JP2506720Y2 - 配管内汚染監視装置 - Google Patents
配管内汚染監視装置Info
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- JP2506720Y2 JP2506720Y2 JP2844491U JP2844491U JP2506720Y2 JP 2506720 Y2 JP2506720 Y2 JP 2506720Y2 JP 2844491 U JP2844491 U JP 2844491U JP 2844491 U JP2844491 U JP 2844491U JP 2506720 Y2 JP2506720 Y2 JP 2506720Y2
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- Japan
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- contamination
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この考案は、流体配管内の汚染を
自動的に監視する装置に関し、定期的に管内の汚染度を
調べると共に汚染度が所定の限界レベルを越えたときは
警報を発生することにより配管つまりを防止するように
したものである。
自動的に監視する装置に関し、定期的に管内の汚染度を
調べると共に汚染度が所定の限界レベルを越えたときは
警報を発生することにより配管つまりを防止するように
したものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、各種半導体装置の製造に用いられ
るＣＶＤ（ケミカル・ベーパー・デポジション）、ＰＶ
Ｄ、拡散、ドライエッチング、アッシング等の反応室を
備えた装置にあっては、反応室にて使用済みのガスを排
気配管を介して工場排気路に排出している。この場合、
排気配管が内部の汚染によりつまると、装置の故障や重
大事故を招くことがある。そこで、操作者は、排出ガス
の圧力や排出ガス希釈用のガスの流量等を監視すること
により管内汚染度を推測し、管内汚染度が大きいと判断
すると、排気配管を洗浄したり、新しいものと交換した
りしていた。
るＣＶＤ（ケミカル・ベーパー・デポジション）、ＰＶ
Ｄ、拡散、ドライエッチング、アッシング等の反応室を
備えた装置にあっては、反応室にて使用済みのガスを排
気配管を介して工場排気路に排出している。この場合、
排気配管が内部の汚染によりつまると、装置の故障や重
大事故を招くことがある。そこで、操作者は、排出ガス
の圧力や排出ガス希釈用のガスの流量等を監視すること
により管内汚染度を推測し、管内汚染度が大きいと判断
すると、排気配管を洗浄したり、新しいものと交換した
りしていた。
【０００３】
【考案が解決しようとする課題】上記した従来技術にお
いて、排出ガスの圧力を測定するのは、反応室の圧力が
一定か知るためであり、希釈用ガスの流量を測定するの
は、排出ガスに対する希釈用ガスの混入度が適正か知る
ためである。従って、排出ガスの圧力や希釈用ガスの流
量は、管内汚染度を忠実に反映したものとはいえず、こ
れらの圧力値や流量値から管内汚染度を正確に推測する
のは容易でなかった。
いて、排出ガスの圧力を測定するのは、反応室の圧力が
一定か知るためであり、希釈用ガスの流量を測定するの
は、排出ガスに対する希釈用ガスの混入度が適正か知る
ためである。従って、排出ガスの圧力や希釈用ガスの流
量は、管内汚染度を忠実に反映したものとはいえず、こ
れらの圧力値や流量値から管内汚染度を正確に推測する
のは容易でなかった。
【０００４】その上、（イ）圧力、流量等の測定条件が
曖昧であること、（ロ）人間による読取りには個人差が
あること、（ハ）測定条件の設定の手違いや測定忘れが
発生しやすいことなどの問題点もあった。
曖昧であること、（ロ）人間による読取りには個人差が
あること、（ハ）測定条件の設定の手違いや測定忘れが
