KR101897043B1 - 자동으로 조명 처리가 이루어지는 광학검사장치 및 이를 이용한 광학검사방법 - Google Patents

자동으로 조명 처리가 이루어지는 광학검사장치 및 이를 이용한 광학검사방법 Download PDF

Info

Publication number
KR101897043B1
KR101897043B1 KR1020180016231A KR20180016231A KR101897043B1 KR 101897043 B1 KR101897043 B1 KR 101897043B1 KR 1020180016231 A KR1020180016231 A KR 1020180016231A KR 20180016231 A KR20180016231 A KR 20180016231A KR 101897043 B1 KR101897043 B1 KR 101897043B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
illumination
photographing
lighting
inspection
inspected
Prior art date
Application number
KR1020180016231A
Other languages
English (en)
Inventor
류지현
Original Assignee
미세기술(주)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 미세기술(주) filed Critical 미세기술(주)
Priority to KR1020180016231A priority Critical patent/KR101897043B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101897043B1 publication Critical patent/KR101897043B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
    • G01N2021/8809—Adjustment for highlighting flaws
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
    • G01N2021/8812—Diffuse illumination, e.g. "sky"
    • G01N2021/8816—Diffuse illumination, e.g. "sky" by using multiple sources, e.g. LEDs

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

본 발명은 검사 대상물에 빛을 조사하여 상기 대상물의 외관에 스크래치의 발생 여부, 또는 대상물에 표현된 문자, 바코드, 2D바코드, QR코드 등의 다양한 코드를 이용한 결함 코드인식에 대한 검사를 수행할 수 있는 광학검사장치 및 이를 이용한 광학검사방법에 관한 것이다.
본 발명에 따른 광학검사장치는, 검사 대상물(50)의 준비 상태를 파악하여 촬영준비신호를 송출하는 외부장치, 상기 검사 대상물(50)을 촬영하는 촬영장치(100) 및 상기 외부장치로부터 상기 촬영준비신호를 전달받아서 상기 촬영장치(100)에 촬영시작신호를 송출하는 조명장치(200)를 포함하고, 상기 조명장치(200)는 상기 검사 대상물(50)에 빛을 조사하여 상기 검사 대상물(50)이 정상적으로 촬영되었는지에 대한 정보를 수신하고, 상기 검사 대상물(50)의 촬영 결과가 비정상적으로 이루어진 경우에 상기 조명장치(200)에서 수신된 비정상촬영정보는 상기 촬영장치(100)로 전달되어 상기 검사 대상물(50)의 추가 촬영이 이루어 진다.

Description

자동으로 조명 처리가 이루어지는 광학검사장치 및 이를 이용한 광학검사방법{OPTICAL INSPECTION APPARATUS FOR PERFORMING AUTOMATIC ILLUMINATION PROCESSING AND OPTICAL INSPECTION METHOD USING THE APPARATUS}
본 발명은 검사 대상물에 빛을 조사하여 상기 대상물의 외관에 스크래치의 발생 등의 결함 여부, 또는 대상물에 표현된 문자, 바코드, 2D바코드, QR코드 등의 다양한 코드를 이용한 코드인식에 대한 검사를 수행할 수 있는 광학검사장치 및 이를 이용한 광학검사방법에 관한 것으로서, 보다 구체적으로 조명장치가 검사 신호를 직접 수신하고 상기 조명장치에서 수행된 검사 결과에 따라 조명조건을 자동으로 변화시킴으로써 제품에 대한 능동적인 조명조건 대응이 이루어질 수 있는 광학검사장치 및 이를 이용한 광학검사방법에 관한 것이다.
최근에 많이 사용되고 있는 각종 전자제품들에는 반도체, 인쇄회로기판 등 다양한 전자부품들이 구성되어 있다. 이러한 전자부품들은 전자정보기기들의 소형화 추세에 따라 미세하고 복잡한 회로 패턴이 고 집적된 형태로 구성된다.
따라서, 이러한 전자부품에 미세한 표면 손상이나 불량 패턴 등이 발생하게 되면, 전자기기의 오작동 또는 고장을 일으키게 되므로, 일반적으로 전자부품은 실제 기기에 적용되기 전에 제품의 불량 여부를 판단하도록 가이드 되어 있다.
전자부품에 대한 불량 여부 판단은 일반적인 머신 비전 검사 기술을 이용하여 수행되고 있다. 구체적으로, 머신 비전 검사는 전자부품의 표면 상태를 카메라로 촬영하고, 촬영된 이미지를 처리 및 분석하여 전자부품의 불량 여부를 판단하는 방식으로 진행되고 있다. 이러한 비전 검사를 원활하게 수행하기 위해서는 카메라가 촬영하는 전자부품에 빛을 조사하는 조명장치의 역할이 매우 중요하다.
상기 조명장치를 포함하는 검사장치의 일 예로는, 대한민국 공개특허공보 제2015-0102145호(이하, "특허문헌 1")에 개시된 촬상하는 방향과 검사 대상을 조명하는 방향을 일치시킨 동축 조명을 구비하는 광학검사장치를 들 수 있다.
본 문헌에 따른 광학검사장치는, 검사 대상물의 상측에 설치되어 상기 검사 대상물 표면의 결함이나 이물질 존재 여부를 검사하기 위해 상기 검사 대상물을 촬영하는 카메라와, 상기 검사 대상물에 광을 조사하기 위한 복수의 엘이디 조명들이 배열된 동축조명 모듈과, 상기 동축조명 모듈로부터 공급되는 광을 일정 각도로 굴절시켜서 상기 검사 대상물로 조사되도록 하는 하프미러를 포함한다.
상기 동축조명 모듈은 상기 검사 대상물의 좌측 부분에 광을 조사하기 위한 제1 모듈과, 상기 제1 모듈과 동일구조로 상기 제1 모듈의 상단에 적층되어 상기 검사 대상물의 중앙 부분에 광을 조사하기 위한 제2 모듈과, 상기 제2 모듈과 동일구조로 상기 제2 모듈의 상단에 적층되어 상기 검사 대상물의 우측 부분에 광을 조사하기 위한 제3 모듈로 구성된다.
위와 같은 종래의 광학검사장치에 따르면, 제품의 검사 신호가 외부 센서나 외부 제어기와 같은 외부장치로부터 카메라로 먼저 전달되고, 이 신호가 상기 카메라로부터 조명장치로 전달된다. 즉, 제품을 검사하기 위한 조명광의 발광 신호가 외부장치로부터 카메라를 거쳐서 조명장치로 전달됨으로써 제품의 조명 처리가 이루어지게 된다.
다만, 이러한 검사 프로세스에 따르면, 검사 대상물의 변화 시 이러한 정보가 외부장치로부터 조명장치로 직접 전달되는 것이 아니라, 상기 카메라를 거쳐서 상기 조명장치로 전달이 되어야 하므로, 변화에 따른 대응이 신속하게 이루어지지 못하는 문제점이 있었다. 즉, 종래 기술에 따르면, 검사 대상물의 변화에 따른 조명 처리가 신속하게 수행되지 못하므로 검사 정밀도가 저하되는 문제점이 있었다.
특허문헌 1: 대한민국 공개특허공보 제2015-0102145호(2015년 9월 7일 공개).
본 발명의 목적은, 외부장치로부터 송출되는 제품의 검사 신호를 조명장치가 직접 수신하여 상기 조명장치에서 조명조건을 자동으로 변화시킴으로써 제품에 대한 능동적인 조명조건 대응이 이루어질 수 있는 광학검사장치 및 이를 이용한 광학검사방법을 제공하는 것이다.
본 발명은, 상기 과제 해결을 위한 수단으로 하기와 같은 기술적 수단을 제공한다.
본 발명에 따른 광학검사장치는, 검사 대상물(50)의 준비 상태를 파악하여 촬영준비신호를 송출하는 외부장치, 상기 검사 대상물(50)을 촬영하는 촬영장치(100) 및 상기 외부장치로부터 상기 촬영준비신호를 전달받아서 상기 촬영장치(100)에 촬영시작신호를 송출하는 조명장치(200)를 포함하고, 상기 조명장치(200)는 상기 검사 대상물(50)에 빛을 조사하여 상기 검사 대상물(50)이 정상적으로 촬영되었는지에 대한 정보를 수신하고, 상기 검사 대상물(50)의 촬영 결과가 비정상적으로 이루어진 경우에 상기 조명장치(200)에서 수신된 비정상촬영정보는 상기 촬영장치(100)로 전달되어 상기 검사 대상물(50)의 추가 촬영이 이루어진다.
또한, 상기 조명장치(200)는, 외형을 구성하는 하우징(210) 및 상기 하우징(210) 내에 설치되고 상기 검사 대상물(50)에 빛을 조사하는 엘이디 조명(231, 232, 233, 234)이 설치되는 복수의 조명모듈(220)을 포함한다.
또한, 상기 조명모듈(220)은 상기 하우징(210) 내의 길이 방향으로 연장되는 중심축(202)을 기준으로 좌우 방향으로 대칭되도록 두 쌍이 설치되고, 상기 두 쌍의 조명모듈(221, 222, 223, 224)로부터 발광되는 빛을 상기 하우징(210) 내에서 서로 간섭되지 않도록 배치된다.
또한, 상기 촬영장치(100)의 일측에는 상기 검사 대상물(50)의 정확한 인식이 이루어지도록 배율을 조절할 수 있는 렌즈(110)가 설치되고, 상기 조명장치(200)의 일측에는 상기 렌즈(110) 하단에 형성되는 필터용 고정 나사 홀을 통해 상기 렌즈(110)에 스크류 나사 결합이 이루어지는 필터결합부품(150)이 설치된다.
또한, 상기 조명장치(200)는, 상기 조명모듈(220)의 엘이디 조명(231, 232, 233, 234)으로부터 조사되는 빛의 조명조건을 자동으로 변화시키면서 상기 검사 대상물(50)을 촬영한다.
또한, 상기 조명조건은, 상기 엘이디 조명(231, 232, 233, 234)으로부터 상기 검사 대상물(50)로 조사되는 빛의 위치, 밝기, 색상 및 조명각도를 포함한다.
또한, 상기 조명장치(200)의 일측에는, 상기 조명장치(200)로부터 조사되는 빛의 최종 조명조건을 저장하는 제어부(250)가 설치된다.또한, 상기 조명장치(200)에 촬영준비신호가 입력되면, 상기 제어부(250)는 상기 조명장치(200)에 상기 최종 조명조건을 전달하여 상기 최종 조명조건으로 상기 조명장치(200)를 작동시킨다.
본 발명에 따른 광학검사방법은, 외부장치에서 송출되는 촬영준비신호가 조명장치(200)에 전달되는 단계, 상기 조명장치(200)에서 조명조건이 설정되고 상기 조명장치(200)로부터 촬영장치(100)로 촬영시작신호가 전달되는 단계, 상기 조명조건으로 상기 조명장치(200)에서 발생된 빛이 검사 대상물(50)에 조사되고 촬영장치(100)에서 촬영이 이루어지는 단계, 상기 검사 대상물(50)에 대응하는 조명 처리가 정상적으로 이루어졌는지를 판단하는 단계 및 조명 처리가 완료되면, 상기 검사 대상물(50)에 조사된 빛의 최종 조명조건을 저장하는 단계를 포함한다.
또한, 상기 검사 대상물(50)에 대응하는 조명 처리가 정상적으로 이루어지지 않은 경우, 상기 조명장치(200)에서 상기 조명조건을 재설정하는 과정이 수행된다.
제안되는 본 발명에 따르면, 외부장치로부터 송출되는 검사 신호를 조명장치가 직접 수신하고 상기 조명장치에서 수행된 검사 결과에 따라 조명조건을 자동으로 변화시킴으로써 제품에 대한 능동적인 조명조건 대응이 이루어질 수 있는 장점이 있다.
이에 따라, 검사 대상물로 조사되는 빛의 위치, 밝기, 색상 및 조명각도를 자동으로 변화시켜서 제품에 대한 신속하고 정확한 검사가 이루어질 수 있는 장점이 있다.
또한, 본 발명에 따른 조명장치의 설치 고정 방식에 있어서, 촬영장치의 렌즈 필터 하단에 형성되는 필터용 고정 나사 홀을 통해 렌즈에 상기 조명장치의 필터결합부품을 스크류 나사 방식으로 결합하여 고정시킴으로써 별도의 거치대나 장비를 설치하지 않고도 상기 조명장치를 상기 촬영장치에 결합시킬 수 있는 장점이 있다.
