JP2005195468A - 電子線照射装置および電子線照射方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 チャンバ51の内部に公転軸53および公転アーム部54にて搬送移動され、各々が被照射物40を支持した複数の内部搬送回動トレイ55を収容し、この内部搬送回動トレイ55の搬送経路に入替室部52および電子線照射部10を配置する。入替室部52は、チャンバ51の天板部の開口部52aに着脱する内部搬送回動トレイ55および外部の被照射物搬送装置60の外部搬送回動トレイ62で構成され、これらはチャンバ51内の不活性ガス雰囲気を維持するロードロック機能およびX線遮蔽機能を兼ねる。個々の内部搬送回動トレイ55が入替室部52の位置に移動/位置決めされる間に、電子線照射部10を通過する内部搬送回動トレイ55の被照射物40に電子線を照射する。
【選択図】 図1
Description
前記回動搬送機構が収容される回動照射室と、
前記回動照射室の一部に設けられ、前記被照射物を前記回動照射室の内外へ出し入れする入替室と、
前記回動照射室の外部側に位置して前記入替室の一部を構成し、X線遮蔽機構と気密保持機構と被照射物保持機構とを有する外部被照射物保持台と、
前記回動照射室の内部側に位置して前記入替室の一部を構成し、X線遮蔽機構と気密保持機構と被照射物保持機構とを有し、前記回動搬送機構に支持された内部被照射物保持台と、
前記回動搬送機構を搬送方向に駆動する回動機構と、
前記内部被照射物保持台を支持する前記回動搬送機構を上下動させる上下動機構とを具備したことを特徴とする電子線照射装置を提供する。
各々が、電子線照射部を備えた前記回動照射室に設けられた入替室の一部を構成し、それぞれX線遮蔽機能と気密保持機能を備えた外部被照射物保持台と内部被照射物保持台との間で前記被照射物を授受して当該回動照射室の内外に出し入れし、前記内部被照射物保持台を回動搬送機構により上下動させるとともに回動搬送させて前記電子線照射部を通過させる間に前記被照射物に電子線を照射することを特徴とする電子線照射方法を提供する。
図1、図2、図3、図4、および図5は、本発明の一実施の形態である電子線照射方法を実施する電子線照射装置の構成および作用の一例を示す略断面図であり、図6は、その一部を取り出して例示する斜視図、図7は、本実施の形態の電子線照射装置の略平面図である。
なお、本明細書において、「回動」とは、回転のように一方向(またはその反対方向)に連続的に被照射物が回るのではなく、一方向またはその反対方向に所定量だけ回りそこで停止するようにして、その停止位置を変えるように回ることを意味する。
さらに、別の方法として、図10に例示されるようなマスク12を電子線照射部10に配置してもよい。
11…シールドボックス
12…マスク
12a…開口部
20…真空管型照射管
40…被照射物
50…電子線照射装置
51…チャンバ
52…入替室部
53…公転軸
54…公転アーム部
55…内部搬送回動トレイ
56…被照射物支持部
57…不活性ガス導入管
57a…不活性ガス導入制御弁
57b…不活性ガス排出管
57c…温度センサ
58…不活性ガス導入口
58a…ガス排出口
58b…酸素濃度センサ
59…真空ポンプ
59a…排気制御弁
59b…置換ガス供給制御弁
59c…大気開放弁
59d…真空排気管
59e…置換ガス供給管
60…被照射物搬送装置
61…保持部
62…外部搬送回動トレイ
62a…遮蔽シール部
63…外部搬送回動軸
64…外部搬送アーム
64a…保持アーム
64b…フランジ部
70…被照射物受け渡し部
531〜533…公転軸
531a〜533a…プーリ
541〜543…公転アーム部
Claims (23)
- 被照射物を回動搬送する回動搬送機構と、回動搬送中の被照射物に電子線を照射する電子線照射部とを有する電子線照射装置であって、
前記回動搬送機構が収容される回動照射室と、
前記回動照射室の一部に設けられ、前記被照射物を前記回動照射室の内外へ出し入れする入替室と、
前記回動照射室の外部側に位置して前記入替室の一部を構成し、X線遮蔽機構と気密保持機構と被照射物保持機構とを有する外部被照射物保持台と、
前記回動照射室の内部側に位置して前記入替室の一部を構成し、X線遮蔽機構と気密保持機構と被照射物保持機構とを有し、前記回動搬送機構に支持された内部被照射物保持台と、
前記回動搬送機構を搬送方向に駆動する回動機構と、
前記内部被照射物保持台を支持する前記回動搬送機構を上下動させる上下動機構とを具備したことを特徴とする電子線照射装置。 - 前記電子線照射部は複数の真空管型照射管からなり、前記回動搬送機構に支持された前記内部被照射物保持台に載置されて公転する前記被照射物の周速度に対応させて、前記被照射物の吸収線量を均一にする線量調整機構を備えたことを特徴とする請求項1に記載の電子線照射装置。
- 前記線量調整機構は前記各真空管型照射管の管電流を、前記内部被照射物保持台に載置されて公転する前記被照射物の周速度に対応させてそれぞれ調整する機能を備えたことを特徴とする請求項2に記載の電子線照射装置。
- 前記線量調整機構は前記内部被照射物保持台と前記電子線照射部の照射窓との距離を前記内部被照射物保持台に載置されて公転する前記被照射物の周速度に対応させて調整する機能を備えたことを特徴とする請求項2に記載の電子線照射装置。
- 前記線量調整機構は前記電子線照射部の前記照射窓と被照射物との間に、前記内部被照射物保持台に載置されて公転する前記被照射物の周速度に対応させて開口度の異なるマスクを備えたことを特徴とする請求項2に記載の電子線照射装置。
- 前記回動搬送機構には、回動搬送方向に概ね等間隔に設けられた複数の内部被照射物保持台が支持され、前記入替室に一つの内部被照射物保持台が位置するとき、前記電子線照射部の位置は内部被照射物保持台と内部被照射物保持台との間に位置するように配置されたことを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の電子線照射装置。
- 前記回動搬送機構は、複数の内部被照射物保持台の各々を独立して搬送方向に回動させる機能を備えたことを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか1項記載の電子線照射装置。
- 前記照射窓の近傍に不活性ガスの流れを形成する第1不活性ガス導入口および不活性ガス排出口をさらに備えたことを特徴とする請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の電子線照射装置。
- 前記照射窓の近傍に設けられた温度センサと、前記温度センサによる測定温度に基づいて前記不活性ガスの流量を調整することで前記照射窓の温度を制御する温度制御機構とをさらに備えたことを特徴とする請求項1から請求項8のいずれか1項に記載の電子線照射装置。
- 気密保持された前記入替室を減圧した後、もしくは減圧しながら、不活性ガスを導入して、前記入替室を不活性ガスで置換する減圧置換機構を設けたことを特徴とする請求項1から請求項9のいずれか1項に記載の電子線照射装置。
- 前記回動照射室を不活性ガスで充満させる第2不活性ガス導入口を備えたことを特徴とする請求項1から請求項10のいずれか1項に記載の電子線照射装置。
- 前記回動照射室内に設けられた酸素濃度センサと、前記酸素濃度センサによる酸素濃度に基づいて第2不活性ガス導入口から前記回動照射室に導入される前記不活性ガスの流量を調整する酸素濃度制御機構とをさらに備えたことを特徴とする請求項1から請求項11のいずれか1項に記載の電子線照射装置。
- 回動照射室内において被照射物を回動搬送させながら不活性ガス雰囲気中で電子線を照射する電子線照射方法であって、
各々が、電子線照射部を備えた前記回動照射室に設けられた入替室の一部を構成し、それぞれX線遮蔽機能と気密保持機能を備えた外部被照射物保持台と内部被照射物保持台との間で前記被照射物を授受して当該回動照射室の内外に出し入れし、前記内部被照射物保持台を回動搬送機構により上下動させるとともに回動搬送させて前記電子線照射部を通過させる間に前記被照射物に電子線を照射することを特徴とする電子線照射方法。 - 前記電子線照射部を構成する複数の真空管型照射管で被照射物に電子線を照射し、前記回動搬送される前記被照射物の周速度に対応させて前記被照射物の吸収線量を均一化するように照射線量の分布を調整することを特徴とする請求項13に記載の電子線照射方法。
- 前記複数の真空管型照射管の各々の管電流を、前記回動搬送される前記被照射物の周速度に対応させてそれぞれ変化させることで照射線量の分布を調整することを特徴とする請求項14に記載の電子線照射方法。
- 前記内部被照射物保持台と前記電子線照射部の照射窓との距離を前記回動搬送される前記被照射物の周速度に対応させて変化させることで照射線量の分布を調整することを特徴とする請求項14に記載の電子線照射方法。
- 前記被照射物と前記電子線照射部の照射窓との間に、前記回動搬送される前記被照射物の周速度に対応させて開口度を変化させたマスクを配置して線量調整することを特徴とする請求項14に記載の電子線照射方法。
- 前記回動搬送機構に設けられた複数の内部被照射物保持台の一つが前記入替室にある時、他の内部被照射物保持台は前記電子線照射部の照射部位から逸れた位置に配置されるようにしたことを特徴とする請求項13から請求項17のいずれか1項に記載の電子線照射方法。
- 前記回動搬送機構によって複数の前記内部被照射物保持台の各々に独立した回動搬送動作を行わせることにより、一つの前記内部被照射物保持台が前記被照射物を前記入替室で出し入れしている間に、他の前記被照射物を保持した他の前記内部被照射物保持台を回動させて前記電子線照射部を通過させることにより前記被照射物に電子線を照射させることを特徴とする請求項13から請求項18のいずれか1項に記載の電子線照射方法。
- 前記回動照射室を不活性ガスで充満させて残留酸素濃度を低下させた状態で被照射物に電子線を照射させることを特徴とする請求項13から請求項19のいずれか1項に記載の電子線照射方法。
- 前記入替室を減圧した後、もしくは減圧しながら不活性ガスを導入して、前記入替室を不活性ガスで置換することを特徴とする請求項13から請求項20のいずれか1項に記載の電子線照射方法。
- 前記回動照射室内に設けた酸素濃度センサによる測定酸素濃度に基づいて前記不活性ガスの流量を調整することで前記照射室内の酸素濃度を制御することを特徴とする請求項13から請求項21のいずれか1項に記載の電子線照射方法。
- 前記電子線照射部の前記照射窓の近傍に設けた温度センサによる測定温度に基づいて前記照射窓の近傍に供給される不活性ガスの流量を調整することで前記照射窓部の温度を制御することを特徴とする請求項13から請求項22のいずれか1項に記載の電子線照射方法。
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