発生しやすいことなどの問題点もあった。
【０００５】この考案の目的は、配管の内部汚染の監視
を自動化し、配管のつまりを未然に防止することにあ
る。
を自動化し、配管のつまりを未然に防止することにあ
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この考案による配管内汚
染監視装置は、 （ａ）被監視配管に対して配管流体に代えて測定流体を
定期的に供給する供給手段と、 （ｂ）前記測定流体が供給されるたびにその流れ状態に
基づいて管内汚染度を検知する検知手段と、 （ｃ）この検知手段で検知された管内汚染度が所定の限
界レベルを越えたか判定する判定手段と、 （ｄ）この判定手段で越えたと判定されるのに応答して
警報を発生する報知手段とをそなえたものである。
染監視装置は、 （ａ）被監視配管に対して配管流体に代えて測定流体を
定期的に供給する供給手段と、 （ｂ）前記測定流体が供給されるたびにその流れ状態に
基づいて管内汚染度を検知する検知手段と、 （ｃ）この検知手段で検知された管内汚染度が所定の限
界レベルを越えたか判定する判定手段と、 （ｄ）この判定手段で越えたと判定されるのに応答して
警報を発生する報知手段とをそなえたものである。
【０００７】
【作用】この考案の構成によれば、被監視配管には配管
流体の代りに測定流体を流し、その流れの状態（例えば
流量、流速等）に基づいて管内汚染度を検知するので、
正確な汚染度検知が可能である。このような検知動作
は、例えば１週間に１回というように定期的に且つ自動
的に遂行される。そして、管内汚染度が所定の限界レベ
ルを越えたときは、警報が発生される。従って、ＣＶＤ
装置等の反応室を備えた装置の操作者は、管内汚染につ
いて常時注意を払う必要がなく、警報が発生されたとき
だけ配管の洗浄や交換を行なえばよい。
流体の代りに測定流体を流し、その流れの状態（例えば
流量、流速等）に基づいて管内汚染度を検知するので、
正確な汚染度検知が可能である。このような検知動作
は、例えば１週間に１回というように定期的に且つ自動
的に遂行される。そして、管内汚染度が所定の限界レベ
ルを越えたときは、警報が発生される。従って、ＣＶＤ
装置等の反応室を備えた装置の操作者は、管内汚染につ
いて常時注意を払う必要がなく、警報が発生されたとき
だけ配管の洗浄や交換を行なえばよい。
【０００８】
【実施例】図１は、この考案をＣＶＤ装置の排気系に適
用した一実施例を示すものである。
用した一実施例を示すものである。
【０００９】ＣＶＤ反応室１０には、反応ガス源１２か
ら各種の反応ガスが供給されている。コンピュータ１４
は、反応室１０との間で各種の情報Ａを授受することに
より反応室１０への半導体ウエハの出し入れ、反応室１
０内でのＣＶＤ処理等を制御するためのもので、後述の
ようにこの考案を実施するためにも使用される。
ら各種の反応ガスが供給されている。コンピュータ１４
は、反応室１０との間で各種の情報Ａを授受することに
より反応室１０への半導体ウエハの出し入れ、反応室１
０内でのＣＶＤ処理等を制御するためのもので、後述の
ようにこの考案を実施するためにも使用される。
【００１０】反応室で使用済みのガスＥＧは、エアー弁
１６、排気管１８、排気ユニット２０及び排気管２２を
介して工場排気路２４に排出可能になっており、エアー
弁１６は、コンピュータ１４からの制御信号Ｂによって
開閉動作が制御される。また、排気ユニット２０は、排
気ポンプ、インバータ等を含むもので、反応室１０から
の制御信号Ｅによって動作の開始又は停止が制御される
ようになっている。
１６、排気管１８、排気ユニット２０及び排気管２２を
介して工場排気路２４に排出可能になっており、エアー
弁１６は、コンピュータ１４からの制御信号Ｂによって
開閉動作が制御される。また、排気ユニット２０は、排
気ポンプ、インバータ等を含むもので、反応室１０から
の制御信号Ｅによって動作の開始又は停止が制御される
ようになっている。
【００１１】排気管１８において、エアー弁１６よりわ
