JP2500552Y2

JP2500552Y2 - 検査システム

Info

Publication number: JP2500552Y2
Application number: JP1888890U
Authority: JP
Inventors: 敏男藤原; 貴茂木
Original assignee: Taiyo Yuden Co Ltd
Current assignee: Taiyo Yuden Co Ltd
Priority date: 1990-02-28
Filing date: 1990-02-28
Publication date: 1996-06-05
Anticipated expiration: 2005-02-28
Also published as: JPH03110382U

Description

【考案の詳細な説明】（産業上の利用分野）本考案は、電子デバイス等の検査対象物を群単位で検
査する検査システムの改良に関するものである。

（従来の技術）従来、電子デバイス、例えば集積回路の生産ラインに
おいては、一つのフレーム上に複数の集積回路が結合さ
れていることから、これらの集積回路の良否を検査する
場合、複数の集積回路のそれぞれに順位をもたせて一群
となし、この群単位、例えばフレーム単位で検査装置に
より検査対象の集積回路を自動的に検査するシステムが
用いられる。検査の終了した集積回路は、搬送装置によ
ってフレーム単位で前記検査装置から選別装置へと搬送
される。

選別装置に搬送された集積回路は、前記検査装置によ
る検査結果に基づいて、選別装置によって良品と不良品
に自動的に選別される。

前述したように全て自動的に検査、選別が行なわれる
ので、大幅に人手を削減することができ、製品のコスト
低減を図ることができる。

（考案が解決しようとする課題）前記選別装置によって不良品として振り分けられた集
積回路は切断された後、廃棄される。このため、検査員
は、検査装置による検査結果が正確に選別装置に伝達さ
れ、検査を終了した集積回路の選別が行なわれているか
否かを知る必要がある。さらに、検査の結果、不良品の
割合が基準値を上回る場合には、該当するロットの集積
回路の生産を中止しなくてはならない。

しかしながら前述した従来の検査システムにおいて
は、検査装置による検査結果をリアルタイムで知る方法
がなかった。このため、選別装置による良品、不良品の
振り分けが正確に行なわれているか否かを知ることがで
きないと共に、不良品発生の割合が基準値を上回った際
にも、これを検査員が認識するまでにある程度の時間が
かかるという問題点があった。

本考案の目的は上記の問題点に鑑み、検査装置による
検査結果をリアルタイムで容易に知ることができる検査
システムを提供することにある。

（課題を解決するための手段）本考案は上記の目的を達成するために、請求項（１）
では所定数量の検査対象物のそれぞれに順位をもたせて
一群となし、該群単位で前記検査対象物を検査する検査
装置と、前記群単位で前記検査対象物を搬送する搬送装
置と、該搬送装置によって前記検査装置から搬送された
検査対象物を前記検査装置による検査結果に基づいて、
良品と不良品に選別する選別装置とを備えた検査システ
ムにおいて、前記検査装置による検査結果を前記各検査
対象物に対応してかつ前記群単位で表示する検査結果表
示装置を設けた検査システムを提案する。

また、請求項（２）では、請求項（１）記載の検査シ
ステムにおいて、前記検査結果表示装置は、複数の群に
対応する検査結果を表示すると共に、前記検査装置によ
る検査の進行に同期してかつ順位を対応させて表示位置
をシフトする手段を有する検査システムを提案する。

（作用）本考案の請求項（１）によれば、検査装置によって検
査対象物がそれぞれの順位をもって群単位で検査され
る。検査が終了した検査対象物は搬送装置によって群単
位で選別装置に搬送され、検査結果に基づいて選別装置
により良品と不良品に選別される。また、検査装置によ
る検査結果は、検査結果表示装置によって個々の検査対
象物に対応して、かつ前記群単位でリアルタイムに表示
される。

また、請求項（２）によれば、複数の群に対応する検
査結果が表示されると共に、前記検査装置による検査の
進行に同期して、かつ順位を対応させて表示位置がシフ
トされる。

（実施例）第１図は本考案の一実施例を示す概略構成図、第２図
は一実施例における１フレームの集積回路を示す図であ
る。図において、１は搬送装置で、検査対象の集積回路
２をフレーム単位で検査装置３、選別装置４等に搬送す
る。

集積回路２は、製造時において、１つのフレームリー
ド21に複数個がそれぞれのリード2aを介してそれぞれ順
位をもって連結されている。これらの集積回路２は図示
せぬリード切断装置によってフレームリード21から切り
離された後、図示せぬチェック機構によてそれぞれの順
位が保持された状態で検査装置３に搬送される。

検査装置３は、搬送装置１によって搬送されたフレー
ム単位の集積回路２の電気的な測定を同時に行う。さら
に、この検査結果データＤを選別装置４及び後述する検
査結果表示装置５に出力すると共に、検査結果表示装置
５にフレーム毎に測定終了信号RENを出力する。前記検
査結果データＤは、１フレーム単位の集積回路２のそれ
ぞれに対応する良否信号からなる。

検査装置３による検査が終了した集積回路２は、再び
搬送装置１によって選別装置４に搬送される。この後、
集積回路２は、検査装置３による検査結果に基づいて、
選別装置４によって良品と不良品に選別される。良品は
良品収納ケース4aに、不良品は不良品収納ケース4bにそ
れぞれ分けて収納され、良品は製品として出荷され、不
良品は廃棄される。

検査結果表示装置５は第３図に示すように、クロック
信号発生回路51、データ入力部52、データシフト部53、
表示部54から構成される。

クロック信号発生回路51は、検査装置３からパルス状
の測定終了信号RENを入力して波形成形すると共に、TTL
レベルに変換してクロック信号CLKとして出力する。

データ入力部52は、１フレームの集積回路２の数、例
えば12個に対応した数の信号入力回路521から構成され
る。信号入力回路521のそれぞれは対応する検査結果デ
ータＤの良否信号D01〜D12を入力し、この信号をTTLレ
ベルに変換して出力する。ここで、良否信号D01〜D12の
それぞれは対応する各集積回路２の測定結果の良否を表
わし、信号レベルがハイレベルのとき良を表わし、ロー
レベルのとき不良を表わす。

データシフト部53は、信号入力回路521に対応する数
のシフトレジスタ531と一つのリセットスイッチ532とか
ら構成される。シフトレジスタ531のそれぞれのクロッ
ク信号入力端子CKには、クロック信号CLKが入力され、
クリア信号入力端子CLRはリセットスイッチ532の接片53
2aに接続されている。また、シフトレジスタ531のそれ
ぞれのシリアル入力端子SIは、対応する信号入力回路52
1の出力に接続されている。リセットスイッチ532の第１
の接点532bは接地され、第２の接点532cには抵抗器533
を介して所定の正の電圧Ｖが印加されている。これによ
り、リセットスイッチ532の接片532aを第１の接点532b
に接続すると、各シフトレジスタ531の複数の出力端子Q
1〜Q3から出力される信号は全てローレベルとなる。

表示部54は複数のランプドライバ541、抵抗器542、発
光ダイオード（以下、LEDと称す）101〜412から構成さ
れ、第４図に示すように４フレーム分の集積回路２の検
査結果が、各集積回路２に対応して表示できるようにな
っている。即ち、各LED101〜412のアノードには抵抗器5
42を介して所定の正の電圧Ｖが印加され、カソードは対
応するランプドライバ541の出力に接続されている。ま
た、各ランプドライバ541の入力は、対応する信号入力
回路521の出力、或いは、シフトレジスタ531の出力Q1〜
Q3に接続されている。さらに、信号入力回路521の出力
に接続されたLED101〜112は第４図に示すように最上列
に、シフトレジスタの出力Q1,Q2,Q3に接続されたLED201
〜212,301〜312,401〜412は上から2,3,4列目にそれぞれ
配列されている。

前述の構成よりなる本実施例によれば、検査装置３に
よって１フレーム分の集積回路２の検査が終了すると、
測定終了信号RENが出力された後に各集積回路の検査結
果を表わす良否信号D01〜D12が出力される。また、検査
を終了した集積回路２は搬送装置１によって選別装置４
へ搬送され、良品と不良品に選別される。

一方、検査結果表示装置５では、測定終了信号RENを
入力するとシフトレジスタ531は出力Q1のデータを出力Q
2に、出力Q2のデータを出力Q3にそれぞれシフトし、シ
リアル入力端子SIに入力されているデータを出力Q1に出
力する。また、ランプドライバ541にハイレベルの信号
が入力されると、ランプドライバ541の出力は低電位と
なり、このランプドライバ541に接続されたLED101〜412
に通電されて、LED101〜412は点灯する。即ち、良品の
集積回路２に対応するLED101〜412が点灯される。

これにより第４図において、最上列のLED101〜112に
は検査終了直後のフレームに対応する検査結果が、上か
ら２列目のLED201〜212には１フレーム前の検査結果
が、上から３列目のLED301〜312には２フレーム前の検
査結果が、また上から４列目のLED401〜412には３フレ
ーム前の検査結果がそれぞれ表示される。

従って、リアルタイムで検査結果を視認することがで
きるので、選別装置４による良品、不良品の選別が正確
に行われているか否かを容易に知ることができる。ま
た、不良品発生の割合も、おおよそ把握することができ
るので、不良ロットを早期発見することができる。

さらに、４フレーム分の検査結果が各集積回路２に対
応して表示されるので、不良品の発生状況、例えばフレ
ームのどの位置の集積回路２に不良品が多いか等を知る
ことができる。

尚、本実施例では、１フレームを構成する集積回路２
の個数を12個とし、表示部54に４フレーム分の検査結果
を表示できるようにしたがこれに限定されることはな
い。

また、検査結果表示装置５において、不良品発生の割
合を百分率等で表示するようにしても良い。

（考案の効果）以上説明したように本考案の請求項（１）によれば、
検査結果表示装置により検査結果が表示されるため、リ
アルタイムで検査結果を視認することができるので、選
別装置による良品、不良品の選別が正確に行われている
か否かを容易に知ることができる。さらに、不良品発生
の割合も把握できるので、不良ロットを早期発見するこ
とができる。

また、請求項（２）によれば、上記効果に加えて、不
良品の発生状況、例えばどの順位の検査対象物に不良品
が多いか等を知ることができるという非常に優れた効果
を発揮するものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示す概略構成図、第２図は
一実施例における１フレームの集積回路を示す図、第３
図は一実施例における検査結果表示装置のブロック図、
第４図は検査結果表示装置の表示部を示す外観図であ
る。１……搬送装置、２……集積回路、３……検査装置、４
……選別装置、５……検査結果表示装置、51……クロッ
ク信号発生回路、52……データ入力部、521……信号入
力回路、53……データシフト部、531……シフトレジス
タ、532……リセットスイッチ、54……表示部、541……
ランプドライバ、542……抵抗器、101〜112,201〜212,3
01〜312,401〜412……LED。

Claims

(57)【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】所定数量の検査対象物のそれぞれに順位を
もたせて一群となし、該群単位で前記検査対象物を検査
する検査装置と、前記群単位で前記検査対象物を搬送す
る搬送装置と、該搬送装置によって前記検査装置から搬
送された検査対象物を前記検査装置による検査結果に基
づいて、良品と不良品に選別する選別装置とを備えた検
査システムにおいて、前記検査装置による検査結果を前記各検査対象物に対応
してかつ前記群単位で表示する検査結果表示装置を設け
た、ことを特徴とする検査システム。
【請求項２】前記検査結果表示装置は、複数の群に対応
する検査結果を表示すると共に、前記検査装置による検
査の進行に同期してかつ順位を対応させて表示位置をシ
フトする手段を有することを特徴とする請求項（１）記
載の検査システム。