첨부된 도면은 해당 기술 분야의 통상의 기술자에게 본 발명의 내용을 보다 상세하게 설명하기 위한 것으로 본 발명의 기술적 사상이 이에 한정되는 것은 아니다.
도 1은, 본 발명의 일 실시 예에 따른 광학검사장치의 전체적인 구성을 보여주는 정면도이다.
도 2는, 상기 광학검사장치의 세부 구성을 보여주는 분해도이다.
도 3은, 상기 광학검사장치 중 조명장치의 내부 구성을 보여주는 사시도이다.
도 4는, 상기 조명장치의 후면도이다.
도 5는, 상기 조명장치의 엘이디 조명으로부터 발생되는 빛이 검사 대상물로 조사되는 모습을 보여주는 도면이다.
도 6은, 상기 광학검사장치를 이용하여 검사 대상물의 검사가 수행되는 과정을 설명하는 흐름도이다.
도 7 내지 도 9는, 조명조건이 변화함에 따라 상기 검사 대상물의 조명 처리가 수행된 모습에 대한 예시들을 보여주는 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 해석되어서는 아니되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여, 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.
따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서, 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해해야 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 광학검사장치의 전체적인 구성을 보여주는 정면도이다. 그리고, 도 2는 상기 광학검사장치의 세부 구성을 보여주는 분해도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 광학검사장치(10)는, 검사 대상물(50)의 준비 상태를 파악하여 촬영준비신호를 송출하는 외부장치와, 상기 검사 대상물(50)을 촬영하는 촬영장치(100)와, 상기 외부장치로부터 상기 촬영준비신호를 전달받아서 상기 촬영장치(100)에 촬영시작신호를 송출하는 조명장치(200)로 구성된다.
상기 외부장치는 상기 조명장치(200)에 촬영준비신호를 전달하기 위한 외부 센서 또는 외부 제어기일 수 있다. 또한, 상기 촬영장치(100)는 상기 검사 대상물(50)을 인식할 수 있는 카메라 또는 스마트비전 장치일 수 있다. 그리고, 상기 조명장치(200)는 상기 촬영장치(110)와 결합하여 검사 대상물(50)에 빛을 조사하는 엘이디 조명 장치일 수 있다. 상기 촬영장치(100)와 상기 조명장치(200) 간의 결합 방식은 다음과 같다.
상기 촬영장치(100)의 일측에는 배율을 조절할 수 있는 렌즈(110)가 설치된다. 상기 렌즈(110)의 앞 부분에는 상기 렌즈(110)를 보호하기 위한 필터가 설치된다. 그리고, 상기 촬영장치(100)에 인접하는 상기 조명장치(200)의 일측에는 상기 렌즈(110)의 필터와 스크류 나사 방식으로 결합되는 필터결합부품(150)이 결합된다. 상기 필터결합부품(150)은 상기 조명장치(200)의 일면으로부터 내측 방향으로 함몰되는 안착 영역(205)에 삽입 고정된 상태로 설치될 수 있다. 이와 다른 예로서, 상기 필터결합부품(150)은 상기 조명장치(200)와 일체로 제조될 수도 있다. 이와 같이, 상기 렌즈(110)의 필터와 상기 필터결합부품(150)이 서로 스크류 나사 방식으로 결합함으로써 상기 촬영장치(100)와 상기 조명장치(200)가 서로 결합될 수 있다. 즉, 본 발명에 따른 조명장치(200)의 설치 고정 방식에 따르면, 별도의 거치대나 장비를 설치하지 않고도 상기 조명장치(200)를 상기 촬영장치(100)에 결합시킬 수 있다.
또한, 상기 조명장치(200)는 상기 검사 대상물(50)에 빛을 조사하여 상기 검사 대상물(50)의 정상촬영여부에 관한 정보를 수신한다. 상기 검사 대상물(50)의 정상촬영여부에 관한 판단은 상기 조명장치(200)의 일측에 설치되는 제어부(250)를 통해 이루어질 수도 있다. 즉, 상기 제어부(250)는 상기 검사 대상물(50)의 정상적인 촬영 여부에 관한 정보를 분석한다. 이와 같이 분석된 정보에 따라, 상기 조명장치(200)에서 상기 검사 대상물(50)의 추가 촬영 여부가 결정된다.이때, 상기 조명장치(200)에서 검사 대상물(50)로 전달된 빛에 의해 검사 결과가 양호하게 나올 때까지 상기 조명장치(200)에서 자동으로 조명조건이 변경될 수 있다. 구체적으로, 상기 검사 대상물(50)의 촬영 결과가 비정상적으로 이루어진 경우에 상기 조명장치(200)에서 수신된 비정상촬영정보는 상기 촬영장치(100)로 전달되어 변경된 조명조건으로 상기 검사 대상물(50)의 추가 촬영이 이루어지게 된다.
