JP2504154B2 - ワイヤボンディング装置および方法 - Google Patents
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Description
【発明の詳細な説明】 本発明は、ワイヤボンディング装置に関し、特に集積
回路やハイブリッドIC等の製造に用いるワイヤボンディ
ング装置に関する。
回路やハイブリッドIC等の製造に用いるワイヤボンディ
ング装置に関する。
〔従来の技術〕 従来、この種のワイヤボンディング装置は、行列構成
で管理されたワイヤボンディング制御データを有するこ
とと、前記制御データの１行で一本のワイヤに必要なボ
ンディング点の位置情報と各ボンディング点に必要なボ
ンディング条件制御情報とを記述すること、前記制御デ
ータをワイヤ数と同数行もちいて全ワイヤ制御情報を記
述することとを含んでおり、第４図に示すように１ワイ
ヤ３ボンディングの場合のボンディング制御データは制
御データ１行で1st,2nd,3rdのボンディング点について
それぞれのボンディング位置情報（43,45,47）とボンデ
ィング制御情報（44,46,48）とを有し、行列構造になっ
ているため１ワイヤあたりボンディング数の２倍分の列
数42とワイヤ数分の行列41とを有する。また、この制御
データはｎ番目のワイヤにおける1st,2nd,3rdのボンデ
ィング点についてそれぞれのボンディング位置情報（Pn
1,Pn2,Pn3）とボンディング制御情報（Bn1,Bn2,Bn3）と
で表現されている。
で管理されたワイヤボンディング制御データを有するこ
とと、前記制御データの１行で一本のワイヤに必要なボ
ンディング点の位置情報と各ボンディング点に必要なボ
ンディング条件制御情報とを記述すること、前記制御デ
ータをワイヤ数と同数行もちいて全ワイヤ制御情報を記
述することとを含んでおり、第４図に示すように１ワイ
ヤ３ボンディングの場合のボンディング制御データは制
御データ１行で1st,2nd,3rdのボンディング点について
それぞれのボンディング位置情報（43,45,47）とボンデ
ィング制御情報（44,46,48）とを有し、行列構造になっ
ているため１ワイヤあたりボンディング数の２倍分の列
数42とワイヤ数分の行列41とを有する。また、この制御
データはｎ番目のワイヤにおける1st,2nd,3rdのボンデ
ィング点についてそれぞれのボンディング位置情報（Pn
1,Pn2,Pn3）とボンディング制御情報（Bn1,Bn2,Bn3）と
で表現されている。
１ワイヤ３ボンディングの場合は第５図に示すように
１ワイヤ分のボンディング（1stボンディング51,2ndボ
ンディング53,3rdボンディング55の３カ所）とワイヤル
ープ（1stループ52,2ndループ54）形状で示される。
１ワイヤ分のボンディング（1stボンディング51,2ndボ
ンディング53,3rdボンディング55の３カ所）とワイヤル
ープ（1stループ52,2ndループ54）形状で示される。
この従来のワイヤボンディング装置は第６図に示すよ
うにボンディング制御データ（第４図）を用いてボンデ
ィング制御フローチャートのように実行される。すなわ
ち、このワイヤボンディング装置はワイヤの本数n,全ワ
イヤ数ｍの場合、ｎ＝１に初期化した後、ｎ行目（この
場合１行目）のデータを第４図に示すワイヤボンディン
グ制御データから読み出す。次に、制御データから読み
出した位置情報Pn1を用いて1stのワイヤボンディング点
に移動し、ワイヤボンディング制御情報Bn1をもとに1st
点のボンディングを実行してワイヤの開始処理を実行し
て、第５図における1stボンディング51を形成する。次
に、位置情報Pn2をもとに、ループ制御を実行して2ndの
ワイヤボンデイング点に移動し、ワイヤボンディング制
御情報Bn2をもとに2nd点のボンディングを実行して、第
５図における1stループ52と2ndボンディング53を形成す
る。次に、位置情報Pn3をもとに、ループ制御を実行し
て3rdのワイヤボンディング点に移動し、ワイヤボンデ
ィング制御情報Bn3をもとに3rd点のボンディングを実行