ずかに下流側の部分には、測定ガス源２６から減圧弁２
８、流量計３０及びエアー弁３２を介して例えば純窒素
等の測定ガスＭＧが導入可能になっている。減圧弁２８
は、測定ガスＭＧを一定の圧力で送出するためのもので
ある。流量計３０は、測定ガスＭＧの流量を測定するた
めのもので、その測定値を表わす流量信号Ｄはコンピュ
ータ１４に供給され、管内汚染度を検知するのに使用さ
れる。エアー弁３２は、コンピュータ１４からの制御信
号Ｃによって制御される。
ずかに下流側の部分には、測定ガス源２６から減圧弁２
８、流量計３０及びエアー弁３２を介して例えば純窒素
等の測定ガスＭＧが導入可能になっている。減圧弁２８
は、測定ガスＭＧを一定の圧力で送出するためのもので
ある。流量計３０は、測定ガスＭＧの流量を測定するた
めのもので、その測定値を表わす流量信号Ｄはコンピュ
ータ１４に供給され、管内汚染度を検知するのに使用さ
れる。エアー弁３２は、コンピュータ１４からの制御信
号Ｃによって制御される。
【００１２】一例として１週間毎に管内汚染度を検知す
るように汚染監視プログラムを組んだ場合の動作を次に
説明する。
るように汚染監視プログラムを組んだ場合の動作を次に
説明する。
【００１３】ＣＶＤ装置を設置した後１週間経過しない
ときは、電源オンのたびに次のような動作が行なわれ
る。すなわち、コンピュータ１４は、電源オンに応じて
制御信号Ｂによりエアー弁１６を開状態とする。このと
き、制御信号Ｃには変化がなく、エアー弁３２は閉じた
ままである。また、コンピュータ１４は、電源オンに応
じて反応室１０にスタート指令情報を与えて制御信号Ｅ
により排気ユニット２０の動作を開始させる。この結
果、ガスＥＧは工場排気路２４に排出可能となり、測定
ガスＭＧは導入されない状態となる。そして、反応室１
０は、ＣＶＤ処理のための待機状態となり、この後は、
これまで通りＣＶＤ処理を行なうことができる。
ときは、電源オンのたびに次のような動作が行なわれ
る。すなわち、コンピュータ１４は、電源オンに応じて
制御信号Ｂによりエアー弁１６を開状態とする。このと
き、制御信号Ｃには変化がなく、エアー弁３２は閉じた
ままである。また、コンピュータ１４は、電源オンに応
じて反応室１０にスタート指令情報を与えて制御信号Ｅ
により排気ユニット２０の動作を開始させる。この結
果、ガスＥＧは工場排気路２４に排出可能となり、測定
ガスＭＧは導入されない状態となる。そして、反応室１
０は、ＣＶＤ処理のための待機状態となり、この後は、
これまで通りＣＶＤ処理を行なうことができる。
【００１４】次に、ＣＶＤ装置を設置して１週間が経過
してから最初に電源をオンしたときは、コンピュータ１
４は、制御信号Ｃによりエアー弁３２を開状態とする。
このとき、制御信号Ｂには変化がないので、エアー弁１
６は閉じたままである。また、反応室１０にはスタート
指令情報が与えられないので、排気ユニット２０は停止
状態を継続する。この結果、測定ガスＭＧは、ガスＥＧ
の代りに排気配管を介して工場排気路２４に排出され
る。このような測定ガス排出状態において、コンピュー
タ１４は、汚染度検出処理、限界レベル判定処理、警報
発生処理等を実行する。
してから最初に電源をオンしたときは、コンピュータ１
４は、制御信号Ｃによりエアー弁３２を開状態とする。
このとき、制御信号Ｂには変化がないので、エアー弁１
６は閉じたままである。また、反応室１０にはスタート
指令情報が与えられないので、排気ユニット２０は停止
状態を継続する。この結果、測定ガスＭＧは、ガスＥＧ
の代りに排気配管を介して工場排気路２４に排出され
る。このような測定ガス排出状態において、コンピュー
タ１４は、汚染度検出処理、限界レベル判定処理、警報
発生処理等を実行する。
【００１５】汚染度検知処理は、流量計３０からの流量
信号Ｄに基づいて排気配管内の汚染度を検知してメモリ
等に記録する処理である。図２に示すように排気管１８
等が清浄な状態では、測定ガスＭＧの流量は大であり、
図３に示すように排気管１８等の内部に汚染物質Ｓが付
