JP2526195Y2 - 軸受装置 - Google Patents
軸受装置Info
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- JP2526195Y2 JP2526195Y2 JP1991029363U JP2936391U JP2526195Y2 JP 2526195 Y2 JP2526195 Y2 JP 2526195Y2 JP 1991029363 U JP1991029363 U JP 1991029363U JP 2936391 U JP2936391 U JP 2936391U JP 2526195 Y2 JP2526195 Y2 JP 2526195Y2
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- Sealing Using Fluids, Sealing Without Contact, And Removal Of Oil (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この考案に係る軸受装置は、半導
体製造装置や水ポンプ等に組み込み、腐食性雰囲気中で
回転する軸の端部を回転自在に支承するのに利用する。
体製造装置や水ポンプ等に組み込み、腐食性雰囲気中で
回転する軸の端部を回転自在に支承するのに利用する。
【０００２】
【従来の技術】腐食性雰囲気中で回転する軸を支承する
軸受装置を構成する場合、この軸受装置が腐食しない様
にしなければならない。この為従来から、図７に示す様
な構造の軸受装置により、腐食性雰囲気中で回転する軸
を支承する事が行なわれていた。
軸受装置を構成する場合、この軸受装置が腐食しない様
にしなければならない。この為従来から、図７に示す様
な構造の軸受装置により、腐食性雰囲気中で回転する軸
を支承する事が行なわれていた。
【０００３】この図７に於いて、１は円筒状の軸受ハウ
ジングで、内部（図７の左部）を腐食性雰囲気としたケ
ーシング２の壁面に設けられている。この軸受ハウジン
グ１の内面２個所位置にはそれぞれ転がり軸受３、３を
設け、両転がり軸受３、３により磁性材製の軸４を、回
転自在に支持している。
ジングで、内部（図７の左部）を腐食性雰囲気としたケ
ーシング２の壁面に設けられている。この軸受ハウジン
グ１の内面２個所位置にはそれぞれ転がり軸受３、３を
設け、両転がり軸受３、３により磁性材製の軸４を、回
転自在に支持している。
【０００４】上記軸受ハウジング１の内周面で、両転が
り軸受３、３よりも腐食性雰囲気側（図７の左側）部分
と上記軸４の外周面との間には、磁性流体シール装置５
を設けている。この磁性流体シール装置５は、軸方向に
亙って着磁された円輪状の永久磁石６、６と、磁性材製
で円輪状のポールピース７、７とを交互に重ね合わせ、
各ポールピース７、７の内周縁と軸４の外周面との間に
磁性流体を、上記永久磁石６、６による磁力で保持する
事で、構成されている。
り軸受３、３よりも腐食性雰囲気側（図７の左側）部分
と上記軸４の外周面との間には、磁性流体シール装置５
を設けている。この磁性流体シール装置５は、軸方向に
亙って着磁された円輪状の永久磁石６、６と、磁性材製
で円輪状のポールピース７、７とを交互に重ね合わせ、
各ポールピース７、７の内周縁と軸４の外周面との間に
磁性流体を、上記永久磁石６、６による磁力で保持する
事で、構成されている。
【０００５】上述の様に、各転がり軸受３、３とケーシ
ング２内の腐食性雰囲気との間に磁性流体シール装置５
を設けた為、上記各転がり軸受３、３が腐食性ガスに曝
らされる事がなくなり、各転がり軸受３、３の防食が図
られる。又、上記腐食性ガスがケーシング２外に漏洩す
る事も防止される。
ング２内の腐食性雰囲気との間に磁性流体シール装置５
を設けた為、上記各転がり軸受３、３が腐食性ガスに曝
らされる事がなくなり、各転がり軸受３、３の防食が図
られる。又、上記腐食性ガスがケーシング２外に漏洩す
る事も防止される。
【０００６】
【考案が解決しようとする課題】ところが、上述の様に
して転がり軸受３、３の腐食防止を図る軸受装置の場
合、耐久性が必ずしも十分とは言えない場合がある。
して転がり軸受３、３の腐食防止を図る軸受装置の場
合、耐久性が必ずしも十分とは言えない場合がある。
【０００７】即ち、上記転がり軸受３とケーシング２内
との間に磁性流体シール装置５を設ける事により、上記
転がり軸受３の腐食防止は図られるが、上記磁性流体シ
ール装置５を構成する部品（最もケーシング２寄りのポ
ールピース７）と磁性流体とは腐食性ガスに曝らされる
事が避けられない。
との間に磁性流体シール装置５を設ける事により、上記
転がり軸受３の腐食防止は図られるが、上記磁性流体シ
ール装置５を構成する部品（最もケーシング２寄りのポ
ールピース７）と磁性流体とは腐食性ガスに曝らされる
事が避けられない。
【０００８】ポールピース７は耐食性に優れたステンレ
ス鋼（磁性材である事が条件）を使用し、磁性流体とし
ては、やはり腐食性ガスに侵されにくい弗素系のものを
使用するが、何れも長期間の使用に伴なって腐食或は劣
化して、シール性を損なったり、或は腐食生成物である
ダストを周囲に飛散させる事が避けられない。
ス鋼（磁性材である事が条件）を使用し、磁性流体とし
ては、やはり腐食性ガスに侵されにくい弗素系のものを
使用するが、何れも長期間の使用に伴なって腐食或は劣
化して、シール性を損なったり、或は腐食生成物である
ダストを周囲に飛散させる事が避けられない。
【０００９】特開昭６４−８３９２１号公報には、転が
り軸受の一方の側に磁性流体シール装置を、他方の側に
ラビリンスシールを、それぞれ設ける事で、潤滑及び防
食の為に、上記転がり軸受部分に設けた弗素系オイルの
漏出を防止した構造が記載されているが、転がり軸受部
分への腐食性ガスの進入を防止出来ず、やはり十分な耐
久性を得るのは難しい。
り軸受の一方の側に磁性流体シール装置を、他方の側に
ラビリンスシールを、それぞれ設ける事で、潤滑及び防
食の為に、上記転がり軸受部分に設けた弗素系オイルの
漏出を防止した構造が記載されているが、転がり軸受部
分への腐食性ガスの進入を防止出来ず、やはり十分な耐
久性を得るのは難しい。
【００１０】本考案は、上述の様な不都合を解消し、腐
食性雰囲気中に於いて使用した場合でも、十分な耐久性
を得られる軸受装置を得るものである。
食性雰囲気中に於いて使用した場合でも、十分な耐久性
を得られる軸受装置を得るものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本考案の軸受装置は、腐
食性雰囲気中で回転する軸の端部を回転自在に支承する
軸受装置であって、上記軸の端部外周面と軸受ハウジン
グの内周面との間に設けられた軸受と、同じく軸の端部
外周面と軸受ハウジングの内周面との間に設けられた磁
性流体シール装置と、この磁性流体シール装置及び上記
軸受よりも腐食性雰囲気側に於いて、上記軸の外周面と
軸受ハウジングの内周面との間に設けられたラビリンス
シール構造部と、このラビリンスシール構造部に充填さ
れたグリースとから構成される。
食性雰囲気中で回転する軸の端部を回転自在に支承する
軸受装置であって、上記軸の端部外周面と軸受ハウジン
グの内周面との間に設けられた軸受と、同じく軸の端部
外周面と軸受ハウジングの内周面との間に設けられた磁
性流体シール装置と、この磁性流体シール装置及び上記
軸受よりも腐食性雰囲気側に於いて、上記軸の外周面と
軸受ハウジングの内周面との間に設けられたラビリンス
シール構造部と、このラビリンスシール構造部に充填さ
れたグリースとから構成される。
【００１２】
【作用】上述の様に構成される本考案の軸受装置の場
合、グリースを充填されたラビリンスシール構造部の存
在により、磁性流体シール装置に腐食性ガスが達しにく
くなる。
合、グリースを充填されたラビリンスシール構造部の存
在により、磁性流体シール装置に腐食性ガスが達しにく
くなる。
【００１３】この為、磁性流体シール装置を構成する部
品が腐食しにくくなると同時に、磁性流体が劣化しにく
くなって、軸受装置の耐久性が向上する。
品が腐食しにくくなると同時に、磁性流体が劣化しにく
くなって、軸受装置の耐久性が向上する。
【００１４】
【実施例】図１〜３は本考案の第一実施例を示してい
る。内部（図１の左部）を腐食性雰囲気としたケーシン
グ２の壁面には、この壁面に形成した円孔８を囲む様に
して、円筒状の軸受ハウジング１を設けている。この軸
受ハウジング１の内面２個所位置にはそれぞれ転がり軸
受３、３を設け、両転がり軸受３、３により磁性材製の
軸４を、回転自在に支持している。
る。内部（図１の左部）を腐食性雰囲気としたケーシン
グ２の壁面には、この壁面に形成した円孔８を囲む様に
して、円筒状の軸受ハウジング１を設けている。この軸
受ハウジング１の内面２個所位置にはそれぞれ転がり軸
受３、３を設け、両転がり軸受３、３により磁性材製の
軸４を、回転自在に支持している。
【００１５】尚、好ましくは、各転がり軸受３、３は、
ステンレス鋼製で、弗素系のグリース（好ましくは蒸気
圧が１０-5Torr以下のもの。）により潤滑されるものを
使用する。又、軸４は、ステンレス鋼製か、表面にメッ
キ等の防食処理を施されたものを用いる。
ステンレス鋼製で、弗素系のグリース（好ましくは蒸気
圧が１０-5Torr以下のもの。）により潤滑されるものを
使用する。又、軸４は、ステンレス鋼製か、表面にメッ
キ等の防食処理を施されたものを用いる。
【００１６】上記軸受ハウジング１の内周面で、両転が
り軸受３、３の間部分と上記軸４の外周面との間には、
磁性流体シール装置５を設けている。この磁性流体シー
ル装置５は、前記従来構造と同様に、軸方向に亙って着
磁された円輪状の永久磁石６、６と、磁性材製で円輪状
のポールピース７、７とを交互に重ね合わせ、各ポール
ピース７、７の内周縁と軸４の外周面との間に磁性流体
を、上記永久磁石６、６による磁力で保持する事により
構成されている。
り軸受３、３の間部分と上記軸４の外周面との間には、
磁性流体シール装置５を設けている。この磁性流体シー
ル装置５は、前記従来構造と同様に、軸方向に亙って着
磁された円輪状の永久磁石６、６と、磁性材製で円輪状
のポールピース７、７とを交互に重ね合わせ、各ポール
ピース７、７の内周縁と軸４の外周面との間に磁性流体
を、上記永久磁石６、６による磁力で保持する事により
構成されている。
【００１７】尚、好ましくは、各ポールピース７、７と
して、ステンレス製（例えばＳＵＳ４３０系）のもの
を、永久磁石６、６としてはプラスチックボンド磁石
を、それぞれ用いる。但し、それぞれ表面に防食用の樹
脂コーティングを施されたものを使用すれば、本体は必
ずしも耐食性を有するものでなくても良い。
して、ステンレス製（例えばＳＵＳ４３０系）のもの
を、永久磁石６、６としてはプラスチックボンド磁石
を、それぞれ用いる。但し、それぞれ表面に防食用の樹
脂コーティングを施されたものを使用すれば、本体は必
ずしも耐食性を有するものでなくても良い。
【００１８】更に、本考案の軸受装置に於いては、上記
軸受ハウジング１の内端部、即ち、上記磁性流体シール
装置５及び１対の転がり軸受３、３よりも腐食性雰囲気
側に、ラビリンスシール構造部９を設けている。
軸受ハウジング１の内端部、即ち、上記磁性流体シール
装置５及び１対の転がり軸受３、３よりも腐食性雰囲気
側に、ラビリンスシール構造部９を設けている。
【００１９】このラビリンスシール構造部９は、上記軸
４の外周面に形成した１対のフランジ状部１０、１０
と、軸受ハウジング１の内周面に支持された複数枚（図
示の例では３枚）のシールリング１１、１１とにより、
屈曲した流路を形成する事で構成されている。
４の外周面に形成した１対のフランジ状部１０、１０
と、軸受ハウジング１の内周面に支持された複数枚（図
示の例では３枚）のシールリング１１、１１とにより、
屈曲した流路を形成する事で構成されている。
【００２０】上記各シールリング１１、１１は、ステン
レス鋼（非磁性でも良い。）、合成樹脂、或は表面にN
i、Cd等の防食の為のメッキを施した鋼材等、耐食性と
弾性とを有する板材により、図３に示す様に欠円環状に
形成されている。そして、各シールリング１１、１１
は、外径を弾性的に縮めた状態で、上記軸受ハウジング
１の内側に挿入し、挿入後はそれぞれが有する弾性によ
り、それぞれの外周縁を軸受ハウジング１の内周面に押
圧する事で、この軸受ハウジング１の内側に支持してい
る。
レス鋼（非磁性でも良い。）、合成樹脂、或は表面にN
i、Cd等の防食の為のメッキを施した鋼材等、耐食性と
弾性とを有する板材により、図３に示す様に欠円環状に
形成されている。そして、各シールリング１１、１１
は、外径を弾性的に縮めた状態で、上記軸受ハウジング
１の内側に挿入し、挿入後はそれぞれが有する弾性によ
り、それぞれの外周縁を軸受ハウジング１の内周面に押
圧する事で、この軸受ハウジング１の内側に支持してい
る。
【００２１】尚、各シールリング１１、１１を軸受ハウ
ジング１内に装着した状態に於いて、隣り合うシールリ
ング１１、１１同士の間には、僅か（例えば０．０５mm
程度）の隙間を介在させる。又、各シールリング１１、
１１の内周縁と軸４の外周面との間にも、僅か（例えば
０．３mm程度）の隙間を介在させる。
ジング１内に装着した状態に於いて、隣り合うシールリ
ング１１、１１同士の間には、僅か（例えば０．０５mm
程度）の隙間を介在させる。又、各シールリング１１、
１１の内周縁と軸４の外周面との間にも、僅か（例えば
０．３mm程度）の隙間を介在させる。
【００２２】そして、上述の様に構成されたラビリンス
シール構造部９には、グリース１２を充填している。こ
のグリース１２としては、腐食性ガスをシールする場合
であれば、弗素系のものを用いるが、水をシールする場
合であれば、一般的なグリースを用いる。
シール構造部９には、グリース１２を充填している。こ
のグリース１２としては、腐食性ガスをシールする場合
であれば、弗素系のものを用いるが、水をシールする場
合であれば、一般的なグリースを用いる。
【００２３】上述の様に構成される本考案の軸受装置の
場合、グリース１２を充填されたラビリンスシール構造
部９の存在により、磁性流体シール装置５に腐食性ガス
が達しにくくなる。
場合、グリース１２を充填されたラビリンスシール構造
部９の存在により、磁性流体シール装置５に腐食性ガス
が達しにくくなる。
【００２４】即ち、グリース１２を充填したラビリンス
シール構造部９により、腐食性ガスが磁性流体シール装
置５に達するのを完全に阻止する事は出来ないが、磁性
流体シール装置５に達する腐食性ガスの量は、上記グリ
ース１２を充填したラビリンスシール構造部９を設けな
い場合に比較して遥かに少なくなり、特に、腐食性の著
しい、新鮮なガスが、上記磁性流体シール装置５に接触
する事が、殆どなくなる。
シール構造部９により、腐食性ガスが磁性流体シール装
置５に達するのを完全に阻止する事は出来ないが、磁性
流体シール装置５に達する腐食性ガスの量は、上記グリ
ース１２を充填したラビリンスシール構造部９を設けな
い場合に比較して遥かに少なくなり、特に、腐食性の著
しい、新鮮なガスが、上記磁性流体シール装置５に接触
する事が、殆どなくなる。
【００２５】この為、ポールピース７等、磁性流体シー
ル装置５を構成する部品が腐食しにくくなると同時に、
磁性流体が劣化しにくくなって、軸受装置の耐久性が向
上する。
ル装置５を構成する部品が腐食しにくくなると同時に、
磁性流体が劣化しにくくなって、軸受装置の耐久性が向
上する。
【００２６】次に、図４は本考案の第二実施例を示して
いる。本実施例の場合、シールリング１１、１１を軸４
の外周面に支持すると共に、各シールリング１１、１１
の外周寄り部分を、軸受ハウジング１の内周面に形成し
た凹溝１３に進入させて、ラビリンスシール構造部９と
している。
いる。本実施例の場合、シールリング１１、１１を軸４
の外周面に支持すると共に、各シールリング１１、１１
の外周寄り部分を、軸受ハウジング１の内周面に形成し
た凹溝１３に進入させて、ラビリンスシール構造部９と
している。
【００２７】又、図５は本考案の第三実施例を示してい
る。本実施例の場合、シールリング１１、１１を軸受ハ
ウジング１の内周面と軸４の外周面とに交互に装着し
て、両周面の間に設けたラビリンスシール構造部９の流
路をより屈曲させ、シール性をより向上させている。
る。本実施例の場合、シールリング１１、１１を軸受ハ
ウジング１の内周面と軸４の外周面とに交互に装着し
て、両周面の間に設けたラビリンスシール構造部９の流
路をより屈曲させ、シール性をより向上させている。
【００２８】更に、図６は本考案の第四実施例を示して
いる。本実施例の場合、軸４の外周面に複数の鍔部１
４、１４直接形成する事で、前記図３に示す様なシール
リング１１を省略している。鍔部１４、１４を直接形成
する事により、各鍔部１４、１４の厚さ寸法（０．３〜
１mm程度）並びに間隔（例えば０．３〜１．０mm程度）
を、前記シールリング１１よりも小さく出来る他、摩耗
等の恐れがなくなり、更に組立性が向上する。
いる。本実施例の場合、軸４の外周面に複数の鍔部１
４、１４直接形成する事で、前記図３に示す様なシール
リング１１を省略している。鍔部１４、１４を直接形成
する事により、各鍔部１４、１４の厚さ寸法（０．３〜
１mm程度）並びに間隔（例えば０．３〜１．０mm程度）
を、前記シールリング１１よりも小さく出来る他、摩耗
等の恐れがなくなり、更に組立性が向上する。
【００２９】
【考案の効果】本考案の軸受装置は、以上に述べた通り
構成され作用する為、腐食性雰囲気中に於いて使用した
場合でも、十分な耐久性を得られ、軸受装置を組み込ん
だ装置の運転を、長期間に亙って安定して行なえる。
構成され作用する為、腐食性雰囲気中に於いて使用した
場合でも、十分な耐久性を得られ、軸受装置を組み込ん
だ装置の運転を、長期間に亙って安定して行なえる。
【図１】本考案の第一実施例を示す半部断面図。
【図２】図１のＡ部拡大図。
【図３】シールリングの斜視図。
【図４】本考案の第二実施例を示す、図２と同様の断面
図。
図。
【図５】本考案の第三実施例を示す、図２と同様の断面
図。
図。
【図６】本考案の第四実施例を示す、図２と同様の断面
図。
図。
【図７】従来の軸受装置の１例を示す断面図。
１ 軸受ハウジング ２ ケーシング ３ 転がり軸受 ４ 軸 ５ 磁性流体シール装置 ６ 永久磁石 ７ ポールピース ８ 円孔 ９ ラビリンスシール構造部 １０ フランジ状部 １１ シールリング １２ グリース １３ 凹溝 １４ 鍔部
Claims (1)
- 【請求項１】 腐食性雰囲気中で回転する軸の端部を回
転自在に支承する軸受装置であって、上記軸の端部外周
面と軸受ハウジングの内周面との間に設けられた軸受
と、同じく軸の端部外周面と軸受ハウジングの内周面と
の間に設けられた磁性流体シール装置と、この磁性流体
シール装置及び上記軸受よりも腐食性雰囲気側に於い
て、上記軸の外周面と軸受ハウジングの内周面との間に
設けられたラビリンスシール構造部と、このラビリンス
シール構造部に充填されたグリースとから成る軸受装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1991029363U JP2526195Y2 (ja) | 1991-04-03 | 1991-04-03 | 軸受装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1991029363U JP2526195Y2 (ja) | 1991-04-03 | 1991-04-03 | 軸受装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04117962U JPH04117962U (ja) | 1992-10-22 |
| JP2526195Y2 true JP2526195Y2 (ja) | 1997-02-19 |
Family
ID=31913240
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1991029363U Expired - Fee Related JP2526195Y2 (ja) | 1991-04-03 | 1991-04-03 | 軸受装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2526195Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013027597A1 (ja) | 2011-08-23 | 2013-02-28 | Ntn株式会社 | 転がり軸受 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104864100B (zh) * | 2015-05-14 | 2016-09-21 | 自贡兆强密封制品实业有限公司 | 冷冻压缩机组合密封系统 |
| WO2019017250A1 (ja) * | 2017-07-18 | 2019-01-24 | イーグル工業株式会社 | 軸封装置 |
| JP7269047B2 (ja) * | 2019-03-22 | 2023-05-08 | 株式会社栗本鐵工所 | 磁気粘性流体装置の回転軸のシール構造 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4020241Y1 (ja) * | 1964-09-07 | 1965-07-14 | ||
| JPS54151085U (ja) * | 1978-04-12 | 1979-10-20 | ||
| JPS6483921A (en) * | 1987-09-26 | 1989-03-29 | Nippon Ferrofluidics Kk | Bearing device |
| JPH0527492Y2 (ja) * | 1988-10-17 | 1993-07-13 |
-
1991
- 1991-04-03 JP JP1991029363U patent/JP2526195Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013027597A1 (ja) | 2011-08-23 | 2013-02-28 | Ntn株式会社 | 転がり軸受 |
| KR20140067055A (ko) | 2011-08-23 | 2014-06-03 | 에누티에누 가부시키가이샤 | 구름 베어링 |
| US9011014B2 (en) | 2011-08-23 | 2015-04-21 | Ntn Corporation | Rolling bearing |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04117962U (ja) | 1992-10-22 |
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