してワイヤ終了処理をして、第５図における2ndループ5
4と3rdボンディング55を形成する。前記ｎが全ワイヤ数
ｍに達していない場合、ｎを１増加させてｎ行目制御デ
ータ読み込みから処理を開始し同様な制御を実行して、
全ワイヤ数実行したら動作を終了する。
うにボンディング制御データ（第４図）を用いてボンデ
ィング制御フローチャートのように実行される。すなわ
ち、このワイヤボンディング装置はワイヤの本数n,全ワ
イヤ数ｍの場合、ｎ＝１に初期化した後、ｎ行目（この
場合１行目）のデータを第４図に示すワイヤボンディン
グ制御データから読み出す。次に、制御データから読み
出した位置情報Pn1を用いて1stのワイヤボンディング点
に移動し、ワイヤボンディング制御情報Bn1をもとに1st
点のボンディングを実行してワイヤの開始処理を実行し
て、第５図における1stボンディング51を形成する。次
に、位置情報Pn2をもとに、ループ制御を実行して2ndの
ワイヤボンデイング点に移動し、ワイヤボンディング制
御情報Bn2をもとに2nd点のボンディングを実行して、第
５図における1stループ52と2ndボンディング53を形成す
る。次に、位置情報Pn3をもとに、ループ制御を実行し
て3rdのワイヤボンディング点に移動し、ワイヤボンデ
ィング制御情報Bn3をもとに3rd点のボンディングを実行
してワイヤ終了処理をして、第５図における2ndループ5
4と3rdボンディング55を形成する。前記ｎが全ワイヤ数
ｍに達していない場合、ｎを１増加させてｎ行目制御デ
ータ読み込みから処理を開始し同様な制御を実行して、
全ワイヤ数実行したら動作を終了する。
上述した従来のワイヤボンディング装置は、ワイヤボ
ンディング制御データがワイヤ単位で管理されているた
め、１ワイヤあたりのボンディング数を変更すると、デ
ータ構成の行列構造を変更する必要がありボンディング
装置のソフトウェア改造が必要であるなどの欠点があっ
た。
ンディング制御データがワイヤ単位で管理されているた
め、１ワイヤあたりのボンディング数を変更すると、デ
ータ構成の行列構造を変更する必要がありボンディング
装置のソフトウェア改造が必要であるなどの欠点があっ
た。
上記問題点を解決するために、本発明のワイヤボンデ
ィング装置は、行列構成で管理されたワイヤボンディン
グ制御データに基づいてワイヤボンディングを実行する
ワイヤボンディング装置であって、前記制御データの１
行が、ひとつのボンディング点に対する位置情報および
ボンディング条件制御情報を備えるとともに、当該行の
前行の示す前記ボンディング点の位置から当該行の示す
前記ボンディング点の位置へのワイヤの開始、継続ある
いは終了を制御するループ制御情報を含み、前記制御デ
ータの少なくとも２以上を用いて１本のワイヤに対する
ボンディングを制御する手段を備えるものである。
ィング装置は、行列構成で管理されたワイヤボンディン
グ制御データに基づいてワイヤボンディングを実行する
ワイヤボンディング装置であって、前記制御データの１
行が、ひとつのボンディング点に対する位置情報および
ボンディング条件制御情報を備えるとともに、当該行の
前行の示す前記ボンディング点の位置から当該行の示す
前記ボンディング点の位置へのワイヤの開始、継続ある
いは終了を制御するループ制御情報を含み、前記制御デ
ータの少なくとも２以上を用いて１本のワイヤに対する
ボンディングを制御する手段を備えるものである。
また、本発明のワイヤボンディング方法は、行列構成
で管理されたワイヤボンディング制御データに基づいて
ワイヤボンディングを実行するワイヤボンディング方法
であって、前記制御データの１行が、ひとつのボンディ
ング点に対する位置情報およびボンディング条件制御情
報を備えるとともに、当該行の前行の示す前記ボンディ
ング点の位置から当該行の示す前記ボンディング点の位
置へのワイヤの開始、継続あるいは終了を制御するルー
プ制御情報を含み、前記制御データの少なくとも２行以
上を用いて１本のワイヤに対するボンディングを制御す
るものである。
で管理されたワイヤボンディング制御データに基づいて
ワイヤボンディングを実行するワイヤボンディング方法
であって、前記制御データの１行が、ひとつのボンディ
ング点に対する位置情報およびボンディング条件制御情
報を備えるとともに、当該行の前行の示す前記ボンディ
ング点の位置から当該行の示す前記ボンディング点の位
置へのワイヤの開始、継続あるいは終了を制御するルー
プ制御情報を含み、前記制御データの少なくとも２行以
上を用いて１本のワイヤに対するボンディングを制御す
るものである。
次に、本発明の実施例について、図面を参照して詳細
に説明する。
に説明する。
第１図は本発明の一実施例を示す制御データ構成図で
ある。第１図において、本実施例の制御データ構成は、
行列構造になっているため、ボンディング数分の行数11
と、位置情報13、ボンディング条件制御情報14、ループ
制御情報15から成る列数12とを有する。１ワイヤ３ボン
ディングの場合、制御データ３行で1st,2nd,3rdのボン
ディング点についてそれぞれのボンディング位置情報
（P1,P2,P3）とボンディング制御情報（B1,B2,B3）とル
ープ制御情報15（ワイヤ開始16,ワイヤ継続17,ワイヤ終
了18）を用いる。ｎ番目のボンディング制御データは、
位置情報13（pn）とボンディング制御情報14（Bn）とル
ープ制御装置15（本図において例えばワイヤ継続17）で
表現されている。
ある。第１図において、本実施例の制御データ構成は、
行列構造になっているため、ボンディング数分の行数11
と、位置情報13、ボンディング条件制御情報14、ループ
制御情報15から成る列数12とを有する。１ワイヤ３ボン
ディングの場合、制御データ３行で1st,2nd,3rdのボン
ディング点についてそれぞれのボンディング位置情報
（P1,P2,P3）とボンディング制御情報（B1,B2,B3）とル
ープ制御情報15（ワイヤ開始16,ワイヤ継続17,ワイヤ終
了18）を用いる。ｎ番目のボンディング制御データは、
位置情報13（pn）とボンディング制御情報14（Bn）とル
ープ制御装置15（本図において例えばワイヤ継続17）で
表現されている。
第２図は本実施例におけるボンディングとワイヤルー
プとを示すワイヤ外観図である。第２図において、ｎ−
１行目、ｎ行目、ｎ＋１行目の制御データよって形成さ
れる１ワイヤ分のボンディングは1stボンディングがｎ
−１行目のボンディング21,2ndボンディングがｎ行目の
ボンディング22,3rdボンディングがｎ＋１行目のボンデ
ィング25となり、ワイヤループは1stループがｎ行目の
ループ22,2ndループがｎ＋１行目のループ24となる。
プとを示すワイヤ外観図である。第２図において、ｎ−
１行目、ｎ行目、ｎ＋１行目の制御データよって形成さ
れる１ワイヤ分のボンディングは1stボンディングがｎ
−１行目のボンディング21,2ndボンディングがｎ行目の
ボンディング22,3rdボンディングがｎ＋１行目のボンデ
ィング25となり、ワイヤループは1stループがｎ行目の
ループ22,2ndループがｎ＋１行目のループ24となる。
第３図は本発明の一実施例における第１図に示すボン
ディング制御データを用いたボンディング制御フローチ
ャートを示す。第３図において、本実施例はボンディン
グ数n,前ボンディング数ｍとした場合、ｎ＝１に初期化
した後、ｎ行目（この場合１行目）のデータをワイヤボ
ンディング制御データ（第１図）から読み出す。次に、
制御データから読み出した位置情報Pn−１を用いて1st
のワイヤボンディング点に移動し、ワイヤボンディング
制御情報Bn−１をもとに1st点のボンディングを実行し
てワイヤの開始処理を実行して、第２図（ｂ）における
1stボンディング26を形成してワイヤ開始時の制御を行
う。次に、位置情報Pnをもとに、ループ制御を実行して
1stループ27を形成しながら2ndのワイヤボンディング点
に移動し、ワイヤボンディング制御情報Bnをもとに2nd
ボンディング28を実行して、第２図（ｃ）におけるワイ
ヤ継続時の制御を行う。次に、位置情報Pn＋１をもと
に、ループ制御を実行して2ndループ29を形成しなが
ら、3rdのワイヤボンディング点に移動し、ワイヤボン
ディング制御情報Bn＋１をもとに3rd点のボンディング
