JP2007294938A - 被加工物のクリーニング方法及びクリーニング装置、並びにプリント配線板の製造方法及び製造装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 クリーニング装置100においては、貫通孔3が形成されたプリプレグシート1が搬送機構17で搬送されている。このとき、圧縮空気発生装置12で圧縮された空気が、空気清浄用フィルタ18及び空気イオン化装置20を介して、渦流発生装置を有するブロー噴射部7の吹出し口7bから、イオン化された清浄な渦流空気流として噴射され、吹出し口7bを形成する壁部7aの内壁面7c上を経由して外端部7dからプリプレグシート1に吹き付けられる。これにより、プリプレグシート1の表面及び貫通孔3の内部の物質を確実に除去することができる。
【選択図】 図1
Description
これにより、図3(g)に示されるように、エポキシシート1の厚さがt1=約100μmからt2=約80μmに圧縮される。このとき、エポキシシート1と金属箔5a,5bとが接着され、両面の金属箔5a,5bが、所定の位置の貫通孔3に充填された導電性ペースト4によって電気的に接続される。
Claims (32)
- 加工孔が形成された被加工物に渦流空気流を吹き付けることで、前記被加工物の表面及び前記加工孔の内部の物質を除去することを特徴とする被加工物のクリーニング方法。
- 前記被加工物の表面に対して30°〜150°の角度で前記渦流空気流を吹き付けることを特徴とする請求項1記載の被加工物のクリーニング方法。
- 前記渦流空気流に対して前記被加工物を相対的に移動させることを特徴とする請求項1又は2記載の被加工物のクリーニング方法。
- 前記加工孔は貫通孔であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項記載の被加工物のクリーニング方法。
- 前記被加工物の表面との距離が10mm以下の位置から前記渦流空気流を吹き付けることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項記載の被加工物のクリーニング方法。
- 前記物質は固体の異物であることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項記載の被加工物のクリーニング方法。
- 前記物質は液体の異物であることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項記載の被加工物のクリーニング方法。
- 前記渦流空気流は圧縮空気であることを特徴とする請求項1〜7のいずれか一項記載の被加工物のクリーニング方法。
- 前記渦流空気流はイオン化されたものであることを特徴とする請求項1〜7のいずれか一項記載の被加工物のクリーニング方法。
- 請求項1〜9のいずれか一項記載の被加工物のクリーニング方法を使用してプリント配線板を製造するプリント配線板の製造方法であって、
前記被加工物は、前記プリント配線板に用いられる絶縁基材であり、前記加工孔は、層間導通用貫通孔であることを特徴とするプリント配線板の製造方法。 - 前記絶縁基材は、接着性を有する樹脂含浸基材であることを特徴とする請求項10記載のプリント配線板の製造方法。
- 前記樹脂含浸基材は、ガラスを含む織布若しくは不織布に熱硬化型樹脂を含浸させたもの、又はポリエチレンテレフタレートフィルム上に熱硬化型樹脂を塗布したものであることを特徴とする請求項11記載のプリント配線板の製造方法。
- 前記層間導通用貫通孔は、導電性ペーストを充填するためのものであることを特徴とする請求項10〜12のいずれか一項記載のプリント配線板の製造方法。
- 前記層間導通用貫通孔は、前記絶縁基材にレーザ光線又は超硬ドリルによって形成されたものであることを特徴とする請求項10〜13のいずれか一項記載のプリント配線板の製造方法。
- 前記絶縁基材の両面には、略一定の厚さを有する剥離可能な樹脂製フィルムがラミネートされていることを特徴とする請求項10〜14のいずれか一項記載のプリント配線板の製造方法。
- 30m/分以上の流速で前記渦流空気流を吹き付けることを特徴とする請求項10〜15のいずれか一項記載のプリント配線板の製造方法。
- 接着性を有する前記絶縁基材にレーザ光線又は超硬ドリルによって形成された前記層間導通用貫通孔に導電性ペーストを充填し、
回路パターンが形成された内層用回路基板の両側に前記絶縁基材及び金属箔を積層して加熱加圧することを特徴とする請求項10〜16のいずれか一項記載のプリント配線板の製造方法。 - 前記内層用回路基板は、別の前記絶縁基材にレーザ光線又は超硬ドリルによって形成された別の前記層間導通用貫通孔に導電性ペーストを充填した後、別の前記絶縁基材の両面に金属箔を積層して加熱加圧し、前記回路パターンを形成したものであることを特徴とする請求項17記載のプリント配線板の製造方法。
- 前記絶縁基材にレーザ光線又は超硬ドリルによって形成された前記層間導通用貫通孔に導電性ペーストを充填した後、前記絶縁基材の両面に金属箔を積層して加熱加圧し、回路パターンを形成することで内層用回路基板を作製し、
少なくとも2枚の前記内層用回路基板と、接着性を有する別の前記絶縁基材とを交互に積層し、最外層に金属箔を積層して加熱加圧することを特徴とする請求項10〜16のいずれか一項記載のプリント配線板の製造方法。 - 別の前記絶縁基材は、別の前記絶縁基材にレーザ光線又は超硬ドリルによって形成された別の前記層間導通用貫通孔に導電性ペーストを充填したものであることを特徴とする請求項19記載のプリント配線板の製造方法。
- 加工孔が形成された被加工物を搬送する搬送機構と、
前記搬送機構によって搬送される前記被加工物に渦流空気流を吹き付けるブロー噴射部と、を備え、
前記ブロー噴射部は、前記渦流空気流の吹出し口を形成する壁部、及び前記搬送機構の搬送方向における前記吹出し口の端部を包囲するように前記壁部に立設された外端部を有することを特徴とする被加工物のクリーニング装置。 - 前記吹出し口は、前記搬送方向と略直交する方向に延在するスリット形状であることを特徴とする請求項21記載の被加工物のクリーニング装置。
- 前記ブロー噴射部の上流側には、空気清浄用フィルタが設けられていることを特徴とする請求項21又は22記載の被加工物のクリーニング装置。
- 請求項21〜23のいずれか一項記載の被加工物のクリーニング装置を具備するプリント配線板の製造装置であって、
前記被加工物は、プリント配線板に用いられる絶縁基材であり、前記加工孔は、層間導通用貫通孔であって、
前記ブロー噴射部は、前記搬送機構による前記プリント配線板の搬送方向に対して所定の角度で、且つ前記外端部と前記プリント配線板とが所定の間隔で前記渦流空気流を吹き付けることを特徴とするプリント配線板の製造装置。 - 前記渦流空気流をイオン化する空気イオン化装置を備えることを特徴とする請求項24記載のプリント配線板の製造装置。
- 前記所定の角度は30°〜150°であることを特徴とする請求項24又は25記載のプリント配線板の製造装置。
- 前記所定の間隔は1.0mm〜10.0mmであることを特徴とする請求項24〜26のいずれか一項記載のプリント配線板の製造装置。
- 前記壁部の内壁面は平面且つ鏡面仕上げであることを特徴とする請求項24〜27のいずれか一項記載のプリント配線板の製造装置。
- 前記壁部の内壁面は曲面であることを特徴とする請求項24〜27のいずれか一項記載のプリント配線板の製造装置。
- 前記外端部は、前記搬送機構の搬送方向における前記吹出し口の端部を所定の曲率で包囲していることを特徴とする請求項24〜29のいずれか一項記載のプリント配線板の製造装置。
- 前記搬送機構は、前記プリント配線板が載置される搬送コンベア、前記プリント配線板を搬送コンベアに抑える搬送ローラを有することを特徴とする請求項24〜30のいずれか一項記載のプリント配線板の製造装置。
- 前記搬送コンベアは、所定の厚さを有するメッシュベルトであることを特徴とする請求項31記載のプリント配線板の製造装置。
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