JP2503538Y2 - 測寸装置 - Google Patents
測寸装置Info
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- JP2503538Y2 JP2503538Y2 JP1988100815U JP10081588U JP2503538Y2 JP 2503538 Y2 JP2503538 Y2 JP 2503538Y2 JP 1988100815 U JP1988100815 U JP 1988100815U JP 10081588 U JP10081588 U JP 10081588U JP 2503538 Y2 JP2503538 Y2 JP 2503538Y2
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- Japan
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- sample
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- measuring
- torque motor
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Description
【考案の詳細な説明】 A.産業上の利用分野 本考案は、一対の圧子の間に試料を挟持し、両圧子の
相対位置関係から試料の寸法を測定する測寸装置に関す
るものである。
相対位置関係から試料の寸法を測定する測寸装置に関す
るものである。
B.従来の技術 従来から、一対の圧子の間に試料を予め設定した特定
の圧子で挟持し、この状態で圧子の相対位置関係を求め
て試料の厚み,幅,径などを測定する測寸装置が知られ
ている。
の圧子で挟持し、この状態で圧子の相対位置関係を求め
て試料の厚み,幅,径などを測定する測寸装置が知られ
ている。
ところが、この測寸装置では試料の種類に関係なく特
定の圧子で試料を挟持するため、比較的硬い試料は問題
ないが、ゴムなどのように軟らかい試料の場合には、測
定圧に伴う弾性変形に起因する誤差が生じる。すなわ
ち、第5図に示すような挟持力(測定圧)に対する変形
特性を有する試料では、測定圧F1で測寸した時の変形量
δ1と測定圧F2で測寸した時の変形量δ2とが異なるた
め、測定圧Fに依存した誤差が生じる。また、同じ測定
圧で複数回測寸してもその都度測寸値が異なり、再現性
が悪いという問題もある。
定の圧子で試料を挟持するため、比較的硬い試料は問題
ないが、ゴムなどのように軟らかい試料の場合には、測
定圧に伴う弾性変形に起因する誤差が生じる。すなわ
ち、第5図に示すような挟持力(測定圧)に対する変形
特性を有する試料では、測定圧F1で測寸した時の変形量
δ1と測定圧F2で測寸した時の変形量δ2とが異なるた
め、測定圧Fに依存した誤差が生じる。また、同じ測定
圧で複数回測寸してもその都度測寸値が異なり、再現性
が悪いという問題もある。
そこで、印加電圧と出力トルクとが比例し、また印加
電圧と回転速度とが比例するトルクモータを用い、この
トルクモータの印加電圧を変えることにより、試料をそ
の硬さ等に応じた測定圧で挟持して測寸する装置が開発
されている。
電圧と回転速度とが比例するトルクモータを用い、この
トルクモータの印加電圧を変えることにより、試料をそ
の硬さ等に応じた測定圧で挟持して測寸する装置が開発
されている。
C.考案が解決しようとする課題 しかし、トルクモータを用いた測寸装置では、測定圧
を高く設定すると、これに比例して圧子の移動速度も速
くなる。このため、圧子が試料に接する時の衝撃力が大
きくなる。すなわち、第6図に示すように、圧子が試料
に接した時刻t1での測定圧F(t1)は予め設定した測定
圧FSに対してオーバシュートし、これが衝撃力となって
試料に加わる。このため、セラミックスなどの脆性材料
では試料が破損することがあり、逆に、圧子より硬い試
料では圧子自体が損傷したり変形し、その後の測寸精度
を悪化させることもある。
を高く設定すると、これに比例して圧子の移動速度も速
くなる。このため、圧子が試料に接する時の衝撃力が大
きくなる。すなわち、第6図に示すように、圧子が試料
に接した時刻t1での測定圧F(t1)は予め設定した測定
圧FSに対してオーバシュートし、これが衝撃力となって
試料に加わる。このため、セラミックスなどの脆性材料
では試料が破損することがあり、逆に、圧子より硬い試
料では圧子自体が損傷したり変形し、その後の測寸精度
を悪化させることもある。
また、ゴム等の軟らかい試料では衝撃力によって弾性
変形量が異なるため、衝撃力の差に応じた誤差が生じ
る。
変形量が異なるため、衝撃力の差に応じた誤差が生じ
る。
本考案の目的は、どのような種類の試料であっても、
試料や圧子を損傷することなく精度良く測寸することが
できる測寸装置を提供することにある。
試料や圧子を損傷することなく精度良く測寸することが
できる測寸装置を提供することにある。
D.課題を解決するための手段 本考案は、対向配置された一対の圧子と、印加電圧に
応じて出力トルクが増加するトルクモータにより一対の
圧子のうち少なくとも一方を他方に向って移動させる駆
動機構とを備え、一対の圧子の間に試料を挟持してその
寸法を測定する測寸装置に実施される。
応じて出力トルクが増加するトルクモータにより一対の
圧子のうち少なくとも一方を他方に向って移動させる駆
動機構とを備え、一対の圧子の間に試料を挟持してその
寸法を測定する測寸装置に実施される。
そして上述した課題は、少なくとも一方の圧子が試料
に接したことを検出する検出手段と、測寸開始から検出
手段が検出信号を出力するまでの間は少なくとも一方の
圧子が低速で移動するようにトルクモータへの印加電圧
を制御し、検出信号出力後は試料に適した測定圧で試料
が圧子に挟持されるようにトルクモータへの印加電圧を
切換えた上でトルクモータを一定時間継続して駆動する
制御手段と、両圧子の相対位置関係から試料の寸法測定
値を出力する計測手段とを具備する測寸装置で達成され
る。
に接したことを検出する検出手段と、測寸開始から検出
手段が検出信号を出力するまでの間は少なくとも一方の
圧子が低速で移動するようにトルクモータへの印加電圧
を制御し、検出信号出力後は試料に適した測定圧で試料
が圧子に挟持されるようにトルクモータへの印加電圧を
切換えた上でトルクモータを一定時間継続して駆動する
制御手段と、両圧子の相対位置関係から試料の寸法測定
値を出力する計測手段とを具備する測寸装置で達成され
る。
E.作用 一対の圧子のうち移動する少なくとも一方の圧子が試
料に接するまでの間は低速で該圧子を移動させる。接し
た後は該圧子を試料に適した測定圧で試料に接触させ
る。そして、この時点での両圧子の相対位置関係から試
料の寸法を計測する。これにより、移動する圧子が試料
と接する際の衝撃力を低減し、精度の高い測寸を行う。
また、試料や圧子の破損防止も図られる。
料に接するまでの間は低速で該圧子を移動させる。接し
た後は該圧子を試料に適した測定圧で試料に接触させ
る。そして、この時点での両圧子の相対位置関係から試
料の寸法を計測する。これにより、移動する圧子が試料
と接する際の衝撃力を低減し、精度の高い測寸を行う。
また、試料や圧子の破損防止も図られる。
F.実施例 第1図は本考案の一実施例を示す全体構成図であり、
試料1を挟持するための一対の圧子2A,2Bが設けられて
いる。このうち圧子2Bはフレーム3に固定されている。
また他方の圧子2Aは支持部材4に固定されている。支持
部材4はその両端で駆動ねじ棒5A,5Bと螺合しており、
この駆動ねじ棒5A,5Bの回転によって圧子2Aと共に図の
矢印A,B方向に移動可能に構成されている。
試料1を挟持するための一対の圧子2A,2Bが設けられて
いる。このうち圧子2Bはフレーム3に固定されている。
また他方の圧子2Aは支持部材4に固定されている。支持
部材4はその両端で駆動ねじ棒5A,5Bと螺合しており、
この駆動ねじ棒5A,5Bの回転によって圧子2Aと共に図の
矢印A,B方向に移動可能に構成されている。
駆動ねじ棒5A,5Bの回転軸には、プーリ6A,6Bがそれぞ
れ取付けられ、このプーリ6A,6Bに対しトルクモータ7
の回転力をタイミングベルト8によって伝達し、駆動ね
じ棒5A,5Bを回転させるように構成されている。また、
駆動ねじ棒5Bの回転軸には該回転軸の回転量に応じた数
のパルス信号を出力するロータリエンコーダ9が取付け
られている。
れ取付けられ、このプーリ6A,6Bに対しトルクモータ7
の回転力をタイミングベルト8によって伝達し、駆動ね
じ棒5A,5Bを回転させるように構成されている。また、
駆動ねじ棒5Bの回転軸には該回転軸の回転量に応じた数
のパルス信号を出力するロータリエンコーダ9が取付け
られている。
一方、トルクモータ7の制御や測寸の演算を行うため
に、マイクロコンピュータ素子で構成された演算処理装
置(以下、CPUと言う)10と、トルクモータ7に対する
印加電圧や試料1の測寸値を表示する表示器11と、測寸
時の圧子2Aの移動速度や測定圧を任意に設定する設定器
12と、測寸開始指令を入力するスイッチ13と、ロータリ
エンコーダ9の出力パルスを計数し、その計数値をイン
タフェース14を介してCPU10に入力するカウンタ15と、
インタフェース16を介してCPU10から与えられる速度指
令に対応した電圧信号を発生する電圧発生器17と、発生
された電圧信号を増幅してトルクモータ7に印加するド
ライバ18とが設けられている。
に、マイクロコンピュータ素子で構成された演算処理装
置(以下、CPUと言う)10と、トルクモータ7に対する
印加電圧や試料1の測寸値を表示する表示器11と、測寸
時の圧子2Aの移動速度や測定圧を任意に設定する設定器
12と、測寸開始指令を入力するスイッチ13と、ロータリ
エンコーダ9の出力パルスを計数し、その計数値をイン
タフェース14を介してCPU10に入力するカウンタ15と、
インタフェース16を介してCPU10から与えられる速度指
令に対応した電圧信号を発生する電圧発生器17と、発生
された電圧信号を増幅してトルクモータ7に印加するド
ライバ18とが設けられている。
第2図は以上の構成における測寸動作を示すフローチ
ャートである。
ャートである。
まず、カウンタ15はロータリエンコーダ9の出力パス
ルを計数することにより、可動側の圧子2Aの移動量を示
す値をCPU10に入力するものであるが、測定開始前のカ
ウント値は不定である。そこで、圧子2A,2Bの対向面が
接触したときのカウンタ15のカウント値を零リセットす
るために、まずスイッチ13によって測寸開始指令をCPU1
0に与えると、CPU10は、設定器12で設定された圧子2Aの
移動速度または零リセット用に設定された移動速度に対
応した速度指令を生成し、該速度指令をインタフェース
16を介して電圧発生器17に入力する(ステップS30)。
これによって、電圧発生器17から電圧信号が発生され、
ドライバ18を介してトルクモータ7に印加される。トル
クモータ7が電圧信号の値に応じた速度で回転し始め、
それに伴って可動側の圧子2Aが固定側の圧子2Bに向けて
移動し始める。
ルを計数することにより、可動側の圧子2Aの移動量を示
す値をCPU10に入力するものであるが、測定開始前のカ
ウント値は不定である。そこで、圧子2A,2Bの対向面が
接触したときのカウンタ15のカウント値を零リセットす
るために、まずスイッチ13によって測寸開始指令をCPU1
0に与えると、CPU10は、設定器12で設定された圧子2Aの
移動速度または零リセット用に設定された移動速度に対
応した速度指令を生成し、該速度指令をインタフェース
16を介して電圧発生器17に入力する(ステップS30)。
これによって、電圧発生器17から電圧信号が発生され、
ドライバ18を介してトルクモータ7に印加される。トル
クモータ7が電圧信号の値に応じた速度で回転し始め、
それに伴って可動側の圧子2Aが固定側の圧子2Bに向けて
移動し始める。
CPU10は速度指令を発した後、カウンタ15のカウント
値の変化を監視しているが、可動側の圧子2Aが固定側の
圧子2Bに接したことに伴って該カウンタ15のカウント値
の変化が停止したならば、この時点を圧子2A,2Bの接触
時点と判定し、トルクモータ7に対する速度指令を解除
し、該トルクモータ7の回転を停止させる(ステップS3
1,S32)。そして、カウンタ15を零リセットする(ステ
ップS33)。すなわち、圧子2A,2Bが接するときのカウン
ト値を「0」に設定する。
値の変化を監視しているが、可動側の圧子2Aが固定側の
圧子2Bに接したことに伴って該カウンタ15のカウント値
の変化が停止したならば、この時点を圧子2A,2Bの接触
時点と判定し、トルクモータ7に対する速度指令を解除
し、該トルクモータ7の回転を停止させる(ステップS3
1,S32)。そして、カウンタ15を零リセットする(ステ
ップS33)。すなわち、圧子2A,2Bが接するときのカウン
ト値を「0」に設定する。
CPU10はカウンタ15を零リセットした後、圧子2Aを測
寸開始位置に復帰させるための速度指令を発する(ステ
ップS34)。この時、カウンタ15はトルクモータ7が逆
回転するためにダウンカウント状態となり、測寸開始位
置に復帰した時のカウント値Qは零点から測寸開始位置
までの長さlに相当する負の値「−Ql」となる。
寸開始位置に復帰させるための速度指令を発する(ステ
ップS34)。この時、カウンタ15はトルクモータ7が逆
回転するためにダウンカウント状態となり、測寸開始位
置に復帰した時のカウント値Qは零点から測寸開始位置
までの長さlに相当する負の値「−Ql」となる。
圧子2Aが測寸開始位置に復帰した後、試料1をその一
方の面が圧子2Bに接するように例えば手で保持すると試
料1がセットされたと判断される(ステップS35)。ロ
ボットハンドやその他の把持装置で試料を把持し圧子2B
に接触させてもよい。その後CPU10は、設定器12に設定
されている移動速度に対応した速度指令を発し、トルク
モータ7を低速で回転させ、圧子2Aを低速で他方の圧子
2Bに向けて移動させる(ステップS36)。そして、零リ
セット時と同様にして可動側の圧子2Aが試料1に接した
ことが検出されると、試料1が所定の測定圧で挟持され
るようにトルクモータ7に対する速度指令を切替える
(ステップS37,S38)。この後、試料1の挟持状態が安
定する一定の時間経過後にトルクモータ7の回転を停止
させる(ステップS39,S40)。
方の面が圧子2Bに接するように例えば手で保持すると試
料1がセットされたと判断される(ステップS35)。ロ
ボットハンドやその他の把持装置で試料を把持し圧子2B
に接触させてもよい。その後CPU10は、設定器12に設定
されている移動速度に対応した速度指令を発し、トルク
モータ7を低速で回転させ、圧子2Aを低速で他方の圧子
2Bに向けて移動させる(ステップS36)。そして、零リ
セット時と同様にして可動側の圧子2Aが試料1に接した
ことが検出されると、試料1が所定の測定圧で挟持され
るようにトルクモータ7に対する速度指令を切替える
(ステップS37,S38)。この後、試料1の挟持状態が安
定する一定の時間経過後にトルクモータ7の回転を停止
させる(ステップS39,S40)。
次いでCPU10は、カウンタ15のカウント値によって試
料1の寸法を求め、表示器11に表示する。すなわち、カ
ウンタ15は圧子2Aが圧子2Bの方向に向っているときはア
ップカウント状態となるので、圧子2Aの移動が完全に停
止した時のカウント値Q1は試料1の寸法dに相関した値
となる。CPU10はこのカウント値Q1から試料1の実寸法
dを求め、表示器11に表示する。なお、ねじ棒5A,5Bの
ピッチやロータリエンコーダ9の分解能を適切に定めれ
ば、カウンタ15の計数値が実寸法dを示す。カウンタ15
の計数値が実寸法を示さないときには、ねじピッチなど
から実寸法を演算すればよい。
料1の寸法を求め、表示器11に表示する。すなわち、カ
ウンタ15は圧子2Aが圧子2Bの方向に向っているときはア
ップカウント状態となるので、圧子2Aの移動が完全に停
止した時のカウント値Q1は試料1の寸法dに相関した値
となる。CPU10はこのカウント値Q1から試料1の実寸法
dを求め、表示器11に表示する。なお、ねじ棒5A,5Bの
ピッチやロータリエンコーダ9の分解能を適切に定めれ
ば、カウンタ15の計数値が実寸法dを示す。カウンタ15
の計数値が実寸法を示さないときには、ねじピッチなど
から実寸法を演算すればよい。
ところで、この実施例では一対の圧子2A,2Bのうち圧
子2Aのみを移動可能に構成しているが、両方を移動可能
なように構成することができる。
子2Aのみを移動可能に構成しているが、両方を移動可能
なように構成することができる。
第3図はその構成を示す全体構成図であり、第1図の
構成が圧子2A,2Bに対応して2系統設けられている。図
中、圧子2Aに対応する系統は第1図の構成要素の番号に
Aを付し、また圧子2Bに対応する系統はBを付して示し
ている。但し、CPU10,表示器11,設定器12,スイッチ13に
ついては各系統で共用できるため、1系統のみ設けられ
ている。
構成が圧子2A,2Bに対応して2系統設けられている。図
中、圧子2Aに対応する系統は第1図の構成要素の番号に
Aを付し、また圧子2Bに対応する系統はBを付して示し
ている。但し、CPU10,表示器11,設定器12,スイッチ13に
ついては各系統で共用できるため、1系統のみ設けられ
ている。
第4図はこの第3図の実施例の測寸動作を示すフロー
チャートであり、カウンタ15A,15Bの零リセットまでの
制御と、圧子2A,2Bが試料1に接した後の制御は第1図
の実施例と同様に両方の圧子で同時並行的に実行され
る。但し、圧子2A,2Bが同時に試料1に接するとは限ら
ないので、試料1に接したか否かは圧子ごとにステップ
S37′で示す処理によって検出される。
チャートであり、カウンタ15A,15Bの零リセットまでの
制御と、圧子2A,2Bが試料1に接した後の制御は第1図
の実施例と同様に両方の圧子で同時並行的に実行され
る。但し、圧子2A,2Bが同時に試料1に接するとは限ら
ないので、試料1に接したか否かは圧子ごとにステップ
S37′で示す処理によって検出される。
すなわち、圧子2Aが試料1に接したか否かを判定し
(ステップS370)、接したならばトルクモータ7Aを停止
させる(ステップS371)。この後、トルクモータ7Bが既
に停止しているか否かを判定し(ステップS372)、停止
しているならばステップS38の処理に進む。圧子2Aが試
料1に接していない場合、あるいはトルクモータ7Bが未
だ停止していない場合は、圧子2Bが試料1に接したか否
かを判定し(ステップS373)、圧子2Bが試料1に接した
ならばトルクモータ7Bを停止させる(ステップS374)。
この後、一方のトルクモータ7Aが既に停止しているか否
かを判定し(ステップS375)、停止していればステップ
S38の処理に進む。
(ステップS370)、接したならばトルクモータ7Aを停止
させる(ステップS371)。この後、トルクモータ7Bが既
に停止しているか否かを判定し(ステップS372)、停止
しているならばステップS38の処理に進む。圧子2Aが試
料1に接していない場合、あるいはトルクモータ7Bが未
だ停止していない場合は、圧子2Bが試料1に接したか否
かを判定し(ステップS373)、圧子2Bが試料1に接した
ならばトルクモータ7Bを停止させる(ステップS374)。
この後、一方のトルクモータ7Aが既に停止しているか否
かを判定し(ステップS375)、停止していればステップ
S38の処理に進む。
つまり、試料1を例えばロボットハンドなどで両圧子
2A,2B間に位置決めしておけば、トルクモータ7A,7Bは試
料1に接した順に停止され、両方が停止した条件でステ
ップS38の処理に進むように構成されている。
2A,2B間に位置決めしておけば、トルクモータ7A,7Bは試
料1に接した順に停止され、両方が停止した条件でステ
ップS38の処理に進むように構成されている。
このような構成においては、各圧子2A,2Bの測定開始
位置におけるカウンタ15,15Bのカウント値をQ0a,Q0b,各
圧子が試料1に接したときのカウント値をQ1a,Q1bとす
ると、その和「Q1a+Q2b」が試料1の寸法に相関を持
つから、この加算結果から寸法dで求める(ステップS4
1)。
位置におけるカウンタ15,15Bのカウント値をQ0a,Q0b,各
圧子が試料1に接したときのカウント値をQ1a,Q1bとす
ると、その和「Q1a+Q2b」が試料1の寸法に相関を持
つから、この加算結果から寸法dで求める(ステップS4
1)。
以上のように両圧子2A,2Bを可動させると、試料1の
中心が両圧子間の中心に位置しない場合でも、正確に測
寸できる効果がある。
中心が両圧子間の中心に位置しない場合でも、正確に測
寸できる効果がある。
なお、上記した実施例において、圧子2A,2Bが試料1
に接したか否かはカウンタ15のカウント値の変化によっ
て検出しているが、これに限定されるものではない。
に接したか否かはカウンタ15のカウント値の変化によっ
て検出しているが、これに限定されるものではない。
G.考案の効果 以上説明したように本考案によれば、圧子が試料に接
するまでは低速で移動させ、接触した後に試料に適した
測定圧になるように制御するため、圧子が試料に接触す
る際の衝撃力がほとんどなくなり、セラミックス等の脆
性材料から成る試料の破損や圧子自体の破損が防止でき
る。また、ゴム等の弾性材料から成る試料も圧子接触時
の変形が抑制され、かつ圧子が接触した後の測定圧をそ
の弾性材料に適した圧子に制御するため、高精度で測寸
することができる。
するまでは低速で移動させ、接触した後に試料に適した
測定圧になるように制御するため、圧子が試料に接触す
る際の衝撃力がほとんどなくなり、セラミックス等の脆
性材料から成る試料の破損や圧子自体の破損が防止でき
る。また、ゴム等の弾性材料から成る試料も圧子接触時
の変形が抑制され、かつ圧子が接触した後の測定圧をそ
の弾性材料に適した圧子に制御するため、高精度で測寸
することができる。
第1図は本考案の一実施例を示すブロック図、第2図は
測寸動作を示すフローチャート、第3図は本考案の他の
実施例を示すブロック図、第4図は第3図の実施例の測
寸動作を示すフローチャート、第5図は試料の測定圧と
変形量との関係の一例を示すグラフ、第6図は圧子が試
料に接した時に発生する衝撃力を説明するための説明図
である。 1:試料、2A,2B:圧子 5A,5B:駆動ねじ棒 6A,6B:プーリ 7:トルクモータ 8:タイミングベルト 9:ロータリエンコーダ 10:演算処理装置、11:表示器 12:設定器、13:スイッチ 15:カウンタ、17:電圧発生器
測寸動作を示すフローチャート、第3図は本考案の他の
実施例を示すブロック図、第4図は第3図の実施例の測
寸動作を示すフローチャート、第5図は試料の測定圧と
変形量との関係の一例を示すグラフ、第6図は圧子が試
料に接した時に発生する衝撃力を説明するための説明図
である。 1:試料、2A,2B:圧子 5A,5B:駆動ねじ棒 6A,6B:プーリ 7:トルクモータ 8:タイミングベルト 9:ロータリエンコーダ 10:演算処理装置、11:表示器 12:設定器、13:スイッチ 15:カウンタ、17:電圧発生器
Claims (1)
- 【請求項1】対向配置された一対の圧子と、印加電圧に
応じてトルクが増加するモータにより前記一対の圧子の
うち少なくとも一方を他方に向って移動させる駆動機構
とを備え、前記一対の圧子の間に試料を挟持してその寸
法を測定する測寸装置において、前記少なくとも一方の
圧子が試料に接したことを検出する検出手段と、測寸開
始から前記検出手段が検出信号を出力するまでの間は前
記少なくとも一方の圧子が低速で移動するように前記ト
ルクモータへの印加電圧を制御し、前記検出信号出力後
は試料に適した測定圧で試料が圧子に挟持されるように
前記トルクモータへの印加電圧を切換えた上で該トルク
モータを一定時間継続して駆動する制御手段と、前記両
圧子の相対位置関係から試料の寸法値を出力する計測手
段とを具備することを特徴とする測寸装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988100815U JP2503538Y2 (ja) | 1988-07-29 | 1988-07-29 | 測寸装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988100815U JP2503538Y2 (ja) | 1988-07-29 | 1988-07-29 | 測寸装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0221505U JPH0221505U (ja) | 1990-02-13 |
| JP2503538Y2 true JP2503538Y2 (ja) | 1996-07-03 |
Family
ID=31329235
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988100815U Expired - Lifetime JP2503538Y2 (ja) | 1988-07-29 | 1988-07-29 | 測寸装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2503538Y2 (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS566646B2 (ja) * | 1974-06-21 | 1981-02-13 | ||
| JPS5817401B2 (ja) * | 1979-12-07 | 1983-04-07 | 株式会社 三豊製作所 | マイクロメ−タ |
-
1988
- 1988-07-29 JP JP1988100815U patent/JP2503538Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0221505U (ja) | 1990-02-13 |
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