JP2519468B2 - 半導体集積回路 - Google Patents

半導体集積回路

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JP2519468B2
JP2519468B2 JP62210232A JP21023287A JP2519468B2 JP 2519468 B2 JP2519468 B2 JP 2519468B2 JP 62210232 A JP62210232 A JP 62210232A JP 21023287 A JP21023287 A JP 21023287A JP 2519468 B2 JP2519468 B2 JP 2519468B2
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Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、半導体メモリの不良ビットを救済する半導
体集積回路に関するものである。
(従来の技術) 近年、半導体メモリの高集積化、大容量化が進展する
に伴い、微細パターンで製造されている。このため、塵
埃などによる半導体メモリセルのパターン崩れが原因し
て不良ビットとなり、半導体メモリは不良となる。これ
は微細パターン化に比例して塵埃などの大きさも次第に
微小なものが問題となるため、製造工程での洗浄による
対応にも限度があり、歩留りを低くする傾向になりつつ
ある。
このような事情から、予めメモリに予備のメモリビッ
トを設けておき、前記不良ビットを電気的に切換える救
済回路を用い、歩留りを上げる冗長回路技術がある。
第3図は従来の冗長回路を備えた半導体集積回の一例
を示し、第3図の1〜6は冗長回路のヒューズでレーザ
光によって切断される。7〜12は第1のトランジスタ
で、その各ゲートには図示せざるアドレスバッファ回路
からn組の出力端子A00,A11……Annがそれ
ぞれ接続され、不良ビットのアドレスの設定は例えばA0
がロー(Low)レベル(以下、Lレベルという)の場
合、0がハイ(High)レベル(以下、Hレベルとい
う)となり、第1のトランジスタ8のヒューズ2をレー
ザ光で切断する。これと逆にA0がHレベルの場合、0
がLレベルとなり、第1のトランジスタ7のヒューズ1
をレーザ光で切断する。以下同様にヒユーズ切断が行な
われる。また、第1のトランジスタの各ソースは接地さ
れ、各ドレインは前記各ヒューズの一端に接続される。
13は第2のトランジスタで、そのゲートに列アドレス取
込み信号▲▼が入力され、ドレインに電源電圧Vc
cが印加され、ソース(以下ノードNという)に前記ヒ
ューズ1〜6の他端が接続される。14および15はそれぞ
れ第3および第4のトランジスタで、前記ノードNの電
位が両トランジスタのゲートに同時に加えられるが、ト
ランジスタ15にはインバータ16で反転したノードNの電
位が加えられる。また両トランジスタ14,15のドレイン
にクロック信号CK1が印加され、第3のトランジスタ14
からは予備のメモリビットへの切換え信号SCL、第4の
トランジスタ15からは通常のメモリビットへの切換え信
号CLが出力されるよう構成されている。
上記、半導体集積回路における不良ビットを予備のメ
モリビットへ切換えるには、ヒューズをレーザ光で切断
し、ノードNの電位変化によりトランジスタから選択信
号を発生させ、行なうものである。
即ち、前述したようにメモリの不良ビットのアドレス
の入力設定ピンAnの電位レベルに対応して2n本あるヒュ
ーズのうち、n本切断して不良ビットの予備のメモリビ
ットへ切換え動作が行なわれる。
第4図は上述した第3図の動作タイミングチャートを
示し、横軸は時間、縦軸は電位レベル(H,Lレベル)で
ある。第4図において、(1)はロー(Row)アドレス
(以下、行アドレスという)の取込み信号▲▼、
(2)はコラム(Column)(以下、列アドレスという)
の取込み信号▲▼、(3)はアドレスバッファ回
路からのn組の出力信号A00,A11……Ann
(4)はクロック信号CK1、(5)は予備のメモリビッ
トの切換え信号SCL、(6)は通常のメモリビットの切
換え信号CL、(7),(8)はノードNの電位N(a),N
(b)を示す。ノードNは列アドレス取込み信号がHレベ
ルの時、第2のトランジスタ13により、Vcc-VtのHレベ
ルに保持される。ここでVccは電源電圧、Vtはトランジ
スタ13のスレッショルド電圧である。
第4図の動作タイミングチャートに示すように行アド
レス取込み信号▲▼によりアドレスの取込み後、
列アドレス取込み信号▲▼がLレベルとなり、ア
ドレスが取込まれ、その後、アドレスバッファ回路の出
力信号A00,A11……Annが出力される。
不良ビットのアドレスをアクセスする場合、第1のト
ランジスタ7〜12の中でゲート電位がHレベルとなるい
わゆるオン状態のトランジスタのドレインに接続された
ヒューズは全て切断されるため、ノードの電位はN(a)
実線で示すようにHレベルが保持される。
また、不良ビットのアドレスでないアドレスをアクセ
スする場合、ヒューズの中で切断されていないヒューズ
がドレインに接続されたトランジスタの中のいずれかの
トランジスタがオン状態となるため、ノードNの電位は
N(a)の点線で示すようにLレベルになる。
したがって、不良ビットのアドレスをアクセスする場
合、ノードNがHレベルのままでクロック信号CK1が時
間t2後にHレベルになると、トランジスタ14はオン状態
となり、図示せざる予備のメモリのビット線とデータ線
間のトランスファゲート用トランジスタのゲートに切換
え信号SCLがHレベルとなって印加され、予備のメモリ
ビットが選択される。
また、前記ノードNのHレベルは同時にインバータ16
によりLレベルに反転され、これがトランジスタ15のゲ
ートに加えられて、オフ状態となるため、図示せざる通
常のメモリのビット線とデータ線間のトランスファゲー
ト用トランジスタのゲートに切換え信号CLがLレベルと
なって印加され、通常のメモリビットは選択されない。
一方、不良ビットのアドレス以外のアドレスをアクセ
スする場合、ノードNはLレベルとなり、クロック信号
CK1によってトランジスタ14はオフ状態、トランジスタ1
5はインバータ16で反転されたHレベルが加わりオン状
態となる。したがって切換え信号SCLは送出されず(点
線図示)予備のメモリビットは選択されず、切換え信号
CLが送出され(点線図示)通常のメモリビットが選択さ
れる。
(発明が解決しようとする問題点) 上述した半導体集積回路において、クロック信号CK1
が出力される時間t2は、ビット線とデータ線がトランス
ファゲート用トランジスタにより接続された後のセンス
アンプ回路の動作が始まる時間であるが、その動作は行
アドレス取込み信号▲▼が出力された後の一定時
間以上後の時間であり、かつまたアドレスバッファ回路
の動作終了後に行ない、回路動作時の電源電流の最大値
を抑制している。しかしメモリの使用上は、行アドレス
の取込み直後に列アドレスの取込みも行なわれることが
あり、この時列アドレス取込み直後にはノードNのレベ
ル判定はされず、クロック信号CK1の出力される時間t2
の間に、ノードNの基板へのリーク電流があるとノード
電位はN(b)のようにLレベルとなり、予備のメモリビッ
トを選択できないことがある。
また、ノードNの電位がN(a)のようにHレベルであっ
ても、レーザ光によってヒューズの切断が不充分な場
合、ヒューズが残り不完全な切断状態となる。したがっ
て高抵抗でノードNと第1のトランジスタとは依然とし
て接続された状態となっている。このため、ノードNは
N(b)に示すようにアドレスバッファ回路の出力信号A0
0,A11……Annが出力されてから次第にLレベ
ルに下がり、時間t2(約35ns)後にLレベルと判定され
る。この結果、予備のメモリビットが選択される切換え
信号SCLはLレベル(点線図示)となり、通常のメモリ
の不良ビットが選択される切換え信号CLがHレベル(点
線図示)となり、不良ビットが救済されないという問題
点があった。
(発明の目的) 本発明は、上述したノードNのレベル判定の時間を列
アドレス取込み信号の取込み直後に行なうとともに、レ
ーザ光によるヒューズ切断が不完全な場合でも、不良ビ
ットを確実に救済することを目的とするものである。
(問題点を解決するための手段) 本発明は上記目的を達成するため、アドレスバッファ
回路の出力がゲートに接続され、かつソースが接地さ
れ、ドレインがヒューズの一端に接続された第1のトラ
ンジスタと、列アドレス取込み信号がゲートに接続さ
れ、かつドレインが電源電圧に接続され、ソースが前記
ヒューズの他端に接続された第2のトランジスタと、こ
の第2のトランジスタのソースをセット入力端子に接続
し、前記列アドレス取込み信号を基準として一定の遅延
時間以降に得られるセットクロック信号によって動作す
るフリップフロップ回路と、その出力端子に接続された
第3および第4のトランジスタとを備え、前記フリップ
フロップ回路の出力を前記第3,第4のトランジスタの各
ゲートに入力し、行アドレス取込み信号を基準として一
定の遅延時間以降に得られるクロック信号を各ドレイン
に入力し、各ソースから予備または通常のメモリのビッ
ト線とデータ線間のトランスファゲート用トランジスタ
のゲートに各切換え信号を送出せしめるよう構成したこ
とを特徴とするものである。
(作用) 本発明は、冗長回路のヒューズの一端が接続された第
2のトランジスタのソース(ノードN)の電位状態が列
アドレス取込み信号を取込んだ直後にフリップフロップ
回路を動作させ、その状態を保持することによって、ノ
ードNの電位情報を安定して保持し、かつ行アドレス取
込み信号を基準として第3および第4のトランジスタを
動作させ、不良ビットを確実に救済するようにしたもの
である。
(実施例) 第1図は本発明の一実施例の回路構成図を示し、第3
図と同一数字記号は同じものである。図の17はフリップ
フロップ回路で、そのセット入力端子SにノードNの電
位状態、即ちHまたはLレベルが、冗長回路のヒューズ
1〜6の切断状態により入力され、その電位状態が安定
に保持される。入力端子Cには第2図の動作タイミング
チャートに示すセットクロック信号SCKが、列アドレス
取込み信号▲▼から一定の遅延時間t1後に入力さ
れる。また、出力端子Q,からはノードNの電位状態を
保持した出力、即ちHまたはLレベルが第3および第4
のトランジスタ14,15のゲートに入力される。両トラン
ジスタは行アドレス取込み信号▲▼から一定の遅
延時間t3後に入力されるクロック信号CK1と前記ゲート
のHまたはLレベルの状態でオンまたはオフ状態とな
り、図示せざる予備または通常のメモリビット線とデー
タ線間のトランスファゲート用トランジスタのゲートに
切換え信号SCLまたはCLを送出する。
なお、前記フリップフロップ回路17の出力端子Q,は
セット入力端子SがHレベルで、かつHレベルのセット
クロック信号SCKが入力された時、QはHレベル、は
Lレベルとなる。またこれを逆にセット入力端子がLレ
ベルで、かつHレベルのセットクロック信号SCKが入力
された時QはLレベル、はHレベルとなる。
次に本実施例の動作を第2図の動作タイミングチャー
トを用い説明すると、この実施例のようなダイナミック
・ランダム・アクセス・メモリでは、アドレスマルチプ
レクスにより、行アドレス、列アドレスを決めることに
より内部のメモリが選択される。
まず、行アドレス取込み信号▲▼がLレベルに
なった後、列アドレス取込み信号▲▼が取込ま
れ、アドレスバッファ回路によりアドレスに対応したA0
〜Anおよび0nの出力信号が出る。
予備のメモリビットに切換える場合、前記出力信号A0
〜Anおよび0nのうちHレベルとなる信号が第1の
トランジスタのゲートに加わった該当トランジスタのド
レインに接続されたヒューズがレーザ光により切断され
ている。例えばA0がHレベルの場合、ヒューズ1が切断
され、ヒューズ2は切断されていない。逆にA0がLレベ
ルの場合はヒューズ1は切断されず0がHレベルとな
るためヒューズ2は切断される。以下同様に1n
Hレベルの場合、ヒューズが切断され、1nがLレ
ベルのためヒューズ4,6は切断されない。A1,AnがLレベ
ルの場合、ヒューズ3,5が切断されないが、ヒューズ4,6
は切断される。
そこで、第2のトランジスタ13により列アドレス取込
み信号▲▼がHレベルの時、ノードNはHレベル
とされており、不良メモリを予備のメモリビットに切換
える場合、第1のトランジスタ7〜12がオン状態となっ
てもヒューズ1〜6がアドレスに対応して切断してある
ため、ノードNの電位N(a)は実線に示すようにHレベル
のままである。
また、予備のメモリビットに切換えないアドレスの場
合、ヒューズ1〜6の中で切断されていないヒューズが
接続された第1のトランジスタの何れかがオン状態とな
るため、ノードNの電位N(a)は点線で示すようにLレベ
ルとなる。
したがってフリップフロップ回路17により、アドレス
バッファ回路からの出力信号A0〜An0nがHレベ
ルとなった時間t1後にセットクロック信号SCKによりノ
ードNのレベルが取込まれ安定に保持される。この後、
行アドレス取込み信号▲▼がLレベルになってか
ら時間t3の後、第3,第4のトランジスタ14,15のクロッ
ク信号CK1がHレベルとなり、フリップフロップ回路17
に保持されたノードNの電位状態により、トランジスタ
14,15から切換え信号SCL、またはCLの何れかがHレベル
となり出力される。
即ち、予備のメモリビットに切換える場合、ノードN
はHレベルであり、フリップフロップ回路17の出力端子
QもHレベルが出力されており、第3のトランジスタ14
はオン状態となり、切換え信号SCLは実線で示すように
Hレベルが出力され、予備のメモリビットが選択され
る。この場合、出力端子QはLレベルが出力され、第4
のトランジスタ15はオフ状態となり、切換え信号CLは実
線で示すようにLレベルのままで通常のメモリビットは
選択されない。
また、予備のメモリビットを選択しない場合は、ノー
ドNがLレベルとなるため、切換え信号SCLはLレベル
(点線)のままで、選択されず、切換え信号CLはHレベ
ル(点線)となり、通常のメモリビットが選択される。
(発明の効果) 本発明は、上述したようにアドレスを取込んだ直後の
短時間にノードNの電位状態(HまたはLレベル)の判
定を行ない、これをフリップフロップ回路で保持するよ
うにしたので、安定しており、ノードNが時間の経過と
ともにHレベルからLレベルになっても予備のメモリビ
ットを確実に選択できる。したがって、ヒューズ切断の
レーザ光の出力が弱かった場合に発生するヒューズが高
抵抗で接続されている場合でも、予備のメモリビットの
選択動作が確実に行なえる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例の回路構成図、第2図は第1
図の動作タイミングチャート、第3図は従来の半導体集
積回路、第4図は第3図の動作タイミングチャートであ
る。 1〜6……ヒューズ、7〜12……第1のトランジスタ、
13……第2のトランジスタ、14……第3のトランジス
タ、15……第4のトランジスタ、17……フリップフロッ
プ回路、N……ノード。

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】アドレスバッファ回路の出力がゲートに接
    続され、かつソースが接地され、ドレインがヒューズの
    一端に接続された第1のトランジスタと、列アドレス取
    込み信号がゲートに接続され、かつドレインが電源電圧
    に接続され、ソースが前記ヒューズの他端と接続された
    第2のトランジスタと、この第2のトランジスタのソー
    スをセット入力端子に接続し、前記列アドレス取込み信
    号を基準として一定の遅延時間以降に得られるセットク
    ロック信号によって動作するフリップフロップ回路と、
    同フリップフロップ回路の出力端子に接続された第3お
    よび第4のトランジスタとを備え、前記フリップフロッ
    プ回路の出力を前記第3,第4のトランジスタの各ゲート
    に入力し、かつ行アドレス取込み信号を基準として、一
    定の遅延時間以降に得られるクロック信号を各ドレイン
    に入力し、各ソースから予備または通常のメモリのビッ
    ト線とデータ線間のトランスファゲート用トランジスタ
    のゲートに各切換え信号を送出せしめるよう構成したこ
    とを特徴とする半導体集積回路。
JP62210232A 1987-08-26 1987-08-26 半導体集積回路 Expired - Lifetime JP2519468B2 (ja)

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