이와 같이, 상기 검사 대상물(50)의 정상적인 촬영 여부에 관한 정보가 상기 촬영장치(100)로 전달되지 않고 직접 상기 조명장치(200)로 전달됨에 따라, 상기 검사 대상물(50)이 변화하더라도 이에 신속하고 정확하게 대응할 수 있다. 상기 조명장치(200)의 세부 구성은 다음과 같다.
도 3은 상기 광학검사장치 중 조명장치의 내부 구성을 보여주는 사시도이다. 그리고, 도 4는 상기 조명장치의 후면도이다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 상기 조명장치(200)는, 외형을 구성하는 하우징(210) 및 상기 하우징(210) 내에 설치되는 복수의 조명모듈로 구성된다.
그리고, 상기 조명모듈은 상기 하우징(210) 내의 길이 방향으로 연장되는 중심축(202)을 기준으로 좌우 방향으로 대칭되도록 두 쌍이 설치되고, 상기 두 쌍의 조명모듈로부터 발생되는 빛은 상기 하우징(210) 내에서 서로 간섭되지 않도록 배치된다.
구체적으로, 상기 조명모듈은 상기 하우징(210) 내의 일측에 배치되는 제1 조명모듈(221)과 제3 조명모듈(223) 및 상기 하우징(210) 내의 타측에 배치되는 제2 조명모듈(222)과 제4 조명모듈(224)로 이루어진다. 상기 제1 조명모듈(221)과 상기 제2 조명모듈(222)은 상기 하우징(210) 내의 길이방향 중심축(202)을 기준으로 좌우 방향으로 대칭되게 설치되고, 상기 제3 조명모듈(223)과 상기 제4 조명모듈(224) 역시 상기 길이방향 중심축(202)을 기준으로 좌우 방향으로 대칭되게 설치된다. 그리고, 상기 제1 조명모듈(221)은 상기 제3 조명모듈(223)에 비해 상대적으로 상측에 설치됨으로써 상기 검사 대상물(50)에 조사되는 빛이 서로 간섭되지 않게 되고, 이와 마찬가지로 상기 제2 조명모듈(222)은 상기 제4 조명모듈(224)에 비해 상대적으로 상측에 설치됨으로써 상기 검사 대상물(50)에 조사되는 빛이 서로 간섭되지 않게 된다.
또한, 상기 조명모듈들 각각에는 상기 검사 대상물(50)에 빛을 조사하는 엘이디 조명(231, 232, 233, 234)이 설치된다. 구체적으로, 조명모듈들에는 서로 다른 색상을 가지는 3색의 엘이디 조명(231, 232, 233, 234)이 각각 설치된다. 상기 엘이디 조명(231, 232, 233, 234)에서 발생되는 빛은 상기 검사 대상물(50)을 향하여 조사되어 제품의 상태를 검사할 수 있는 것이다. 이때, 상기 엘이디 조명(231, 232, 233, 234)에서 발생되는 빛의 색상, 밝기, 각도, 위치 등과 관련된 조명조건이 변화함으로써, 제품에 대한 상기 조명장치(200)의 능동적인 조명처리 대응이 이루어질 수 있다. 예를 들어, 상기 조명조건은 색상, 밝기, 각도, 위치 등의 매개변수에 기초하여 총 105가지의 경우의 수를 가질 수 있다.
이하에서는, 조명조건의 변화에 기초하여 제품을 검사하는 과정에 대하여 설명하기로 한다.
도 5는, 상기 조명장치의 엘이디 조명으로부터 발생되는 빛이 검사 대상물로 조사되는 모습을 보여주는 도면이다. 그리고, 도 6은, 상기 광학검사장치를 이용하여 검사 대상물의 검사가 수행되는 과정을 설명하는 흐름도이다.
도면을 참조하여 설명하면, 사용자는 검사 대상물(50)을 검사 정 위치에 안착시킨 후 광학검사장치(10)에 촬영준비신호를 입력한다(S10). 이러한 촬영준비신호는 상기 검사 대상물(50)의 준비 상태를 파악할 수 있는 외부 센서나 외부 제어기와 같은 외부장치에서 송출되어 조명장치(200)로 전달된다. 상기 조명장치(200)에서는 상기 검사 대상물(50)의 상태를 파악하기 위한 조명조건이 설정된다(S20). 상기 조명조건은 상기 조명장치(200)의 조명모듈로부터 발생되는 빛의 색상, 밝기, 각도, 위치 등을 의미한다. 상기 조명조건 설정이 완료되면, 상기 조명장치(200)에서 기 설정된 조명조건에 따라 조명을 출력한다(S30). 그리고 상기 조명장치(200)로부터 상기 촬영장치(100)로 촬영시작신호가 전달되고 카메라와 같은 촬영장치(100)에서 상기 촬영시작신호가 출력된다(S40). (S30)단계와 (S40)단계는 동시에 이루어질 수도 있으며 경우에 따라서는 그 순서가 변경될 수도 있다.
