JP2527003B2 - 光ディスクマスタ―用ガラス原盤 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はスタンパーを作製した後に研磨することによ
り繰返して使用される光ディスクマスター用ガラス原盤
の改良に関するものである。

［従来の技術］ 光学式記録は、磁気式記録と比較して記録媒体とヘッ
ドとが非接触であり、かつ高密度の記録が可能である等
の利点がある。この光学式記録媒体としては、読出し専
用のもの、追加書込み可能なもの、消去再書込み可能な
ものが知られており、本発明にかかる読出し専用の光学
式記録媒体（以下、光ディスクと称する）としては、既
にコンパクトディスクや光学方式のビデオディスク等の
形で実用に供されてきている。

一方、光ディスクマスター用のガラス原盤は、スタン
パーを作製した後に研磨することにより繰返して使用さ
れる。通常、このガラス原盤は10〜20回程度、研磨およ
び再使用が繰返される。しかし、カッティングマシーン
で使用可能なガラス原盤の厚さは、±0.1〜0.3mmの精度
が必要である。そこで従来では、ガラス原盤を研磨する
たび毎にその厚さをマイクロメータ等で測定し、それが
許容厚さの範囲にあるかどうかを確認しなければならな
かった。

［発明が解決しようとする課題］ 以上のように、従来の光ディスクマスター用ガラス原
盤では、ガラス原盤を研磨した後にその都度厚さを測定
しなければならないため、作業員の負担が非常に重いも
のとなっていた。また、ガラス原盤の厚さを測定する際
に、ガラス原盤に誤って傷を付けたり、あるいは汚した
りしてしまう恐れが多かった。

本発明は上述のような問題を解決するために成された
もので、厚さの測定を行なうことなく、再使用が未だ可
能であるかどうかを目視で極めて容易に確認することが
可能な光ディスクマスター用ガラス原盤を提供すること
を目的とする。

［課題を解決するための手段］ 上記の目的を達成するために本発明では、スタンパー
を作製した後に研磨することにより繰返して使用される
光ディスクマスター用ガラス原盤において、ガラス原盤
本体の片面側の，パターンを形成する部分となる以外の
部所に、所定の深さを有する凹部を設けるようにしてい
る。

［作用］ 従って、本発明の光ディスクマスター用ガラス原盤に
おいては、ガラス原盤の再使用に伴って繰返して研磨が
行なわれると、ガラス原盤のパターン形成部分以外の部
所に設けられた凹部の深さが、研磨の回数に応じて徐々
に小さくなり、やがてはこの凹部が無くなってしまう。
よって、ガラス原盤に設けられた凹部が存在している限
り、ガラス原盤の再使用が未だ可能であることを、目視
で容易に確認することが可能となる。

［実施例］ 以下、本発明の一実施例について図面を参照して詳細
に説明する。

第１図は、本発明による光ディスクマスター用ガラス
原盤の構成例を示す断面図である。第１図に示すよう
に、本実施例の光ディスクマスター用ガラス原盤１は、
ガラス原盤１本体の片面側における，パターンを形成す
る部分（パターン形成部）２となる以外の部所に、所定
の深さを有する任意形状の凹部３を１個設けて構成して
いる。

ここで、ガラス原盤１本体としては、その大きさが直
径240mm、厚さが5mmで、5.0±0.2mmまで使用可能なもの
としている。また、凹部３としては、その大きさが見易
さと研磨時の影響を考慮して径１〜3mm程度、深さが0.1
8mmのものとし、またその形成位置としてはパターン形
成部２の外側1cm以上の部分としている。さらに、凹部
３の加工法としては、機械加工あるいはフッ酸によるエ
ッチング加工を用いる。

次に、第１図に示した光ディスクマスター用ガラス原
盤１の使用形態について、第２図に示す流れ断面図を用
いて説明する。

すなわち、ガラス原盤１本体の凹部３形成面側の表面
に、あるパターン状にレジスト層４を形成し、次にこの
レジスト層４の表面にニッケル（Ni）等の金属を蒸着し
てニッケル蒸着膜５を形成し、さらにこのニッケル蒸着
膜５の表面にニッケルメッキ層６を形成することによ
り、スタンパーの作製を行なう。次に、このスタンパー
を作製した後に、レジスト層4,ニッケル蒸着膜5,ニッケ
ルメッキ層６を剥離し、次にパターン形成部２に着いた
汚れ７を洗浄によって除去し、しかる後にガラス原盤１
本体の凹部３形成面側を研磨する。そして、通常はこの
ような工程を、10〜20回程度繰返して行なう。

従来では、このような研磨を行なうたび毎に、ガラス
原盤１本体の厚さが、許容厚さ5.0±0.2mmの範囲である
かどうかを測定していた。これに対して、本実施例で
は、ガラス原盤１の再使用に伴って繰返して研磨が行な
われると、ガラス原盤１本体のパターン形成部２以外の
部所に設けられた凹部３の深さが、研磨の回数に応じて
徐々に小さくなり、やがてはこの凹部が無くなってしま
う。よって、ガラス原盤に設けられた凹部が見える限
り、ガラス原盤１の再使用が未だ可能であることを、目
視で容易に確認することが可能となる。よって、再使用
のための研磨により厚さが薄くなり過ぎて再使用が不可
能となった場合に、それを肉眼で簡単に確認することが
できる。

上述したように、本実施例の光ディスクマスター用ガ
ラス原盤１は、ガラス原盤１本体の片面側における，パ
ターン形成部２以外の部所に、所定の深さを有する凹部
３を１個設けるようにしたので、厚さの測定を行なうこ
となく、再使用が未だ可能であるかどうかを目視で極め
て容易に確認することが可能となる。これにより、ガラ
ス原盤１本体を研磨した後に、従来のようにその都度厚
さを測定する必要が無くなる。よって、作業員の負担が
著しく軽減されるばかりでなく、ガラス原盤１本体に誤
って傷を付けたり、あるいは汚したりしてしまうような
ことも無くなる。

尚、上記実施例では、ガラス原盤１本体の片面側に凹
部３を１個設けたが、互いに深さの異なった凹部を複数
個だけ設けるようにしてもよい。この場合には、どの程
度（何回）研磨されたガラス原盤であるのかの見当をつ
けることが可能となる。

［発明の効果］ 以上説明したように本発明によれば、ガラス原盤本体
の片面側の，パターンを形成する部分となる以外の部所
に、所定の深さを有する凹部を設けるようにしたので、
厚さの測定を行なうことなく、再使用が未だ可能である
かどうかを目視で極めて容易に確認することが可能な光
ディスクマスター用ガラス原盤が提供できる。

【図面の簡単な説明】 第１図は本発明による光ディスクマスター用ガラス原盤
の一実施例を示す断面図、第２図は同実施例におけるガ
ラス原盤の使用形態を説明するための流れ断面図であ
る。 １……ガラス原盤、２……パターン形成部、３……凹
部、４……レジスト層、５……ニッケル蒸着膜、６……
ニッケルメッキ層、７……汚れ。

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】スタンパーを作製した後に研磨することに
   より繰返して使用される光ディスクマスター用ガラス原
   盤において、前記ガラス原盤本体の片面側の，パターン
   を形成する部分となる以外の部所に、所定の深さを有す
   る凹部を設けて成ることを特徴とする光ディスクマスタ
   ー用ガラス原盤。
2. 【請求項２】凹部としては、互いに深さの異なった凹部
   を複数個だけ設けるようにしたことを特徴とする請求項
   第（１）項記載の光ディスクマスター用ガラス原盤。