体の上方に隔離して配置したことによ
りランプハウス15が煙突状になり、その結果煙突効果が
発生して空気流入口15a,15bから空気流出口15c,15d,15e
への空気の上方への流れが良くなると共に、空気の下方
での流れが顕微鏡本体に対して冷却効果を発揮するの
で、顕微鏡本体の温度が低くなって安全であると共に、
顕微鏡本体の光学系への悪影響が一層及びにくくなる。
光路の大部分が対物レンズ8,8の夫々の光軸とほぼ平行
になるように上方に展開されているから奥行きが小さく
なり、その結果実体顕微鏡の専有面積が小さくなる。
尚、準焦のために対物レンズ8,8の光軸方向のスペース
には予め余裕を持たせているので、照明光学系を上方に
展開しても支障はない。又、光源ランプ１が顕微鏡本体
の上方に隔離して配置されているので、放射熱を受ける
割合が小さく且つ熱気が顕微鏡本体に入り込みにくい。
従って、顕微鏡本体へ熱が伝わりにくくなり、熱膨脹に
よる光路長変化等の悪影響が及びにくい。更に、光源ラ
ンプ１を顕微鏡本体の上方に隔離して配置したことによ
りランプハウス15が煙突状になり、その結果煙突効果が
発生して空気流入口15a,15bから空気流出口15c,15d,15e
への空気の上方への流れが良くなると共に、空気の下方
での流れが顕微鏡本体に対して冷却効果を発揮するの
で、顕微鏡本体の温度が低くなって安全であると共に、
顕微鏡本体の光学系への悪影響が一層及びにくくなる。
上述の如く、本考案による実体顕微鏡用同軸落射照明
装置は、実体顕微鏡の専有面積が小さくなり且つ顕微鏡
本体への熱が伝わりにくくなるという実用上重要な利点
を有している。
装置は、実体顕微鏡の専有面積が小さくなり且つ顕微鏡
本体への熱が伝わりにくくなるという実用上重要な利点
を有している。
第１図（Ａ），（Ｂ）及び（Ｃ）は夫々本考案による実
体顕微鏡用同軸落射照明装置の一実施例の光学系を示す
平面図，背面図及び側面図、第２図（Ａ），（Ｂ）及び
（Ｃ）は夫々一従来例の光学系を示す平面図，背面図及
び側面図、第３図（Ａ）及び（Ｂ）は夫々他の従来例の
光学系を示す平面図及び側面図である。 １……光源ランプ、２……コンタクレンズ、3,6,13,14
……ミラー、４……瞳投影レンズ、５……ポラライザ、
７……ハーフミラー、８……ズームレンズ、９……1/4
波長板、10……アナライザ、11……プリズム、12……接
眼レンズ、15……ランプハウス、15a,15b……空気流入
口、15c,15d,15e……空気流出口。
体顕微鏡用同軸落射照明装置の一実施例の光学系を示す
平面図，背面図及び側面図、第２図（Ａ），（Ｂ）及び
（Ｃ）は夫々一従来例の光学系を示す平面図，背面図及
び側面図、第３図（Ａ）及び（Ｂ）は夫々他の従来例の
光学系を示す平面図及び側面図である。 １……光源ランプ、２……コンタクレンズ、3,6,13,14
……ミラー、４……瞳投影レンズ、５……ポラライザ、
７……ハーフミラー、８……ズームレンズ、９……1/4
波長板、10……アナライザ、11……プリズム、12……接
眼レンズ、15……ランプハウス、15a,15b……空気流入
口、15c,15d,15e……空気流出口。
Claims (1)
- 【請求項１】光学的に同一に構成された対物レンズ及び
接眼レンズ夫々有する一対の観察光学系と、少なくとも
前記対物レンズよりも上側において夫々前記観察光学系
と同軸になるように光線分割部材を介して照明光を入射
せしめる光源を有する照明光学系とを備え、且つ前記接
眼レンズ側と光源側に夫々振動方向を直交させた偏光板
を配置すると共に、前記対物レンズと試料との間に1/4
波長板を配置してなる実体顕微鏡用同軸落射照明装置に
おいて、前記光源を含む光学素子を保持するランプハウ
スを顕微鏡本体と一体的に構成し、前記照明光学系の光
路をほぼ直角に偏向せしめる偏向部材を前記光線分割部
材に近接させ、かつ該偏向部材の反射面が前記光線分割
部材の反射面に対してほぼ平行になるように配置せし
め、前記ランプハウスを前記対物レンズの光軸を挟んで
前記接眼レンズと反対位置に配置せしめる共に、前記照
明光学系の光源を顕微鏡本体から上方に離隔して配置
し、且つ前記ランプハウスの下部及び上部に設けた空気
流入口と空気流出口を前記接眼レンズとは反対の方向に
向けたことを特徴とする実体顕微鏡用同軸落射照明装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15192588U JP2527158Y2 (ja) | 1988-11-22 | 1988-11-22 | 実体顕微鏡用同軸落射照明装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15192588U JP2527158Y2 (ja) | 1988-11-22 | 1988-11-22 | 実体顕微鏡用同軸落射照明装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0271816U JPH0271816U (ja) | 1990-05-31 |
| JP2527158Y2 true JP2527158Y2 (ja) | 1997-02-26 |
Family
ID=31426401
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15192588U Expired - Fee Related JP2527158Y2 (ja) | 1988-11-22 | 1988-11-22 | 実体顕微鏡用同軸落射照明装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2527158Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004361582A (ja) * | 2003-06-03 | 2004-12-24 | Olympus Corp | 実体顕微鏡用同軸落射照明装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004361744A (ja) * | 2003-06-05 | 2004-12-24 | Olympus Corp | 実体顕微鏡用同軸落射照明装置 |
-
1988
- 1988-11-22 JP JP15192588U patent/JP2527158Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004361582A (ja) * | 2003-06-03 | 2004-12-24 | Olympus Corp | 実体顕微鏡用同軸落射照明装置 |
| JP4521163B2 (ja) * | 2003-06-03 | 2010-08-11 | オリンパス株式会社 | 実体顕微鏡用同軸落射照明装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0271816U (ja) | 1990-05-31 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |