JPH087383Y2 - 双眼実体顕微鏡 - Google Patents
双眼実体顕微鏡Info
- Publication number
- JPH087383Y2 JPH087383Y2 JP1989046389U JP4638989U JPH087383Y2 JP H087383 Y2 JPH087383 Y2 JP H087383Y2 JP 1989046389 U JP1989046389 U JP 1989046389U JP 4638989 U JP4638989 U JP 4638989U JP H087383 Y2 JPH087383 Y2 JP H087383Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- objective lens
- observation
- optical axis
- optical
- illumination
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、ICウエハ等の検査に利用される双眼実体顕
微鏡に関する。
微鏡に関する。
ICウエハ等の表面状態が鏡面に近いような試料のキズ
やゴミの双眼実体顕微鏡による検査では、試料表面の法
線に対して入射照明光軸と観察光軸とが対称となるよう
にしないと、良好な観察ができない。そのためこの種の
検査には通常同軸落射照明装置が使われる。
やゴミの双眼実体顕微鏡による検査では、試料表面の法
線に対して入射照明光軸と観察光軸とが対称となるよう
にしないと、良好な観察ができない。そのためこの種の
検査には通常同軸落射照明装置が使われる。
例えば、特開昭55−113014号公報には、対物レンズと
接眼レンズとを夫々有する一対の観察光学系と、対物レ
ンズと接眼レンズとの間に夫々設けられた一対のビーム
スプリッタを有しこの一対のビームスプリッタへの入射
面が一致する一対の照明光学系とを有する双眼実体顕微
鏡であって、ビームスプリッタとしては入射面に垂直な
偏光成分の大半を反射し且つ入射面に平行な偏光成分の
大半を透過するものを用い、両照明光学系のビームスプ
リッタに達するまでの夫々の光路中に偏光子をその偏光
軸をビームスプリッタへの入射面に直交させて設け、一
対の観察光学系の接眼レンズとビームスプリッタとの間
の夫々の光路中に検光子をその偏光軸を前記入射面に平
行にして設けると共に、試料面を介する両対物レンズ間
の光路中に半波長の光路差を生じさせる波長板をその軸
が前記入射面と45°をなすごとく配置したものが開示さ
れている。
接眼レンズとを夫々有する一対の観察光学系と、対物レ
ンズと接眼レンズとの間に夫々設けられた一対のビーム
スプリッタを有しこの一対のビームスプリッタへの入射
面が一致する一対の照明光学系とを有する双眼実体顕微
鏡であって、ビームスプリッタとしては入射面に垂直な
偏光成分の大半を反射し且つ入射面に平行な偏光成分の
大半を透過するものを用い、両照明光学系のビームスプ
リッタに達するまでの夫々の光路中に偏光子をその偏光
軸をビームスプリッタへの入射面に直交させて設け、一
対の観察光学系の接眼レンズとビームスプリッタとの間
の夫々の光路中に検光子をその偏光軸を前記入射面に平
行にして設けると共に、試料面を介する両対物レンズ間
の光路中に半波長の光路差を生じさせる波長板をその軸
が前記入射面と45°をなすごとく配置したものが開示さ
れている。
しかしながら、上述の如き同軸落射照明型双眼実体顕
微鏡では、照明光と観察光とを偏光により分離している
ため、偏光子，検光子の消光比特性や光学部材のひずみ
やビームスプリッタ（偏光ビームスプリッタ）の特性に
より観察光に照明光がフレアーとして入ってくることが
あって良好な観察像が得られず、またこれらの光学部材
の性能を向上させるようにすると、高価となるため好ま
しくないという問題があった。
微鏡では、照明光と観察光とを偏光により分離している
ため、偏光子，検光子の消光比特性や光学部材のひずみ
やビームスプリッタ（偏光ビームスプリッタ）の特性に
より観察光に照明光がフレアーとして入ってくることが
あって良好な観察像が得られず、またこれらの光学部材
の性能を向上させるようにすると、高価となるため好ま
しくないという問題があった。
本考案は、以上の問題点に鑑み、偏光ビームスプリッ
タ等の特殊な光学素子を用いることなく、簡単で安価な
構成でありながら、照明効率が非常に高く、フレア
ーのない良好な観察像から得られる、双眼実体顕微鏡を
提供することを目的とする。
タ等の特殊な光学素子を用いることなく、簡単で安価な
構成でありながら、照明効率が非常に高く、フレア
ーのない良好な観察像から得られる、双眼実体顕微鏡を
提供することを目的とする。
本考案による双眼実体顕微鏡は、対物レンズと、該対
物レンズに続く一対の観察光学系を有する双眼実体顕微
鏡において、前記一対の観察光学系を前記対物レンズの
光軸から離間して配置させ、かつ前記対物レンズの光軸
を挟んで前記一対の観察光学系と対称な位置関係になる
ように該観察光学系から離間して一対の照明光学系を配
置したことにより、照明光路と観察光路とが完全に分離
されるようにしたものである。
物レンズに続く一対の観察光学系を有する双眼実体顕微
鏡において、前記一対の観察光学系を前記対物レンズの
光軸から離間して配置させ、かつ前記対物レンズの光軸
を挟んで前記一対の観察光学系と対称な位置関係になる
ように該観察光学系から離間して一対の照明光学系を配
置したことにより、照明光路と観察光路とが完全に分離
されるようにしたものである。
以下、図示した実施例に基づき本考案を詳細に説明す
る。
る。
第１図は第１実施例の光学系の斜視図、第２図は該光
学系の平面図である。Ｓは試料、Obはアフォーカル系の
対物レンズ、Z1，Z2は変倍光学系、Oc1,Oc２は接眼レン
ズであって、変倍光学系Z1，接眼レンズOc１で一方の観
察光学系を、変倍光学系Z2，接眼レンズOc２で他方の観
察光学系を夫々構成している。そして、これらの一対の
観察光学系の光軸O1，O2は対物レンズObより観察者側で
は対物レンズObの光軸Ｏに対して平行に偏芯している。
又対物レンズObより試料Ｓ側では輻輳角θを有してい
て、試料Ｓが立体的に観察されるようになっている。
学系の平面図である。Ｓは試料、Obはアフォーカル系の
対物レンズ、Z1，Z2は変倍光学系、Oc1,Oc２は接眼レン
ズであって、変倍光学系Z1，接眼レンズOc１で一方の観
察光学系を、変倍光学系Z2，接眼レンズOc２で他方の観
察光学系を夫々構成している。そして、これらの一対の
観察光学系の光軸O1，O2は対物レンズObより観察者側で
は対物レンズObの光軸Ｏに対して平行に偏芯している。
又対物レンズObより試料Ｓ側では輻輳角θを有してい
て、試料Ｓが立体的に観察されるようになっている。
L1，L2は光源、M1，M2は反射鏡であって、光源L1，反
射鏡M1で一方の照明光学系を、光源L2，反射鏡M2で他方
の照明光学系を夫々構成している。そして、光源L1，L2
を発し反射鏡M1，M2で反射された光束の光軸I1，I2は対
物レンズObの光軸Ｏと平行であると共に、夫々光軸Ｏに
関して観察光学系の光軸O2，O1と対称な位置にある（第
２図）。
射鏡M1で一方の照明光学系を、光源L2，反射鏡M2で他方
の照明光学系を夫々構成している。そして、光源L1，L2
を発し反射鏡M1，M2で反射された光束の光軸I1，I2は対
物レンズObの光軸Ｏと平行であると共に、夫々光軸Ｏに
関して観察光学系の光軸O2，O1と対称な位置にある（第
２図）。
本実施例は上述の如く構成されているから、光源L1，
L2より発した光束は反射鏡M1，M2で反射された後、対物
レンズObの光軸Ｏに平行な照明光軸I1，I2として対物レ
ンズObに入射する。その後対物レンズObを透過し試料Ｓ
を照明する。ここで、対物レンズObはアフォーカル系の
対物レンズであるから、試料Ｓがピント面にある時に
は、対物レンズObの光軸Ｏに平行な照明光軸I1，I2は対
物レンズObを透過後は、前記試料Ｓと前記対物レンズOb
の光軸Ｏとの交点Ｐに向かう。交点Ｐより出る光は対物
レンズObを透過後平行光束となる。そして試料Ｓは対物
レンズOb，変倍光学系Z1，Z2及び接眼レンズOc1,Oc２を
介して立体的に観察される。以上の原理により立体観察
が行われるが、本実施例は、照明光軸I1と観察光軸O2及
び照明光軸I2と観察光軸O1は夫々対物レンズObの光軸Ｏ
に対して対称な位置に設けられているので、第２図に示
した照明光軸I2と対物レンズObの光軸Ｏ及び観察光軸O1
を含む平面で切った場合第３図のようになる。第３図に
おいて、試料Ｓが対物レンズObのピント面で対物レンズ
Obの光軸Ｏに垂直な位置にあるとき、照明光軸I2の入射
角αと反射角βとは等しくなり、試料Ｓで反射した照明
光は有効に観察光学系に入射する。これは、照明光軸I1
と観察光軸O2についても同様である。
L2より発した光束は反射鏡M1，M2で反射された後、対物
レンズObの光軸Ｏに平行な照明光軸I1，I2として対物レ
ンズObに入射する。その後対物レンズObを透過し試料Ｓ
を照明する。ここで、対物レンズObはアフォーカル系の
対物レンズであるから、試料Ｓがピント面にある時に
は、対物レンズObの光軸Ｏに平行な照明光軸I1，I2は対
物レンズObを透過後は、前記試料Ｓと前記対物レンズOb
の光軸Ｏとの交点Ｐに向かう。交点Ｐより出る光は対物
レンズObを透過後平行光束となる。そして試料Ｓは対物
レンズOb，変倍光学系Z1，Z2及び接眼レンズOc1,Oc２を
介して立体的に観察される。以上の原理により立体観察
が行われるが、本実施例は、照明光軸I1と観察光軸O2及
び照明光軸I2と観察光軸O1は夫々対物レンズObの光軸Ｏ
に対して対称な位置に設けられているので、第２図に示
した照明光軸I2と対物レンズObの光軸Ｏ及び観察光軸O1
を含む平面で切った場合第３図のようになる。第３図に
おいて、試料Ｓが対物レンズObのピント面で対物レンズ
Obの光軸Ｏに垂直な位置にあるとき、照明光軸I2の入射
角αと反射角βとは等しくなり、試料Ｓで反射した照明
光は有効に観察光学系に入射する。これは、照明光軸I1
と観察光軸O2についても同様である。
以上のように、本実施例は、試料表面の法線に対し照
明光の入射光軸と観察光軸とが対称となる配置なので、
ICウエハ等の鏡面のような試料が良好に観察され、また
対物レンズObのピント面はその光軸Ｏに垂直に形成され
るので、観察像の片ボケ等も発生しない。又、照明光学