그 다음, 상기 조명장치(200)는 상기 검사 대상물(50)에 대응하는 조명 처리가 정상적으로 이루어졌는지 여부를 판단한다(S50). 상기 조명 처리의 정상 처리 여부에 대한 판단은 상기 조명장치(200)의 일측에 설치되는 제어부(250)에서 이루어질 수도 있다. 상기 검사 대상물(50)의 촬영 결과가 비정상적으로 이루어진 경우에 상기 조명장치(200)에서 수신된 비정상촬영정보는 상기 촬영장치(100)로 전달되어 상기 검사 대상물(50)의 추가 촬영이 이루어진다. 구체적으로, 상기 검사 대상물(50)에 대응하는 조명 처리가 정상적으로 이루어지지 않은 경우, 상기 조명장치(200)에서 상기 조명조건을 재설정하는 과정이 수행된다. 즉, 상기 S50 단계에서 상기 검사 대상물(50)의 조명 처리가 양호하지 않은 비정상 상태로 판단되면, 상기 S20 단계로 되돌아가서 다시 상기 조명장치(200)의 조명조건이 재설정되고, 상기 검사 대상물(50)의 추가 촬영이 이루어진다. 이때, 상기 제어부(250)의 조명 처리 비정상 신호는 상기 조명장치(200)로 직접 전달되고, 이러한 신호에 기초하여 상기 조명장치(220)의 조명조건 재설정이 이루어진다. 이에 따라, 조명처리 대응이 신속하게 이루어질 수 있다.
다만, 상기 S50 단계에서 상기 검사 대상물(50)의 조명 처리가 양호한 것으로 판단되면, 상기 제어부(250)는, 상기 조명장치(200)로부터 조사되는 빛의 최종 조명조건을 저장한다(S60).
그리고, 추후에 다시 상기 조명장치(200)에 촬영준비신호가 입력되면, 상기 제어부(250)는 상기 조명장치(200)에 상기 최종 조명조건을 전달하여 상기 최종 조명조건으로 상기 조명장치(200)를 작동시킨다. 즉, 상기 S20 단계에서 설정되는 조명조건이 상기 최종 조명조건으로 설정된다. 이는, 상기 광학검사장치(100)에서 검사가 이루어지는 제품이 동일한 경우가 많기 때문에, 총 검사 시간을 줄이기 위하여 위와 같은 설정이 이루어지는 것이다.
상기 조명조건의 변화에 따른 상기 검사 대상물의 조명 처리가 수행된 모습에 대한 예시들이 도 7 내지 도 9에 도시되어 있다. 구체적으로, 도 7에서는 조명조건 중 색상 변화에 따라 검사 대상물(50)의 조명 처리가 수행된 모습이 도시되어 있고, 도 8에서는 조명조건 중 각도 변화에 따라 검사 대상물(50)의 조명 처리가 수행된 모습이 도시되어 있으며, 도 9에서는 조명조건 중 위치 변화에 따라 검사 대상물(50)의 조명 처리가 수행된 모습이 도시되어 있다.
이와 같이, 상기 조명조건을 색상, 밝기, 각도, 위치 등의 매개변수에 기초하여 결과가 양호할 때까지 변화시킴에 따라, 제품에 대한 상기 조명장치(200)의 능동적인 조명처리 대응이 이루어질 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 외부장치로부터 송출되는 검사 신호를 조명장치가 직접 수신하고 상기 조명장치에서 수행된 검사 결과에 따라 조명조건을 자동으로 변화시킴으로써 더욱 유연한 조명처리 대응이 이루어질 수 있는 장점이 있다.
전술한 본원의 설명은 예시를 위한 것이며, 본원이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본원의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.
본원의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본원의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
10 : 광학검사장치 50 : 검사 대상물
100 : 촬영장치 110 : 렌즈
150 : 필터결합부품
200 : 조명장치 210 : 하우징
250 : 제어부

Claims (10)

  1. 검사 대상물(50)의 준비 상태를 파악하여 촬영준비신호를 송출하는 외부장치;
    상기 검사 대상물(50)을 촬영하는 촬영장치(100); 및
    상기 외부장치로부터 상기 촬영준비신호를 전달받아서 상기 촬영장치(100)에 촬영시작신호를 송출하며, 상기 검사 대상물(50)에 빛을 조사하여 상기 검사 대상물(50)이 정상적으로 촬영되었는지에 대한 정보를 수신하고, 상기 검사 대상물(50)의 촬영 결과가 비정상적으로 이루어진 경우에, 수신된 비정상촬영정보는 상기 촬영장치(100)로 전달되어 상기 검사 대상물(50)의 추가 촬영이 이루어지는 조명장치(200)를 포함하고,
    상기 조명장치(200)는,
    외형을 구성하는 하우징(210); 및
    상기 하우징(210) 내에 설치되고 상기 검사 대상물(50)에 빛을 조사하는 엘이디 조명(231, 232, 233, 234)이 설치되는 복수의 조명모듈을 포함하며,
    상기 조명모듈은,
    상기 하우징(210) 내의 일측에 배치되는 제1 조명모듈(221)과 제3 조명모듈(223) 및 상기 하우징(210) 내의 타측에 배치되는 제2 조명모듈(222)과 제4 조명모듈(224)이, 상기 하우징(210) 내의 길이방향으로 연장되는 중심축(202)을 기준으로 좌우 방향으로 대칭되도록 설치되고,
    상기 제1 조명모듈(221) 및 제2 조명모듈(222)이 각각 상기 제3 조명모듈(223) 및 제4 조명모듈(224)에 비하여 상대적으로 상측에 설치되어, 상대적인 위치 차이에 의해 검사 대상물(50)로 조사되는 빛이 서로 간섭되지 않도록 배치되는 것을 특징으로 하는 광학검사장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 촬영장치(100)의 일측에는 상기 검사 대상물(50)의 정확한 인식이 이루어지도록 배율을 조절할 수 있는 렌즈(110)가 설치되고,
    상기 조명장치(200)의 일측에는 상기 렌즈(110) 하단에 형성되는 필터용 고정 나사 홀을 통해 상기 렌즈(110)에 스크류 나사 결합이 이루어지는 필터결합부품(150)이 설치되는 것을 특징으로 하는 광학검사장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 조명장치(200)는, 상기 조명모듈의 엘이디 조명(231, 232, 233, 234)으로부터 조사되는 빛의 조명조건을 자동으로 변화시키면서 상기 검사 대상물(50)을 촬영하는 것을 특징으로 하는 광학검사장치.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 조명조건은, 상기 엘이디 조명(231, 232, 233, 234)으로부터 상기 검사 대상물(50)로 조사되는 빛의 위치, 밝기, 색상 및 조명각도를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학검사장치.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 조명장치(200)의 일측에는, 상기 조명장치(200)로부터 조사되는 빛의 최종 조명조건을 저장하는 제어부(250)가 설치되는 것을 특징으로 하는 광학검사장치.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 조명장치(200)에 촬영준비신호가 입력되면, 상기 제어부(250)는 상기 조명장치(200)에 상기 최종 조명조건을 전달하여 상기 최종 조명조건으로 상기 조명장치(200)를 작동시키는 것을 특징으로 하는 광학검사장치.
  7. 삭제
  8. 삭제
  9. 삭제
  10. 삭제
KR1020180016231A 2018-02-09 2018-02-09 자동으로 조명 처리가 이루어지는 광학검사장치 및 이를 이용한 광학검사방법 KR101897043B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020180016231A KR101897043B1 (ko) 2018-02-09 2018-02-09 자동으로 조명 처리가 이루어지는 광학검사장치 및 이를 이용한 광학검사방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020180016231A KR101897043B1 (ko) 2018-02-09 2018-02-09 자동으로 조명 처리가 이루어지는 광학검사장치 및 이를 이용한 광학검사방법

