JP2024054910A - 検査装置および検査システム - Google Patents

Abstract

【課題】テレセントリック光学系を利用する場合に比べ、撮影手段のレンズ開口が大きくなることを抑制する。【解決手段】検査装置は、光源と対象領域との間に設けられ、光源から対象領域に向かう光を制限する制限手段と、制限手段を通過し対象領域から反射されて入射した光を撮影する撮影手段と、を備え、制限手段は、光源からの光のうち、対象領域にて正反射した場合に撮影手段に入射する一の方向の光を通過させ、他の方向の光の少なくとも一部を通過させない。【選択図】図２

Description

本発明は、検査装置および検査システムに関する。

特許文献１には、光源と被検査物間の光路に配置され主出射光を遮蔽する遮蔽板により、被検査物の表面上に放射角光照明領域を作り出し、放射角照明領域をカメラで撮影することによって、柄が装飾された表面の凹凸欠陥を検出する外観検査装置について記載されている。
特許文献２には、検査対象からの反射光を受光手段で受光する際に、検査対象の表面における反射角変化に応じて反射光の一部を遮光し、その光量変化により検査対象の表面状態を識別する表面検査装置について記載されている。
特許文献３には、面照明及び面照明から照射される光を多数の平行光源とするルーバー層からなる照明手段と、照明手段から照射されて検査対象レンズを透過した光を撮像する撮像手段と、撮像手段の検査対象レンズに対するフォーカス位置を調整しつつ撮像データを処理して検査対象レンズの良否を判定する制御手段と、を備えるレンズ欠陥検査装置について記載されている。

特開２０１０－１９０５９７号公報 特開２００１－０５０７２０号公報 特開２００９－０７４８１５号公報

対象物の表面に光を照射した際の正反射光を撮影し、表面の欠陥等を検査するための画像として取得する検査装置がある。このような検査装置では、平行光源によって対象領域に平行光を照射し、対象領域からの正反射光を撮影手段によって撮影する。対象領域からの正反射光は平行光であるため、撮影手段の備えるテレセントリック光学系により結像して撮影することになる。
ここで、テレセントリック光学系を利用した検査装置では、対象領域全体からの正反射光を撮影手段に取り込むために、対象領域の大きさに応じて撮影手段のレンズ開口が大きくなる。レンズ開口が大きくなると、検査装置の大型化や、大型化に伴う製造コストの上昇を招く。
本発明は、テレセントリック光学系を利用する場合に比べ、撮影手段のレンズ開口が大きくなることを抑制することを目的とする。

請求項１に記載の発明は、光源と対象領域との間に設けられ、当該光源から当該対象領域に向かう光を制限する制限手段と、前記制限手段を通過し前記対象領域から反射されて入射した光を撮影する撮影手段と、を備え、前記制限手段は、前記光源からの光のうち、前記対象領域にて正反射した場合に前記撮影手段に入射する一の方向の光を通過させ、他の方向の光の少なくとも一部を通過させない、検査装置である。
請求項２に記載の発明は、前記制限手段は、前記他の方向の光のうち、前記撮影手段に近付く方向の光の少なくとも一部を通過させない、請求項１に記載の検査装置である。
請求項３に記載の発明は、前記制限手段は、前記他の方向の光のうち、前記一の方向となす角が２０度以上の光を通過させない、請求項２に記載の検査装置である。
請求項４に記載の発明は、前記制限手段は、通過させる他の方向の光量を一の方向の光量の５０％以下とする、請求項２に記載の検査装置である。
請求項５に記載の発明は、前記制限手段は、前記一の方向と交差する方向に並び、互いに平行でない遮光壁群である、請求項１に記載の検査装置である。
請求項６に記載の発明は、前記遮光壁群の並ぶ間隔は１．５ｍｍ以下である、請求項５に記載の検査装置である。
請求項７に記載の発明は、前記制限手段は、前記光源からの光を透過させる部分と、当該光源からの光を透過させない部分と、が交互に配列された制限層により構成される、請求項１に記載の検査装置である。
請求項８に記載の発明は、前記制限層は、フィルムにより構成され、前記光源からの光を透過させる部分と前記一の方向とが直交するように湾曲して配置される、請求項７に記載の検査装置である。
請求項９に記載の発明は、前記制限手段は、前記一の方向と交差する方向に並ぶ複数の前記制限層により構成される、請求項７に記載の検査装置である。
請求項１０に記載の発明は、光源と対象領域との間に設けられ、当該光源から当該対象領域に向かう光を制限する制限手段と、前記制限手段を通過し前記対象領域から反射されて入射した光を撮影する撮影手段と、前記撮影手段により撮影された画像を処理するプロセッサと、を備え、前記制限手段は、前記光源からの光のうち、前記対象領域にて正反射した場合に前記撮影手段に入射する一の方向の光を通過させ、他の方向の光の少なくとも一部を通過させない、検査システムである。
請求項１１に記載の発明は、前記制限手段には、前記一の方向の光を通過させる開口が、予め定められた間隔で設けられ、前記プロセッサは、前記撮影手段により撮影された画像において、前記予め定められた間隔に対応する周波数以上の成分を除去する処理を行う、請求項１０に記載の検査システムである。

請求項１，１０に記載の発明によれば、テレセントリック光学系を利用する場合に比べ、撮影手段のレンズ開口が大きくなることを抑制する。
請求項２に記載の発明によれば、撮影手段に近付く方向の光を制限しない場合に比べ、検査の精度が向上する。
請求項３に記載の発明によれば、制限手段が２０度以上の光を通過させる場合と比較して、検査の精度が向上する。
請求項４に記載の発明によれば、通過させる他の方向の光量が位置の方向の光量の５０％よりも大きい場合と比較して、検査の精度が向上する。
請求項５，７に記載の発明によれば、他の方向の光のうち少なくとも一部が制限される。
請求項６に記載の発明によれば、間隔が１．５ｍｍよりも大きい場合と比較して、検査の精度が向上する。
請求項８に記載の発明によれば、制限層を薄く構成することができる。
請求項９に記載の発明によれば、１つの制限層により制限手段を構成する場合と比較して、制限層の配置に係る自由度が増す。
請求項１１に記載の発明によれば、制限手段の開口の間隔に対応する周波数以上の成分を除去する処理を行わない場合に比べ、検査の精度が向上する。

第１の実施の形態が適用される検査装置の全体構成例を示す概念図であり、図１（Ａ）は検査装置の斜視図、図１（Ｂ）は図１（Ａ）のＩＡ－ＩＡ断面に対応する断面図である。 検査装置の光学系の構造例を説明する図であり、図２（Ａ）は検査装置の内部構造を概略的に示す図、図２（Ｂ）は図２（Ａ）を紙面上側（＋ｚ方向）から見た図である。 第１の実施の形態に係る遮光壁群について説明する図である。 テレセントリック光学系を利用する従来の検査装置について説明する図である。 検査装置による検査動作の一例を説明するフローチャートである。 検査画像のローパスフィルタ処理について説明する図である。 検査結果の表示例について説明する図である。 変形例の遮光壁群について説明する図である。 応用例の検査装置について説明する図であり、図９（Ａ）は検査装置の内部構造を概略的に示す図、図９（Ｂ）は図９（Ａ）を紙面上側（＋ｚ方向）から見た図である。

以下、添付図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。
なお、本明細書中では、入射角と反射角とが等しい正反射に対して、入射角と反射角とが異なる反射を「拡散反射」と呼ぶ場合がある。また、正反射による反射光を「正反射光」、拡散反射による反射光を「拡散反射光」と呼び、反射光のうち、正反射光に対応する成分を「正反射成分」、拡散反射光に対応する成分を「拡散反射成分」と呼ぶ場合がある。

＜第１の実施の形態＞
（検査装置１の全体構成）
まず、本発明の第１の実施の形態について説明する。
図１は、第１の実施の形態が適用される検査装置１の全体構成例を示す概念図であり、図１（Ａ）は検査装置１の斜視図、図１（Ｂ）は図１（Ａ）のＩＡ－ＩＡ断面に対応する断面図であり、説明のために当て付け面を加えて示している。図１（Ａ）における紙面の右上側が＋ｘ方向、右下側が＋ｙ方向、上側が＋ｚ方向であり、図１（Ｂ）における紙面の右側が＋ｘ方向、手前（表面）側が＋ｙ方向、上側が＋ｚ方向である。
以下では、検査装置１に対し当て付け面が位置する向きを「下」、反対の向きを「上」と呼ぶ場合がある。

図１（Ａ），（Ｂ）に示すように、第１の実施の形態が適用される検査装置１は、遮光壁群１０と、光源１２と、制御部１３と、拡散板１４と、カメラ１５と、筐体１６とを備える。
本発明の実施の形態が適用される検査装置１は、図１（Ｂ）に示すように当て付け面の上に置かれた状態で、面で規定される対象領域Ｔを撮影することが可能である。そして、撮影した画像（「検査画像」と呼ぶ場合がある。）に基づいて、対象領域Ｔに配置された対象物に係る検査を行い、検査結果を生成する。

検査装置１は例えば、対象物の表面におけるヒケやウェルド等の欠陥を検査の対象とする。ヒケとは、溶融した材料が冷えて固まる際に生じるくぼみ状の欠陥であり、ウェルドとは、溶融した材料が一度分岐して合流する際に生じる筋状の欠陥である。その他、製造工程に起因するフローマークやクラック、物がぶつかることによる打痕や傷等、表面に生じる各種の欠陥を検査の対象としても良い。
また、検査装置１は、対象物に付着した汚れ等の検査に用いられても良い。
さらに、検査装置１は、対象物の表面に設けられた模様、溝や孔等、意図的に設けられた形状部の出来栄えや寸法等を、検査の対象としても構わない。

制御部１３は、プロセッサの一例であるＣＰＵ（Central Processing Unit）１３ａを備え、検査装置１全体をシステムとして制御する。例えば、制御部１３は、後述する撮影ボタン１６４が押下されたことに応じて、カメラ１５に検査画像を撮影させる制御を行う。また例えば、光源１２のオン／オフを切り替える制御を行う。
さらに、本発明の実施の形態に係る制御部１３は、カメラ１５により撮影された検査画像を記憶する他、検査画像に対する画像処理や検査結果の生成等の処理（図５～７を用いて後述する。）を行う。

制御部１３は、ＣＰＵ１３ａの他、ＲＯＭ（Read Only Memory），ＲＡＭ（Random Access Memory）等（いずれも不図示）を含むコンピュータとして構成され、ＲＯＭには、不揮発性の書き換え可能なメモリ、例えばフラッシュメモリが含まれる。そして、ＲＯＭに蓄積されたプログラムがＲＡＭに展開され、ＣＰＵ１３ａがプログラムを実行することによって、画像処理や検査結果の生成等の各種機能が実現される。
また、制御部１３は、補助記憶装置（不図示）を備え、撮影した検査画像や生成した検査結果を記憶することができる。
なお、図１（Ａ）では、制御部１３が筐体１６の内側（破線で示す。）に取り付けられた例を示しているが、筐体１６の外側に取り付けられることとしても良い。

光源１２は、検査のための光を発する装置であり、少なくとも遮光壁群１０が位置する方向に向かう光を発する。光源１２の種類は限定されないが、例えば、白熱電球や発光ダイオード（ＬＥＤ：Light Emitting Diode）を用いることができる。
また、光源１２が発する光の色は限定されないが、対象物によっては特定の波長の光を吸収して反射率が低下する場合があるので、可視光帯域の光が均等に混在された白色とするのが良い。
拡散板１４は、筐体１６の内部において光源１２からの光の経路上に設けられ、散乱等により光を拡散する部材である。より詳しくは、拡散板１４は、光源１２から入射した光を拡散し、拡散光を遮光壁群１０側に出射する。

カメラ１５は、本発明の実施の形態における撮影手段の一例であり、対象領域Ｔの撮影が可能な撮影装置である。撮像素子には、例えばＣＣＤ（Charge Coupled Device）イメージセンサやＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）イメージセンサを使用できる。
本発明の実施の形態に係るカメラ１５は、０よりも大きい画角を有する。そして、カメラ１５は、非テレセントリック光学系の撮像レンズ１５１に入射した光を撮像素子１５２に取り込み、検査画像として撮影することができる。

図１（Ｂ）に示すように、本実施の形態に係るカメラ１５は、撮像レンズ１５１の光軸Ａｃが対象領域Ｔ内の点Ｐｃにおいて当て付け面と交差する。このとき、カメラ１５の光軸Ａｃと当て付け面とのなす角はθｃとなる。
換言すると、光軸Ａｃと当て付け面とが点Ｐｃにおいて交差し、かつ、なす角が予め定められた角度θｃとなるように、筐体１６（縁部１６１ｂ）による位置決め（後述）が行われている。

筐体１６は、検査装置１の外観を形成する部材であり、中空構造を有している。
そして、この中空構造の内部に、遮光壁群１０、光源１２、拡散板１４、カメラ１５等が取り付けられ、検査装置１が構成される。つまり、筐体１６は、検査装置１において光源１２やカメラ１５等を保持および保護するハウジングの役割を有する。
図示するように、本発明の実施の形態に係る筐体１６は、連続した中空構造を有する光源取付部１６１およびカメラ取付部１６２から構成される。

光源取付部１６１は、遮光壁群１０、光源１２、拡散板１４が取り付けられる部分である。そして、光源取付部１６１の下側（図１（Ａ），（Ｂ）における－ｚ方向側）には、光源１２からの照射光と対象物の表面で反射した反射光が入出力される開口部１６１ａおよびその外縁を取り囲む縁部１６１ｂが設けられている。
本発明の実施の形態において、開口部１６１ａは、対象領域Ｔに対象物を配置するための導入口として用い得る。
また、縁部１６１ｂは、検査装置１全体を支持する脚部となる他、検査画像の撮影に際して当て付け面に当て付けられ、対象領域Ｔとカメラ１５との間を予め定められた距離かつ予め定められた角度に位置させて、対象物に対するカメラ１５の位置を決める位置決め部としても機能する。

光源取付部１６１において、光源１２は、少なくとも開口部１６１ａおよび縁部１６１ｂよりも上側に取り付けられている。
そして、光源取付部１６１において、光源１２と対象領域Ｔとの間には、光源１２に近い側から順に、拡散板１４と遮光壁群１０とが取り付けられている。

カメラ取付部１６２は、カメラ１５が取り付けられる部分である。
より詳しくは、本発明の実施の形態に係るカメラ取付部１６２は、撮像レンズ１５１の光軸Ａｃが当て付け面と点Ｐｃにてなす角θｃで交差するように、カメラ１５を保持する。
なお、本実施の形態が適用される検査装置１では、カメラ取付部１６２において、カメラ１５と対象領域Ｔとの間に光学素子等を設けず、対象領域Ｔからの光（反射光）が直接カメラ１５に取り込まれることとしている。

本発明の実施の形態が適用される検査装置１において、筐体１６の縁部１６１ｂは、当て付け部との間に略隙間なく当て付けられる。また、筐体１６は、開口部１６１ａ以外の部分において、閉じた構造を有している。これにより、本実施の形態に係る筐体１６は、内部への外光または環境光の入射を防止または低減する役割も有する。

この他、図示するように、本実施の形態に係る筐体１６は、検査装置１の移動や設置に際し把持を可能とする把持部１６３を備えている。
また、筐体１６は、ユーザから検査画像の撮像の指示を受け付けるための物理的なボタンとして、撮影ボタン１６４を備えている。この撮影ボタン１６４が押下された場合に、制御部１３がカメラ１５を制御して検査画像を撮影させる。
さらに、検査装置１の電源のオン／オフを切り替えるための電源ボタン等を設けても良い。

遮光壁群１０は、拡散板１４を介して入射した光源１２から対象領域Ｔに向かう光のうち、一部を通過させずに制限する。より詳しくは、遮光壁群１０は、対象領域Ｔにて正反射した場合にカメラ１５へ入射する一の方向の光を通過させ、他の方向の光の少なくとも一部を通過させない制限手段の一例である。
遮光壁群１０は、並んで設けられる複数枚の遮光壁によって構成され、それぞれの遮光壁の間に設けられた開口から光を通過させる。つまり、遮光壁の部分に入射した光を通過させず（遮光し）、開口の部分に入射した光を通過させることによって、対象領域Ｔに向かう光を制限する。なお、遮光壁は、光源１２からの光を吸収する材料等を用いて、反射率が低くなるように構成される。本発明の実施の形態では、光源１２が白色光源であることに対応して、例えば黒色の樹脂材が用いられる。そして、遮光壁群１０を構成する複数枚の遮光壁は、光源１２から対象領域Ｔに向かう方向と交差する方向Ａｘに並んでいる。
遮光壁群１０については、図２および図３を用いて詳細を後述する。

この他、検査装置１には、例えば液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイによるディスプレイやタッチパネル等を設けても良い。検査画像や検査結果は例えば、検査装置１に設けられたディスプレイに表示されることで、ユーザによる閲覧が可能となる。また、タッチパネルによってユーザからの操作を受け付けて良く、この場合、撮影ボタン１６４のような物理的なボタンを設けずに、タッチパネルの操作に応じて検査画像の撮影を行っても良い。
また、検査装置１には、通信ＩＦ（InterFace）を設けても良い。この通信ＩＦを介して検査画像や検査結果を外部の装置に送信し、送信先の装置において検査画像や検査結果の閲覧を可能としても良い。通信ＩＦには、例えばイーサネット（登録商標）モジュール、ＵＳＢ（＝Universal Serial Bus）、無線ＬＡＮその他を使用できる。

（検査装置１の光学系）
次に、図２および図３を用いて、本発明の実施の形態が適用される検査装置１の光学系について、詳細に説明する。
図２は、検査装置１の光学系の構造例を説明する図であり、図２（Ａ）は検査装置１の内部構造を概略的に示す図、図２（Ｂ）は図２（Ａ）を紙面上側（＋ｚ方向）から見た図である。なお、説明のため、検査装置１の一部の構成を省略している。
図３は、第１の実施の形態に係る遮光壁群１０について説明する図であり、図２（Ａ）の領域ＩＩＡの拡大図に対応する。

なお、図２では、対象領域Ｔよりも大きい対象物Ｓを撮影／検査する場合の例を示しており、対象物Ｓの表面に検査装置１が当て付けられている。つまり、対象物Ｓの表面が当て付け面となっている。対象領域Ｔよりも小さい対象物を撮影／検査する場合には、対象物を作業台等の平面上に配置して、この作業台等を当て付け面とすれば良い。

検査画像の撮影に際し、検査装置１は、対象領域Ｔの全体に光を照射する。例えば、図２（Ａ）に示すように、対象領域Ｔの一端（－ｘ方向の端）である点Ｐ１から、他端（＋ｘ方向の端）である点Ｐ２に亘って光を照射する。そして、Ｐ１からＰ２の間の各点Ｐからの反射光がカメラ１５の撮像レンズ１５１に取り込まれ、検査画像が撮影される。

ここで、各点Ｐには、正反射条件においてカメラ１５に入射する光が照射される。つまり、点Ｐにおける当て付け面（対象物Ｓの表面）との垂線Ｎｐを考えたとき、点Ｐに照射される照射光Ｌｐおよび垂線Ｎｐがなす角と、正反射光Ｒｐおよび垂線Ｎｐがなす角とが、いずれも角θｐで等しくなるような、照射光Ｌｐが照射される。このことは、先述した点Ｐ１，Ｐ２の他、点Ｐｃ（図１参照）でも同様である。
一方で、図２（Ａ）に破線で示す点Ｌｐ′のように、正反射光がカメラ１５に入射しない光、つまり垂線Ｎｐとの間になす角がθｐでない光の少なくとも一部は、遮光壁群１０による制限を受け、点Ｐに照射されない。

付言すると、対象領域Ｔにおいてカメラ１５から離れる方向の一端（－ｘ方向の端）である点Ｐ１から、カメラ１５に近付く方向の他端（＋ｘ方向の端）である点Ｐ２に向かうに従い、なす角θｐは小さくなる。そして、対象領域Ｔの各点Ｐにおける正反射光は、図２（Ａ）における点Ｐ１での反射光Ｒ１と、点Ｐ２での反射光Ｒ２との間に位置することになる。
また、対象領域Ｔの各点Ｐにおける正反射光Ｒｐは、撮像レンズ１５１の出射側に、光軸Ａｃ上に位置する交点Ｆを有する。つまり、対象領域Ｔの各点Ｐにおける正反射光Ｒｐは、光軸Ａｃに向かって集光する。そして、この光が、交点Ｆに相当する光学的な位置に絞りを有する撮像レンズ１５１に入射し、撮像素子１５２（図１参照）に到達することで、検査画像の撮影が行われる。

図２（Ａ）では、ｘ方向における光路を説明した。本発明の実施の形態が適用される検査装置１では、ｙ方向においては、遮光壁群１０の幅（ｙ方向）から照射される光に対する多くの拡散成分が含まれているが、この拡散成分は、特にｙ方向に伸びる線状の欠陥の観察結果には大きな影響を及ぼさない。これは、ｙ方向に伸びる線状の欠陥の表面形状は、主にｘ方向に傾斜を有することに起因する。なお、図２（Ｂ）には、影響の強い、交点Ｆを通る正反射成分のみを図示しており、この正反射成分が存在する領域が対象領域Ｔとなる。

図３に示すように、本実施の形態に係る遮光壁群１０は、複数の遮光壁１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃ，１０１ｄ，…（区別せずに１０１とする場合がある。）により構成されている。そして、各遮光壁１０１の間には、拡散板１４を介して光源１２からの光が入射する入射側開口Ｔａ，Ｔｂ，Ｔｃ，…と、対象領域Ｔに向けて光を出射する出射側開口Ｂａ，Ｂｂ，Ｂｃ，…とが設けられている。

第１の実施の形態に係る遮光壁１０１は、図示するように、すべて等しい幅Ｗを有している。そして、各遮光壁１０１が並ぶ方向（図３の左右方向）において、互いに端面が平行でないように並べられている。言い換えると、幅Ｗと垂直に交差する軸（図３に一点鎖線で示す。）が、平行でない（延長線上で交点を有する）ように、各遮光壁１０１が並んでいる。付言すると、各遮光壁１０１が平行でなく並んでいるために、対応する入射側開口Ｔａ，Ｔｂ，Ｔｃ，…と出射側開口Ｂａ，Ｂｂ，Ｂｃ，…とを比べると、出射側開口の方が小さくなっている。なお、この軸の傾きのことを、遮光壁１０１の傾きと呼ぶ場合がある。
そして、各遮光壁１０１は、入射側の端部である上端と、出射側の端部である下端とを有している。この例では、すべての遮光壁１０１における上端および下端がそれぞれ一直線上に並んでいるので、上端が並ぶ直線を上端１０Ｔ、下端が並ぶ直線を下端１０Ｂと表記する。

遮光壁群１０は、出射側開口Ｂａ，Ｂｂ，Ｂｃ，…のそれぞれについて、遮光壁１０１の傾き、間隔および遮光壁１０１の長さに基づいて、光の通過を制限する。換言すると、入射側開口Ｔａ，Ｔｂ，Ｔｃ，…に入射する光に関し、入射する位置および角度について定められる条件（以下、「入射条件」と呼ぶ場合がある。）を満たす光を通過させ、他の光の少なくとも一部を通過させない。
なお、遮光壁１０１の長さは、幅Ｗおよび遮光壁１０１が並ぶ方向に交差する向き（図３における上下方向）の寸法である。

より具体的には、まず、各入射側開口Ｔａ，Ｔｂ，Ｔｃ，…には、拡散板１４によって拡散された拡散光が入射する。例えば、入射側開口Ｔａには、実線の矢印で示すように、入射条件を満たす光Ｌａが入射する。また、破線の矢印で示すように、入射条件を満たさない光Ｌａ１′，Ｌａ２′が入射する。

そして、入射側開口Ｔａに入射した光のうち、入射条件を満たす光Ｌａは、遮光壁１０１ａ，１０１ｂに当たることなく、出射側開口Ｂａを通過する。例えば、図に示すように、出射側開口Ｂａの中点Ｍａを通過する。これにより、入射条件を満たす光Ｌａが対象領域Ｔに照射される。一方で、入射条件を満たさない光Ｌａ１′，Ｌａ２′は、出射側開口Ｂａに向かう経路の途中で遮光壁１０１ａ，１０１ｂに当たり、吸収される。これにより、入射条件を満たさない光Ｌａ′は出射側開口Ｂａに到達せず、結果として対象領域Ｔに照射されない。

ここで、本発明の実施の形態に係る遮光壁群１０は、入射条件を満たす光を通過させるだけでなく、入射条件を満たさない光の一部が通過することを許容する。例えば、図３に示す光Ｌａ３′は、光Ｌａとは異なる位置から、光Ｌａと同じ角度で入射側開口Ｔａに入射する光であり、入射側開口Ｔａに係る入射条件を満たさない。しかしながら、図示するように、この光Ｌａ３′は出射側開口Ｂａを通過し、対象領域Ｔに照射される。入射条件を満たさない光のうち、いずれの光の通過を許容するか（以下、「許容範囲」と呼ぶ。）は、各遮光壁１０１の間隔、角度および長さに応じて定まる。
つまり、本発明の実施の形態に係る遮光壁群１０は、入射条件を満たす光を通過させ、入射条件を満たさない光の少なくとも一部を通過させないものであれば良く、入射条件を満たさない光のすべてを制限することを要しない。

そして、遮光壁群１０の出射側開口Ｂａ，Ｂｂ，Ｂｃ，…から出射した光は、それぞれ対応する点Ｐにおいて正反射し、カメラ１５に入射する（図２（Ａ）参照）。
この例において、入射条件を満たす光Ｌａは一の方向の光の一例であり、入射条件を満たさない光Ｌａ１′，Ｌａ２′，Ｌａ３′は他の方向の光の一例である。なお、入射側開口Ｔｂ，Ｔｃ，…についても、一の方向の光の例である入射条件を満たす光Ｌｂ，Ｌｃ，…（図３の実線の矢印）が同様に存在する。また、入射条件を満たさない光であって、出射側開口Ｂｂ，Ｂｃ，…を通過しない光（図３の破線の矢印）が同様に存在する。

このようにして、第１の実施の形態に係る遮光壁群１０は、対象領域Ｔにて正反射した場合にカメラ１５へ入射する一の方向の光を通過させ、他の方向の光の少なくとも一部を通過させない制限手段の一例として機能する。
そして、遮光壁群１０によって対象領域Ｔに向かう光が制限された結果、本発明の実施の形態が適用される検査装置１では、対象領域Ｔに向かう光が制限されない検査装置に比べ、カメラ１５に入射する反射光における正反射成分が増加することになる。反射光を撮影して検査を行う検査装置では、反射光における正反射成分が多い方が検査の精度が向上する。したがって、本発明の実施の形態が適用される検査装置１は、対象領域Ｔに向かう光が制限されない検査装置に比べ、検査の精度が向上する。

遮光壁群１０により制限される光としては、例えば、入射側開口Ｔａ，Ｔｂ，Ｔｃ，…に入射する光であって、入射条件を満たさない光のうち、カメラ１５に近付く方向の光である。
例えば、図３の例において、入射条件を満たさない光Ｌａ１′は、カメラ１５から離れる方向の光である。一方、入射条件を満たさない光Ｌａ２′は、カメラ１５に近付く方向の光である。仮に、入射条件を満たさない光Ｌａ１′，Ｌａ２′が、遮光壁群１０による制限を受けず、対象領域Ｔに照射されて反射光となった場合、カメラ１５に近付く方向の光Ｌａ１′は、カメラ１５から離れる方向の光Ｌａ２′よりも、拡散成分としてカメラ１５に入射する蓋然性が高い。
先述したように、反射光を撮影して検査を行う検査装置では、反射光における正反射成分が多い方が検査の精度が向上するので、カメラ１５に近付く方向の光Ｌａ１′を制限することで、カメラ１５に近付く方向の光を制限しない場合に比べ、検査の精度が向上する。

より具体的な例として、遮光壁群１０は、入射条件を満たさない光のうち、入射条件を満たす光Ｌａとのなす角が２０度以上となる光を制限することとして良い。つまり、入射条件を満たす光Ｌａとのなす角が２０度以上となる光が出射側開口Ｂａを通過しないように、遮光壁１０１ａ，１０１ｂの傾きおよび間隔を調整することとして良い。

また、遮光壁群１０による制限は、例えば、出射側開口Ｂａ，Ｂｂ，Ｂｃ，…を通過する光のうち、光Ｌａ３′のように入射条件を満たさないが通過を許容される光の光量が、光Ｌａのように入射条件を満たす光の光量に対し、５０％以下となるように行われると良い。つまり、対象領域Ｔに照射される一の方向の光の光量が、他の方向の光の光量の５０％となるように、遮光壁群１０を設計することが良い。これにより、光量の比を５０％よりも大きくした場合に比べ、検査画像における欠陥部と正常部とのコントラストが増大し、検査の精度が向上する。

さらに、遮光壁群１０において各遮光壁１０１が並ぶ間隔が狭いほど、入射条件を満たさない光に対する許容範囲が小さくなる。つまり、反射光における拡散成分が減少し、正反射成分が増加する。各遮光壁１０１が並ぶ間隔は例えば、１．５ｍｍ以下とすることができる。

ここで、本発明の実施の形態が適用されない比較例として、テレセントリック光学系を利用する従来の検査装置（以下、単に「従来の検査装置」と呼ぶ場合がある。）について説明する。
図４は、テレセントリック光学系を利用する従来の検査装置１′について説明する図である。なお、従来の検査装置１′において、本発明の実施の形態が適用される検査装置１に対応する各構成には、同じ符号に「′」をつけて表記する。また、本発明の実施の形態が適用される検査装置１と略同様の構成については、説明を省略する場合がある。
図示するように、従来の検査装置１′は、平行光を出射する光源１２′と、対象領域Ｔからの反射光を取り込んで検査画像を撮影するカメラ１５′と、ハウジングとしての筐体１６′とを備えている。

従来の検査装置１′のカメラ１５′は、撮像レンズ１５１′と、撮像素子１５２′とを有する。
ここで、従来の検査装置１′においては、検査の精度を高めるために、平行光源である光源１２′を利用して、反射光における正反射成分を増加させている。光源１２′からの平行光が対象領域Ｔに照射された場合、対象領域Ｔからの反射光における正反射成分は、略平行光となる。したがって、図４に破線の両矢印として示すように、反射光は、対象領域Ｔと略同じ幅を有してカメラ１５′に到達する。
この場合、反射光を撮影するためには、撮像レンズ１５１′によって反射光を屈折および集光させ、撮像素子１５２′に入射させる必要がある。つまり、撮像レンズ１５１′を、対象領域Ｔと略同じ幅を有するテレセントリックレンズとして、一方向および他方向に対象領域Ｔのｙ方向およびｘ方向の幅と略同じ幅を有するレンズ開口を有する必要がある。

これに対し、本発明の実施の形態が適用される検査装置１では、遮光壁群１０によって対象領域Ｔに入射する光を制限することで、反射光における正反射成分を増加させている。したがって、対象領域に照射される光が平行光ではなく、このことに対応して、対象領域Ｔからの反射光における正反射成分は、平行光ではない。したがって、本発明の実施の形態に係る撮像レンズ１５１は、一方向および他方向に対象領域Ｔのｙ方向およびｘ方向の幅と略同じ幅を有するテレセントリックレンズである必要がない。そして、撮像レンズ１５１の幅およびレンズ開口は対象領域Ｔよりも小さくて良い。
このように、本発明の実施の形態に係る検査装置１では、テレセントリック光学系を用いた従来の検査装置１′と比較して、レンズ開口が大きくなることが抑制される。これにより、レンズ開口が大きくなることによる高コスト化や、装置全体の大型化が抑制される。

付言すると、図２（Ａ）を用いて説明したように、本発明の実施の形態が適用される検査装置１では、ｘ方向の各点Ｐからの正反射光Ｒｐは、撮像レンズ１５１の出射側に交点Ｆを有している。これにより、カメラ１５に到達する対象領域Ｔからの正反射光Ｒｐは、ｘ方向において対象領域Ｔよりも狭い範囲に集中している。したがって、撮像レンズ１５１の大きさは、正反射光Ｒｐが集中する範囲以上であれば良く、撮像レンズ１５１のレンズ開口が大きくなることが抑制されている。

ところで、第１の実施の形態が適用される検査装置１では、遮光壁１０１（図２，３参照）が方向Ａｘに並ぶことにより、対象領域Ｔのｘ方向では拡散成分が抑制される一方で、ｙ方向では拡散成分が抑制され難い。この結果、対象物Ｓの表面においてｘ方向に伸びる（長手方向を有する）欠陥がｙ方向に伸びる欠陥よりも観察し易くなっている。また、対象物Ｓに生じる欠陥は、製造工程や形状等に起因して、特定の方向に伸び易い特性を有する場合がある。したがって、対象物Ｓの検査に際しては、対象領域Ｔのｘ方向と対象物Ｓにおいて欠陥の伸び易い方向とがそろうように、対象物Ｓを配置するのが良い。

（検査動作）
次に、検査装置１による検査に係る動作（以下、「検査動作」と呼ぶ場合がある。）について説明する。本発明の実施の形態に係る検査動作には、検査画像を撮影する工程と、検査画像に対するローパスフィルタ処理と、ローパスフィルタ処理を行った後の検査画像に基づく検査結果の生成と、が含まれる。
図５は、検査装置１による検査動作の一例を説明するフローチャートである。図中に示す記号のＳは、ステップを意味する。
前提として、本実施の形態が適用される検査装置１では、電源ボタンの操作により光源１２（図１参照）が点灯し、カメラ１５による撮像が開始され、検査動作が開始される。撮像されている画像は、検査装置１が備えるディスプレイ（不図示）にリアルタイムで表示される。

まず、電源ボタンの操作により検査動作を開始した制御部１３は、撮影指示の操作を受け付ける（Ｓ５０１）。図１を用いて先述したように、本実施の形態が適用される検査装置１では、撮影ボタン１６４により撮影指示の操作が行われるので、制御部１３は、ユーザによる撮影ボタン１６４の押下を受け付ける。
撮影指示の操作を受け付けると、制御部１３は、その時点でカメラ１５に取り込まれている反射光の撮影を行い、検査画像として取得する（Ｓ５０２）。

次に、制御部１３は、検査画像に対してローパスフィルタ処理を施す（Ｓ５０３）。
ここで、図６を用いて、ローパスフィルタ処理について説明する。図６は、検査画像のローパスフィルタ処理について説明する図であり、図６（Ａ）は処理前の検査画像、図６（Ｂ）は処理後の検査画像に対応する。
本発明の実施の形態が適用される検査装置１では、遮光壁群１０により対象領域Ｔに向かう光を制限しているため、対象領域Ｔにおいて光が照射されない領域が生まれる場合がある。そして、光が照射されない領域からは反射光が生じないので、検査画像において輝度の低い領域となる。この結果、図６（Ａ）に示すように、検査画像において、明るい（高輝度の）部分と暗い（低輝度の）部分とが交互に並んだ縞模様が含まれる場合がある。

後述するが、本発明の実施の形態が適用される検査装置１では、検査画像における輝度プロファイルに基づいて、検査結果を生成する。このため、検査画像に先述のような縞模様が含まれる場合、検査の精度に悪影響を及ぼす恐れがある。
したがって、本発明の実施の形態では、検査結果を生成する前に、検査画像にローパスフィルタ処理を施している。ここで、ローパスフィルタ処理は、予め定められた空間周波数よりも低い周波数成分を残し、予め定められた空間周波数以上の周波数成分を除去する処理である。検査画像に生じる縞模様は、遮光壁群１０における遮光壁１０１（図３参照）の間隔に対応する空間周波数を有する。したがって、遮光壁１０１の間隔に対応する空間周波数を予め定められた空間周波数として、ローパスフィルタ処理を行うことにより、暗い（低輝度の）部分が除去され、図６（Ｂ）に示すように、検査画像における縞模様が除去される。この結果、ローパスフィルタ処理を行わない場合に比べ、検査の精度が向上する。

図５に戻り、検査動作の説明を再開する。
Ｓ５０４では、検査画像に基づいて、検索結果を生成する。本発明の実施の形態では、Ｓ５０３にてローパスフィルタ処理を施した処理後の検査画像における輝度プロファイルから、欠陥の数や大きさ、種類を特定し、対応する数値（スコア）を算出する。
スコアは、欠陥による対象物Ｓの品質への影響度合いの大きさを示す数値である。スコアは例えば、欠陥が多いほど高く、欠陥が大きいほど高く算出される。また例えば、ヒケやウェルド等の欠陥のうち、対象物Ｓの品質への影響が大きい種類の欠陥ほど高く算出される。スコアは、検査画像に基づいて生成される検査結果の一例である。

Ｓ５０４で生成された検査結果は、検査装置１の備えるディスプレイに表示される（Ｓ５０５）。
図７は、検査結果の表示例について説明する図である。ここでは、検査装置１の備えるディスプレイ３に、検査結果が表示されている場合の例について説明する。
図７に示すように、ディスプレイ３には例えば、検査結果の生成に用いられた検査画像３１と、検査画像における欠陥部を強調して表示する画像３２とが表示される。また、Ｓ５０４で生成された検査結果として、算出された欠陥スコア＊＊を示すテキストｍｓｇ１が表示される。この他、検査結果が予め定められた基準を満たしているかを表示しても良い。図７の例では、テキストｍｓｇ２として示すように、算出された欠陥スコア＊＊がスコア≦ｘｘｘという予め定められた基準（品質基準）を満たす旨が表示されている。

なお、検査結果を表示する方法は一例であって、少なくともユーザが検査結果を把握し得るものであれば良い。
また、通信ＩＦ（図１を用いて説明した。）を介して検査結果を他装置に送信し、送信先の他装置において検査結果を表示することとしても良い。この場合、検査装置１は、必ずしもディスプレイ３を備えていなくても良い。

以上、図５を用いて説明したＳ５０１～Ｓ５０５の処理により、本発明の実施の形態が適用される検査装置１の検査動作が行われる。
先述したように、図５に示す動作は一例であって、矛盾の無い限り一部の工程を除くことや、上記しない他の工程を加えても構わない。例えば、Ｓ５０３に示すローパスフィルタ処理は必須の工程ではなく、Ｓ５０２にて取得した検査画像をそのまま検査に用いる（Ｓ５０４に移行する）こととして良い。この場合、制御部１３は、ローパスフィルタ処理の機能を有する必要はない。
また、Ｓ５０２で取得した検査画像およびＳ５０３でローパスフィルタ処理を施した後の検査画像、Ｓ５０４で生成した検査結果等は、ユーザの操作に基づいて、後から取り出しや表示が可能なものとして、検査装置１の補助記憶装置（図１を用いて説明した。）に記憶して良い。

以上記載した第１の実施の形態が適用される検査装置１は、光源１２と対象領域との間に設けられ、光源１２から対象領域Ｔに向かう光を制限する遮光壁群１０と、遮光壁群１０を通過し対象領域Ｔから反射されて入射した光を撮影するカメラ１５と、を備え、遮光壁群１０は、光源１２からの光のうち、対象領域Ｔにて正反射した場合にカメラ１５に入射する一の方向の光（例えば、図３における光Ｌａ）を通過させ、他の方向の光の少なくとも一部（例えば、図３における光Ｌａ１′，Ｌａ２′）を通過させない、ことを特徴とする検査装置として理解される。
また、検査装置１は、上記の構成により検査画像を撮影する撮影装置として理解することもできる。

さらに、第１の実施の形態が適用される検査装置１は、光源１２と対象領域との間に設けられ、光源１２から対象領域Ｔに向かう光を制限する遮光壁群１０と、遮光壁群１０を通過し対象領域Ｔから反射されて入射した光を撮影するカメラ１５と、カメラ１５により撮影された撮影画像をローパスフィルタ処理するプロセッサ１３ａと、を備え、遮光壁群１０は、光源１２からの光のうち、対象領域Ｔにて正反射した場合にカメラ１５に入射する一の方向の光（例えば、図３における光Ｌａ）を通過させ、他の方向の光の少なくとも一部（例えば、図３における光Ｌａ１′，Ｌａ２′）を通過させない、ことを特徴とする検査システムとしても理解される。

（遮光壁群１０の変形例）
ここで、図８を用いて、遮光壁群の変形例について説明する。
図８は、変形例の遮光壁群１０－２について説明する図であり、図３における遮光壁群１０と同様に、遮光壁群１０－２の一部を拡大した拡大図である。
なお、変形例の遮光壁群１０－２において、図３を用いて説明した遮光壁群１０と対応する構成については、同じ符号を付して詳細な説明を省略する。

図３を用いて説明した遮光壁群１０では、同じ幅Ｗを有する複数の遮光壁１０１を非平行に並べることで、入射側開口Ｔａ，Ｔｂ，Ｔｃ，…および出射側開口Ｂａ，Ｂｂ，Ｂｃ，…を調整し、出射側開口Ｂａ，Ｂｂ，Ｂｃ，…を通過する光を制限することとした。
図８に示す変形例の遮光壁群１０－２では、各遮光壁１０１の幅を一定としていない。より詳しくは、遮光壁１０１における入射側開口Ｔａ，Ｔｂ，Ｔｃ，…および出射側開口Ｂａ，Ｂｂ，Ｂｃ，…を構成する２つの端面（図８における左右方向の端面）を非平行とすることで、入射側開口Ｔａ，Ｔｂ，Ｔｃ，…および出射側開口Ｂａ，Ｂｂ，Ｂｃ，…を調整し、出射側開口Ｂａ，Ｂｂ，Ｂｃ，…を通過する光を制限する。

変形例の遮光壁群１０－２も、遮光壁群１０と同様に、入射条件を満たす光Ｌａ，Ｌｂ，Ｌｃ，…を通過させ、入射条件を満たさない光の少なくとも一部を通過させないように、光源１２から対象領域Ｔに向かう光を制限することができる。
そして、図１等を用いて説明した検査装置１における遮光壁群１０を遮光壁群１０－２に置き換えた場合にも、遮光壁群１０を用いた場合と同様の効果を奏する。

＜第２の実施の形態＞
上記した第１の実施の形態では、光を通過させる方向と交差する方向に並んだ複数の遮光壁１０１からなる遮光壁群１０により、光源１２から対象領域Ｔに向かう光を制限することとした。
第２の実施の形態が適用される検査装置（以下、符号１－２を用いて第１の実施の形態が適用される検査装置１と区別する。）１－２では、第１の実施の形態が適用される検査装置１の有する遮光壁群１０に代えて、制限手段の一例としての制限層を有する点のみ異なっている。なお、他の部分については第１の実施の形態と同様であるので、図１，２を参照し、同様の符号を用いて説明する。

ここで、制限層は、光源１２からの光を透過させる部分と、光を透過させない部分と、が交互に配列されることで構成される。より詳しくは、制限層は、図１の例において遮光壁群１０の遮光壁１０１が並ぶＡｘ方向に、光を透過させる部分と光を透過させない部分とを交互に配列した構成を有している。
制限層において、光を透過させる部分には例えば透明の樹脂材を用いることができ、光を透過させない部分には例えば黒色の樹脂材を用いることができる。
このような制限層においても、図３に示す第１の実施の形態に係る遮光壁群１０と同様の入射側開口Ｔａ，Ｔｂ，Ｔｃ，…および出射側開口Ｔａ，Ｔｂ，Ｔｃ，…と同様の開口を設けることができ、遮光壁群１０と同様に光源１２から対象領域Ｔに向かう光を制限することができる。

ここで、制限層は、フィルムにより構成され、曲げによる変形が可能なものとして構成しても良い。この場合、フィルムは、透過させる光の進行方向（図３における光Ｌａの進行方向）と直交するように、湾曲して用いるのが良い。
フィルムを用いることで、制限層を薄く構成することができる。この結果、検査装置１－２の装置全体の小型化や軽量化に寄与する。
また、フィルムの湾曲の度合いを異ならせることにより、通過を制限／許容する光を調整することもできる。

第２の実施の形態は、対象領域Ｔに対応する１つの制限層を設ける場合に限定されず、例えば、複数の制限層を並べて用いることとしても良い。より詳しくは、図１の例において遮光壁群１０の遮光壁１０１が並ぶＡｘ方向に、複数の制限層を並べて用いても良い。複数の制限層を並べて用いることで、１つの制限層を用いる場合と比較して、制限層の配置に係る自由度が増す。
また、制限層毎に傾きや厚みを異ならせることにより、通過を制限／許容する光を調整することもできる。

以上記載した第２の実施の形態が適用される検査装置１－２は、光源１２と対象領域との間に設けられ、光源１２から対象領域Ｔに向かう光を制限する制限層と、制限層を通過し対象領域Ｔから反射されて入射した光を撮影するカメラ１５と、を備え、制限層は、光源１２からの光のうち、対象領域Ｔにて正反射した場合にカメラ１５に入射する一の方向の光を通過させ、他の方向の光の少なくとも一部を通過させない、ことを特徴とする検査装置として理解される。
また、第１の実施の形態と同様に、対応する撮影装置および検査システムとしても理解される。

＜応用例＞
図９は、応用例の検査装置１－３について説明する図であり、図９（Ａ）は検査装置１－３の内部構造を概略的に示す図、図９（Ｂ）は図９（Ａ）を紙面上側（＋ｚ方向）から見た図である。なお、図２に示す第１の実施の形態が適用される検査装置１と同様の構成については、同じ符号を付して説明を省略する場合がある。また、図２と同様に、一部の構成を省略している。
図９（Ａ）に示すように、応用例の検査装置１－３は、遮光壁群１０と同様の遮光壁群１０ａに加え、遮光壁群１０ａと拡散板１４との間に遮光壁群１０ｂを備える。そして、この遮光壁群１０ｂは、方向Ａｘと交差する方向（図９（Ａ）におけるｙ方向）に並ぶ遮光壁により構成されている。

第１の実施の形態が適用される検査装置１は、図２，３を用いて先述したように、方向Ａｘに並ぶ遮光壁１０１により構成された遮光壁群１０を備えることにより、対象領域Ｔにおいてｘ方向に並ぶ各点Ｐからの正反射光Ｒｐが交点Ｆにて交差することとした。
応用例の検査装置１－３では、図９（Ｂ）に示すように、遮光壁群１０ａに加え遮光壁群１０ｂを備えることにより、ｘ方向だけでなく、ｙ方向に並ぶ各点Ｐからの正反射光Ｒｐが交点Ｆにて交差するようになっている。この結果、応用例の検査装置１－３では、カメラ１５に到達する対象領域Ｔからの反射光は、ｘ方向およびｙ方向において対象領域Ｔよりも狭い範囲に集中する。

付言すると、応用例の検査装置１－３では、対象領域Ｔのｘ方向だけでなくｙ方向においても拡散成分が抑制される。したがって、欠陥の伸びる方向によらず、欠陥が観察し易くなっているため、検査の精度の向上に寄与する。

なお、図９の例では、対象領域Ｔに近い側に遮光壁群１０ａを設け、光源１２に近い側に遮光壁群１０ｂを設けることとしたが、遮光壁群１０ａと遮光壁群１０ｂとの位置を入れ替えても構わない。
また、図９では、第１の実施の形態に対応する応用例について説明したが、第２の実施の形態に対応する応用例も考えられる。すなわち、先述した制限層を２つ用いて、応用例の検査装置１－３としても良い。この際、厚みのある制限層を用いても、フィルムによる制限層を用いることとしても良い。

＜その他変形例等＞
以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明の技術的範囲は前述した実施の形態に記載の範囲に限定されない。前述した実施の形態に、種々の変更または改良を加えたものも、本発明の技術的範囲に含まれることは、特許請求の範囲の記載から明らかである。

上記した実施の形態においては、光源１２（図１参照）として白色光源を使用したが、光源の色は任意でよい。また、光源は、可視光帯域に限らず、赤外光帯域や紫外光帯域の光を照射することとしてもよい。
また、光源１２を１つ使用する検査装置１について説明したが、複数の光源を用いても良い。
さらに、光源は検査装置１が備えるものに限定されず、例えば図１における光源１２の位置に開口や光透過口を設け、これらを通して外部の光源による光を用いることとしても良い。

上記した実施の形態におけるプロセッサは、広義的な意味でのプロセッサを指し、汎用的なプロセッサ（例えばＣＰＵ等）の他、専用的なプロセッサ（例えばＧＰＵ（＝Graphical Processing Unit）、ＡＳＩＣ（＝Application Specific Integrated Circuit）、ＦＰＧＡ（＝Field Programmable Gate Array）、プログラム論理デバイス等）を含む。
また、前述した各実施の形態におけるプロセッサの動作は、１つのプロセッサが単独で実行してもよいが、物理的に離れた位置に存在する複数のプロセッサが協働して実行してもよい。また、プロセッサにおける各動作の実行の順番は、前述した各実施の形態に記載した順番のみに限定されるものでなく、個別に変更してもよい。
なお、上記した実施の形態では、検査装置１の備えるプロセッサ１３ａにおいて検査画像を取得し、ローパスフィルタ処理や検査結果の生成を行うこととしたが、他装置に検査画像を送信し、送信先の装置においてローパスフィルタ処理や検査結果の生成を行うこととしても良い。この場合、検査装置１および送信先の装置による検査システムが構成される。

＜付記＞
(((１)))
光源と対象領域との間に設けられ、当該光源から当該対象領域に向かう光を制限する制限手段と、
前記制限手段を通過し前記対象領域から反射されて入射した光を撮影する撮影手段と、を備え、
前記制限手段は、前記光源からの光のうち、前記対象領域にて正反射した場合に前記撮影手段に入射する一の方向の光を通過させ、他の方向の光の少なくとも一部を通過させない、検査装置。
(((２)))
前記制限手段は、前記他の方向の光のうち、前記撮影手段に近付く方向の光の少なくとも一部を通過させない、(((１)))に記載の検査装置。
(((３)))
前記制限手段は、前記他の方向の光のうち、前記一の方向となす角が２０度以上の光を通過させない、(((１)))，(((２)))に記載の検査装置。
(((４)))
前記制限手段は、通過させる他の方向の光量を一の方向の光量の５０％以下とする、(((１)))～(((３)))に記載の検査装置。
(((５)))
前記制限手段は、前記一の方向と交差する方向に並び、互いに平行でない遮光壁群である、(((１)))～(((４)))に記載の検査装置。
(((６)))
前記遮光壁群の並ぶ間隔は１．５ｍｍ以下である、(((１)))～(((５)))に記載の検査装置。
(((７)))
前記制限手段は、前記光源からの光を透過させる部分と、当該光源からの光を透過させない部分と、が交互に配列された制限層により構成される、(((１)))に記載の検査装置。
(((８)))
前記制限層は、フィルムにより構成され、前記光源からの光を透過させる部分と前記一の方向とが直交するように湾曲して配置される、(((７)))に記載の検査装置。
(((９)))
前記制限手段は、前記一の方向と交差する方向に並ぶ複数の前記制限層により構成される、(((７)))，(((８)))に記載の検査装置。
(((１０)))
光源と対象領域との間に設けられ、当該光源から当該対象領域に向かう光を制限する制限手段と、
前記制限手段を通過し前記対象領域から反射されて入射した光を撮影する撮影手段と、
前記撮影手段により撮影された画像を処理するプロセッサと、を備え、
前記制限手段は、前記光源からの光のうち、前記対象領域にて正反射した場合に前記撮影手段に入射する一の方向の光を通過させ、他の方向の光の少なくとも一部を通過させない、検査システム。
(((１１)))
前記制限手段には、前記一の方向の光を通過させる開口が、予め定められた間隔で設けられ、
前記プロセッサは、前記撮影手段により撮影された画像において、前記予め定められた間隔に対応する周波数以上の成分を除去する処理を行う、(((１０)))に記載の検査システム。

(((１)))，(((１０)))に記載の検査装置、検査システムによれば、テレセントリック光学系を利用する場合に比べ、撮影手段のレンズ開口が大きくなることを抑制する。
(((２)))に記載の検査装置によれば、撮影手段に近付く方向の光を制限しない場合に比べ、検査の精度が向上する。
(((３)))に記載の検査装置によれば、制限手段が２０度以上の光を通過させる場合と比較して、検査の精度が向上する。
(((４)))に記載の検査装置によれば、通過させる他の方向の光量が位置の方向の光量の５０％よりも大きい場合と比較して、検査の精度が向上する。
(((５)))，(((７)))に記載の検査装置によれば、他の方向の光のうち少なくとも一部が制限される。
(((６)))に記載の検査装置によれば、間隔が１．５ｍｍよりも大きい場合と比較して、検査の精度が向上する。
(((８)))に記載の検査装置によれば、制限層を薄く構成することができる。
(((９)))に記載の検査装置によれば、１つの制限層により制限手段を構成する場合と比較して、制限層の配置に係る自由度が増す。
(((１１)))に記載の検査システムによれば、制限手段の開口の間隔に対応する周波数以上の成分を除去する処理を行わない場合に比べ、検査の精度が向上する。

１，１－２…検査装置、１０，１０－２…遮光壁群、１２…光源、１３…制御部、１４…拡散板、１５…カメラ、１６…筐体、１０１，１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃ，１０１ｄ…遮光壁、Ｓ…対象物、Ｔ…対象領域

Claims (11)

1. 光源と対象領域との間に設けられ、当該光源から当該対象領域に向かう光を制限する制限手段と、
   前記制限手段を通過し前記対象領域から反射されて入射した光を撮影する撮影手段と、を備え、
   前記制限手段は、前記光源からの光のうち、前記対象領域にて正反射した場合に前記撮影手段に入射する一の方向の光を通過させ、他の方向の光の少なくとも一部を通過させない、検査装置。
2. 前記制限手段は、前記他の方向の光のうち、前記撮影手段に近付く方向の光の少なくとも一部を通過させない、請求項１に記載の検査装置。
3. 前記制限手段は、前記他の方向の光のうち、前記一の方向となす角が２０度以上の光を通過させない、請求項２に記載の検査装置。
4. 前記制限手段は、通過させる他の方向の光量を一の方向の光量の５０％以下とする、請求項２に記載の検査装置。
5. 前記制限手段は、前記一の方向と交差する方向に並び、互いに平行でない遮光壁群である、請求項１に記載の検査装置。
6. 前記遮光壁群の並ぶ間隔は１．５ｍｍ以下である、請求項５に記載の検査装置。
7. 前記制限手段は、前記光源からの光を透過させる部分と、当該光源からの光を透過させない部分と、が交互に配列された制限層により構成される、請求項１に記載の検査装置。
8. 前記制限層は、フィルムにより構成され、前記光源からの光を透過させる部分と前記一の方向とが直交するように湾曲して配置される、請求項７に記載の検査装置。
9. 前記制限手段は、前記一の方向と交差する方向に並ぶ複数の前記制限層により構成される、請求項７に記載の検査装置。
10. 光源と対象領域との間に設けられ、当該光源から当該対象領域に向かう光を制限する制限手段と、
    前記制限手段を通過し前記対象領域から反射されて入射した光を撮影する撮影手段と、
    前記撮影手段により撮影された画像を処理するプロセッサと、を備え、
    前記制限手段は、前記光源からの光のうち、前記対象領域にて正反射した場合に前記撮影手段に入射する一の方向の光を通過させ、他の方向の光の少なくとも一部を通過させない、検査システム。
11. 前記制限手段には、前記一の方向の光を通過させる開口が、予め定められた間隔で設けられ、
    前記プロセッサは、前記撮影手段により撮影された画像において、前記予め定められた間隔に対応する周波数以上の成分を除去する処理を行う、請求項１０に記載の検査システム。