JP2513528B2 - Ｘ線取出し装置 - Google Patents
Ｘ線取出し装置Info
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- G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
- G03F7/70808—Construction details, e.g. housing, load-lock, seals or windows for passing light in or out of apparatus
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明はシンクロトロン放射光をＸ線露光の光源と
したり、医療Ｘ線透視用光源やＸ線解析用光源とする場
合等に必要なＸ線取出し装置に関する。
したり、医療Ｘ線透視用光源やＸ線解析用光源とする場
合等に必要なＸ線取出し装置に関する。
近年、紫外線に代るリングラフィ用光源及び医療Ｘ線
透視用光源としてシンクロトロン放射光の利用が期待さ
れている。これはシンクロトロン放射光が連続スペクト
ルを持ち、且つその中に強力で指向性の強い軟Ｘ線を含
んでおり、このような軟Ｘ線がスループット及び解像性
の点からリソグラフィ技術のＸ線源として、又医療透視
解析用Ｘ線源として理想的であるからである。
透視用光源としてシンクロトロン放射光の利用が期待さ
れている。これはシンクロトロン放射光が連続スペクト
ルを持ち、且つその中に強力で指向性の強い軟Ｘ線を含
んでおり、このような軟Ｘ線がスループット及び解像性
の点からリソグラフィ技術のＸ線源として、又医療透視
解析用Ｘ線源として理想的であるからである。
第６図は電子蓄電リング等の超高真空のリング（８）
中でその軌道上を光速に近い速さで周回している電子が
偏向電磁石（９）によって偏向せしめられた時にシンク
ロトロン放射光を放射する放射光施設の概要を示してい
る。同図（５）で示すビームラインに導かれてくる放射
光は、Be薄膜等によってビームライン（５）側の超高真
空域と放射光取出し側雰囲気とを隔てている放射光透過
窓（４）を透過し、外部に取出されることになる。その
うち放射光透過窓（４）の設けられたビームライン
（５）の放射光取出し側は、大気による酸化の影響でBe
薄膜の放射光透過率が低下する等の不都合を避けるた
め、放射光減衰率の減衰率の低いヘリウムガス等で満た
されるガスチャンバ（２）が連設され、前記薄膜が直接
大気中に露出しないようにしている。そして、そこを通
り抜けてきた放射光は該ガスチャンバ（２）のＸ線取出
し口側のSiN等で構成されるＸ線窓（３）から大気中又
はＸ線利用側のチャンバ（図示なし）中に取出されるこ
とになる。
中でその軌道上を光速に近い速さで周回している電子が
偏向電磁石（９）によって偏向せしめられた時にシンク
ロトロン放射光を放射する放射光施設の概要を示してい
る。同図（５）で示すビームラインに導かれてくる放射
光は、Be薄膜等によってビームライン（５）側の超高真
空域と放射光取出し側雰囲気とを隔てている放射光透過
窓（４）を透過し、外部に取出されることになる。その
うち放射光透過窓（４）の設けられたビームライン
（５）の放射光取出し側は、大気による酸化の影響でBe
薄膜の放射光透過率が低下する等の不都合を避けるた
め、放射光減衰率の減衰率の低いヘリウムガス等で満た
されるガスチャンバ（２）が連設され、前記薄膜が直接
大気中に露出しないようにしている。そして、そこを通
り抜けてきた放射光は該ガスチャンバ（２）のＸ線取出
し口側のSiN等で構成されるＸ線窓（３）から大気中又
はＸ線利用側のチャンバ（図示なし）中に取出されるこ
とになる。
以上の様な放射光施設では、設備稼働時又は再稼働時
にガスチャンバ（２）内の雰囲気を所定の雰囲気に替え
る必要があり、そのために内部雰囲気の供給・排出系及
び圧力調整系を利用して次のような処理がなされる。即
ち、第６図のバルブV1、V2を開け、ガスチャンバ（２）
内の大気がヘリウムガス等の雰囲気に置換されるまで該
ヘリウムガス等を流し続ける。略全体が置換された時に
該パージを止め、その後はガスチャンバ（２）のＸ線取
出し口（2a）側に設けたＸ線窓（３）からＸ線を取出
す。
にガスチャンバ（２）内の雰囲気を所定の雰囲気に替え
る必要があり、そのために内部雰囲気の供給・排出系及
び圧力調整系を利用して次のような処理がなされる。即
ち、第６図のバルブV1、V2を開け、ガスチャンバ（２）
内の大気がヘリウムガス等の雰囲気に置換されるまで該
ヘリウムガス等を流し続ける。略全体が置換された時に
該パージを止め、その後はガスチャンバ（２）のＸ線取
出し口（2a）側に設けたＸ線窓（３）からＸ線を取出
す。
しかし、以上の様な方法ではそのパージ時間が数十分
掛かり、放射光施設の稼働率が低下してしまうという問
題（その他Ｘ線取出し側にチャンバを別に設けた場合で
も該チャンバ内を任意の圧力にすることが困難であると
いった問題）があった。
掛かり、放射光施設の稼働率が低下してしまうという問
題（その他Ｘ線取出し側にチャンバを別に設けた場合で
も該チャンバ内を任意の圧力にすることが困難であると
いった問題）があった。
一方、ガスチャンバ（２）内の雰囲気を短時間のうち
に置換せしめる方法としては、バルブV1を閉じ、V2を開
いて該ガスチャンバ（２）内を一旦真空にした後、バル
ブV2を閉じ、V1を開いてヘリウムガス等の雰囲気を注入
することも考えられる。しかし、前記Ｘ線窓（３）を構
成するSiN等の膜が、ガスチャンバ（２）内と外部のＸ
線取出し側との差圧に耐えることができないという問題
があり、実際には長時間を掛けてガスパージを行なうし
か方法がなかった。
に置換せしめる方法としては、バルブV1を閉じ、V2を開
いて該ガスチャンバ（２）内を一旦真空にした後、バル
ブV2を閉じ、V1を開いてヘリウムガス等の雰囲気を注入
することも考えられる。しかし、前記Ｘ線窓（３）を構
成するSiN等の膜が、ガスチャンバ（２）内と外部のＸ
線取出し側との差圧に耐えることができないという問題
があり、実際には長時間を掛けてガスパージを行なうし
か方法がなかった。
本発明は従来技術の以上の様な問題に鑑み創案された
もので、ガスチャンバ内の雰囲気置換が短時間のうちに
終了するＸ線取出し装置を提供せんとするものである。
もので、ガスチャンバ内の雰囲気置換が短時間のうちに
終了するＸ線取出し装置を提供せんとするものである。
そのため本発明に係るＸ線取出し装置は、光源からシ
ンクロトロン放射光を導くビームラインの放射光取出し
側に放射光透過窓を設けると共に、内部雰囲気の供給・
排出系及び圧力調整系を備えたガスチャンバを連接し
て、該ガスチャンバのＸ線取出し口に、Ｘ線取出し用の
Ｘ線窓を備えたスライドゲート或いは該Ｘ線窓を備えた
回転板を設け、又はＸ線窓の片側周囲にたシャッタ装置
を取付けて、該スライドゲートのスライド或いは回転板
の回転により、又はシャッタ装置の絞りにより、Ｘ線窓
をガスチャンバ内の雰囲気にさらさない状態で前記Ｘ線
取出し口を気密に閉塞できるようにしたこと基本的特徴
としている。
ンクロトロン放射光を導くビームラインの放射光取出し
側に放射光透過窓を設けると共に、内部雰囲気の供給・
排出系及び圧力調整系を備えたガスチャンバを連接し
て、該ガスチャンバのＸ線取出し口に、Ｘ線取出し用の
Ｘ線窓を備えたスライドゲート或いは該Ｘ線窓を備えた
回転板を設け、又はＸ線窓の片側周囲にたシャッタ装置
を取付けて、該スライドゲートのスライド或いは回転板
の回転により、又はシャッタ装置の絞りにより、Ｘ線窓
をガスチャンバ内の雰囲気にさらさない状態で前記Ｘ線
取出し口を気密に閉塞できるようにしたこと基本的特徴
としている。
本発明装置では、上記スライドゲートのスライド、回
転板の回転又はシャッタ装置の絞りによってガスチャン
バのＸ線取出し口側が取塞される際に前記Ｘ線窓に最終
的に内外の差圧が掛からないようにするため、スライド
ゲートと回転板の構成では、該Ｘ線窓をＸ線取出し口か
ら退避せしめて、これらのスライドゲート及び回転板に
よりＸ線取出し口を閉塞せしめるようにし、またシャッ
タ装置では、Ｘ線窓を移動せずに、該装置でＸ線窓を覆
うようにして、Ｘ線取出し口を閉塞せしめることができ
るようにしている。
転板の回転又はシャッタ装置の絞りによってガスチャン
バのＸ線取出し口側が取塞される際に前記Ｘ線窓に最終
的に内外の差圧が掛からないようにするため、スライド
ゲートと回転板の構成では、該Ｘ線窓をＸ線取出し口か
ら退避せしめて、これらのスライドゲート及び回転板に
よりＸ線取出し口を閉塞せしめるようにし、またシャッ
タ装置では、Ｘ線窓を移動せずに、該装置でＸ線窓を覆
うようにして、Ｘ線取出し口を閉塞せしめることができ
るようにしている。
本発明装置ではガスチャンバ内或いはＸ線取出し側の
雰囲気の置換を行う場合に、スライドゲートのスライ
ド、回転板の回転又はシャッタ装置の絞りにより、該ガ
スチャンバのＸ線取出し口を気密にして閉塞する。その
ように閉塞することでこのガスチャンバ内又はＸ線取出
し側を排気した後、所望の雰囲気ガスを注入せしめるこ
とができ、雰囲気置換を短時間に行うことが可能とな
る。
雰囲気の置換を行う場合に、スライドゲートのスライ
ド、回転板の回転又はシャッタ装置の絞りにより、該ガ
スチャンバのＸ線取出し口を気密にして閉塞する。その
ように閉塞することでこのガスチャンバ内又はＸ線取出
し側を排気した後、所望の雰囲気ガスを注入せしめるこ
とができ、雰囲気置換を短時間に行うことが可能とな
る。
以下本発明の具体的実施例につき説明する。
第１図は、シンクロトロン放射光を光源とするＸ線リ
ソグラフィ用に設計された本発明のＸ線取出し装置の発
明装置の一実施例を示している。
ソグラフィ用に設計された本発明のＸ線取出し装置の発
明装置の一実施例を示している。
図中（５）は電子蓄積リング（図示なし）からシンク
ロトロン放射光を導くビームライン、（４）は該ビーム
ライン（５）の放射光取出し側に設けられたBe薄膜で構
成される放射光透過窓、（２）は該放射光透過窓（４）
に連続して放射光取出し側に設けられたガスチャンバを
示しており、本実施例ではこのガスチャンバ（２）のＸ
線取出し口（2a）が閉塞される際に後述するＸ線窓が別
の場所に待避せしめられる構成となっている。又このＸ
線閉出し口（2a）側には、露光装置用のチャンバ（６）
が設けられ、その内部にはマスクやウェハ等を備えたＸ
線露光装置（７）が設置されている。更に前記ガスチャ
ンバ（２）とこのチャンバ（６）には、夫々バルブV1乃
至V7と真空ポンプP1及びP2を介して内部雰囲気の供給・
排出及び圧力調整を行なう内部雰囲気調整系が設けられ
ている。
ロトロン放射光を導くビームライン、（４）は該ビーム
ライン（５）の放射光取出し側に設けられたBe薄膜で構
成される放射光透過窓、（２）は該放射光透過窓（４）
に連続して放射光取出し側に設けられたガスチャンバを
示しており、本実施例ではこのガスチャンバ（２）のＸ
線取出し口（2a）が閉塞される際に後述するＸ線窓が別
の場所に待避せしめられる構成となっている。又このＸ
線閉出し口（2a）側には、露光装置用のチャンバ（６）
が設けられ、その内部にはマスクやウェハ等を備えたＸ
線露光装置（７）が設置されている。更に前記ガスチャ
ンバ（２）とこのチャンバ（６）には、夫々バルブV1乃
至V7と真空ポンプP1及びP2を介して内部雰囲気の供給・
排出及び圧力調整を行なう内部雰囲気調整系が設けられ
ている。
本実施例ではガスチャンバ（２）のＸ線取出し口（2
a）で上下にスライドし、これを密閉せしめることがで
きるスライドゲート（１）が設けられている。又このス
ライドゲート（１）の上部側にSiNからなるＸ線窓
（３）が付設されていて、該Ｘ線窓（３）を透過せしめ
ることでＸ線の取出し・照射が行なえるようになってい
る。このスライドゲート（１）のスライドは、Ｘ線取出
し口（2a）に気密な状態で密接したまま上下に動くこと
で行なわれ、スライド中でもその内外の雰囲気の漏洩・
侵入が防止される。
a）で上下にスライドし、これを密閉せしめることがで
きるスライドゲート（１）が設けられている。又このス
ライドゲート（１）の上部側にSiNからなるＸ線窓
（３）が付設されていて、該Ｘ線窓（３）を透過せしめ
ることでＸ線の取出し・照射が行なえるようになってい
る。このスライドゲート（１）のスライドは、Ｘ線取出
し口（2a）に気密な状態で密接したまま上下に動くこと
で行なわれ、スライド中でもその内外の雰囲気の漏洩・
侵入が防止される。
次に本実施例の使用方法について説明する。
まず前記バルブV1乃至V7を全て閉じ、スライドゲート
（１）を第２図に示すように上方にスライドせしめてお
く。バルブV2を開け真空ポンプP1によりガスチャンバ
（２）内を排気した後、該バルブV2を閉じ、バルブV1を
開けヘリウムガスを前記ガスチャンバ（２）内に導入
し、任意の圧力にする。そしてバルブV2又はV3を開け、
ガスチャンバ（２）内の圧力を一定に保つ。
（１）を第２図に示すように上方にスライドせしめてお
く。バルブV2を開け真空ポンプP1によりガスチャンバ
（２）内を排気した後、該バルブV2を閉じ、バルブV1を
開けヘリウムガスを前記ガスチャンバ（２）内に導入
し、任意の圧力にする。そしてバルブV2又はV3を開け、
ガスチャンバ（２）内の圧力を一定に保つ。
一方、バルブV6を開け、真空ポンプP2によりチャンバ
（６）内を排気した後、該バルブV6を閉じ、バルブV5又
はV7を開け、露光に好適な任意のガス又は空気をチャン
バ（６）内に導入する。そしてバルブV4も開け、該チャ
ンバ（６）内の圧力が前記ガスチャンバ（２）内の圧力
と等しくなったところで、スライドゲート（１）を第３
図に示すように下方にスライドせしめる。
（６）内を排気した後、該バルブV6を閉じ、バルブV5又
はV7を開け、露光に好適な任意のガス又は空気をチャン
バ（６）内に導入する。そしてバルブV4も開け、該チャ
ンバ（６）内の圧力が前記ガスチャンバ（２）内の圧力
と等しくなったところで、スライドゲート（１）を第３
図に示すように下方にスライドせしめる。
スライド後、Ｘ線窓（３）からチャンバ（６）側にＸ
線を取出して露光装置（７）によりＸ線露光を行なう。
線を取出して露光装置（７）によりＸ線露光を行なう。
以上の様にガスチャンバ（２）或いはチャンバ（６）
内の雰囲気を置換する場合、両チャンバ（２）（６）を
スライドゲート（１）で区切り真空ポンプP1及びP2によ
り排気した後、ヘリウムガス等を導入するようにしたた
め、Ｘ線窓（３）に影響を及ぼさずにチャンバ（２）
（６）内の雰囲気を短時間のうちに置換せしめることが
可能となる。又チャンバ（２）（６）中の雰囲気はヘリ
ウムガス以外にも任意のものが使用でき、且つ任意の圧
力に調整してＸ線露光を行なうことができるようにな
る。尚、スライドゲート（１）の上下のスライド操作
を、Ｘ線シャッタとして利用することもできる。
内の雰囲気を置換する場合、両チャンバ（２）（６）を
スライドゲート（１）で区切り真空ポンプP1及びP2によ
り排気した後、ヘリウムガス等を導入するようにしたた
め、Ｘ線窓（３）に影響を及ぼさずにチャンバ（２）
（６）内の雰囲気を短時間のうちに置換せしめることが
可能となる。又チャンバ（２）（６）中の雰囲気はヘリ
ウムガス以外にも任意のものが使用でき、且つ任意の圧
力に調整してＸ線露光を行なうことができるようにな
る。尚、スライドゲート（１）の上下のスライド操作
を、Ｘ線シャッタとして利用することもできる。
本実施例のスライドゲート（１）のような構成以外に
も、第４図（ａ）（ｂ）（ｃ）に示すようなＸ線窓
（３）が回転中心より離れた位置に設けられた回転板
（10）の構成としたり、第５図（ａ）（ｂ）に示される
ように、Ｘ線窓（３）のガスチャンバ（２）側やチャン
バ（６）側に、写真機の絞りの様なシャッタ装置（11）
の構成とすることもできる。
も、第４図（ａ）（ｂ）（ｃ）に示すようなＸ線窓
（３）が回転中心より離れた位置に設けられた回転板
（10）の構成としたり、第５図（ａ）（ｂ）に示される
ように、Ｘ線窓（３）のガスチャンバ（２）側やチャン
バ（６）側に、写真機の絞りの様なシャッタ装置（11）
の構成とすることもできる。
以上詳述した本発明のＸ線取出し装置によれば、ガス
チャンバのＸ線取出し口に設けられるスライドゲート、
回転板或いはシャッタ装置により、ガスチャンバ内或い
はＸ線取出し側の雰囲気の置換の際にＸ線取出し口を閉
塞せしめるため、該ガスチャンバやＸ線取出し側の排気
後のその中に任意の雰囲気を注入することが可能とな
り、Ｘ線取出し口の内外で差圧を生じしてもＸ線窓に影
響を与えることなく、短時間のうちにその置換が完了す
ることになる。又これらのスライドゲート、回転板或い
はシャッタ装置はＸ線シャッタとして使用することも可
能である。
チャンバのＸ線取出し口に設けられるスライドゲート、
回転板或いはシャッタ装置により、ガスチャンバ内或い
はＸ線取出し側の雰囲気の置換の際にＸ線取出し口を閉
塞せしめるため、該ガスチャンバやＸ線取出し側の排気
後のその中に任意の雰囲気を注入することが可能とな
り、Ｘ線取出し口の内外で差圧を生じしてもＸ線窓に影
響を与えることなく、短時間のうちにその置換が完了す
ることになる。又これらのスライドゲート、回転板或い
はシャッタ装置はＸ線シャッタとして使用することも可
能である。
第１図は本発明の一実施例に係るＸ線取出し装置の概略
図、第２図は本実施例での雰囲気置換時におけるスライ
ドゲートの状態を示す説明図、第３図はＸ線取出し時に
おけるスライドゲートの状態を示す説明図、第４図
（ａ）（ｂ）（ｃ）は回転板で構成される本発明の他の
実施例を示す説明図、第５図（ａ）（ｂ）はシャッタ装
置からなる本発明の別の実施例を示す説明図、第６図は
シンクロトロン放射光施設の概要を示す平面図である。 図中（１）（10）（11）は耐圧密閉手段であって、その
うち（１）はスライドゲート、（10）は回転板、（11）
はシャッタ装置を示している。又図中（２）はガスチャ
ンバ、（３）はＸ線窓、（４）は放射光透過窓、（５）
はビームライン、（６）はチャンバ、（７）はＸ線露光
装置、（８）はリング、（９）は偏向電磁石を各示す。
図、第２図は本実施例での雰囲気置換時におけるスライ
ドゲートの状態を示す説明図、第３図はＸ線取出し時に
おけるスライドゲートの状態を示す説明図、第４図
（ａ）（ｂ）（ｃ）は回転板で構成される本発明の他の
実施例を示す説明図、第５図（ａ）（ｂ）はシャッタ装
置からなる本発明の別の実施例を示す説明図、第６図は
シンクロトロン放射光施設の概要を示す平面図である。 図中（１）（10）（11）は耐圧密閉手段であって、その
うち（１）はスライドゲート、（10）は回転板、（11）
はシャッタ装置を示している。又図中（２）はガスチャ
ンバ、（３）はＸ線窓、（４）は放射光透過窓、（５）
はビームライン、（６）はチャンバ、（７）はＸ線露光
装置、（８）はリング、（９）は偏向電磁石を各示す。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０５Ｇ 1/00 Ｈ０１Ｌ 21/30 ５３１Ｓ Ｈ０５Ｈ 13/04 Ｈ０５Ｇ 1/00 Ｇ
Claims (3)
- 【請求項１】光源からシンクロトロン放射光を導くビー
ムラインの放射光取出し側に放射光透過窓を設けると共
に、内部雰囲気の供給・排出系及び圧力調整系を備えた
ガスチャンバを連接して、該ガスチャンバのＸ線取出し
口に、Ｘ線取出し用のＸ線窓を備えたスライドゲートを
設け、該スライドゲートのスライドによりＸ線窓をガス
チャンバ内の雰囲気にさらさない状態で前記Ｘ線取出し
口を気密に閉塞できるようにしたことを特徴とするＸ線
取出し装置。 - 【請求項２】光源からシンクロトロン放射光を導くビー
ムラインの放射光取出し側に放射光透過窓を設けると共
に、内部雰囲気の供給・排出系及び圧力調整系を備えた
ガスチャンバを連接して、該ガスチャンバのＸ線取出し
口に、Ｘ線取出し用のＸ線窓を備えた回転板を設け、該
回転板の回転によりＸ線窓をガスチャンバ内の雰囲気に
さらさない状態で前記Ｘ線取出し口を気密に閉塞できる
ようにしたことを特徴とするＸ線取出し装置。 - 【請求項３】光源からシンクロトロン放射光を導くビー
ムラインの放射光取出し側に放射光透過窓を設けると共
に、内部雰囲気の供給・排出系及び圧力調整系を備えた
ガスチャンバを連接して、該ガスチャンバのＸ線取出し
口に、Ｘ線取出し用のＸ線窓の片側周囲にたシャッタ装
置を取付けて、該シャッタ装置の絞りによりＸ線窓をガ
スチャンバ内の雰囲気にさらさない状態で前記Ｘ線取出
し口を気密に閉塞できるようにしたことを特徴とするＸ
線取出し装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2241247A JP2513528B2 (ja) | 1990-09-13 | 1990-09-13 | Ｘ線取出し装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2241247A JP2513528B2 (ja) | 1990-09-13 | 1990-09-13 | Ｘ線取出し装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04121699A JPH04121699A (ja) | 1992-04-22 |
| JP2513528B2 true JP2513528B2 (ja) | 1996-07-03 |
Family
ID=17071399
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2241247A Expired - Lifetime JP2513528B2 (ja) | 1990-09-13 | 1990-09-13 | Ｘ線取出し装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2513528B2 (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07120568B2 (ja) * | 1985-07-30 | 1995-12-20 | ティーディーケイ株式会社 | 正特性サーミスタ装置 |
-
1990
- 1990-09-13 JP JP2241247A patent/JP2513528B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04121699A (ja) | 1992-04-22 |
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