を実行してワイヤ終了処理をして、第２図（ｄ）におけ
るワイヤ終了時を行う。前記ｎが全ボンディング数ｍに
達していない場合、ｎを１増加させてｎ行目制御データ
読み込みから処理を開始し同様な制御を実行して、全ボ
ンディング数実行したら動作を終了する。
ディング制御データを用いたボンディング制御フローチ
ャートを示す。第３図において、本実施例はボンディン
グ数n,前ボンディング数ｍとした場合、ｎ＝１に初期化
した後、ｎ行目（この場合１行目）のデータをワイヤボ
ンディング制御データ（第１図）から読み出す。次に、
制御データから読み出した位置情報Pn−１を用いて1st
のワイヤボンディング点に移動し、ワイヤボンディング
制御情報Bn−１をもとに1st点のボンディングを実行し
てワイヤの開始処理を実行して、第２図（ｂ）における
1stボンディング26を形成してワイヤ開始時の制御を行
う。次に、位置情報Pnをもとに、ループ制御を実行して
1stループ27を形成しながら2ndのワイヤボンディング点
に移動し、ワイヤボンディング制御情報Bnをもとに2nd
ボンディング28を実行して、第２図（ｃ）におけるワイ
ヤ継続時の制御を行う。次に、位置情報Pn＋１をもと
に、ループ制御を実行して2ndループ29を形成しなが
ら、3rdのワイヤボンディング点に移動し、ワイヤボン
ディング制御情報Bn＋１をもとに3rd点のボンディング
を実行してワイヤ終了処理をして、第２図（ｄ）におけ
るワイヤ終了時を行う。前記ｎが全ボンディング数ｍに
達していない場合、ｎを１増加させてｎ行目制御データ
読み込みから処理を開始し同様な制御を実行して、全ボ
ンディング数実行したら動作を終了する。
本発明のワイヤボンディング装置は、ワイヤボンディ
ング制御データがワイヤ単位で管理されておらず制御デ
ータの１行で一つのボンディング点を管理しているた
め、１ワイヤあたりのボンディング数を変更する時、デ
ータ構成の行列構造を変更する必要がなくボンディング
装置の制御データのみの変更で対処できる効果がある。
ング制御データがワイヤ単位で管理されておらず制御デ
ータの１行で一つのボンディング点を管理しているた
め、１ワイヤあたりのボンディング数を変更する時、デ
ータ構成の行列構造を変更する必要がなくボンディング
装置の制御データのみの変更で対処できる効果がある。
第１図は本発明の一実施例を示す図、第２図は本実施例
における１ワイヤ分のボンディングとワイヤループの形
状を示す図、第３図は本実施例のフローチャートを示す
図、第４図〜６図は従来のワイヤボンディング装置にお
けるデータ構成，ワイヤの形状およびフローチャートを
示す図である。 11……行数、12……列数、13……位置情報、14……ボン
ディング条件制御情報、15……ループ制御情報、16……
ワイヤ開始、17……ワイヤ継続、18……ワイヤ終了、21
……ｎ−１行目のボンディング、22……ｎ行目のルー
プ、23……ｎ行目のボンディング、24……ｎ＋１行目の
ループ、25……ｎ＋１行目のボンディグ、26……1stボ
ンディング、27……1stループ、28……2ndボンディン
グ、29……2ndループ、30……3rdボンディング、41……
行数、42……列数、43……1sボンディングの位置情報、
44……1stボンディングのボンディング条件制御情報、4
5……2ndボンディングの位置情報、46……2ndボンディ
ングのボンディング条件制御情報、47……3rdボンディ
ングの位置情報、48……3rdボンディングのボンディン
グ条件制御情報、51……1stボンディング、52……1stル
ープ、53……2ndボンディング、54……2ndループ、55…
…3rdボンディング。
における１ワイヤ分のボンディングとワイヤループの形
状を示す図、第３図は本実施例のフローチャートを示す
図、第４図〜６図は従来のワイヤボンディング装置にお
けるデータ構成，ワイヤの形状およびフローチャートを
示す図である。 11……行数、12……列数、13……位置情報、14……ボン
ディング条件制御情報、15……ループ制御情報、16……
ワイヤ開始、17……ワイヤ継続、18……ワイヤ終了、21
……ｎ−１行目のボンディング、22……ｎ行目のルー
プ、23……ｎ行目のボンディング、24……ｎ＋１行目の
ループ、25……ｎ＋１行目のボンディグ、26……1stボ
ンディング、27……1stループ、28……2ndボンディン
グ、29……2ndループ、30……3rdボンディング、41……
行数、42……列数、43……1sボンディングの位置情報、
44……1stボンディングのボンディング条件制御情報、4
5……2ndボンディングの位置情報、46……2ndボンディ
ングのボンディング条件制御情報、47……3rdボンディ
ングの位置情報、48……3rdボンディングのボンディン
グ条件制御情報、51……1stボンディング、52……1stル
ープ、53……2ndボンディング、54……2ndループ、55…
…3rdボンディング。
Claims (2)
- 【請求項１】行列構成で管理されたワイヤボンディング
制御データに基づいてワイヤボンディングを実行するワ
イヤボンディング装置であって、 前記制御データの１行が、ひとつのボンディング点に対
する位置情報およびボンディング条件制御情報を備える
とともに、当該行の前行の示す前記ボンディング点の位
置から当該行の示す前記ボンディング点の位置へのワイ
ヤの開始、継続あるいは終了を制御するループ制御情報
を含み、 前記制御データの少なくとも２行以上を用いて１本のワ
イヤに対するボンディングを制御する手段を備えること
を特徴とするワイヤボンディング装置。 - 【請求項２】行列構成で管理されたワイヤボンディング
制御データに基づいてワイヤボンディングを実行するワ
イヤボンディング方法であって、 前記制御データの１行が、ひとつのボンディング点に対
する位置情報およびボンディング条件制御情報を備える
とともに、当該行の前行の示す前記ボンディング点の位
置から当該行の示す前記ボンディング点の位置へのワイ
ヤの開始、継続あるいは終了を制御するループ制御情報
を含み、 前記制御データの少なくとも２行以上を用いて１本のワ
イヤに対するボンディングを制御することを特徴とする
ワイヤボンディング方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1006173A JP2504154B2 (ja) | 1989-01-12 | 1989-01-12 | ワイヤボンディング装置および方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1006173A JP2504154B2 (ja) | 1989-01-12 | 1989-01-12 | ワイヤボンディング装置および方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02186649A JPH02186649A (ja) | 1990-07-20 |
| JP2504154B2 true JP2504154B2 (ja) | 1996-06-05 |
Family
ID=11631155
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1006173A Expired - Fee Related JP2504154B2 (ja) | 1989-01-12 | 1989-01-12 | ワイヤボンディング装置および方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2504154B2 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3516608B2 (ja) | 1999-04-27 | 2004-04-05 | 沖電気工業株式会社 | 半導体装置 |
-
1989
- 1989-01-12 JP JP1006173A patent/JP2504154B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02186649A (ja) | 1990-07-20 |
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