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101897043B1 true KR101897043B1 (ko) 2018-10-18

Family

ID=64133018

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020180016231A KR101897043B1 (ko) 2018-02-09 2018-02-09 자동으로 조명 처리가 이루어지는 광학검사장치 및 이를 이용한 광학검사방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101897043B1 (ko)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20220089238A (ko) * 2020-12-21 2022-06-28 일진하이솔루스 주식회사 내압용기의 표면 투과 수소량 측정 장치
KR102548690B1 (ko) * 2022-05-27 2023-06-28 (주)나노드림 테이프릴의 칩 카운터 시스템

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR970003328B1 (ko) * 1991-07-12 1997-03-17 오므론 가부시끼가이샤 화상 처리 시스템에 있어서, 알맞은 조명조건, 촬영조건등을 결정 및 설정하기 위한 또는 결정 및 설정을 지원하기 위한 장치 및 방법
KR20070115067A (ko) * 2006-05-30 2007-12-05 (주) 인텍플러스 광학식 검사 방법
KR20150102145A (ko) 2014-02-27 2015-09-07 뉴인텍 주식회사 광학검사장치
KR20170005600A (ko) * 2015-07-06 2017-01-16 엘지이노텍 주식회사 결함 검사장치

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR970003328B1 (ko) * 1991-07-12 1997-03-17 오므론 가부시끼가이샤 화상 처리 시스템에 있어서, 알맞은 조명조건, 촬영조건등을 결정 및 설정하기 위한 또는 결정 및 설정을 지원하기 위한 장치 및 방법
KR20070115067A (ko) * 2006-05-30 2007-12-05 (주) 인텍플러스 광학식 검사 방법
KR20150102145A (ko) 2014-02-27 2015-09-07 뉴인텍 주식회사 광학검사장치
KR20170005600A (ko) * 2015-07-06 2017-01-16 엘지이노텍 주식회사 결함 검사장치

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20220089238A (ko) * 2020-12-21 2022-06-28 일진하이솔루스 주식회사 내압용기의 표면 투과 수소량 측정 장치
KR102477530B1 (ko) 2020-12-21 2022-12-15 일진하이솔루스 주식회사 내압용기의 표면 투과 수소량 측정 장치
KR102548690B1 (ko) * 2022-05-27 2023-06-28 (주)나노드림 테이프릴의 칩 카운터 시스템

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101175595B1 (ko) 비접촉식 부품검사장치 및 부품검사방법
KR101638883B1 (ko) 웨이퍼 검사 시스템 및 방법
KR101612535B1 (ko) 웨이퍼 검사 시스템 및 방법
KR101646743B1 (ko) 웨이퍼 검사 시스템 및 방법
US9125336B2 (en) Method of inspecting board
US6437312B1 (en) Illumination for inspecting surfaces of articles
JP7535391B2 (ja) 検査装置及び検査方法
KR100281881B1 (ko) 인쇄회로기판의크림솔더검사장치및검사방법
KR101897043B1 (ko) 자동으로 조명 처리가 이루어지는 광학검사장치 및 이를 이용한 광학검사방법
CN107110789B (zh) 贴装有部件的基板检查方法及检查装置
KR101079686B1 (ko) 영상인식장치 및 영상인식방법
TWI834843B (zh) 檢查裝置及檢查方法
KR100833717B1 (ko) 비전 검사 시스템
JP2009162492A (ja) 検査装置
JP2009236760A (ja) 画像検出装置および検査装置
JP4327485B2 (ja) 欠陥検査装置
JP2008227301A (ja) 電子回路部品装着検査方法および装置
KR101126759B1 (ko) 칩 마운터의 부품 정보 티칭방법
KR20130127758A (ko) 영상 선명도가 개선된 비전검사장치
KR101442666B1 (ko) 복수 행의 조명부재를 포함하는 비전검사장치
KR102525320B1 (ko) 대상물을 광학적으로 검사하기 위한 장치 및 방법
KR100576392B1 (ko) 비전 검사 장치
JP2007315982A (ja) 測定装置および検査装置
JP2005513430A (ja) モジュール型照明ユニットを用いたビジュアル方式の位置検出のためのセンサ
WO2024121903A1 (ja) 画像処理装置

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant