JP2523384Y2 - 真空室用試料ホルダ - Google Patents
真空室用試料ホルダInfo
- Publication number
- JP2523384Y2 JP2523384Y2 JP4092392U JP4092392U JP2523384Y2 JP 2523384 Y2 JP2523384 Y2 JP 2523384Y2 JP 4092392 U JP4092392 U JP 4092392U JP 4092392 U JP4092392 U JP 4092392U JP 2523384 Y2 JP2523384 Y2 JP 2523384Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- vacuum chamber
- pressing
- holder
- pressing body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】 本考案は、トンネル顕微鏡や原
子間力顕微鏡等、真空室の中に試料を置いた状態で試料
を観察するのに適した真空室用試料ホルダに関し、特
に、試料に磁場を印加するように成した真空室用試料ホ
ルダに関する。
子間力顕微鏡等、真空室の中に試料を置いた状態で試料
を観察するのに適した真空室用試料ホルダに関し、特
に、試料に磁場を印加するように成した真空室用試料ホ
ルダに関する。
【０００２】
【従来の技術】 最近、探針を試料表面に沿って走査
し、該走査により検出されたトンネル電流に基づいて試
料表面の凹凸像を得る様にしたトンネル顕微鏡が、試料
表面の微小形状を観察する手段として注目されている。
し、該走査により検出されたトンネル電流に基づいて試
料表面の凹凸像を得る様にしたトンネル顕微鏡が、試料
表面の微小形状を観察する手段として注目されている。
【０００３】この様なトンネル顕微鏡により試料表面を
観察する場合、その観察環境として、大気中，真空中，
不活性ガス中，液中等があり、観察の目的に応じて選択
されが、通常の観察、即ち、清浄な試料表面を観察する
場合、大気中では試料が酸化するので、高真空中で観察
が行われる。
観察する場合、その観察環境として、大気中，真空中，
不活性ガス中，液中等があり、観察の目的に応じて選択
されが、通常の観察、即ち、清浄な試料表面を観察する
場合、大気中では試料が酸化するので、高真空中で観察
が行われる。
【０００４】さて、清浄な試料表面の観察において、磁
場を印加した状態で試料を観察したい場合が多々ある。
場を印加した状態で試料を観察したい場合が多々ある。
【０００５】
【考案が解決しようとする課題】 例えば、前記トンネ
ル顕微鏡を例に取ると、従来のトンネル顕微鏡では、磁
場を印加した状態の清浄な試料表面の観察する事は出来
なかった。それは、若し、真空室内にセットされた観察
すべき試料の両側にコイルを配置し、該コイルに電流を
流して磁場を発生させた場合、該コイルからの熱やガス
の発生により真空室内の圧力が上がってしまい、清浄状
態の試料表面の観察が不可能となるからである。又、こ
の様にして磁場を発生させた場合、試料に効率的に磁場
を印加出来ない。
ル顕微鏡を例に取ると、従来のトンネル顕微鏡では、磁
場を印加した状態の清浄な試料表面の観察する事は出来
なかった。それは、若し、真空室内にセットされた観察
すべき試料の両側にコイルを配置し、該コイルに電流を
流して磁場を発生させた場合、該コイルからの熱やガス
の発生により真空室内の圧力が上がってしまい、清浄状
態の試料表面の観察が不可能となるからである。又、こ
の様にして磁場を発生させた場合、試料に効率的に磁場
を印加出来ない。
【０００６】本考案はこの様な問題を解決する事を目的
として成されたもので、効率的に磁場を印加した状態の
清浄な試料表面の観察する事を可能にした真空室用試料
ホルダを提供するものである。
として成されたもので、効率的に磁場を印加した状態の
清浄な試料表面の観察する事を可能にした真空室用試料
ホルダを提供するものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】 前記目的を達成する為
に、第１の本考案は、試料を載置した試料台の下部を押
圧する押圧体と前記試料の上部を押さえる押さえ体を有
する真空室用試料ホルダにおいて、前記試料台を磁石で
成した。同じく前記目的を達成する為に、第２の本考案
は、試料を載置した試料台の下部を押圧する押圧体と前
記試料の上部を押さえる押さえ体を有する真空室用試料
ホルダにおいて、前記試料台を磁石で成し、該試料台と
試料間に試料に印加される磁場強度を和らげる緩衝部材
を挿入した。同じく、前記目的を達成する為に、第３の
本考案は、試料を載置した試料台の下部を押圧する押圧
体と前記試料の上部を押さえる押さえ体を有する真空室
用試料ホルダにおいて、前記試料台を磁石で成し、該試
料台の側部及び若しくは前記押圧体に押圧される底部を
ヨークで囲った。
に、第１の本考案は、試料を載置した試料台の下部を押
圧する押圧体と前記試料の上部を押さえる押さえ体を有
する真空室用試料ホルダにおいて、前記試料台を磁石で
成した。同じく前記目的を達成する為に、第２の本考案
は、試料を載置した試料台の下部を押圧する押圧体と前
記試料の上部を押さえる押さえ体を有する真空室用試料
ホルダにおいて、前記試料台を磁石で成し、該試料台と
試料間に試料に印加される磁場強度を和らげる緩衝部材
を挿入した。同じく、前記目的を達成する為に、第３の
本考案は、試料を載置した試料台の下部を押圧する押圧
体と前記試料の上部を押さえる押さえ体を有する真空室
用試料ホルダにおいて、前記試料台を磁石で成し、該試
料台の側部及び若しくは前記押圧体に押圧される底部を
ヨークで囲った。
【０００８】
【作用】 磁石で成した試料台を、試料台の下部を押圧
する押圧体と試料の上部を押さえる押さえ体との間にセ
ットする。この様な状態の試料ホルダをトンネル顕微鏡
等の真空室内の所定位置にセットする。すると、試料台
はその周辺に磁場を形成するので、効率的に磁場を印加
した状態の清浄な試料表面の観察する事が出来る。又、
前記試料台と試料間に挿入された緩衝部材により試料に
印加される磁場強度を適宜和らげる事が出来る。更に、
試料台の側部及び若しくは前記押圧体に押圧される底部
を囲ったヨークにより、試料台からの磁場の内、試料の
外へ向かおうとする磁場を効率的に試料方向へ向かわせ
る。
する押圧体と試料の上部を押さえる押さえ体との間にセ
ットする。この様な状態の試料ホルダをトンネル顕微鏡
等の真空室内の所定位置にセットする。すると、試料台
はその周辺に磁場を形成するので、効率的に磁場を印加
した状態の清浄な試料表面の観察する事が出来る。又、
前記試料台と試料間に挿入された緩衝部材により試料に
印加される磁場強度を適宜和らげる事が出来る。更に、
試料台の側部及び若しくは前記押圧体に押圧される底部
を囲ったヨークにより、試料台からの磁場の内、試料の
外へ向かおうとする磁場を効率的に試料方向へ向かわせ
る。
【０００９】
【実施例】 図１は、本考案の一実施例を示した真空室
用試料ホルダの縦断面図である。
用試料ホルダの縦断面図である。
【００１０】図中１は断面がコの字状のホルダ底部体
で、該底部体の底部にはバネの如き押圧体２が取付けら
れている。前記ホルダ底部体１の上部には上部中心部に
孔３が開けられた蓋体４がネジ５Ａ，５Ｂにより固定さ
れている。図中６は前記押圧体２の上に置かれた試料台
で、試料７を載置する側と前記押圧体２で押圧される側
の何れかがＮ，Ｓ極の永久磁石で成した。この実施例で
は夫々Ｎ，Ｓ極とした。
で、該底部体の底部にはバネの如き押圧体２が取付けら
れている。前記ホルダ底部体１の上部には上部中心部に
孔３が開けられた蓋体４がネジ５Ａ，５Ｂにより固定さ
れている。図中６は前記押圧体２の上に置かれた試料台
で、試料７を載置する側と前記押圧体２で押圧される側
の何れかがＮ，Ｓ極の永久磁石で成した。この実施例で
は夫々Ｎ，Ｓ極とした。
【００１１】この様な試料ホルダを、例えば、トンネル
顕微鏡の試料観察室の所定位置にセットして試料観察を
行う場合、先ず、前記試料台６の上に試料７を載せ、該
試料台を、前記押圧体２と蓋体４の間にセットする。す
ると、前記試料上部の周囲が前記蓋体上部の孔３に近い
部分により上方から押さえられ、且つ、前記試料台６の
底部が前記押圧体２により下方から押圧されるので、前
記試料７を載置した試料台６は前記上蓋と押圧体により
しっかりと固定される。この状態のホルダを、トンネル
顕微鏡の試料観察室（図示せず）の所定箇所、即ち、ト
ンネル顕微鏡の探針（図示せず）が試料７の大略中心の
上方に位置する所にセットし、該試料室内を排気装置
（図示せず）により高真空に排気する。この際、高真空
の状態の試料室内において、前記試料台６はその上部か
ら下部に図に示す様に、磁力線８を発生するので、可成
の部分の磁力線が前記試料７の上下面に対し垂直に通過
する。この結果、トンネル顕微鏡により効率的に且つ均
一に磁場を印加した状態の清浄な試料表面の観察する事
が出来る。
顕微鏡の試料観察室の所定位置にセットして試料観察を
行う場合、先ず、前記試料台６の上に試料７を載せ、該
試料台を、前記押圧体２と蓋体４の間にセットする。す
ると、前記試料上部の周囲が前記蓋体上部の孔３に近い
部分により上方から押さえられ、且つ、前記試料台６の
底部が前記押圧体２により下方から押圧されるので、前
記試料７を載置した試料台６は前記上蓋と押圧体により
しっかりと固定される。この状態のホルダを、トンネル
顕微鏡の試料観察室（図示せず）の所定箇所、即ち、ト
ンネル顕微鏡の探針（図示せず）が試料７の大略中心の
上方に位置する所にセットし、該試料室内を排気装置
（図示せず）により高真空に排気する。この際、高真空
の状態の試料室内において、前記試料台６はその上部か
ら下部に図に示す様に、磁力線８を発生するので、可成
の部分の磁力線が前記試料７の上下面に対し垂直に通過
する。この結果、トンネル顕微鏡により効率的に且つ均
一に磁場を印加した状態の清浄な試料表面の観察する事
が出来る。
【００１２】図２は、本考案の他の実施例を示した真空
室用試料ホルダの縦断面図である。図２において、前記
図１における構成要素と同一の構成要素には同一番号を
付した。
室用試料ホルダの縦断面図である。図２において、前記
図１における構成要素と同一の構成要素には同一番号を
付した。
【００１３】図２に示した実施例と図１に示した実施例
の異なる第１点は、試料台６と試料７の間に、該試料に
印加される磁場強度を和らげる緩衝部材９を挿入した事
である。この緩衝部材としては、ガスの放出量が極めて
少なく、透磁率が空気に近いもの、例えば、テフロンや
ダイフロン等が使用される。そして、この緩衝部材の試
料台と試料を結ぶ方向の厚さを考慮することにより試料
に印加される磁場の強度を任意のものにする事が出来、
その為、トンネル顕微鏡により任意の強度の磁場を印加
した状態の清浄な試料表面の観察する事が出来る。
の異なる第１点は、試料台６と試料７の間に、該試料に
印加される磁場強度を和らげる緩衝部材９を挿入した事
である。この緩衝部材としては、ガスの放出量が極めて
少なく、透磁率が空気に近いもの、例えば、テフロンや
ダイフロン等が使用される。そして、この緩衝部材の試
料台と試料を結ぶ方向の厚さを考慮することにより試料
に印加される磁場の強度を任意のものにする事が出来、
その為、トンネル顕微鏡により任意の強度の磁場を印加
した状態の清浄な試料表面の観察する事が出来る。
【００１４】又、図２に示した実施例と図１に示した実
施例の異なる第２点は、試料台６の側部及び前記押圧体
２に押圧される底部をヨーク１０で囲った事である。こ
の様なヨークにより前記試料台６から発生される磁力線
（図１の８）の内、該試料台の側部の外側を通ろうとす
るものは全て試料台中及びヨーク内を通過し、試料７の
上下面に対し垂直に通過する（図２の８´参照）。この
結果、試料台６で発生した殆どの磁力線が試料を通過
し、トンネル顕微鏡により極めて効率的に磁場を印加し
た状態の清浄な試料表面の観察する事が出来る。尚、前
記ヨークは試料台６の底部若しくは側部だけに設けて
も、全く設けない場合に比べその効果が大きい。
施例の異なる第２点は、試料台６の側部及び前記押圧体
２に押圧される底部をヨーク１０で囲った事である。こ
の様なヨークにより前記試料台６から発生される磁力線
（図１の８）の内、該試料台の側部の外側を通ろうとす
るものは全て試料台中及びヨーク内を通過し、試料７の
上下面に対し垂直に通過する（図２の８´参照）。この
結果、試料台６で発生した殆どの磁力線が試料を通過
し、トンネル顕微鏡により極めて効率的に磁場を印加し
た状態の清浄な試料表面の観察する事が出来る。尚、前
記ヨークは試料台６の底部若しくは側部だけに設けて
も、全く設けない場合に比べその効果が大きい。
【００１５】尚、本考案の試料ホルダーはトンネル顕微
鏡の試料ホルダとして使用されるばかりではなく、原子
間力顕微鏡等他の真空室用試料ホルダとしても使用出来
る。
鏡の試料ホルダとして使用されるばかりではなく、原子
間力顕微鏡等他の真空室用試料ホルダとしても使用出来
る。
【００１６】又、上記実施例では、試料台として、試料
載置側とその反対側が夫々Ｎ極，Ｓ極若しくはＳ極、Ｎ
極の磁石を使用したが、Ｎ極，Ｓ極が試料面に対し、垂
直方向の磁石を使用しても良い。
載置側とその反対側が夫々Ｎ極，Ｓ極若しくはＳ極、Ｎ
極の磁石を使用したが、Ｎ極，Ｓ極が試料面に対し、垂
直方向の磁石を使用しても良い。
【００１７】
【考案の効果】 前記第１の本考案においては、試料台
として磁石を使用したので、効率的に磁場を印加した状
態の清浄な試料表面の観察する事が出来る。又、第２の
考案においては、試料台と試料間に緩衝部材を挿入した
ので、任意の強度の磁場を印加した状態の清浄な試料表
面の観察する事が出来る。更に、第３の考案において
は、試料台の側部及び若しくは前記押圧体に押圧される
底部をヨークで囲ったので、極めて効率的に磁場を印加
した状態の清浄な試料表面の観察する事が出来る。
として磁石を使用したので、効率的に磁場を印加した状
態の清浄な試料表面の観察する事が出来る。又、第２の
考案においては、試料台と試料間に緩衝部材を挿入した
ので、任意の強度の磁場を印加した状態の清浄な試料表
面の観察する事が出来る。更に、第３の考案において
は、試料台の側部及び若しくは前記押圧体に押圧される
底部をヨークで囲ったので、極めて効率的に磁場を印加
した状態の清浄な試料表面の観察する事が出来る。
【図１】本考案の一実施例を示した真空室用試料ホルダ
の縦断面図である。
の縦断面図である。
【図２】本考案の他の実施例を示した真空室用試料ホル
ダの縦断面図である。
ダの縦断面図である。
１ ホルダ底部体 ２ 押圧体 ３ 孔 ４ 蓋体 ５Ａ，５Ｂ ネジ ６ 試料台 ７ 試料 ８ 磁力線 ９ 緩衝部材 １０ ヨーク
Claims (3)
- 【請求項１】 試料を載置した試料台の下部を押圧する
押圧体と前記試料の上部を押さえる押さえ体を有する真
空室用試料ホルダにおいて、前記試料台を磁石で成した
真空室用試料ホルダ。 - 【請求項２】 試料を載置した試料台の下部を押圧する
押圧体と前記試料の上部を押さえる押さえ体を有する真
空室用試料ホルダにおいて、前記試料台を磁石で成し、
該試料台と試料間に試料に印加される磁場強度を和らげ
る緩衝部材を挿入した真空室用試料ホルダ。 - 【請求項３】 試料を載置した試料台の下部を押圧する
押圧体と前記試料の上部を押さえる押さえ体を有する真
空室用試料ホルダにおいて、前記試料台を磁石で成し、
該試料台の側部及び若しくは前記押圧体に押圧される底
部をヨークで囲った真空室用試料ホルダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4092392U JP2523384Y2 (ja) | 1992-05-22 | 1992-05-22 | 真空室用試料ホルダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4092392U JP2523384Y2 (ja) | 1992-05-22 | 1992-05-22 | 真空室用試料ホルダ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0592619U JPH0592619U (ja) | 1993-12-17 |
| JP2523384Y2 true JP2523384Y2 (ja) | 1997-01-22 |
Family
ID=12594024
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4092392U Expired - Lifetime JP2523384Y2 (ja) | 1992-05-22 | 1992-05-22 | 真空室用試料ホルダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2523384Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6879078B2 (ja) * | 2016-08-22 | 2021-06-02 | 住友金属鉱山株式会社 | 走査型プローブ顕微鏡を用いた試料の測定方法および走査型プローブ顕微鏡用試料ホルダー |
| JP6355703B2 (ja) * | 2016-11-29 | 2018-07-11 | 株式会社メルビル | 試料ホルダー |
-
1992
- 1992-05-22 JP JP4092392U patent/JP2523384Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0592619U (ja) | 1993-12-17 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19960827 |