JP2514348Y2 - 半導体における不純物拡散用恒温槽 - Google Patents
半導体における不純物拡散用恒温槽Info
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- JP2514348Y2 JP2514348Y2 JP1990015070U JP1507090U JP2514348Y2 JP 2514348 Y2 JP2514348 Y2 JP 2514348Y2 JP 1990015070 U JP1990015070 U JP 1990015070U JP 1507090 U JP1507090 U JP 1507090U JP 2514348 Y2 JP2514348 Y2 JP 2514348Y2
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- tank
- lid
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- evaporating liquid
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Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、半導体の製造に際して使用するウエハーの
表面に不純物の拡散層を形成する場合において、前記不
純物を含むキャリアガスを蒸発によって発生するための
恒温槽に関するものである。
表面に不純物の拡散層を形成する場合において、前記不
純物を含むキャリアガスを蒸発によって発生するための
恒温槽に関するものである。
一般に、拡散炉に入れたウエハーの表面に不純物の拡
散層を形成するに際しては、不純物拡散層の表面濃度及
び拡散層の深さを正確に制御することのために、不純物
蒸発液を入れた容器を、恒温槽において、適宜の一定温
度に保持することによって、前記拡散炉に送るキャリア
ガス中の不純物濃度を一定にすることが必要である。
散層を形成するに際しては、不純物拡散層の表面濃度及
び拡散層の深さを正確に制御することのために、不純物
蒸発液を入れた容器を、恒温槽において、適宜の一定温
度に保持することによって、前記拡散炉に送るキャリア
ガス中の不純物濃度を一定にすることが必要である。
そこで、従来は、前記恒温槽に、サーモモジュールを
使用することによって、不純物蒸発液を入れた容器を、
所定の温度に保持するようにしている。
使用することによって、不純物蒸発液を入れた容器を、
所定の温度に保持するようにしている。
すなわち、この従来の恒温槽は、第４図に示すよう
に、上面を開放したタンク１内に、不純物蒸発液３を入
れた容器２を挿入して、断熱材製の蓋体４を被せる一
方、前記タンク１の外周面における左右両側に、サーモ
モジュール５を、当該サーモモジュール５における放熱
面を外側に向けるように配設することにより、この側面
に配設したサーモモジュール５によって、前記不純物蒸
発液容器２を、所定の温度に保持するように構成してい
る。なお、この第４図において、符号６は本体ケース、
符号７は前記タンク１の外周面における全体を覆う断熱
材を、符号８は前記サーモモジュール５に対する放熱フ
インを各々示す。また、前記タンク１内には、前記サー
モモジュール５と不純物蒸発液容器２との相互間におけ
る熱伝達を向上するために水等の熱媒体液９が充填され
ている。
に、上面を開放したタンク１内に、不純物蒸発液３を入
れた容器２を挿入して、断熱材製の蓋体４を被せる一
方、前記タンク１の外周面における左右両側に、サーモ
モジュール５を、当該サーモモジュール５における放熱
面を外側に向けるように配設することにより、この側面
に配設したサーモモジュール５によって、前記不純物蒸
発液容器２を、所定の温度に保持するように構成してい
る。なお、この第４図において、符号６は本体ケース、
符号７は前記タンク１の外周面における全体を覆う断熱
材を、符号８は前記サーモモジュール５に対する放熱フ
インを各々示す。また、前記タンク１内には、前記サー
モモジュール５と不純物蒸発液容器２との相互間におけ
る熱伝達を向上するために水等の熱媒体液９が充填され
ている。
しかし、この従来における恒温槽は、そのタンク１の
上面における開放部を、断熱材製の蓋体４によって着脱
自在に塞ぐように構成しているものの、タンク１内と外
気との間には、この蓋体４を通しての熱伝達が可成りあ
ることに、加えて、前記不純物蒸発液容器２のガス入口
管2a及びガス出口管2bに対する挿入孔4a,4b等からの空
気の出入りがあることにより、タンク１内における不純
物蒸発液容器２のうち前記蓋体３に近い部分の温度が大
気温度に近付くと言うように、不純物蒸発液容器２に温
度むらができ、前記不純物蒸発液容器２内における不純
物蒸発液の温度は、当該不純物蒸発液の量が多い場合と
少ない場合とでは相違することになるから、前記不純物
蒸発液容器２内において発生するキャリアガス中の不純
物濃度が、不純物蒸発液容器内における不純物蒸発液量
の多い少ないによって可成り変動すると言う問題があっ
た。
上面における開放部を、断熱材製の蓋体４によって着脱
自在に塞ぐように構成しているものの、タンク１内と外
気との間には、この蓋体４を通しての熱伝達が可成りあ
ることに、加えて、前記不純物蒸発液容器２のガス入口
管2a及びガス出口管2bに対する挿入孔4a,4b等からの空
気の出入りがあることにより、タンク１内における不純
物蒸発液容器２のうち前記蓋体３に近い部分の温度が大
気温度に近付くと言うように、不純物蒸発液容器２に温
度むらができ、前記不純物蒸発液容器２内における不純
物蒸発液の温度は、当該不純物蒸発液の量が多い場合と
少ない場合とでは相違することになるから、前記不純物
蒸発液容器２内において発生するキャリアガス中の不純
物濃度が、不純物蒸発液容器内における不純物蒸発液量
の多い少ないによって可成り変動すると言う問題があっ
た。
本考案は、この問題を解消した恒温槽を提供すること
を技術的課題とするものである。
を技術的課題とするものである。
この技術的課題を達成するため本考案は、 「上面から上向きに突出するガス入口管及びガス出口管
を備えた不純物蒸発液容器と、この不純物蒸発液容器を
内部に挿入するように上面開放型に形成したタンクと、
このタンクの外側における側面に放熱面を外側に向けて
配設したサーモモジュールとによって構成される不純物
拡散用恒温槽において、 前記タンクの上面における開放部を塞ぐための着脱自
在な蓋体を、前記不純物蒸発液容器におけるガス入口管
及びガス出口管を挟んで左右一対の蓋体片に分割し、こ
の両蓋体片を、放熱面を外側にしたサーモモジュールに
て構成する。」という構成にした。
を備えた不純物蒸発液容器と、この不純物蒸発液容器を
内部に挿入するように上面開放型に形成したタンクと、
このタンクの外側における側面に放熱面を外側に向けて
配設したサーモモジュールとによって構成される不純物
拡散用恒温槽において、 前記タンクの上面における開放部を塞ぐための着脱自
在な蓋体を、前記不純物蒸発液容器におけるガス入口管
及びガス出口管を挟んで左右一対の蓋体片に分割し、こ
の両蓋体片を、放熱面を外側にしたサーモモジュールに
て構成する。」という構成にした。
このように、不純物蒸発液容器を挿入するタンクの上
面における開放部を塞ぐための蓋体を、不純物蒸発液容
器におけるガス入口管及びガス出口管を挟んで左右一対
の蓋体片に分割し、この両蓋体片を、放熱面を外側にし
たサーモモジュールにて構成することにより、タンク内
と外気との間における蓋体を通しての熱伝達は、サーモ
モジュール製の両蓋体片によって、完全に遮断すること
ができると共に、不純物蒸発液容器におけるガス入口管
及びガス出口管に対する挿入孔とか、或いは、両蓋体片
の合わせ部等から出入りする空気も、サーモモジュール
製の両蓋体片によって、タンク内と略同じ温度に保持さ
れるから、タンク内における容器のうち前記蓋体に近い
部分が、大気温度に近付くことを確実に防止できるので
ある。
面における開放部を塞ぐための蓋体を、不純物蒸発液容
器におけるガス入口管及びガス出口管を挟んで左右一対
の蓋体片に分割し、この両蓋体片を、放熱面を外側にし
たサーモモジュールにて構成することにより、タンク内
と外気との間における蓋体を通しての熱伝達は、サーモ
モジュール製の両蓋体片によって、完全に遮断すること
ができると共に、不純物蒸発液容器におけるガス入口管
及びガス出口管に対する挿入孔とか、或いは、両蓋体片
の合わせ部等から出入りする空気も、サーモモジュール
製の両蓋体片によって、タンク内と略同じ温度に保持さ
れるから、タンク内における容器のうち前記蓋体に近い
部分が、大気温度に近付くことを確実に防止できるので
ある。
この場合において、前記蓋体の全体を一体的なサーモ
モジュールに構成することは、蓋体が可成り重くなる
が、本考案においては、蓋体を、ガス入口管及びガス出
口管を挟んで左右一対の蓋体片に分割し、この両蓋体片
の各々をサーモモジュールに構成したことにより、両蓋
体片が重くなることを回避できる。
モジュールに構成することは、蓋体が可成り重くなる
が、本考案においては、蓋体を、ガス入口管及びガス出
口管を挟んで左右一対の蓋体片に分割し、この両蓋体片
の各々をサーモモジュールに構成したことにより、両蓋
体片が重くなることを回避できる。
従って、本考案によると、タンク内に挿入した不純物
蒸発液容器を、当該不純物蒸発液容器に温度むらが発生
することなく、各所均一の温度に保持することができ、
換言すると、前記不純物蒸発液容器内における不純物蒸
発液の温度を、当該不純物蒸発液の量が多い場合であっ
ても、少ない場合であっても同じ温度に保持することが
できるから、前記不純物蒸発液容器内において発生する
キャリアガス中の不純物濃度が、容器内における不純物
蒸発液量によって変動することを大幅に低減できるので
あり、しかも、蓋体における両蓋体片が重くなく、前記
不純物蒸発液容器の出し入れに際して、両蓋体片を、軽
く着脱することができるから、蓋体をサーモモジュール
に構成したことで、不純物蒸発液容器出し入れの作業性
が低下することを確実に回避できる効果を有する。
蒸発液容器を、当該不純物蒸発液容器に温度むらが発生
することなく、各所均一の温度に保持することができ、
換言すると、前記不純物蒸発液容器内における不純物蒸
発液の温度を、当該不純物蒸発液の量が多い場合であっ
ても、少ない場合であっても同じ温度に保持することが
できるから、前記不純物蒸発液容器内において発生する
キャリアガス中の不純物濃度が、容器内における不純物
蒸発液量によって変動することを大幅に低減できるので
あり、しかも、蓋体における両蓋体片が重くなく、前記
不純物蒸発液容器の出し入れに際して、両蓋体片を、軽
く着脱することができるから、蓋体をサーモモジュール
に構成したことで、不純物蒸発液容器出し入れの作業性
が低下することを確実に回避できる効果を有する。
以下、本考案の実施例を図面（第１図〜第３図）につ
いて説明する。
いて説明する。
図において符号11は、本体ケース12内に配設した上面
開放型のタンクを示し、該タンク11内には、ガス入口管
13aとガス出口管13bとを上面から上向きに突出するよう
に備えたガラス製の不純物蒸発液容器13が挿入され、こ
の不純物蒸発液容器13内には、三塩化リン等の不純物蒸
発液14が充填されている。
開放型のタンクを示し、該タンク11内には、ガス入口管
13aとガス出口管13bとを上面から上向きに突出するよう
に備えたガラス製の不純物蒸発液容器13が挿入され、こ
の不純物蒸発液容器13内には、三塩化リン等の不純物蒸
発液14が充填されている。
なお、前記タンク11は、内筒11aと外筒11bとからなる
二重筒体に構成され、その内筒11aと外筒11bとの間の隙
間には、水等の熱媒体液が充填されている。
二重筒体に構成され、その内筒11aと外筒11bとの間の隙
間には、水等の熱媒体液が充填されている。
前記タンク11の外周面のうち左右両側の側面には、サ
ーモモジュール15が、当該サーモモジュール15における
放熱面を外側に向けて配設されている一方、前記タンク
11内には、前記両サーモモジュール15と前記不純物蒸発
液容器13との相互間における熱伝達を向上するために水
等の熱媒体液16が充填されている。
ーモモジュール15が、当該サーモモジュール15における
放熱面を外側に向けて配設されている一方、前記タンク
11内には、前記両サーモモジュール15と前記不純物蒸発
液容器13との相互間における熱伝達を向上するために水
等の熱媒体液16が充填されている。
前記両サーモモジュール15における外側における放熱
面には、放熱フイン17が設けられ、また、前記本体ケー
ス12内には、前記両サーモモジュール15における放熱フ
イン17に対して強制通風するための送風フアン18が配設
され、且つ、前記タンク11におけるその他の外周面は、
断熱材19にて覆われている。
面には、放熱フイン17が設けられ、また、前記本体ケー
ス12内には、前記両サーモモジュール15における放熱フ
イン17に対して強制通風するための送風フアン18が配設
され、且つ、前記タンク11におけるその他の外周面は、
断熱材19にて覆われている。
そして、前記タンク11の上面に、当該上面における開
放部を塞ぐための蓋体20を着脱自在に設けるにおいて、
この蓋体20を、前記不純物蒸発液容器13の上面から上向
きに突出するガス入口管13a及びガス出口管13bを挟んで
左右二つ割りにした蓋体片20a,20bを合せるようにした
形態にして、この蓋体20における両蓋体片20a,20bを、
放熱面を外側にしたサーモモジュールにて構成する。
放部を塞ぐための蓋体20を着脱自在に設けるにおいて、
この蓋体20を、前記不純物蒸発液容器13の上面から上向
きに突出するガス入口管13a及びガス出口管13bを挟んで
左右二つ割りにした蓋体片20a,20bを合せるようにした
形態にして、この蓋体20における両蓋体片20a,20bを、
放熱面を外側にしたサーモモジュールにて構成する。
なお、この蓋体20における両蓋体片20a,20bの合わせ
面には、前記容器13におけるガス入口管13a及びガス出
口管13bの挿入孔21,22が設けられている。
面には、前記容器13におけるガス入口管13a及びガス出
口管13bの挿入孔21,22が設けられている。
このように、前記タンク11の上面における開放部を塞
ぐための蓋体20における両蓋体片20a,20bを、放熱面を
外側にしたサーモモジュールにて構成することにより、
タンク11内と外気との間における蓋体20を通しての熱伝
達を、サーモモジュール製の両蓋体片20a,20bによっ
て、完全に遮断することができると共に、蓋体20におけ
る挿入孔21,22から出入りする空気も、サーモモジュー
ル製の両蓋体片20a,20bによって、タンク11内と同じ温
度に保持されることになるから、タンク11内における不
純物蒸発液容器13のうち前記蓋体20に近い部分が、大気
温度に近付くことを確実に防止でき、その結果、不純物
蒸発液容器13内における不純物蒸発液14の温度を、当該
不純物蒸発液14の量が多い場合であっても、少ない場合
であっても同じ温度に保持することができるのである。
ぐための蓋体20における両蓋体片20a,20bを、放熱面を
外側にしたサーモモジュールにて構成することにより、
タンク11内と外気との間における蓋体20を通しての熱伝
達を、サーモモジュール製の両蓋体片20a,20bによっ
て、完全に遮断することができると共に、蓋体20におけ
る挿入孔21,22から出入りする空気も、サーモモジュー
ル製の両蓋体片20a,20bによって、タンク11内と同じ温
度に保持されることになるから、タンク11内における不
純物蒸発液容器13のうち前記蓋体20に近い部分が、大気
温度に近付くことを確実に防止でき、その結果、不純物
蒸発液容器13内における不純物蒸発液14の温度を、当該
不純物蒸発液14の量が多い場合であっても、少ない場合
であっても同じ温度に保持することができるのである。
なお、前記不純物蒸発液容器13内における不純物蒸発
液の温度を、より正確に一定に保持するためには、前記
タンク11の底面に対しても、第１図に二点鎖線で示すよ
うに、サーモモジュール23を、当該サーモモジュール23
における放熱面を外側に向けるようにして設ければ良い
のである。
液の温度を、より正確に一定に保持するためには、前記
タンク11の底面に対しても、第１図に二点鎖線で示すよ
うに、サーモモジュール23を、当該サーモモジュール23
における放熱面を外側に向けるようにして設ければ良い
のである。
第１図〜第３図は本考案の実施例を示し、第１図は縦断
正面図、第２図は第１図のII−II視平断面図、第３図は
蓋体の斜視図、第４図は従来の恒温槽の縦断正面図であ
る。 11……タンク、12……本体ケース、13……不純物蒸発液
容器、13a……ガス入口管、13b……ガス出口管、14……
不純物蒸発液、15……サーモモジュール、16……放熱フ
イン、18……送風フアン、19……断熱材、20……蓋体、
20a,20b……蓋体片。
正面図、第２図は第１図のII−II視平断面図、第３図は
蓋体の斜視図、第４図は従来の恒温槽の縦断正面図であ
る。 11……タンク、12……本体ケース、13……不純物蒸発液
容器、13a……ガス入口管、13b……ガス出口管、14……
不純物蒸発液、15……サーモモジュール、16……放熱フ
イン、18……送風フアン、19……断熱材、20……蓋体、
20a,20b……蓋体片。
Claims (1)
- 【請求項１】上面から上向きに突出するガス入口管及び
ガス出口管を備えた不純物蒸発液容器と、この不純物蒸
発液容器を内部に挿入するように上面開放型に形成した
タンクと、このタンクの外側における側面に放熱面を外
側に向けて配設したサーモモジュールとによって構成さ
れる不純物拡散用恒温槽において、 前記タンクの上面における開放部を塞ぐための着脱自在
な蓋体を、前記不純物蒸発液容器におけるガス入口管及
びガス出口管を挟んで左右一対の蓋体片に分割し、この
両蓋体片を、放熱面を外側にしたサーモモジュールにて
構成したことを特徴とする半導体における不純物拡散用
恒温槽。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990015070U JP2514348Y2 (ja) | 1990-02-16 | 1990-02-16 | 半導体における不純物拡散用恒温槽 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990015070U JP2514348Y2 (ja) | 1990-02-16 | 1990-02-16 | 半導体における不純物拡散用恒温槽 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03106733U JPH03106733U (ja) | 1991-11-05 |
| JP2514348Y2 true JP2514348Y2 (ja) | 1996-10-16 |
Family
ID=31518395
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1990015070U Expired - Lifetime JP2514348Y2 (ja) | 1990-02-16 | 1990-02-16 | 半導体における不純物拡散用恒温槽 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2514348Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20190050324A (ko) * | 2017-11-02 | 2019-05-13 | (주)리드엔지니어링 | 보론 도핑장치의 버블러 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4492466B2 (ja) * | 2005-07-11 | 2010-06-30 | 株式会社島津製作所 | 試料恒温装置 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS513737Y2 (ja) * | 1971-07-19 | 1976-02-03 | ||
| JPS4981952A (ja) * | 1972-12-12 | 1974-08-07 | ||
| JPS5838603Y2 (ja) * | 1979-02-13 | 1983-09-01 | 富士通株式会社 | 半導体気相ド−ピング装置 |
-
1990
- 1990-02-16 JP JP1990015070U patent/JP2514348Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20190050324A (ko) * | 2017-11-02 | 2019-05-13 | (주)리드엔지니어링 | 보론 도핑장치의 버블러 |
| KR102055443B1 (ko) * | 2017-11-02 | 2019-12-13 | (주)리드엔지니어링 | 보론 도핑장치의 버블러 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03106733U (ja) | 1991-11-05 |
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