着した状態では、測定ガスＭＧの流量は小であるから、
汚染度情報としては、流量信号Ｄをそのまま使用できる
が、これを加工して使用してもよい。
信号Ｄに基づいて排気配管内の汚染度を検知してメモリ
等に記録する処理である。図２に示すように排気管１８
等が清浄な状態では、測定ガスＭＧの流量は大であり、
図３に示すように排気管１８等の内部に汚染物質Ｓが付
着した状態では、測定ガスＭＧの流量は小であるから、
汚染度情報としては、流量信号Ｄをそのまま使用できる
が、これを加工して使用してもよい。
【００１６】次に、限界レベル判定処理は、汚染度検知
処理でメモリ等に記録された汚染度情報を読出して所定
の限界レベル情報と比較することにより汚染度が限界レ
ベルを越えたか判定する処理である。ここで、限界レベ
ル情報は、配管つまりが生じない範囲で予め定められた
汚染度に対応する限界レベルを表わすもので、ＲＯＭ等
に記憶されている。
処理でメモリ等に記録された汚染度情報を読出して所定
の限界レベル情報と比較することにより汚染度が限界レ
ベルを越えたか判定する処理である。ここで、限界レベ
ル情報は、配管つまりが生じない範囲で予め定められた
汚染度に対応する限界レベルを表わすもので、ＲＯＭ等
に記憶されている。
【００１７】判定の結果、汚染度が限界レベルを越えて
いないときは、制御信号Ｂ及びＣによりそれぞれエアー
弁１６及び３２を開及び閉の状態にすると共に反応室１
０にスタート指令情報を与えて制御信号Ｅにより排気ユ
ニット２０の動作を開始させる。この後の動作は、１週
間が経過しない場合について前述したのと同様である。
いないときは、制御信号Ｂ及びＣによりそれぞれエアー
弁１６及び３２を開及び閉の状態にすると共に反応室１
０にスタート指令情報を与えて制御信号Ｅにより排気ユ
ニット２０の動作を開始させる。この後の動作は、１週
間が経過しない場合について前述したのと同様である。
【００１８】一方、汚染度が限界レベルを越えていると
判定されたときは警報発生処理に移る。この処理では、
コンピュータ１４のディスプレイ画面に警報表示するか
又は警報音を発生することにより限界レベルを越える汚
染がある旨報知する。このような警報に応じて排気配管
を洗浄又は交換すれば、配管つまりを未然に防止するこ
とができる。
判定されたときは警報発生処理に移る。この処理では、
コンピュータ１４のディスプレイ画面に警報表示するか
又は警報音を発生することにより限界レベルを越える汚
染がある旨報知する。このような警報に応じて排気配管
を洗浄又は交換すれば、配管つまりを未然に防止するこ
とができる。
【００１９】なお、警報は、キーボード上でのキー操作
等により停止させることができる。そして、排気配管の
点検整備が終わった後、キー操作により、限界レベルを
越えない場合と同様の動作に移ることができる。
等により停止させることができる。そして、排気配管の
点検整備が終わった後、キー操作により、限界レベルを
越えない場合と同様の動作に移ることができる。
【００２０】この後も、１週間を経過しないかしたかに
より上記のような動作が繰返される。そして、各動作毎
に検知した汚染度情報を記録しておき、操作者が希望す
るときにキー操作等により過去の複数回分の汚染度情報
をディスプレイ画面に表示するか又はプリンタでプリン
トアウトするようにしてもよい。
より上記のような動作が繰返される。そして、各動作毎
に検知した汚染度情報を記録しておき、操作者が希望す
るときにキー操作等により過去の複数回分の汚染度情報
をディスプレイ画面に表示するか又はプリンタでプリン
トアウトするようにしてもよい。
【００２１】この考案は、上記実施例に限定されるもの
ではなく、ドライエッチャ、ＰＶＤ装置、拡散炉、アッ
シング装置等の排気系、各種装置の排水系等にも応用可
能である。また、コンピュータは、ＣＶＤ制御用のもの
とは別のものを用いてもよい。さらに、コンピュータを
用いずに、ディジタル又はアナログ回路を用いてこの考
案を実施することもできる。
ではなく、ドライエッチャ、ＰＶＤ装置、拡散炉、アッ
シング装置等の排気系、各種装置の排水系等にも応用可
能である。また、コンピュータは、ＣＶＤ制御用のもの
とは別のものを用いてもよい。さらに、コンピュータを
用いずに、ディジタル又はアナログ回路を用いてこの考
案を実施することもできる。
【００２２】
【考案の効果】以上のように、この考案によれば、被監
視配管に配管流体に代えて測定流体を定期的に流し、そ
の流れの状態に基づいて管内汚染度を検知し、管内汚染
度が所定の限界レベルを越えたときに警報を発生するよ
うにしたので、管内汚染を正確に且つ自動的に監視する
ことができ、このような監視のために従来必要であった
時間と労力を大幅に節約できる効果が得られるものであ
る。
視配管に配管流体に代えて測定流体を定期的に流し、そ
の流れの状態に基づいて管内汚染度を検知し、管内汚染
度が所定の限界レベルを越えたときに警報を発生するよ
うにしたので、管内汚染を正確に且つ自動的に監視する
ことができ、このような監視のために従来必要であった
時間と労力を大幅に節約できる効果が得られるものであ
る。
【図１】 この考案をＣＶＤ装置の排気系に適用した一
実施例を示すブロック図である。
実施例を示すブロック図である。
【図２】 排気系清浄時の測定状態を示す配管図であ
る。
る。
【図３】 排気系汚染時の測定状態を示す配管図であ
る。１０…ＣＶＤ反応室、１２…反応ガス源、１４…コ
ンピュータ、１６，３２…エアー弁、１８，２２…排気
管、２０…排気ユニット、２４…工場排気路、２６…測
定ガス源、２８…減圧弁、３０…流量計。
る。１０…ＣＶＤ反応室、１２…反応ガス源、１４…コ
ンピュータ、１６，３２…エアー弁、１８，２２…排気
管、２０…排気ユニット、２４…工場排気路、２６…測
定ガス源、２８…減圧弁、３０…流量計。
Claims (1)
- 【請求項１】（ａ）被監視配管に対して配管流体に代え
て測定流体を定期的に供給する供給手段と、 （ｂ）前記測定流体が供給されるたびにその流れ状態に
基づいて管内汚染度を検知する検知手段と、 （ｃ）この検知手段で検知された管内汚染度が所定の限
界レベルを越えたか判定する判定手段と、 （ｄ）この判定手段で越えたと判定されるのに応答して
警報を発生する報知手段とをそなえた配管内汚染監視装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2844491U JP2506720Y2 (ja) | 1991-03-30 | 1991-03-30 | 配管内汚染監視装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2844491U JP2506720Y2 (ja) | 1991-03-30 | 1991-03-30 | 配管内汚染監視装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04120191U JPH04120191U (ja) | 1992-10-27 |
| JP2506720Y2 true JP2506720Y2 (ja) | 1996-08-14 |
Family
ID=31912540
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2844491U Expired - Lifetime JP2506720Y2 (ja) | 1991-03-30 | 1991-03-30 | 配管内汚染監視装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2506720Y2 (ja) |
-
1991
- 1991-03-30 JP JP2844491U patent/JP2506720Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04120191U (ja) | 1992-10-27 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |