JP2502937B2 - 回転センサ - Google Patents
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
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- G01C19/5705—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using masses driven in reciprocating rotary motion about an axis
- G01C19/5712—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using masses driven in reciprocating rotary motion about an axis the devices involving a micromechanical structure
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- Surgical Instruments (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 発明の分野 本発明は回転センサに係り、より詳細には、シリコン
マイクロジャイロ回転センサに係る。
マイクロジャイロ回転センサに係る。
先行技術 多くの形式の航空機のための航行及び慣性誘導システ
ムは、航空機の運動の角速度に関するデータをしばしば
用いて航空機の所望の動きを制御している。角度運動に
関するデータを供給する１つの装置は、良く知られたジ
ャイロスコープである。しかしながら、ジャイロスコー
プには多数の欠点がある。これらは、物理的に大きく且
つ重たい上に、多大なコストをかけて非常に高精度で取
り付けねばならず、しかも、低レベルの衝撃や振動でも
ダメージを受けることがある。衝撃や振動の影響を最小
にするために、重量のある取付器具によって保護しなけ
ればならず、これにより、サイズや、重量や、コストが
更に増大する。更に、ベアリングのような重要な可動素
子は通常は使用に伴って摩耗するので、ジャイロスコー
プは制度を保持するために頻繁に保守を行わねばならな
い。このように頻繁な保守や高い精度が要求されるにも
かかわらず、１時間当たりに数分の１゜というエラード
リフトレートが生じる。
ムは、航空機の運動の角速度に関するデータをしばしば
用いて航空機の所望の動きを制御している。角度運動に
関するデータを供給する１つの装置は、良く知られたジ
ャイロスコープである。しかしながら、ジャイロスコー
プには多数の欠点がある。これらは、物理的に大きく且
つ重たい上に、多大なコストをかけて非常に高精度で取
り付けねばならず、しかも、低レベルの衝撃や振動でも
ダメージを受けることがある。衝撃や振動の影響を最小
にするために、重量のある取付器具によって保護しなけ
ればならず、これにより、サイズや、重量や、コストが
更に増大する。更に、ベアリングのような重要な可動素
子は通常は使用に伴って摩耗するので、ジャイロスコー
プは制度を保持するために頻繁に保守を行わねばならな
い。このように頻繁な保守や高い精度が要求されるにも
かかわらず、１時間当たりに数分の１゜というエラード
リフトレートが生じる。
従来のジャイロスコープの欠点を解消するよう試みる
別の形式の角度運動センサが、ユーゲンＨスタウテ氏の
米国特許第4,899,587号に開示されている。該特許は、
水晶で作られた第１及び第２の同調フォークより成る角
速度センサを開示している。これらのフォークの柄は対
称軸に沿って端と端が一緒に結合され、それらの刃が互
いに離れる方を向いて１つの平面内に存在するようにさ
れる。この二重フォーク構造体を支持体に取り付けるた
めに取付部が設けられる。発振器に接続された一対の電
極を介して第１フォークの刃にエネルギーが与えられ
る。発振器の信号により第１フォークの刃がその平面内
で振動させられる。この構造体が対称軸の周りで回転す
るときには、コリオリの力により第２フォークの刃が上
記平面に直角の方向に振動させられる。この第２フォー
クの刃の振動は出力電極で感知され、その単一軸に関す
る角度運動を表す信号が発生される。
別の形式の角度運動センサが、ユーゲンＨスタウテ氏の
米国特許第4,899,587号に開示されている。該特許は、
水晶で作られた第１及び第２の同調フォークより成る角
速度センサを開示している。これらのフォークの柄は対
称軸に沿って端と端が一緒に結合され、それらの刃が互
いに離れる方を向いて１つの平面内に存在するようにさ
れる。この二重フォーク構造体を支持体に取り付けるた
めに取付部が設けられる。発振器に接続された一対の電
極を介して第１フォークの刃にエネルギーが与えられ
る。発振器の信号により第１フォークの刃がその平面内
で振動させられる。この構造体が対称軸の周りで回転す
るときには、コリオリの力により第２フォークの刃が上
記平面に直角の方向に振動させられる。この第２フォー
クの刃の振動は出力電極で感知され、その単一軸に関す
る角度運動を表す信号が発生される。
不都合なことに、フォークを駆動しそしてその振動運
動を感知するのに必要な電子装置は、非常に複雑で、抽
出するのが困難である。この装置は、音響及び振動の干
渉をかなり受け易く、又、水晶の圧電特性によりこの装
置は漂遊キャパシタンスに非常に敏感なものとなる。フ
ォーク構造体を取り付ける支持体は、不所望なストレス
や破壊点を生じ、又、水晶の温度変則性により他の電気
的及び機械的な問題が生じる。更に、各装置は単一の軸
に沿った回転しか感知しない。
動を感知するのに必要な電子装置は、非常に複雑で、抽
出するのが困難である。この装置は、音響及び振動の干
渉をかなり受け易く、又、水晶の圧電特性によりこの装
置は漂遊キャパシタンスに非常に敏感なものとなる。フ
ォーク構造体を取り付ける支持体は、不所望なストレス
や破壊点を生じ、又、水晶の温度変則性により他の電気
的及び機械的な問題が生じる。更に、各装置は単一の軸
に沿った回転しか感知しない。
発明の要旨 本発明は、２つの軸に対する回転を感知することので
きるシリコンのマイクロジャイロであって、公知の写真
平板及びエッチング技術を用いてシリコン基体から完全
な構造体がマイクロ加工されたマイクロジャイロに係
る。構造体の重要な部品は一体的に形成され、従って、
不所望な機械的ストレスは排除される。マイクロ加工さ
れたチップは、２つのエッチングされたシリコンカバー
の間に収容される。これらのシリコンカバーは互いに溶
融されて、温度係数の差がない単一の均質なシリコン構
造体が形成される。この回転センサを動作するのに使用
される電子装置は、シリコンへの直接的な拡散によるか
又はASICチップをハウジングに接合することにより、容
易にハウジングに配置することができる。
きるシリコンのマイクロジャイロであって、公知の写真
平板及びエッチング技術を用いてシリコン基体から完全
な構造体がマイクロ加工されたマイクロジャイロに係
る。構造体の重要な部品は一体的に形成され、従って、
不所望な機械的ストレスは排除される。マイクロ加工さ
れたチップは、２つのエッチングされたシリコンカバー
の間に収容される。これらのシリコンカバーは互いに溶
融されて、温度係数の差がない単一の均質なシリコン構
造体が形成される。この回転センサを動作するのに使用
される電子装置は、シリコンへの直接的な拡散によるか
又はASICチップをハウジングに接合することにより、容
易にハウジングに配置することができる。
本発明による回転センサの一実施例においては、複数
の刃が円形ベースの外周面から半径方向に且つ同一平面
内に延びるようにシリコンチップがマイクロ加工され
る。ベースを支持体に取り付けるために第１及び第２の
取付部材がベースから延びている。第１の取付部材は、
第２の取付部材に対し一般的に垂直に配置される。パル
ス発生器は複数の刃の次々の自由端に静電又は電磁パル
スを印加し、各刃がベースの周囲に沿って回転シーケン
スで平面内において瞬間的に振動するようにする。次々
の振動は、スピンするホイールを近似する実効角運動量
を確立し、第１又は第２の取付部材の一方の軸の周りで
センサが回転することによってその他方の部材にコリオ
リ力による変形を受けさせる。ホイートストンブリッジ
を形成するように相互接続された複数の圧電抵抗歪ゲー
ジが第１及び第２の取付部材に配置され、第１及び第２
の取付部材の変形をプッシュ−プル式に各々感知する。
互いに逆状態にされた歪ゲージのプッシュ−プル作用に
より、ノイズ及びエラーが打ち消されるという効果が得
られる。従って、歪ゲージからの出力信号は、角運動の
確実な指示を与える。
