KR100792331B1 - 반도체 제조공정의 화학약품 제어시스템 - Google Patents

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Abstract

반도체 제조공정에서 화학약품의 공급을 자동으로 조절할 수 있는 반도체 제조공정의 화학약품 제어시스템에 관한 것이다.
본 발명은 약액의 요청신호를 신호전송수단을 통하여 데이터집진기에 전달하고, 데이터집진기의 설정 프로그램에 따라 약액공급신호를 생성하여 화학약품공급부로 전송하며, 이 화학약품공급부로 전송된 약액공급신호에 의해 공급배관의 개폐밸브를 개방하여 주장비로 약액을 공급하도록 구성된 반도체 제조공정의 화학약품 제어시스템에 있어서, 상기 약액공급신호에 따라 화학약품공급부에서 공급배관을 통하여 상기 주장비로 공급되는 약액의 유량을 계측하고, 공급되는 약액을 선택적으로 차단하는 약액유량계측/조절부와, 상기 약액유량계측/조절부를 제어하는 제어수단을 포함하여, 공급배관을 통하여 주장비로 전달되는 약액의 공급유량을 보정할 수 있게 한 것이다.
화학약품, 유량계측, 유량조절, 플로디텍터

Description

반도체 제조공정의 화학약품 제어시스템 {System for controlling chemicals in the manufacturing process of semiconductor}
도 1은 종래의 반도체 제조공정의 화학약품 제어시스템의 구성블럭도,
도 2는 본 발명에 따른 반도체 제조공정의 화학약품 제어시스템의 구성블럭도,
도 3은 화학약품 제어시스템에서의 약액유량계측/조절부의 내부 구성도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
10 : 주장비 20 : 신호전송수단
30 : 테이터집진기 40 : 화학약품공급부
50 : 약액유량계측/조절부 52 : 플로디텍터
54 : A/D컨버터 56 : 솔레노이드밸브
60 : 공급배관 70 : 제어수단
본 발명은 반도체 제조공정의 화학약품 제어시스템에 관한 것으로, 특히 반 도체 제조공정에서 화학약품의 공급을 자동으로 조절할 수 있는 반도체 제조공정의 화학약품 제어시스템에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 제조공정에서는 확산공정, 포토공정, CMP공정, 에칭공정, 습식처리공정 등에서 화학약품이 주로 사용된다.
종래 반도체 제조공정의 화학약품 제어시스템을 도 1을 참조하여 설명하면, 주장비(100), 신호전송수단(110), 데이터집진기(data concentrator;120), 화학약품공급부(130), 컨트롤박스(140), 공급배관(150) 등으로 구성되어 있다.
화학약품 제어시스템의 약액공급과정은 주장비(100)에서의 약액공급요청이 발생되면, 신호전송수단(110)을 통하여 약액요청신호를 데이터집진기(120)로 제공되고, 상기 데이터집진기(120)에서 설정된 프로그램에 따라 약액공급신호를 작성하여 화학약품공급부(130)로 전송한다. 신호를 전달받은 화학약품공급부(130)는 개폐밸브(미도시)를 개방하여 공급배관(150)을 따라 컨트롤박스(140)의 밸브를 거쳐서 주장비(100)로 약액을 공급하게 된다. 이러한 일련의 약액공급과정은 데이터집진기(120)에서 종합적으로 처리하며, 모니터링 장치를 통하여 뷰어기능과 알람기능이 포함되어 관리자가 약품의 공급을 모리터링할 수 있게 된다.
그런데, 종래의 화학약품 제어시스템은 약액의 유량에 대한 모니터링은 정밀하게 이루어지만, 약액의 유량을 보정해주는 기능은 전무하였다. 즉 종래의 화학약품 제어시스템에서는 모니터링 장치가 측정범위를 벗어나게 되면 알람과 동시에 인터락하는 기능외에 약액의 유량을 제어하여 보정할 수 없기 때문에 약액의 이상이 생기게 될 경우, 장비의 가동을 중단하는 시간이 많이 소요되었고, 진행중인 웨이 퍼는 장비내부에 정지하게 되므로 재처리가 불가피한 문제점이 있었다.
본 발명은 상술한 문제점을 해소하기 위하여 안출된 것으로, 약액의 유량을 정밀하게 제어하여 장비의 가동을 중단하는 시간을 최소화할 수 있고, 웨이퍼의 재처리에 따른 비용을 절감할 할 수 있는 반도체 제조공정의 화학약품 제어시스템을 제공하는데 그 목적이 있다.
이와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 약액의 요청신호를 신호전송수단을 통하여 데이터집진기에 전달하고, 데이터집진기의 설정 프로그램에 따라 약액공급신호를 생성하여 화학약품공급부로 전송하며, 이 화학약품공급부로 전송된 약액공급신호에 의해 공급배관의 개폐밸브를 개방하여 주장비로 약액을 공급하도록 구성된 반도체 제조공정의 화학약품 제어시스템에 있어서, 상기 약액공급신호에 따라 화확약품공급부에서 공급배관을 통하여 상기 주장비로 공급되는 약액의 유량을 계측하고, 공급되는 약액을 선택적으로 차단하는 약액유량계측/조절부와, 상기 약액유량계측/조절부를 제어하는 제어수단을 포함한다.
상기 약액유량계측/조절부는 공급배관을 통과하는 약액의 유량을 측정하는 플로디텍터와, 상기 제어수단에 의해 공급배관의 통로를 선택 차단하는 솔레노이드밸브로 구성되어 있다.
상기 약액유량계측/조절부는 아날로그신호를 디지털신호로 변경하는 A/D컨버터를 내장하는 것이 바람직하다.
상기 제어수단은 약액유량계측/조절부로부터 약액의 유량계측치를 전달받아 서 약액의 흐름에 이상이 있을 경우, 상기 솔레노이드밸브를 작동시켜 주장비로의 약액공급을 일시적으로 차단하도록 구성되어 있다.
본 발명에 따른 반도체 제조공정의 화학약품 제어시스템에 의하면, 약액유량계측/조절부에서 약액의 유량계측치를 측정하고 이 계측치가 제어수단에 전달되어 제어수단에 설정된 기준값과 다를 경우, 솔레노이드밸브를 작동시켜 약액공급을 일시적으로 차단하는 한편, 계측치가 기준값에 도달될 경우 솔레노이드밸브를 작동해제시켜 주장비로의 약액을 공급하게 되는 것이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 예시도면에 따라 상세하게 설명한다.
도 2는 본 발명에 따른 반도체 제조공정의 화학약품 제어시스템의 구성블럭도이다.
본 발명에 따른 화학약품 제어시스템은 도 2에 도시된 바와 같이, 주장비(10), 신호전송수단(20), 데이터집진기(30), 화학약품공급부(40), 약액유량계측/조절부(50), 공급배관(60), 제어수단(70)을 포함한다.
주장비(10)로부터의 약액요청신호를 신호전송수단(20)을 통하여 데이터집진기(30)에 전달하고, 상기 데이터집진기(30)의 설정 프로그램에 따라 약액공급신호를 생성하여 화학약품공급부(40)로 전송하며, 상기 화학약품공급부(40)로 전송된 약액공급신호에 의해 공급배관(60)의 개폐밸브를 개방하여 주장비(10)로 약액을 공급하도록 구성되어 있다.
상기 신호전송수단(20)은 주장비(10)로부터의 약품요청신호를 상기 데이터집진기(30)로 전송하는 한편, 상기 약액유량계측/조절부(50)로부터 약액의 유량계측치를 전송한다.
상기 데이터집진기(30)는 약품요청신호를 전달받아서 설정된 프로그램에 따라 약액공급신호를 생성하여 화학약품공급부(40)로 전송한다. 그리고, 상기 약액유량계측/조절부(50)로부터 상기 신호전송수단(20)을 통해 전달받은 약액의 유량계측치를 상기 제어수단(70)으로 전송한다.
상기 약액유량계측/조절부(50)는 상기 약액공급신호에 따라 화학약품공급부(40)에서 공급배관(60)을 통하여 상기 주장비(10)로 공급되는 약액의 유량을 계측하도록 되어 있다. 즉 약액유량계측/조절부(50)는 도 3에 도시된 바와 같이, 공급배관(60)에 플로디텍터(52)가 설치되어 공급배관(60)을 통과하는 약액의 유량을 측정하도록 되어 있다. 그리고, 약액유량계측/조절부(50)는 플로디텍터(52)가 계측하는 아날로그신호를 디지털신호로 변경하는 A/D컨버터(54)를 구비하고 있다. 한편, 약액유량계측/조절부(50)는 상기 플로디텍터(52)가 설치된 공급배관(60)에 솔레노이드밸브(56)가 설치되어 있다. 여기서, 솔레노이드밸브(56)는 상기 제어수단(70)에 의해 공급배관(60)의 통로를 선택 차단하는 하는 역할을 한다.
상기 제어수단(70)은 상기 약액유량계측/조절부(50)로부터 약액의 유량계측치를 신호전송수단(20) 및 데이터집진기(30)를 통하여 전달받고, 설정된 기준값과 비교하는 역할을 한다.
여기서, 약액유량계측/조절부(50)로부터 약액의 유량계측치가 설정된 기준값 과 다를 경우 공급배관(60)에 약액의 흐름에 이상이 있는 것으로 판단하고, 상기 솔레노이드밸브(56)를 작동시켜 주장비(10)로의 약액공급을 일시적으로 차단하게 되는 것이다. 물론, 약액의 흐름이 정상적으로 바뀌게 될 경우 제어수단(70)은 솔레노이드밸브(60)를 작동해제시켜 주장비(10)로의 약액공급을 하게 되는 것이다.
이상에서 설명한 바와 같은 본 발명에 따른 반도체 제조공정의 화학약품 제어시스템에 의하면, 약액유량계측/조절부와 제어수단을 통하여 주장비로 공급되는 약액의 유량을 보정할 수 있으므로 약액의 이상에 따른 장비의 가동을 최소화할 수 있으며, 이에 따른 웨이퍼의 재처리비용을 절약할 수 있게 된다.

Claims (4)

  1. 약액의 요청신호를 신호전송수단을 통하여 데이터집진기에 전달하고, 상기 데이터집진기의 설정 프로그램에 따라 약액공급신호를 생성하여 화학약품공급부로 전송하며, 상기 화학약품공급부로 전송된 약액공급신호에 의해 공급배관의 개폐밸브를 개방하여 주장비로 약액을 공급하도록 구성된 반도체 제조공정의 화학약품 제어시스템에 있어서,
    상기 약액공급신호에 따라 화학약품공급부에서 공급배관을 통하여 상기 주장비로 공급되는 약액의 유량을 계측하고, 공급되는 약액을 선택적으로 차단하는 약액유량계측/조절부와,
    상기 약액유량계측/조절부를 제어하는 제어수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조공정의 화학약품 제어시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 약액유량계측/조절부는 공급배관을 통과하는 약액의 유량을 측정하는 플로디텍터와, 상기 제어수단에 의해 공급배관의 통로를 선택 차단하는 솔레노이드밸브로 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 제조공정의 화학약품 제어시스템.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 약액유량계측/조절부는 아날로그신호를 디지털신호로 변경하는 A/D컨버 터를 내장한 것을 특징으로 하는 반도체 제조공정의 화학약품 제어시스템.
  4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 제어수단은 상기 약액유량계측/조절부로부터 약액의 유량계측치를 전달받아서 약액의 흐름에 이상이 있을 경우, 상기 솔레노이드밸브를 작동시켜 주장비로의 약액공급을 일시적으로 차단하도록 된 것을 특징으로 하는 반도체 제조공정의 화학약품 제어시스템.
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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR19990016418A (ko) * 1997-08-14 1999-03-05 황인길 반도체 패키지 제조용 자동몰딩프레스의 온로더 장치
KR20030038425A (ko) * 2001-11-05 2003-05-16 동경 엘렉트론 주식회사 기판처리장치 및 기판처리방법

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