JP2024020963A - 付着物除去装置、付着物除去方法、シート部材のリサイクル方法及び電子部品の製造方法 - Google Patents

付着物除去装置、付着物除去方法、シート部材のリサイクル方法及び電子部品の製造方法 Download PDF

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Abstract

【課題】安全且つ容易に付着物を除去可能な付着物除去装置を提供する。【解決手段】本発明の付着物除去装置１は、長尺状のシート部材１００を繰り出す繰出機構１２０と、前記繰出機構１２０により繰り出された前記シート部材１００を巻き取る巻取機構１３０と、前記繰出機構１２０により繰り出されて前記巻取機構１３０により巻き取られるまでの間において、前記シート部材１００を裏面側から押圧して、前記シート部材１００の表面側が凸になるように折り曲げる押圧部材１４０と、前記押圧部材１４０よりも前記シート部材１００の搬送方向上流側において、前記シート部材１００の前記裏面側に、エアーを吹き付ける裏面側エアーノズル１７０と、前記シート部材１００から剥離した付着物を集塵する集塵機構１８０と、を備える。【選択図】図１

Description

本発明は、付着物除去装置、付着物除去方法、シート部材のリサイクル方法及び電子部品の製造方法に関する。
電子部品として、例えば積層セラミックコンデンサにおいては、セラミックグリーンシートが複数積層される。ここで、セラミックグリーンシートは、ハンドリング性を向上させるため、ペットフィルムといったシート部材で裏打ちして利用されている。
近年、環境資源対策として資材のリユース等が求められており、このようなシート部材は、シート部材上の付着物が除去された後、原料レベルまで戻されて、ペレット化されて再利用される。従来、このようなシート部材上の付着物を除去する方法として、シート部材を有機溶剤で洗浄する方法が用いられている（特許文献１参照）。
特開２００９－２９１６９０号公報
しかし、シート部材を有機溶剤で洗浄する場合、洗浄に用いた有機溶剤をそのまま廃棄すると環境に悪影響を与える可能性があるため、有機溶剤の浄化作業が必要である。そのため、手間がかかり、また、浄化のための大量の水等が必要で、環境に優しいとは言えない。
本発明は、安全且つ容易に付着物を除去可能な付着物除去装置、付着物除去方法を提供するとともに、効率的なシート部材のリサイクル方法及び電子部品の製造方法を提供することを目的とする。
上記課題を解決するために本発明は、長尺状のシート部材を繰り出す繰出機構と、前記繰出機構により繰り出された前記シート部材を巻き取る巻取機構と、前記繰出機構により繰り出されて前記巻取機構により巻き取られるまでの間において、前記シート部材を裏面側から押圧して、前記シート部材の表面側が凸になるように折り曲げる押圧部材と、前記押圧部材よりも前記シート部材の搬送方向上流側において、前記シート部材の前記裏面側に、エアーを吹き付ける裏面側エアーノズルと、前記シート部材から剥離した付着物を集塵する集塵機構と、を備えるシート部材からの付着物除去装置を提供する。
また、上記課題を解決するために本発明は、表面に付着物が付着している長尺状のシート部材を繰り出し、前記シート部材の裏面側に、裏面側エアーノズルによってエアーを吹き付けて、前記表面より裏面に転写された付着物を除去し、前記シート部材を、裏面側から押圧部材によって押圧して、前記シート部材の表面側が凸になるように折り曲げることで、前記シート部材の前記表面の前記付着物を剥離させ、前記シート部材から剥離し前記付着物を集塵し、前記付着物が剥離した前記シート部材を巻き取る、シート部材からの付着物除去方法を提供する。
さらに、本発明は、表面に付着物が付着している長尺状のシート部材を繰り出し、
前記シート部材の裏面側に、裏面側エアーノズルによってエアーを吹き付けて、前記表面より裏面に転写された付着物を除去し、繰り出された前記シート部材を、裏面側から押圧部材によって押圧して、前記シート部材の表面側が凸になるように折り曲げることで、前記シート部材の前記表面の前記付着物を剥離させ、前記シート部材から剥離し前記付着物を集塵し、前記付着物が剥離した前記シート部材を巻き取り、前記付着物が除去された前記シート部材を粉砕してペレットを形成する、シート部材のリサイクル方法を提供する。
加えて、本発明は、表面に付着物が付着している長尺状のシート部材を繰り出し、
前記シート部材の裏面側に、裏面側エアーノズルによってエアーを吹き付けて、前記表面より裏面に転写された付着物を除去し、繰り出された前記シート部材を、裏面側から押圧部材によって押圧して、前記シート部材の表面側が凸になるように折り曲げることで、前記シート部材の前記表面の前記付着物を剥離させ、前記シート部材から剥離し前記付着物を集塵し、前記付着物が剥離した前記シート部材を巻き取り、前記付着物が除去された前記シート部材を粉砕してペレットを形成し、前記ペレットを用いて長尺状のシート部材を再生し、再生された前記シート部材上にセラミックグリーンシートを形成し、前記セラミックグリーンシートを用いて電子部品を製造する、電子部品の製造方法。
本発明によれば、安全且つ容易に付着物を除去可能な付着物除去装置、付着物除去方法を提供するとともに、効率的なシート部材のリサイクル方法及び電子部品の製造方法を提供することができる。
第１実施形態の付着物除去装置１を示す図である。 付着物除去装置１により付着物１０１が除去されるシート部材１００を示す図である。 シート部材１００を用いて作成された積層セラミックコンデンサ３００を示す図である。 シート剥離装置２００の一例の概略図である。 剥離ロール２０２が剥離領域Ａ２から退避した状態を示したシート剥離装置２００の一部を示す図である。 マザーブロック積層体２１０を示す図である。 第１実施形態の付着物除去装置１の付着物除去部１１０を説明する図である。 第１実施形態の付着物除去装置１における、広域エアーノズル１５０と部分エアーノズル１６０との位置を説明する図である。 第２実施形態の付着物除去装置２を示す図である。 第２実施形態の押圧刃部材２０の先端の刃先２１の斜視図である。 第２実施形態の押圧刃部材２０のシート部材１００に対する位置を説明する図である。 シート部材１００上の全面に付着物１０１が付着した状態において第２実施形態の押圧刃部材２０が付着物１０１を剥離する状態を説明する図である。
以下、本発明の実施形態にかかる付着物除去装置１及び付着物除去方法について説明する。図１は付着物除去装置１を示す図であり、図２は、実施形態の付着物除去装置１により付着物１０１が除去されるシート部材１００を示す図である。
（シート部材１００）
シート部材１００は、長尺状で、例えば、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）等の樹脂製であり、表面に形成された剥離層（図示せず）の上に、付着物１０１が付着している。シート部材１００の幅は、例えば１８０ｍｍ以上３３０ｍｍ以下であり、シート部材１００の厚みは、例えば０．５μｍ以上２０μｍ以下である。
（付着物１０１）
付着物１０１は、例えばセラミックグリーンシートの残余物であり、はしご状に付着している。すなわち、付着物１０１は、長尺状のシート部材１００の幅方向Ｗの両側に、互いの間に一定の幅方向距離を保ちつつ、長手方向Ｌに延びる２本の長手方向付着物１０１ａと、２本の長手方向付着物１０１ａの間を、長手方向Ｌにおいて一定の間隔で、幅方向Ｗに延びる複数の幅方向付着物１０１ｂとを有する。
このように、シート部材１００に対して付着物１０１がはしご状に付着している理由について説明する。シート部材１００は、積層セラミックコンデンサ３００等の積層型電子部品を製造する中間工程で用いられるものである。図３は、シート部材１００を用いて作成された積層セラミックコンデンサ３００を示す図である。積層セラミックコンデンサ３００は以下のように製造される。
（ａ）まず、長尺状の、例えばＰＥＴ製のシート部材１００の表面に剥離層（図示せず）が設けられ、この剥離層が設けられたシート部材１００の表面に、誘電体セラミック粉末、バインダ及び溶剤等を含むセラミックグリーンシートとなるスラリーがシート状に塗布される。
（ｂ）次いで、シート部材１００にシート状に塗布されたセラミックグリーンシートの表面に、電極パターンが印刷される。
（ｃ）そして、電極パターンが印刷されたセラミックグリーンシートが、矩形に切断されて、シート剥離装置２００を用いてシート部材１００から剥離される。
図４は、シート剥離装置２００の一例の概略図である。シート剥離装置２００は、搬送ロール２０１と、剥離ロール２０２と、カット刃２０３と、切断ステージ２０４と、剥離ヘッド２０５と、積層ステージ２０６とを備える。カット刃２０３及び切断ステージ２０４は、搬送ロール２０１と剥離ロール２０２との間を搬送されるシート部材１００が通過する切断領域Ａ１に配置され、剥離ヘッド２０５及び積層ステージ２０６は、切断領域Ａ１よりも搬送方向Ｈ下流の剥離領域Ａ２に配置されている。
電極パターンが印刷されたセラミックグリーンシートを表面に保持するシート部材１００は、搬送ロール２０１によって切断領域Ａ１の切断ステージ２０４上に搬送される。そこで、カット刃２０３が下降し、シート部材１００上の電極パターンが印刷されたセラミックグリーンシートが矩形に切断される。なお、セラミックグリーンシートのみをシート部材１００から切り出すことは困難であるため、シート部材１００の一部をセラミックグリーンシートごとカット刃２０３でカットしてもよい。
次いで、シート部材１００は、切断領域Ａ１から剥離領域Ａ２に搬送される。剥離領域Ａ２において、剥離ヘッド２０５が下降し、矩形に切断された、電極パターンが印刷されたセラミックグリーンシート１０１ｃが剥離ヘッド２０５で吸引される。矩形に切断されたセラミックグリーンシート１０１ｃが吸引されてシート部材１００から剥離されると、シート部材１００上には、図２で示したような、はしご状のセラミックグリーンシートの残余物が付着物１０１として残る。これが、シート部材１００に対して、はしご状に付着物１０１が付着している理由である。
（ｄ）矩形に切断されたセラミックグリーンシート１０１ｃが剥離ヘッド２０５で吸引されると、剥離ロール２０２が、剥離領域Ａ２から退避する。図５は、剥離ロール２０２が、剥離領域Ａ２から退避した状態を示したシート剥離装置２００の一部を示す図である。
矩形に切断されたセラミックグリーンシート１０１ｃは、積層ステージ２０６上に積層される。図６は、矩形に切断されたセラミックグリーンシート１０１ｃが繰り返し積層されることにより形成されたマザーブロック積層体２１０を示す図である。所定枚数のセラミックグリーンシート１０１ｃが積層されて形成されたマザーブロック積層体２１０は、所定の大きさに切断され、複数の積層体チップ２２０が得られる。その後、積層体チップ２２０の外表面に外部電極３１０が形成され、図３に示すような積層セラミックコンデンサ３００が製造される。なお、電極パターンが印刷されていないセラミックグリーンシートで、積層体２１０を挟持するように積層してもよい。
一方、セラミックグリーンシートがはしご状に付着物１０１として残ったシート部材１００は、付着物１０１が除去された後、粉砕されてシート部材１００の原料となるＰＥＴのペレットが形成される。ペレットはシート部材１００として再生され、上述の（ａ）以降の工程が繰り返される。
（付着物除去装置１）
次に、シート部材１００から付着物１０１を除去する、実施形態にかかる付着物除去装置１及び付着物除去方法について説明する。図１に戻り、付着物除去装置１は、付着物除去部１１０と、集塵機構１８０と、を備える。
（付着物除去部１１０）
図７は付着物除去部１１０を説明する図である。付着物除去部１１０は、シート部材１００を繰り出す繰出機構１２０と、繰出機構１２０により繰り出されたシート部材１００を巻き取る巻取機構１３０と、繰出機構１２０により繰り出されて巻取機構１３０により巻き取られるまでの間において、シート部材１００を裏面側から押圧して、シート部材１００の表面側が凸になるように折り曲げる押圧部材１４０と、押圧部材１４０が配置されている位置よりも、シート部材１００の搬送方向Ｈ下流側において、シート部材１００の表面側に向かって、シート部材１００の幅方向Ｗに渡って、エアーを吹き付ける広域エアーノズル１５０と、シート部材１００の幅方向Ｗの両側のそれぞれに対して、エアーを吹き付ける部分エアーノズル１６０と、を備える。
付着物除去部１１０は、さらに押圧部材１４０よりもシート部材１００の搬送方向Ｈ上流側において、シート部材１００の裏面側に、エアーを吹き付ける裏面側エアーノズル１７０を備える。
また、付着物除去部１１０は、押圧部材１４０よりも搬送方向Ｈ下流側にイオナイザー１９１及び除去センサー１９２を備える。イオナイザー１９１は、裏面側エアーノズル１７０、押圧部材１４０、広域エアーノズル１５０及び部分エアーノズル１６０により除去された付着物１０１がエアーにより舞い上がり、シート部材１００に再付着するのを防止する。除去センサー１９２は、例えば透過型のレザーセンサーやファイバーセンサー等であり、除去された付着物１０１の除去率を測定する。
（繰出機構１２０）
繰出機構１２０は、繰出ロール１２１を備え、繰出ロール１２１の中心軸には、シート部材１００に張力を与えるためのブレーキ１２３が取り付けられている。繰出ロール１２１には、上述の、付着物１０１がはしご状に付着している長尺状のシート部材１００が巻かれている。シート部材１００は、これに限定されないが実施形態において、付着物１０１が付着されている表面が、内径側に向くようにして繰出ロール１２１に巻かれ、この表面が下向きとなるように繰り出される。
（巻取機構１３０）
巻取機構１３０は、巻取ロール１３１を備え、巻取ロール１３１の中心軸は、図示しない巻取モータに連結されている。巻取モータが回転して巻取ロール１３１が回転し、シート部材１００がブレーキ１２３抗して巻き取られることで、シート部材１００は一定の張力且つ一定の搬送速度で搬送される。実施形態でシート部材１００の搬送速度は、１００ｍ／ｍｉｎ以上２５０ｍ／ｍｉｎ以下である。
なお、付着物除去部１１０はさらに、２つの補助ロール１２２と補助ロール１３２とを備える。繰出ロール１２１から繰り出されたシート部材１００は、付着物１０１が付着された表面が下向きになるようにして、補助ロール１２２と補助ロール１３２によってガイドされて搬送され、巻取機構１３０の巻取ロール１３１に巻き取られる。
（押圧部材１４０）
押圧部材１４０は、実施形態では先端が尖った押圧ブレードである。押圧部材１４０は、補助ロール１２２と補助ロール１３２との間に配置され、シート部材１００の裏面側からシート部材１００に押し当てられる。実施形態において、シート部材１００の表面は下向きであるので、押圧部材１４０はシート部材１００を上から下に押圧する。
押圧部材１４０が、シート部材１００に裏面側から押し当てられると、シート部材１００は柔軟性があるので、押圧部材１４０の先端形状に追従して折れ曲がる。一方、シート部材１００に付着している付着物１０１は、実施形態ではセラミックグリーンシートであって、押圧部材１４０の先端形状と同じようには折れ曲がりにくい。そして、シート部材１００の表面には離型剤が塗布されているので、付着物１０１とシート部材１００との間に隙間が生じ、付着物１０１がシート部材１００から剥離して下方に落下する。このようにしてシート部材１００から付着物１０１が分離される。
押圧部材１４０の先端半径Ｒは、１ｍｍより大きいと付着物１０１とシート部材１００との折れ曲がりの程度に差が生じにくくなり、シート部材１００から付着物１０１を剥離することが困難となる。また、０．１ｍｍより小さいとシート部材１００が、カット刃０３により入った切れ目から破断するなど損傷する可能性がある。ゆえに、押圧部材１４０の先端半径Ｒは１ｍｍ以下であり、０．１ｍｍ以上０．５ｍｍ以下が好ましい。
押圧部材１４０により表面側が凸になるように押圧されたシート部材１００は、折曲角度θ１で折り曲げられる。折曲角度θ１は、９０°より大きいと付着物１０１とシート部材１００との折れ曲がりの程度に差が生じにくくなり、シート部材１００から付着物１０１を剥離することが困難となる。ゆえに、折曲角度θ１は９０°以下であり、３０°以上７０°以下が好ましく、３０°以上６０°以下がさらに好ましい。
（広域エアーノズル１５０）
上述のように、付着物１０１は、はしご状に形成されている。付着物１０１のうち幅方向付着物１０１ｂは、長手方向Ｌの長さが短いので、押圧部材１４０で押圧されたときも亀裂が生じにくく、剥離のきっかけが形成されにくい。そこで、実施形態の付着物除去装置１は、幅方向付着物１０１ｂを剥離しやすくするために、広域エアーノズル１５０を備える。
図８は、広域エアーノズル１５０と部分エアーノズル１６０との位置を説明する図であり、図７に示した付着物除去装置１を下から上に向かって見た図である。広域エアーノズル１５０は、シート部材１００の幅方向Ｗに渡って、一定の間隔で配置された複数の噴出口１５１を有する。
広域エアーノズル１５０は、押圧部材１４０が配置されている位置よりも、シート部材１００の搬送方向Ｈ下流側に配置されている。広域エアーノズル１５０の噴出口１５１は、図７及び図８に示すように押圧部材１４０から搬送方向Ｈにおいて距離Ｌ１離れた位置であって、図７に示すようにシート部材１００から距離Ｔ１離れた位置に配置されている。Ｌ１は、５ｍｍ以上３０ｍｍ以下、Ｔ１は３ｍｍ以上２０ｍｍ以下が好ましい。
エアーは、広域エアーノズル１５０の噴出口１５１から、シート部材１００の押圧部材１４０によって折り曲げられている位置に向かって噴射される。広域エアーノズル１５０から噴射されるエアーの流量は、２００Ｌ／ｍｉｎ以上４００Ｌ／ｍｉｎ以下が好ましい。
広域エアーノズル１５０は、幅方向Ｗの一方から他方に渡って、少なくとも、はしご状の付着物１０１が付着されている領域全域に渡ってエアーを吹き付ける。広域エアーノズル１５０は、はしご状の付着物１０１が付着されている領域よりも幅方向Ｗにおいて広い領域にエアーを吹き付けることが好ましい。
（部分エアーノズル１６０）
このように、付着物１０１は、押圧部材１４０、及び、広域エアーノズル１５０によって除去されるが、はしご状に付着しているうちの、長手方向Ｌに延びる２本の長手方向付着物１０１ａについては、量が多いので、さらに残る場合がある。
そこで、実施形態の付着物除去装置１は、さらに、部分エアーノズル１６０を備える。部分エアーノズル１６０は、シート部材１００の幅方向Ｗの一方に向かってエアーを吹き付ける部分エアーノズル１６０ａと、シート部材１００の幅方向Ｗの他方に向かってエアーを吹き付ける部分エアーノズル１６０ｂとの２つ設けられ、それぞれ噴出口１６１を有する。２つの噴出口１６１間の幅は６０ｍｍ以上１５０ｍｍ以下好ましい。部分エアーノズル１６０ａと部分エアーノズル１６０ｂとは、それぞれシート部材１００の１５％以上２５％以下の長さの領域に対してエアーを吹き付ける。
部分エアーノズル１６０は、広域エアーノズル１５０と同様に、押圧部材１４０が配置されている位置よりも、シート部材１００の搬送方向Ｈ下流側に配置されている。部分エアーノズル１６０の噴出口１５１も、押圧部材１４０に対して搬送方向Ｈにおいて距離Ｌ１、シート部材１００に対して距離Ｔ１離れた位置に配置されている。Ｌ１は、５ｍｍ以上３０ｍｍ以下、Ｔ１は３ｍｍ以上２０ｍｍ以下が好ましい。また、部分エアーノズル１６０の噴出口１６１からエアーは、シート部材１００の押圧部材１４０によって折り曲げられている位置に向かって噴射される。部分エアーノズル１６０から噴射されるエアーの流量は、広域エアーノズル１５０と同様に、２００Ｌ／ｍｉｎ以上４００Ｌ／ｍｉｎ以下が好ましい。
（裏面側エアーノズル１７０）
また、繰出ロール１２１上でのシート部材１００の巻締まりによって、剥離剤が塗工されていないシート部材１００裏面に、付着物１０１がバインダを含むため、転写される場合がある。特に、紙管に近い巻はじめの３０ｍｍ程度において、転写の発生が顕著になる。付着物１０１が転写されたままでシート部材１００が搬送されると、転写された付着物１０１が押圧部材１４０のところでかき出されて堆積し、押圧部材１４０による押圧に支障をきたす場合がある。
そこで、実施形態の付着物除去装置１は、シート部材１００の裏面側に、エアーを吹き付けて転写した付着物１０１を吹き飛ばす裏面側エアーノズル１７０をさらに備える。裏面側エアーノズル１７０は、らせん状にエアーを噴出する、例えばパタガンが好ましい。
裏面側エアーノズル１７０は、シート部材１００の搬送方向Ｈにおいて押圧部材１４０よりも上流側に配置されている。実施形態で裏面側エアーノズル１７０は、シート部材１００の繰出ロール１２１の円周に沿った軌道から直線軌道に変わる変曲点近傍にエアーを吹き付けるように配置されている。
また、裏面側エアーノズル１７０とシート部材１００におけるエアーが吹き付けられる位置との間の距離は、繰り出しロール１２１からシート部材が繰り出されるにつれて、径が小さくなる。しかし、図示しない駆動部によって、繰出ロール１２１に巻かれているシート部材１００の量にかかわらず、エアーの吹き出し位置と、シート部材１００におけるエアーが吹き付けられる位置との間の距離が一定となるように、移動可能となっている。したがって、常に一定の風速及び風量で、シート部材１００に対して空気を吹き付けることができる。
裏面側エアーノズル１７０は、実施形態では、エアー圧０．５ＭＰａ、エアー量１１０Ｌ／ｍｉｎであり、付着物１０１の除去速度は２００ｍ／ｍｉｎ相当となる。
実際に１．７μｍ、３．４μｍ、３．３５μｍの微粒子を用いて実験を行った結果、裏面側エアーノズル１７０とシート部材１００との距離が５０ｍｍの場合、１．７μｍ、３．４μｍ、３．３５μｍの付着物を除去可能であった。裏面側エアーノズル１７０とシート部材１００との距離が１００ｍｍの場合、同様に１．７μｍ、３．４μｍ、３．３５μｍの付着物を除去可能であった。裏面側エアーノズル１７０とシート部材１００との距離が１５０ｍｍの場合、３．４μｍ、３．３５μｍの付着物を除去可能であったが１．７μｍは除去できなかった。裏面側エアーノズル１７０とシート部材１００との距離が２００ｍｍの場合、１．７μｍ、３．４μｍ、３．３５μｍのいずれも除去できなかった。ゆえに、裏面側エアーノズル１７０とシート部材１００との距離は、５０ｍｍ以上１００以下が好ましい。
（集塵機構１８０）
集塵機構１８０は、付着物除去部１１０の下方に配置された吸引フード１８１と、吸引フード１８１と連結されたＳＵＳドラム１８２と、ＳＵＳドラム１８２を介して、吸引フード１８１内を吸引するバキューム装置１８３とを備える。シート部材１００から剥離された付着物１０１は、吸引フード１８１内に落下し、バキューム装置１８３により吸引されてＳＵＳドラム１８２内に集められる。
第１実施形態の付着物除去装置１を用いた付着物除去方法によると。繰出ロール１２１から繰り出されたシート部材１００は、付着物１０１が付着された表面が下向きになるようにして、補助ロール１２２と補助ロール１３２によってガイドされて搬送され、巻取機構１３０の巻取ロール１３１に巻き取られる。
押圧部材１４０が、シート部材１００に裏面側から押し当てられると、シート部材１００は薄いので、押圧部材１４０の先端形状に追従して折れ曲がる。一方、シート部材１００に付着している付着物１０１は、実施形態ではセラミックグリーンシートであってシート部材１００より厚みがあり、押圧部材１４０の先端形状と同じようには折れ曲がりにくい。ゆえに、シート部材１００と、付着物１０１との間に隙間が生じ、付着物１０１がシート部材１００から剥離して下方に落下する。このようにしてシート部材１００から付着物１０１が分離される。
このとき、付着物１０１のうち幅方向付着物１０１ｂは、押圧部材１４０で押されたときも亀裂が生じにくく、剥離のきっかけが形成されにくい。しかし、実施形態の付着物除去装置１は、広域エアーノズル１５０を備え、幅方向付着物１０１ｂにエアーが吹き付けられるので、幅方向付着物１０１ｂに亀裂を生じやすくすることができ、付着物１０１の除去効率が向上される。
さらに、広域エアーノズル１５０は、幅方向Ｗにおいて広い領域にエアーを吹き付けるので、シート部材１００が蛇行したとしても、付着物１０１全体にまんべんなく空気を吹き付けることができる。
また、はしご状に付着しているうちの、長手方向Ｌに延びる２本の長手方向付着物１０１ａに対しては、さらに、部分エアーノズル１６０によってエアーが吹き付けられるので、長手方向付着物１０１ａもより効果的に除去することができる。
さらに、実施形態によると、シート部材１００の裏面側に、エアーを吹き付ける裏面側エアーノズル１７０が設けられているので、剥離剤の塗工されていないシート部材１００裏面に転写された付着物１０１を吹き飛ばすことができる。したがって、付着物１０１が押圧部材１４０のところで堆積することがない。
そして、付着物除去装置１により付着物１０１が除去されたシート部材１００を粉砕してＰＥＴのペレットを形成し、ペレットをシート部材１００として再生することで、シート部材１００のリサイクル方法を提供することができる。
さらに、このように再生されたシート部材１００上にセラミックグリーンシートとなるスラリーがシート状に塗布される。次いで、シート部材１００のセラミックグリーンシートがシート状に塗布された表面に電極パターンを印刷される。そして、電極パターンが印刷されたセラミックグリーンシートを矩形に切断し、シート部材１００から、シート剥離装置２００を用いて剥離される。剥離したセラミックグリーンシート１０１ｃを積層してマザーブロック積層体２１０を形成する。マザーブロック積層体２１０を、所定の大きさに切断し、複数の積層体チップ２２０を得る。その後、積層体チップ２２０を焼成し、外表面に外部電極３１０を形成することで、電子部品としての積層セラミックコンデンサ３００を製造する製造方法を提供することができる。
（第２実施形態）
図９は第２実施形態の付着物除去装置２を説明する図である。付着物除去装置２は、第１実施形態の付着物除去装置２と異なり、押圧部材及びエアーノズルは設けられておらず、押圧刃部材２０が配置されている。その他の部分については第１実施形態と同様であるので、同様の部分には第１実施形態と同一の符号を付し、説明を省略する。
（押圧刃部材２０）
押圧刃部材２０は、刃軸Ａに沿って延び、刃軸Ａと直交する断面形状において湾曲した刃先２１を有する。図１０は押圧刃部材２０の先端の刃先２１の斜視図である。刃先２１の湾曲形状は、例えば円弧状又は楕円弧状である。
図１１は、押圧刃部材２０のシート部材１００に対する位置を説明する図である。図示するように、押圧刃部材２０はシート部材１００の幅方向Ｗに複数並んで配置されている。また、幅方向Ｗに並んで複数の配置された押圧刃部材２０の列は、搬送方向Ｈの異なる複数の位置にそれぞれ配置されている。押圧刃部材２０の列は、搬送方向Ｈ上流側から下流側に向かって搬送方向の位置Ｈ１に配置された前列２０Ａと、搬送方向の位置Ｈ２に配置された後列２０Ｂとの異なる２箇所に配置されている。
また、刃軸Ａは、図９に示すようにシート部材１００に対して接触角度θ２で傾いた状態で配置されている。接触角度θ２は１０°以上２０°以下が好ましい。
前列２０Ａにおける互いに隣り合う押圧刃部材２０の間の幅方向Ｗでの位置の搬送方向Ｈ下流側に、幅方向Ｗの中心がくるように後列２０Ｂの押圧刃部材２０は配置されている。そして、幅方向Ｗにおける、前列２０Ａの押圧刃部材２０がシート部材１００を押圧する領域と、後列２０Ｂの押圧刃部材２０がシート部材１００を押圧する領域とは、一部重複している。すなわち、前列２０Ａの押圧刃部材２０の刃先２１と、後列２０Ｂの押圧刃部材２０の刃先２１とは、幅方向Ｗにおいて一部重複したシート部材１００の領域を押圧する。
また、刃軸Ａは、シート部材１００の搬送方向Ｈに対して、図１１に示すように角度αで、若干斜めに配置されている。
第２実施形態の付着物除去装置２を用いた付着物除去方法によると、繰出ロール１２１から繰り出されたシート部材１００は、付着物１０１が付着された表面が下向きになるようにして、補助ロール１２２と補助ロール１３２によってガイドされて搬送され、巻取機構１３０の巻取ロール１３１に巻き取られる。
押圧刃部材２０は、シート部材１００が繰出機構１２０の繰出ロール１２１から繰り出されて巻取機構１３０の巻取ロール１３１により巻き取られるまでの間の搬送中において、刃軸Ａが、シート部材１００の搬送方向Ｈに沿い且つシート部材１００に対して垂直方向に角度θ２傾いた状態で、刃先２１でシート部材１００の表面を押圧する。
シート部材１００には所定の張力が加えられており、カット刃２０３が押し当てられることで、シート部材１００はカット刃２０３の形状に沿って湾曲する。そして、シート部材１００の付着物１０１は、押圧刃部材２０の刃先２１によって欠き取られて剥離される。
このとき、刃先２１でシート部材１００を押圧すると、シート部材１００が刃先２１の湾曲形状に追従して湾曲するので、刃先２１がシート部材１００に食い込んで、付着物１０１を効率的に剥離させることができる。また、刃先２１が湾曲しているので、直線刃と比べて、シート部材１００を破損しにくい。
このとき、例えば幅方向付着物１０１ｂのうちの、前列２０Ａにおいて幅方向Ｗに並ぶ押圧刃部材２０と押圧刃部材２０との間を通るものは、前列２０Ａの押圧刃部材２０によって十分に欠き取られずに残ってしまう場合がある。
しかし、前列２０Ａにおける互いに隣り合う押圧刃部材２０の間の幅方向Ｗ位置の搬送方向Ｈ下流側に、後列２０Ｂの押圧刃部材２０が配置されている。したがって、幅方向付着物１０１ｂのうちの、前列２０Ａにおいて幅方向Ｗに並ぶ押圧刃部材２０と押圧刃部材２０との間を通って欠き取られずに残ってしまったものは、後列２０Ｂの押圧刃部材２０によって欠き取られる。ゆえに付着物１０１を十分に除去することができる。
シート部材１００と押圧刃部材２０の刃先２１との接触角度θ２が２０°より大きいと、付着物１０１を滑らかに剥離することが難しく、刃先２１が付着物１０１に引っかかることにより刃先２１が破損したりする可能性がある。また、１０°より小さいと、押圧刃部材２０の刃先２１以外の部分がシート部材１００に当接してシート部材１００の搬送を妨げる可能性がある。しかし、実施形態の刃軸Ａは、シート部材１００に対して１０°以上２０°以下の接触角度θ２で傾いた状態で配置されているので、このようなことがない。
刃軸Ａは、シート部材１００の搬送方向Ｈに対して、図１１に示すわずかな角度αで、若干斜めに配置されている。ゆえに切断痕をきっかけにしたシート部材１００の破損が防止される。
図１２は、シート部材１００上の全面に付着物１０１が付着した状態において押圧刃部材２０が付着物１０１を剥離する状態を説明する図である。第２実施形態の付着物除去装置２によると、はしご状の付着物１０１だけでなく、図１２に示すような、シート部材１００の全面に付着した付着物１０１も効果的に除去することができる。
そして、付着物除去装置２により付着物１０１が除去されたシート部材１００を粉砕してＰＥＴのペレットを形成し、ペレットをシート部材１００として再生することで、シート部材１００のリサイクル方法を提供することができる。
さらに、このように再生されたシート部材１００上にセラミックグリーンシートとなるスラリーがシート状に塗布する。次いで、シート部材１００のセラミックグリーンシートがシート状に塗布された表面に電極パターンを印刷する。そして、電極パターンが印刷されたセラミックグリーンシートを矩形に切断し、シート部材１００から、シート剥離装置２００を用いて剥離する。剥離したセラミックグリーンシート１０１ｃを積層してマザーブロック積層体２１０を形成する。マザーブロック積層体２１０を、所定の大きさに切断し、複数の積層体チップ２２０を得る。その後、積層体チップ２２０の外表面に外部電極３１０を形成することで、電子部品としての積層セラミックコンデンサ３００を製造する製造方法を提供することができる。
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は以下の組み合わせを含む。
＜１＞長尺状のシート部材を繰り出す繰出機構と、前記繰出機構により繰り出された前記シート部材を巻き取る巻取機構と、前記繰出機構により繰り出されて前記巻取機構により巻き取られるまでの間において、前記シート部材を裏面側から押圧して、前記シート部材の表面側が凸になるように折り曲げる押圧部材と、前記押圧部材よりも前記シート部材の搬送方向上流側において、前記シート部材の前記裏面側に、エアーを吹き付ける裏面側エアーノズルと、前記シート部材から剥離した付着物を集塵する集塵機構と、を備えるシート部材からの付着物除去装置。
＜２＞前記繰出機構は、前記シート部材が巻かれた繰出ロールを備え、前記繰出ロールに巻かれている前記シート部材の量にかかわらず、前記裏面側エアーノズルは、前記エアーの吹き出し位置と、前記裏面側エアーノズルによってエアーが吹き付けられる前記シート部材との間の距離が一定となるように、前記吹き出し位置が可変である、＜１＞に記載の付着物除去装置。
＜３＞前記裏面側エアーノズルから前記エアーは、らせん状に噴射される、＜１＞又は＜２＞に記載の付着物除去装置。
＜４＞表面に付着物が付着している長尺状のシート部材を繰り出し、前記シート部材の裏面側に、裏面側エアーノズルによってエアーを吹き付けて、前記表面より裏面に転写された付着物を除去し、前記シート部材を、裏面側から押圧部材によって押圧して、前記シート部材の表面側が凸になるように折り曲げることで、前記シート部材の前記表面の前記付着物を剥離させ、前記シート部材から剥離し前記付着物を集塵し、前記付着物が剥離した前記シート部材を巻き取る、シート部材からの付着物除去方法。
＜５＞表面に付着物が付着している長尺状のシート部材を繰り出し、前記シート部材の裏面側に、裏面側エアーノズルによってエアーを吹き付けて、前記表面より裏面に転写された付着物を除去し、繰り出された前記シート部材を、裏面側から押圧部材によって押圧して、前記シート部材の表面側が凸になるように折り曲げることで、前記シート部材の前記表面の前記付着物を剥離させ、前記シート部材から剥離し前記付着物を集塵し、前記付着物が剥離した前記シート部材を巻き取り、前記付着物が除去された前記シート部材を粉砕してペレットを形成する、シート部材のリサイクル方法。
＜６＞表面に付着物が付着している長尺状のシート部材を繰り出し、前記シート部材の裏面側に、裏面側エアーノズルによってエアーを吹き付けて、前記表面より裏面に転写された付着物を除去し、繰り出された前記シート部材を、裏面側から押圧部材によって押圧して、前記シート部材の表面側が凸になるように折り曲げることで、前記シート部材の前記表面の前記付着物を剥離させ、前記シート部材から剥離し前記付着物を集塵し、前記付着物が剥離した前記シート部材を巻き取り、前記付着物が除去された前記シート部材を粉砕してペレットを形成し、前記ペレットを用いて長尺状のシート部材を再生し、再生された前記シート部材上にセラミックグリーンシートを形成し、前記セラミックグリーンシートを用いて電子部品を製造する、電子部品の製造方法。
θ１ 折曲角度
θ２ 接触角度
Ａ 刃軸
１，２ 付着物除去装置
２ 付着物除去装置
２０ 押圧刃部材
２０Ａ 前列
２０Ｂ 後列
２１ 刃先
１００ シート部材
１０１ 付着物
１０１ａ 長手方向付着物
１０１ｂ 幅方向付着物
１０１ｃ セラミックグリーンシート
１１０ 付着物除去部
１２０ 繰出機構
１２１ 繰出ロール
１２２ ブレーキ
１２２ 補助ロール
１３０ 巻取機構
１３１ 巻取ロール
１３２ 補助ロール
１４０ 押圧部材
１５０ 広域エアーノズル
１５１ 噴出口
１６０，１６０ａ，１６０ｂ 部分エアーノズル
１６１ 噴出口
１７０ 裏面側エアーノズル
１８０ 集塵機構
２００ シート剥離装置
３００ 積層セラミックコンデンサ

Claims (6)

  1. 長尺状のシート部材を繰り出す繰出機構と、
    前記繰出機構により繰り出された前記シート部材を巻き取る巻取機構と、
    前記繰出機構により繰り出されて前記巻取機構により巻き取られるまでの間において、前記シート部材を裏面側から押圧して、前記シート部材の表面側が凸になるように折り曲げる押圧部材と、
    前記押圧部材よりも前記シート部材の搬送方向上流側において、
    前記シート部材の前記裏面側に、エアーを吹き付ける裏面側エアーノズルと、
    前記シート部材から剥離した付着物を集塵する集塵機構と、
    を備えるシート部材からの付着物除去装置。
  2. 前記繰出機構は、前記シート部材が巻かれた繰出ロールを備え、前記繰出ロールに巻かれている前記シート部材の量にかかわらず、
    前記裏面側エアーノズルは、前記エアーの吹き出し位置と、前記裏面側エアーノズルによってエアーが吹き付けられる前記シート部材との間の距離が一定となるように、前記吹き出し位置が可変である、
    請求項１に記載の付着物除去装置。
  3. 前記裏面側エアーノズルから前記エアーは、らせん状に噴射される、
    請求項２に記載の付着物除去装置。
  4. 表面に付着物が付着している長尺状のシート部材を繰り出し、
    前記シート部材の裏面側に、裏面側エアーノズルによってエアーを吹き付けて、前記表面より裏面に転写された付着物を除去し、
    前記シート部材を、裏面側から押圧部材によって押圧して、前記シート部材の表面側が凸になるように折り曲げることで、前記シート部材の前記表面の前記付着物を剥離させ、
    前記シート部材から剥離し前記付着物を集塵し、
    前記付着物が剥離した前記シート部材を巻き取る、
    シート部材からの付着物除去方法。
  5. 表面に付着物が付着している長尺状のシート部材を繰り出し、
    前記シート部材の裏面側に、裏面側エアーノズルによってエアーを吹き付けて、前記表面より裏面に転写された付着物を除去し、
    繰り出された前記シート部材を、裏面側から押圧部材によって押圧して、前記シート部材の表面側が凸になるように折り曲げることで、前記シート部材の前記表面の前記付着物を剥離させ、
    前記シート部材から剥離し前記付着物を集塵し、
    前記付着物が剥離した前記シート部材を巻き取り、
    前記付着物が除去された前記シート部材を粉砕してペレットを形成する、
    シート部材のリサイクル方法。
  6. 表面に付着物が付着している長尺状のシート部材を繰り出し、
    前記シート部材の裏面側に、裏面側エアーノズルによってエアーを吹き付けて、前記表面より裏面に転写された付着物を除去し、
    繰り出された前記シート部材を、裏面側から押圧部材によって押圧して、前記シート部材の表面側が凸になるように折り曲げることで、前記シート部材の前記表面の前記付着物を剥離させ、
    前記シート部材から剥離し前記付着物を集塵し、
    前記付着物が剥離した前記シート部材を巻き取り、
    前記付着物が除去された前記シート部材を粉砕してペレットを形成し、
    前記ペレットを用いて長尺状のシート部材を再生し、
    再生された前記シート部材上にセラミックグリーンシートを形成し、
    前記セラミックグリーンシートを用いて電子部品を製造する、
    電子部品の製造方法。
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