の刃が円形ベースの外周面から半径方向に且つ同一平面
内に延びるようにシリコンチップがマイクロ加工され
る。ベースを支持体に取り付けるために第１及び第２の
取付部材がベースから延びている。第１の取付部材は、
第２の取付部材に対し一般的に垂直に配置される。パル
ス発生器は複数の刃の次々の自由端に静電又は電磁パル
スを印加し、各刃がベースの周囲に沿って回転シーケン
スで平面内において瞬間的に振動するようにする。次々
の振動は、スピンするホイールを近似する実効角運動量
を確立し、第１又は第２の取付部材の一方の軸の周りで
センサが回転することによってその他方の部材にコリオ
リ力による変形を受けさせる。ホイートストンブリッジ
を形成するように相互接続された複数の圧電抵抗歪ゲー
ジが第１及び第２の取付部材に配置され、第１及び第２
の取付部材の変形をプッシュ−プル式に各々感知する。
互いに逆状態にされた歪ゲージのプッシュ−プル作用に
より、ノイズ及びエラーが打ち消されるという効果が得
られる。従って、歪ゲージからの出力信号は、角運動の
確実な指示を与える。
水晶をベースとする回転センサとは対照的に、同じチ
ップ上に回転センサと共に任意の直線加速度計を組み合
わせることができる。このような３個のチップを組み合
わせて、３つの軸に対する回転及び直線加速度を感知す
る慣性測定ユニット（IMU）を形成することができる。
ップ上に回転センサと共に任意の直線加速度計を組み合
わせることができる。このような３個のチップを組み合
わせて、３つの軸に対する回転及び直線加速度を感知す
る慣性測定ユニット（IMU）を形成することができる。
図面の簡単な説明 図１は、本発明によるシリコンのマイクロジャイロ回
転センサ及び任意の直線加速度計の特定の実施例を示す
上面図である。
転センサ及び任意の直線加速度計の特定の実施例を示す
上面図である。
図２は、図１に示すマイクロジャイロのハウジングの
特定の実施例を示す分解図である。
特定の実施例を示す分解図である。
図３は、３つの軸に対する回転及び直線加速度を感知
するIMUの特定の実施例を示す斜視図である。
するIMUの特定の実施例を示す斜視図である。
好ましい実施例の詳細な説明 図１は、本発明によるシリコンのマイクロジャイロ回
転センサ10の特定実施例を示す上面図である。このマイ
クロジャイロ10は、円形ベース14を備え、ここから複数
の刃18が延びている。より詳細には、これらの刃18は、
ベース14の外周面22から同一平面において延びており、
各刃18はＴ字型の自由端24を有している。第１の取付部
材28は、ベース14から図示されたＸ軸に沿って両方向に
延びており、構造体を支持体32に取り付けている。第２
の取付部材36も同様にベース14から図示されたＹ軸に沿
って両方向に延びている。ベース14、刃18、第１取付部
材28、第２取付部材36、及び支持体32は、標準的なシリ
コン写真平板及びエッチング技術を用いてシリコンウェ
ハから一体的にマイクロ加工される。
転センサ10の特定実施例を示す上面図である。このマイ
クロジャイロ10は、円形ベース14を備え、ここから複数
の刃18が延びている。より詳細には、これらの刃18は、
ベース14の外周面22から同一平面において延びており、
各刃18はＴ字型の自由端24を有している。第１の取付部
材28は、ベース14から図示されたＸ軸に沿って両方向に
延びており、構造体を支持体32に取り付けている。第２
の取付部材36も同様にベース14から図示されたＹ軸に沿
って両方向に延びている。ベース14、刃18、第１取付部
材28、第２取付部材36、及び支持体32は、標準的なシリ
コン写真平板及びエッチング技術を用いてシリコンウェ
ハから一体的にマイクロ加工される。
第１の取付部材28内に拡散されるのは、圧電抵抗歪ゲ
ージRX1−RX8であり、歪ゲージRX1−RX4と、RX5−RX8
は、２つのホイートストンブリッジ40及び44を各々形成
するよう相互接続され、第１取付部材28の変形（例え
ば、撓み、歪、圧縮、ねじれ、等）を感知する。同様
に、圧電抵抗歪ゲージRY1−RY8は、第２の取付部材36内
に拡散され、該第２の取付部材36の変形を感知するため
の２つのホイートストンブリッジ48及び52を形成するよ
うに相互接続される。
ージRX1−RX8であり、歪ゲージRX1−RX4と、RX5−RX8
は、２つのホイートストンブリッジ40及び44を各々形成
するよう相互接続され、第１取付部材28の変形（例え
ば、撓み、歪、圧縮、ねじれ、等）を感知する。同様
に、圧電抵抗歪ゲージRY1−RY8は、第２の取付部材36内
に拡散され、該第２の取付部材36の変形を感知するため
の２つのホイートストンブリッジ48及び52を形成するよ
うに相互接続される。
支持体32上には複数の電極60が配置されており、これ
らは、公知の金属化技術により金属層を付着及びエッチ
ングすることによって形成される。電極60は、刃18のＴ
字型自由端24に対して傾斜されるのが好ましい。支持体
32に任意に付着されるのは、拡散圧電抵抗歪ゲージRA1
−RA8であり、これらは良く知られたように相互接続さ
れて直線加速度計を形成する。ホイートストンブリッジ
40、44、48及び52、電極60、及び加速度計78に対する接
続はバス66を形成し、これは次いで信号処理ユニット70
及びパルスユニット74に接続される。
らは、公知の金属化技術により金属層を付着及びエッチ
ングすることによって形成される。電極60は、刃18のＴ
字型自由端24に対して傾斜されるのが好ましい。支持体
32に任意に付着されるのは、拡散圧電抵抗歪ゲージRA1
−RA8であり、これらは良く知られたように相互接続さ
れて直線加速度計を形成する。ホイートストンブリッジ
40、44、48及び52、電極60、及び加速度計78に対する接
続はバス66を形成し、これは次いで信号処理ユニット70
及びパルスユニット74に接続される。
動作に際し、パルスユニット74は、約20kHzで時計方
向又は半時計方向のスピン方向に電極60を経て静電的又
は電磁的に各次々の刃を順次にパルス付勢する。傾斜し
た電極60からの各パルスは、それに関連した刃を矢印で
示されたように平面内で瞬間的に前後に振動させる。そ
の正味作用は、刃の振動のスピン「ポケット」を形成す
ることであり、これは構造体の周りを円形に進行して、
スピンホイールを近似する実効角運動量を形成する。従
って、構造体がＹ軸の周りを回転する場合には、コリオ
リ力によって第１の取付部材28が変形を受け、一方、構
造体がＸ軸の周りを回転する場合には、コリオリ力によ
って第２の取付部材36が変形を受ける。変形の量は、対
応するホイートストンブリッジ40、44又は48、52によっ
て感知され、その信号が信号処理ユニット70によって処
理されて、角度回転の量の直接的な指示が形成される。
又、信号処理ユニット70は、加速度計78からの信号も処
理し、マイクロジャイロ構造体の直線加速度の量の指示
を与える。
向又は半時計方向のスピン方向に電極60を経て静電的又
は電磁的に各次々の刃を順次にパルス付勢する。傾斜し
た電極60からの各パルスは、それに関連した刃を矢印で
示されたように平面内で瞬間的に前後に振動させる。そ
の正味作用は、刃の振動のスピン「ポケット」を形成す
ることであり、これは構造体の周りを円形に進行して、
スピンホイールを近似する実効角運動量を形成する。従
って、構造体がＹ軸の周りを回転する場合には、コリオ
リ力によって第１の取付部材28が変形を受け、一方、構
造体がＸ軸の周りを回転する場合には、コリオリ力によ
って第２の取付部材36が変形を受ける。変形の量は、対
応するホイートストンブリッジ40、44又は48、52によっ
て感知され、その信号が信号処理ユニット70によって処
理されて、角度回転の量の直接的な指示が形成される。
又、信号処理ユニット70は、加速度計78からの信号も処
理し、マイクロジャイロ構造体の直線加速度の量の指示
を与える。
図２は、マイクロジャイロ10を収容するための本発明
による任意構造体80を示す分解図である。このハウジン
グは、エッチングされたシリコンカバー82及び84より成
る。これらのカバーは、イオン注入によって接合され、
熱係数の差がないシリコンの一体部片を形成する。ASIC
又は他の電子装置88がチップ92上に形成され（或いは部
材82又は84の表面に拡散され）そしてスペースを効率的
に使用するようにマイクロジャイロ10に接続がなされ
る。電子装置88は、もし所望ならば、信号処理ユニット
70及び／又はパルスユニット74の部分を含んでもよい。
による任意構造体80を示す分解図である。このハウジン
グは、エッチングされたシリコンカバー82及び84より成
る。これらのカバーは、イオン注入によって接合され、
熱係数の差がないシリコンの一体部片を形成する。ASIC
又は他の電子装置88がチップ92上に形成され（或いは部
材82又は84の表面に拡散され）そしてスペースを効率的
に使用するようにマイクロジャイロ10に接続がなされ
る。電子装置88は、もし所望ならば、信号処理ユニット
70及び／又はパルスユニット74の部分を含んでもよい。
図３は、３つの軸に対する角回転及び直線加速度を感
知する本発明による３軸二重冗長のIMU95を示す斜視図
である。この実施例では、３つのマイクロジャイロ10
（１つしか示されていない）が３つの垂直軸に沿ってシ
リコン立方体98に接合される。これら３つのマイクロジ
ャイロは、３つの軸に対する回転を二重の冗長度で感知
し（各マイクロジャイロが２つの垂直軸に関する回転を
感知するので）、そして３つの直線加速度計が３つの軸
に沿った直線変位加速度を測定する。
知する本発明による３軸二重冗長のIMU95を示す斜視図
である。この実施例では、３つのマイクロジャイロ10
（１つしか示されていない）が３つの垂直軸に沿ってシ
リコン立方体98に接合される。これら３つのマイクロジ
ャイロは、３つの軸に対する回転を二重の冗長度で感知
し（各マイクロジャイロが２つの垂直軸に関する回転を
感知するので）、そして３つの直線加速度計が３つの軸
に沿った直線変位加速度を測定する。
本発明の好ましい実施例について詳細に説明したが、
種々の変形を使用することができる。例えば、特定の回
転率感知要件に対して運動スピン率を最適化することも
できるし、半径方向に対向したスポークを同時にパルス
付勢して、構造体の周りを円形に進行する刃振動の２つ
以上のポケットを形成することもできる。従って、本発
明の範囲は、請求項に記載する以外のもので限定される
ことはないものとする。
種々の変形を使用することができる。例えば、特定の回
転率感知要件に対して運動スピン率を最適化することも
できるし、半径方向に対向したスポークを同時にパルス
付勢して、構造体の周りを円形に進行する刃振動の２つ
以上のポケットを形成することもできる。従って、本発
明の範囲は、請求項に記載する以外のもので限定される
ことはないものとする。
Claims (26)
- 【請求項１】回転センサのための刃構造体において、 複数の半径方向に延びる刃と、 各刃が平面内で順次瞬間的に振動するように上記複数の
刃の自由端にパルスを供給するためのパルス手段とを備
えたことを特徴とする刃構造体。 - 【請求項２】上記複数の刃を支持体に取り付けるための
取付手段を更に備え、選択された軸の周りでの刃構造体
の回転が上記取付手段の変形を生じさせるようにした請
求項１に記載の刃構造体。 - 【請求項３】複数の半径方向に延びる刃と、 各刃が平面内で順次瞬間的に振動するように上記複数の
刃の自由端にパルスを供給するためのパルス手段と、 上記複数の刃を支持体に取り付けるための取付手段であ
って、選択された軸の周りでの構造体の回転がこの取付
手段を変形させるようになった取付手段と、 上記取付手段に配置され、上記取付手段の変形を感知す
るための変形感知手段とを備えたことを特徴とする回転
センサ。 - 【請求項４】上記複数の刃は一般的に同一平面にある請
求項３に記載の回転センサ。 - 【請求項５】上記複数の刃の自由端は円を定める請求項
４に記載の回転センサ。 - 【請求項６】ベースを更に備え、上記複数の刃はこのベ
ースから延びている請求項５に記載の回転センサ。 - 【請求項７】上記ベースは一般的に円形の外周面を有
し、上記複数の刃はこの外周面から延びている請求項６
に記載の回転センサ。 - 【請求項８】上記複数の刃は、上記ベースの周りに均一
に配置される請求項７に記載の回転センサ。 - 【請求項９】ベースを更に備え、上記複数の刃はこのベ
ースから発している請求項３に記載の回転センサ。 - 【請求項１０】上記取付手段は、上記ベースから支持体
へと延びている請求項９に記載の回転センサ。 - 【請求項１１】上記変形感知手段は、上記取付手段に配
置されてホイートストンブリッジを形成するように相互
接続された複数の歪ゲージを備えている請求項10に記載
の回転センサ。 - 【請求項１２】上記取付手段は、 上記ベースから支持体へと延びる第１の取付部材と、 上記ベースから支持体へと延びる第２の取付部材とを備
え、 上記第２の取付部材は、第１の取付部材に一般的に垂直
に配置される請求項９に記載の回転センサ。 - 【請求項１３】上記変形感知手段は、 上記第１の取付部材に配置されて、その第１の取付部材
の変形を感知するための第１ホイートストンブリッジを
形成するように相互接続された第１の複数の歪ゲージ
と、 上記第２の取付部材に配置されて、その第２の取付部材
の変形を感知するための第２ホイートストンブリッジを
形成するように相互接続された第２の複数の歪ゲージと
を備えた請求項12に記載の回転センサ。 - 【請求項１４】上記支持体に配置されたASICを更に備え
た請求項３に記載の回転センサ。 - 【請求項１５】第１のシリコンカバーと、 第２のシリコンカバーとを備え、 上記複数の刃、取付手段及び支持体は、これら第１と第
２のシリコンカバーの間に配置され、そして 上記第１及び第２のシリコンカバーは互いに接合される
請求項３に記載の回転センサ。 - 【請求項１６】上記第１及び第２のシリコンカバーは、
上記複数の刃、取付手段及び支持体のための一体的なハ
ウジングを形成するようにイオン注入によって互いに接
合される請求項15に記載の回転センサ。 - 【請求項１７】上記第１のシリコンカバーに配置された
ASICを更に備えている請求項15に記載の回転センサ。 - 【請求項１８】一般的に円形の外周面を有するベース
と、 上記ベースの外周面から半径方向に且つ同一平面内に延
びる複数の刃と、 上記ベースを支持体に取り付けるために上記ベースから
延びる第１の取付部材と、 上記ベースを支持体に取り付けるために上記ベースから
延びる第２の取付部材とを備え、 上記第２の取付部材は、上記第１の取付部材に一般的に
垂直に配置され、 更に、各刃が平面内で順次瞬間的に振動するように上記
複数の刃の自由端にパルスを供給するためのパルス手段
を備え、 上記第１取付部材又は第２取付部材の一方に対するセン
サの回転がその他方の取付部材を変形させるようになっ
ており、 更に、上記第１取付部材に配置されて、その第１取次部
材の変形を感知するための第１ホイートストンブリッジ
を形成するように相互接続された第１の複数の歪ゲージ
と、 上記第２取付部材に配置されて、その第２取付部材の変
形を感知するための第２ホイートストンブリッジを形成
するように相互接続された第２の複数の歪ゲージとを備
えたことを特徴とする回転センサ。 - 【請求項１９】上記複数の刃は、上記ベースの周りに均
一に配置される請求項18に記載の回転センサ。 - 【請求項２０】上記複数の刃の自由端は円を定める請求
項19に記載の回転センサ。 - 【請求項２１】上記ベース、複数の刃、第１取付部材、
及び第２取付部材は、各々シリコンで形成される請求項
20に記載の回転センサ。 - 【請求項２２】シリコンウェハで形成された慣性測定ユ
ニットにおいて、 複数の半径方向に延びる刃と、 各刃が平面内で順次瞬間的に振動するように上記複数の
刃の自由端にパルスを供給するためのパルス手段と、 上記複数の刃を支持体に取り付けるために取付手段であ
って、選択された軸の周りでの構造体の回転がこの取付
手段を変形させるようになった取付手段と、 上記取付手段に配置されて、その取付手段の変形を感知
するための変形感知手段と、 上記支持体に配置された直線加速度計とを備えたことを
特徴とする慣性測定ユニット。 - 【請求項２３】上記直線加速度計は、複数の相互接続さ
れた歪ゲージを備えている請求項22に記載の慣性測定ユ
ニット。 - 【請求項２４】上記複数の歪ゲージは上記支持体に拡散
される請求項23に記載の慣性測定ユニット。 - 【請求項２５】上記支持体に配置されたASICを更に備え
た請求項22に記載の慣性測定ユニット。 - 【請求項２６】シリコンウェハから各々形成された第
１、第２及び第３の慣性測定チップを備え、その各々
は、 複数の半径方向に延びる刃と、 各刃が平面内で順次瞬間的に振動するように上記複数の
刃の自由端にパルスを供給するためのパルス手段と、 上記複数の刃を支持体に取り付けるために取付手段であ
って、選択された軸の周りでの構造体の回転がこの取付
手段を変形させるようになった取付手段と、 上記取付手段に配置されて、その取付手段の変形を感知
するための変形感知手段と、 上記支持体に配置され、直線加速度計を形成するように
相互接続された複数の歪ゲージとを備え、 上記第１、第２及び第３の慣性測定チップは互いに一般
的に垂直に取り付けられることを特徴とする慣性測定ユ
ニット。
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