系と観察光学系とが別々の光路を有するので、光学系の
有害反射光によるフレアー等を偏光板等を使わなくても
防止できる。
明光の入射光軸と観察光軸とが対称となる配置なので、
ICウエハ等の鏡面のような試料が良好に観察され、また
対物レンズObのピント面はその光軸Ｏに垂直に形成され
るので、観察像の片ボケ等も発生しない。又、照明光学
系と観察光学系とが別々の光路を有するので、光学系の
有害反射光によるフレアー等を偏光板等を使わなくても
防止できる。
第４図は第２実施例の光学系を示している。本実施例
では照明光学系の光源L1，L2と対物レンズObとの間に偏
光子P1，P2をまた観察光学系の対物レンズObと観察者
（図示せず）との間に検光子A1，A2を夫々偏光方向を回
転可能に設けたものである。従って、例えば反射形の液
晶のように偏光性があり落射照明でしか観察できないよ
うな試料の検査を第１実施例と同様に良好な観察状態で
行うことができる。
では照明光学系の光源L1，L2と対物レンズObとの間に偏
光子P1，P2をまた観察光学系の対物レンズObと観察者
（図示せず）との間に検光子A1，A2を夫々偏光方向を回
転可能に設けたものである。従って、例えば反射形の液
晶のように偏光性があり落射照明でしか観察できないよ
うな試料の検査を第１実施例と同様に良好な観察状態で
行うことができる。
上述の如く、本考案による双眼実体顕微鏡は、特殊な
光学素子を用いることなく、簡単で安価な構成でありな
がら、照明効率が非常に高く、フレアーのない良好な観
察像が得られるという実用上重要な利点を有している。
光学素子を用いることなく、簡単で安価な構成でありな
がら、照明効率が非常に高く、フレアーのない良好な観
察像が得られるという実用上重要な利点を有している。
第１図は本考案による双眼実体顕微鏡の第１実施例の斜
視図、第２図は第１実施例の光学系の平面図、第３図は
第１実施例の光学系を照明光軸，対物レンズ光軸，観察
光軸を含む平面で切った場合の要部を示す図、第４図は
第２実施例の光学系の斜視図である。 Ｓ……試料、Ob……対物レンズ、Z1，Z2……変倍光学
系、Oc1,Oc２……接眼レンズ、L1，L2……光源、M1，M2
……反射鏡、O,O1，O2，I1，I2……光軸。
視図、第２図は第１実施例の光学系の平面図、第３図は
第１実施例の光学系を照明光軸，対物レンズ光軸，観察
光軸を含む平面で切った場合の要部を示す図、第４図は
第２実施例の光学系の斜視図である。 Ｓ……試料、Ob……対物レンズ、Z1，Z2……変倍光学
系、Oc1,Oc２……接眼レンズ、L1，L2……光源、M1，M2
……反射鏡、O,O1，O2，I1，I2……光軸。
Claims (1)
- 【請求項１】対物レンズと、該対物レンズに続く一対の
観察光学系を有する双眼実体顕微鏡において、前記一対
の観察光学系を前記対物レンズの光軸から離間して配置
させ、かつ前記対物レンズの光軸を挟んで前記一対の観
察光学系と対称な位置関係になるように該観察光学系か
ら離間して一対の照明光学系を配置したことを特徴とす
る双眼実体顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989046389U JPH087383Y2 (ja) | 1989-04-20 | 1989-04-20 | 双眼実体顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989046389U JPH087383Y2 (ja) | 1989-04-20 | 1989-04-20 | 双眼実体顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02136209U JPH02136209U (ja) | 1990-11-14 |
| JPH087383Y2 true JPH087383Y2 (ja) | 1996-03-04 |
Family
ID=31561433
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1989046389U Expired - Lifetime JPH087383Y2 (ja) | 1989-04-20 | 1989-04-20 | 双眼実体顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH087383Y2 (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55113014A (en) * | 1979-02-23 | 1980-09-01 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | Coaxial reflected lighting type stereomicroscope |
-
1989
- 1989-04-20 JP JP1989046389U patent/JPH087383Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02136209U (ja) | 1990-11-14 |
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