JP2024007948A - 液体吐出ヘッド、液体吐出装置、及び、ノズル基板 - Google Patents

Abstract

【課題】液体が吐出する方向を吐出面に垂直な方向からずれることを抑制すること。【解決手段】液体吐出ヘッドは、第１駆動素子と、圧力室基板に区画され、第１駆動素子の駆動により液体に圧力を付与する第１圧力室と、ノズル基板に形成され、第１圧力室と連通し、液体を吐出する第１ノズルと、を備え、ノズル基板は、第１面と、第１面よりも圧力室基板に近い第２面と、を有し、第１ノズルは、第２面に開口した第１供給開口と、第１供給開口に対向する第１底面と、を含む第１上流ノズル部分と、第１面に開口した第１吐出開口と、第１底面に開口した第１接続部とを含む第１下流ノズル部分と、を含み、ノズル基板の厚さ方向にみたとき、第１上流ノズル部分の断面積は、第１下流ノズル部分の断面積よりも大きく、厚さ方向にみたとき、第１接続部の重心は、第１吐出開口の重心と第１底面の重心との間に位置する。【選択図】図４

Description

本発明は、液体吐出ヘッド、液体吐出装置、及び、ノズル基板に関する。

従来から、インク等の液体を吐出するノズルを有するノズル基板を有し、ノズルから媒体に液体を吐出することで、媒体に画像を形成する液体吐出ヘッドが知られている。例えば、特許文献１には、ノズル基板の２つの面のうち液体を吐出する吐出面に開口する下流ノズル部分と、下流ノズル部分よりも、液体が流動する流路の近くに位置する上流ノズル部分とを有するノズルを有する液体吐出ヘッドが開示されている。

吐出面に垂直な方向に対してノズルが傾斜していると、液体が吐出する方向が、吐出面に垂直な方向からずれるため、液体が媒体に着弾する位置が理想の着弾位置からずれる。液体が媒体に着弾する位置が理想の着弾位置からずれると、媒体に形成される画像の質が低下する。そこで、特許文献１では、製造プロセスにおいて、露光補正部材を通過した光線によって、ノズルを形成する感光性樹脂材料をパターニングすることにより、吐出面に垂直な方向に対するノズルの傾斜を抑制することが開示されている。

特開２０１４－２００９２０号公報

しかしながら、ノズル基板が感光性樹脂材料で形成されない場合には、上述の従来技術を適用することができない。また、ノズル基板が感光性樹脂材料で形成される場合であっても、露光補正部材の配置によっては、吐出面に垂直な方向に対する下流ノズル部分の傾きを抑制できずに、液体が吐出する方向が吐出面に垂直な方向からずれてしまい、液体が着弾する位置が理想の着弾位置からずれる場合がある。そこで本発明においては、ノズルの傾斜による液体の着弾位置ずれの抑制が可能な液体吐出ヘッド、液体吐出装置、及び、ノズル基板を提供する。

本発明の好適な態様に係る液体吐出ヘッドは、第１駆動素子と、圧力室基板に区画され、前記第１駆動素子の駆動により液体に圧力を付与する第１圧力室と、ノズル基板に形成され、前記第１圧力室と連通し、液体を吐出する第１ノズルと、を備え、前記ノズル基板は、第１面と、前記第１面よりも前記圧力室基板に近い第２面と、を有し、前記第１ノズルは、前記第２面に開口した第１供給開口と、前記第１供給開口に対向する第１底面と、を含む第１上流ノズル部分と、前記第１面に開口した第１吐出開口と、前記第１底面に開口した第１接続部と、を含む第１下流ノズル部分と、を含み、前記ノズル基板の厚さ方向にみたとき、前記第１上流ノズル部分の断面積は、前記第１下流ノズル部分の断面積よりも大きく、前記厚さ方向にみたとき、前記第１接続部の重心は、前記第１吐出開口の重心と前記第１底面の重心との間に位置する、ことを特徴とする。

本発明の好適な態様に係る液体吐出装置は、上述の液体吐出ヘッドを備える、ことを特徴とする。

本発明の好適な態様に係るノズル基板は、液体を吐出する第１ノズルを備えるノズル基板であって、第１面と、前記第１面とは反対側に位置する第２面とを有し、前記第１ノズルは、前記第２面に開口した第１供給開口と、前記第１供給開口に対向する第１底面と、を含む第１上流ノズル部分と、前記第１面に開口した第１吐出開口と、前記第１底面に開口した第１接続部と、を含む第１下流ノズル部分と、を含み、前記ノズル基板の厚さ方向にみたとき、前記第１上流ノズル部分の断面積は、前記第１下流ノズル部分の断面積よりも大きく、前記厚さ方向にみたとき、前記第１接続部の重心は、前記第１吐出開口の重心と前記第１底面の重心との間に位置する、ことを特徴とする。

液体吐出装置１００の構成例を示す概略図。 液体吐出ヘッド１０の分解斜視図。 液体吐出ヘッド１０の断面図。 図３のノズルＮ付近を拡大した図。 ノズルＮ付近の平面図。 第１参考例におけるノズル基板４６－Ａを説明する図。 第２参考例におけるノズル基板４６－Ｂを説明する図。 隣り合うノズルＮの位置関係を説明するための図。 第１変形例に係るノズルＮ－Ｄ付近の平面図。 第２変形例に係るノズルＮ－Ｅの断面図。

以下、本発明を実施するための形態について図面を参照して説明する。ただし、各図において、各部の寸法及び縮尺は、実際のものと適宜に異ならせてある。また、以下に述べる実施形態は、本発明の好適な具体例であるから、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの形態に限られるものではない。

以下の説明は、便宜上、互いに交差するＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸を適宜に用いて行う。また、Ｘ軸に沿う一方向がＸ１方向であり、Ｘ１方向と反対の方向がＸ２方向である。同様に、Ｙ軸に沿って互いに反対の方向がＹ１方向及びＹ２方向である。また、Ｚ軸に沿って互いに反対の方向がＺ１方向及びＺ２方向である。

ここで、典型的には、Ｚ軸が鉛直な軸であり、Ｚ２方向が鉛直方向での下方向に相当する。言い換えれば、Ｚ２方向は、重力方向である。ただし、Ｚ軸は、鉛直な軸でなくともよく、鉛直な軸に対して傾斜してもよい。また、Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸は、典型的には互いに直交するが、これに限定されず、例えば、８０度以上１００度以下の範囲内の角度で交差すればよい。

１．第１実施形態
１－１．液体吐出装置１００の概略
図１は、液体吐出装置１００の構成例を示す概略図である。液体吐出装置１００は、液体の一例であるインクを液滴として媒体ＰＰに吐出するインクジェット方式の印刷装置である。本実施形態の液体吐出装置１００は、液体の一例であるインクを媒体ＰＰに吐出するインクジェット方式の印刷装置である。媒体ＰＰは、典型的には印刷用紙であるが、樹脂フィルム又は布帛等の任意の印刷対象が媒体ＰＰとして利用され得る。

図１に示すように、液体吐出装置１００は、駆動信号生成回路２と、液体容器１４と、制御モジュール６と、移動機構５と、複数の液体吐出ヘッド１０を有する液体吐出モジュールＨＵとを有する。本実施形態では、液体吐出モジュールＨＵは、４つの液体吐出ヘッド１０を有する。なお、制御モジュール６は、「制御部」の一例である。

液体容器１４は、インクを貯留する容器である。液体容器１４の具体的な態様としては、例えば、液体吐出装置１００に着脱可能なカートリッジ、可撓性のフィルムで形成された袋状のインクパック、及び、インクを補充可能なインクタンクが挙げられる。なお、液体容器１４に貯留されるインクの種類は任意である。

制御モジュール６は、例えば、ＣＰＵ又はＦＰＧＡ等の１又は複数の処理回路と、半導体メモリー等の１又は複数の記憶回路とを含む。ＣＰＵは、Central Processing Unitの略語である。ＦＰＧＡは、Field Programmable Gate Arrayの略語である。当該記憶回路には、各種プログラム及び各種データが記憶される。当該処理回路は、当該プログラムを実行するとともに当該データを適宜使用することにより各種制御を実現する。

移動機構５は、媒体ＰＰと液体吐出モジュールＨＵとの相対的な位置を変化させる。移動機構５は、搬送機構８と、ヘッド移動機構７とを有する。

搬送機構８は、制御モジュール６による制御のもとで、媒体ＰＰをＹ２方向に搬送する。図１に示す例では、搬送機構８は、Ｘ軸に沿って長尺な搬送ローラーと、当該搬送ローラーを回転させるモーターと、を含む。なお、搬送機構８は、搬送ローラーを用いる構成に限定されず、例えば、媒体ＰＰを外周面に静電力等により吸着させた状態で搬送するドラム又は無端ベルトを用いる構成でもよい。

ヘッド移動機構７は、制御モジュール６による制御のもとで、液体吐出モジュールＨＵを、Ｘ１方向及びＸ２方向に往復動させる。本実施形態では、Ｘ１方向及びＸ２方向が主走査方向であり、Ｙ２方向が副走査方向であることとする。このように、第１実施形態における液体吐出装置１００は、Ｘ軸に沿って往復動させるシリアル方式の液体吐出装置である。図１に示すように、ヘッド移動機構７は、液体吐出モジュールＨＵを収容する収納ケース７１と、収納ケース７１が固定された無端ベルト７２とを具備する。なお、液体容器１４を液体吐出モジュールＨＵとともに収納ケース７１に収納してもよい。

液体吐出モジュールＨＵは、制御モジュール６による制御のもとで、液体容器１４からインクを複数のノズルＮの夫々からＺ２方向に媒体ＰＰに吐出する。

制御モジュール６は、液体吐出ヘッド１０の吐出動作を制御する。具体的には、制御モジュール６は、液体吐出ヘッド１０を制御するための印刷信号ＳＩと、駆動信号生成回路２を制御するための波形指定信号ｄＣｏｍと、搬送機構８を制御するための信号と、ヘッド移動機構７を制御するための信号とを生成する。

波形指定信号ｄＣｏｍとは、駆動信号Ｃｏｍの波形を規定するデジタルの信号である。また、駆動信号Ｃｏｍとは、図２で後述する圧電素子ＰＺを駆動するためのアナログの信号である。駆動信号生成回路２は、ＤＡ変換回路を含み、波形指定信号ｄＣｏｍが規定する波形を有する駆動信号Ｃｏｍを生成する。

印刷信号ＳＩとは、圧電素子ＰＺの動作の種類を指定するためのデジタルの信号である。具体的には、印刷信号ＳＩは、圧電素子ＰＺに対して駆動信号Ｃｏｍを供給するか否かを指定することで、圧電素子ＰＺの動作の種類を指定する。ここで、圧電素子ＰＺの動作の種類の指定とは、例えば、圧電素子ＰＺを駆動するか否かを指定したり、圧電素子ＰＺを駆動した場合に当該圧電素子ＰＺからインクが吐出されるか否かを指定したり、また、圧電素子ＰＺを駆動した場合に当該圧電素子ＰＺから吐出されるインク量を指定したりすることである。

制御モジュール６は、まず、パーソナルコンピューター及びデジタルカメラ等のホストコンピューターから供給される印刷データＩｍｇを、自身の記憶回路に記憶させる。次に、制御モジュール６は、記憶回路に記憶されている印刷データＩｍｇ等の各種データに基づいて、印刷信号ＳＩ、波形指定信号ｄＣｏｍ、搬送機構８を制御するための信号、及び、ヘッド移動機構７を制御するための信号等の各種制御信号を生成する。そして、制御モジュール６は、各種制御信号と、自身の記憶回路に記憶されている各種データに基づいて、液体吐出モジュールＨＵに対する媒体ＰＰの相対位置を変化させるように搬送機構８及びヘッド移動機構７を制御しつつ、圧電素子ＰＺが駆動されるように液体吐出モジュールＨＵを制御する。これにより、制御モジュール６は、圧電素子ＰＺからのインクの吐出の有無、インクの吐出量、及び、インクの吐出タイミング等を調整し、印刷データＩｍｇに対応する画像を媒体ＰＰに形成する印刷処理の実行を制御する。

１－２．液体吐出ヘッド１０の概要
以下、図２及び図３を参照しつつ、液体吐出ヘッド１０の概要を説明する。図２は、液体吐出ヘッド１０の分解斜視図である。図３は、液体吐出ヘッド１０の断面図である。図３に示す図は、液体吐出ヘッド１０を図２に示すａ－ａ断面で破断し、Ｙ２方向に断面をみた状態を示す。ａ－ａ断面は、ＸＺ平面に平行であり、且つ、後述する導入口４２４を通過する。

図２及び図３に例示される通り、液体吐出ヘッド１０は、Ｙ軸に沿って長い略矩形状の連通板３２を具備する。連通板３２におけるＺ１方向の面上には、圧力室基板３４と振動板３６とＭ個の圧電素子ＰＺと筐体部４２と封止体４４とが設置される。言い換えれば、連通板３２は、圧力室基板３４のＺ２方向の面に積層される。連通板３２におけるＺ２方向の面上には、ノズル基板４６とコンプライアンス基板４８とが設置される。液体吐出ヘッド１０の各要素は、概略的には連通板３２と同様にＹ軸に沿って長い板状部材であり、接着剤を利用して相互に接合される。

図２に例示される通り、ノズル基板４６は、Ｙ軸に平行なノズル列Ｌｎに沿って配列するＭ個のノズルＮが形成された板状部材である。Ｍ個のノズルＮが配列する配列方向は、Ｙ軸に沿う方向である。ノズル基板４６は、例えば、シリコン基板である。図３に例示される通り、ノズル基板４６は、Ｚ２方向に向く面ＦＮ１と、Ｚ１方向に向く面ＦＮ２とを有する。面ＦＮ２は、面ＦＮ１よりも圧力室基板３４に近い。なお、面ＦＮ１は、「第１面」の一例である。面ＦＮ２は、面ＦＮ１の反対側に位置しており、「第２面」の一例である。ノズル基板４６の厚さ方向は、Ｚ軸に沿う方向でである。本実施形態において、ノズル列Ｌｎは、Ｙ軸に平行であり、Ｍ個のノズルＮのうち、最もＹ１方向に位置するノズルＮの後述する下流ノズル部分ＮＤの吐出開口Ｄ２の重心ＧＤ２から、最もＹ２方向に位置するノズルＮの下流ノズル部分ＮＤの吐出開口Ｄ２の重心ＧＤ２までの線分である。なお、Ｍ個のノズルＮがノズル列Ｌｎに沿って配列するとは、Ｍ個のノズルＮのうちの少なくとも一部がノズル列Ｌｎと交わる方向において、多少ずれて配列されることも含む概念であり、ノズル列Ｌｎに沿ってみたときに、Ｍ個のノズルＮの夫々の一部又は全部が重なることを意味する。

各ノズルＮは、インクが通過する貫通孔である。Ｍは、２以上の整数である。但し、Ｍは、１でもよい。ノズルＮの形状の詳細に関しては、図４に基づいて後述する。

連通板３２は、インクが流通する流路が設けられた板状部材である。図２及び図３に例示される通り、連通板３２には、開口部３２２と第２連通路３２４と第１連通路３２６とが形成される。開口部３２２は、Ｚ軸に沿ってみたとき、Ｙ軸に沿ってＭ個のノズルＮに共通して設けられた貫通孔である。以下、Ｚ軸に沿ってみることを、「平面視」と記載することがある。第２連通路３２４及び第１連通路３２６は、ノズルＮ毎に個別に形成された貫通孔である。また、図３に例示される通り、連通板３２のうちＺ２方向の表面には、Ｍ個の第２連通路３２４にわたる共通流路３２８が形成される。共通流路３２８は、開口部３２２とＭ個の第２連通路３２４とを連通させる流路である。

なお、連通板３２と圧力室基板３４とは、シリコンの単結晶基板をエッチング等の半導体製造技術により加工することで形成される。ただし、液体吐出ヘッド１０の各要素の製法は任意である。

筐体部４２は、例えば樹脂材料の射出成形で製造された構造体であり、連通板３２におけるＺ１方向の表面に固定される。図３に例示される通り、筐体部４２には収容部４２２と導入口４２４とが形成される。収容部４２２は、連通板３２の開口部３２２に対応した外形の凹部である。導入口４２４は、収容部４２２に連通する貫通孔である。図３から理解される通り、連通板３２の開口部３２２と筐体部４２の収容部４２２とを相互に連通させた空間が液体貯留室ＲＳとして機能する。液体容器１４から供給されて導入口４２４を通過したインクが液体貯留室ＲＳに貯留される。

コンプライアンス基板４８は、液体貯留室ＲＳ内のインクの振動を緩衝する機能を有する。コンプライアンス基板４８は、例えば弾性変形が可能な可撓性のシート部材を含む。具体的には、連通板３２の開口部３２２と共通流路３２８と複数の第２連通路３２４とを封止して液体貯留室ＲＳの底面を構成するように、連通板３２におけるＺ２方向の表面にコンプライアンス基板４８が設置される。

図２及び図３に例示される通り、圧力室基板３４は、Ｍ個のノズルＮに夫々対応するＭ個の圧力室ＣＶが形成された板状部材である。Ｍ個の圧力室ＣＶは、Ｙ軸に沿って相互に間隔をあけて配列する。各圧力室ＣＶは、Ｘ軸に沿って延在する開口である。圧力室ＣＶのＸ１方向の端部は、平面視で１個の第２連通路３２４に重なり、圧力室ＣＶのＸ２方向の端部は、平面視で連通板３２の１個の第１連通路３２６に重なる。

圧力室基板３４のうち連通板３２に対向する表面とは反対方向の表面には振動板３６が設置される。振動板３６は、弾性的に変形可能な板状部材である。図３に例示される通り、振動板３６は、弾性膜３６１と絶縁膜３６２との積層で構成される。絶縁膜３６２は、弾性膜３６１からみて圧力室基板３４とは反対方向に位置する。弾性膜３６１は、例えば酸化シリコンで形成される。絶縁膜３６２は、例えば酸化ジルコニウムで形成される。

図３から理解される通り、連通板３２と振動板３６とは、各圧力室ＣＶの内側で相互に間隔をあけて対向する。圧力室ＣＶは、連通板３２と振動板３６との間に位置し、当該圧力室ＣＶ内に収容されたインクに圧力を付与するための空間である。振動板３６は、圧力室ＣＶの壁面の一部を構成する。液体貯留室ＲＳに貯留されたインクは、共通流路３２８から各第２連通路３２４に分岐してＭ個の圧力室ＣＶに並列に供給され、及び収容される。すなわち、液体貯留室ＲＳは、複数の圧力室ＣＶにインクを供給するための共通液室として機能する。

図２及び図３に例示される通り、振動板３６における圧力室基板３４とは反対方向の表面には、Ｍ個のノズルＮに夫々対応するＭ個の圧電素子ＰＺが設置される。各圧電素子ＰＺは、駆動信号Ｃｏｍの供給により変形するアクチュエーターであり、Ｘ軸に沿う長い形状に形成される。Ｍ個の圧電素子ＰＺは、Ｍ個の圧力室ＣＶに対応するようにＹ軸に沿って配列する。圧電素子ＰＺの変形に連動して振動板３６が振動すると、圧力室ＣＶ内の圧力が変動する。圧電素子ＰＺは、振動板３６を振動させる駆動素子である。

以下では、Ｍ個の圧電素子ＰＺの各々を区別するために、順番に、１番目、２番目、…、Ｍ番目と称することがある。また、ｍ番目の圧電素子ＰＺを、圧電素子ＰＺ［ｍ］と称する場合がある。変数ｍは、１以上Ｍ以下を満たす整数である。また、液体吐出装置１００の構成要素や信号等が、圧電素子ＰＺに対応するものである場合には、当該構成要素や信号等を表すための符号に、ｍ番目に対応していることを示す添え字［ｍ］を付して表現することがある。例えば、ｍ番目のノズルＮを、ノズルＮ［ｍ］と表現することがある。図２に示すように、Ｍ個のノズルＮのうち、最もＹ２方向に位置するノズルＮをノズルＮ［１］とし、最もＹ１方向に位置するノズルＮをノズルＮ［Ｍ］として表現する。

圧電素子ＰＺの変形に連動して振動板３６が振動すると、圧力室ＣＶ内の圧力が変動し、圧力室ＣＶに充填されたインクが第１連通路３２６とノズルＮとを通過して吐出される。

図２及び図３の封止体４４は、Ｍ個の圧電素子ＰＺを外気から保護するとともに圧力室基板３４及び振動板３６の機械的な強度を補強する構造体である。封止体４４は、振動板３６の表面に例えば接着剤で固定される。封止体４４のうち振動板３６との対向面に形成された凹部の内側に複数の圧電素子ＰＺが収容される。

図３に例示される通り、振動板３６の表面には配線基板５０が接合される。配線基板５０は、制御モジュール６と液体吐出ヘッド１０とを電気的に接続するための複数の配線が形成された実装部品である。例えばＦＰＣ又はＦＦＣ等の可撓性の配線基板５０が好適に採用される。ＦＰＣは、Flexible Printed Circuitの略である。ＦＦＣは、Flexible Flat Cableの略である。配線基板５０には、駆動回路５１が実装される。駆動回路５１は、印刷信号ＳＩによる制御のもとで、圧電素子ＰＺに対して、駆動信号Ｃｏｍを供給するか否かを切り替える電気回路である。

１－３．ノズルＮの形状について
図４は、図３のノズルＮ付近を拡大した図である。図５は、ノズルＮ付近の平面図である。図４及び図５に示すように、ノズルＮは、下流ノズル部分ＮＤと、下流ノズル部分ＮＤよりも上流に位置する上流ノズル部分ＮＵとを有する。上流ノズル部分ＮＵは、面ＦＮ２に開口した供給開口Ｕ１と、供給開口Ｕ１に対向する底面Ｕ２と、を含む。より具体的には、上流ノズル部分ＮＵは、供給開口Ｕ１及び底面Ｕ２を底面とし、壁面ＷＵを側面とする略円柱状の空間である。底面Ｕ２は、Ｚ軸を法線ベクトルとする面である。言い換えれば、底面Ｕ２は、ＸＹ平面に平行な面である。但し、底面Ｕ２は、ＸＹ平面に交差する面であってもよい。第１実施形態において、供給開口Ｕ１及び底面Ｕ２の形状は、略同一である。従って、図４及び図５に示すように、平面視において、供給開口Ｕ１の重心ＧＵ１の位置と底面Ｕ２の重心ＧＵ２の位置とが略同一である。重心とは、対象の形状において断面１次モーメントの総和がゼロになる地点である。例えば、対象の形状が円形である場合、重心は、円の中心であり、対象の形状が平行四辺形である場合、重心は、平行四辺形が有する２つの対角線の交点である。略同一とは、完全に同一である場合の他に、製造上の誤差を考慮すれば同一であると看做せる場合を含む。

下流ノズル部分ＮＤは、面ＦＮ１に開口した吐出開口Ｄ２と、底面Ｕ２に開口した接続部Ｄ１とを含む。より具体的には、下流ノズル部分ＮＤは、吐出開口Ｄ２と接続部Ｄ１とを底面とし、壁面ＷＤを側面とする、Ｚ軸に対して傾いた略円柱状の空間である。図５では、供給開口Ｕ１、底面Ｕ２、接続部Ｄ１、及び、吐出開口Ｄ２の形状は、円形であるが、円形に限らず任意の形状でよく、例えば、楕円形状又は矩形形状等でもよい。接続部Ｄ１及び吐出開口Ｄ２の直径は、例えば、１０［μｍ］から３０［μｍ］までの間である。供給開口Ｕ１及び底面Ｕ２の直径は、例えば、１５［μｍ］から、液体吐出装置１００の解像度に応じた上限値と、第１連通路３２６の幅とのうち小さい値までである。液体吐出装置１００の解像度に応じた上限値は、例えば、液体吐出装置１００の解像度が６００ｄｐｉである場合、２５．４［ｍｍ］／６００で求められ、約０．０４２３［ｍｍ］であり、言い換えれば約４２．３［μｍ］である。［μｍ］は、マイクロメートルを意味する。［ｍｍ］は、ミリメートルを意味する。ｄｐｉは、dots per inchの略語である。

また、図４では、面ＦＮ１から底面Ｕ２までの距離Ｇ２と、底面Ｕ２から面ＦＮ２までの距離Ｇ１とは等しいように表示してあるが、これに限らない。例えば、距離Ｇ２が距離Ｇ１よりも長くてもよいし、距離Ｇ２が距離Ｇ１よりも短くてもよい。

図５に示すように、平面視において、吐出開口Ｄ２及び接続部Ｄ１は、供給開口Ｕ１及び底面Ｕ２の内側に位置する。従って、平面視において、上流ノズル部分ＮＵの断面積は、下流ノズル部分ＮＤの断面積よりも大きい。但し、平面視において、吐出開口Ｄ２の一部又は全部が、供給開口Ｕ１及び底面Ｕ２の外側に位置してもよい。更に、平面視において、吐出開口Ｄ２の面積、及び接続部Ｄ１の面積は、略同一であるが、これらの面積を異ならせてもよい。例えば、下流ノズル部分ＮＤは、Ｚ２方向に向かうことに応じて断面積が小さくなるテーパー形状であってもよい。

図４に示すように、吐出開口Ｄ２の重心ＧＤ２と接続部Ｄ１の重心ＧＤ１とを結ぶ線分ＬＤ１２と、Ｚ軸方向とがなす角度θ１は、０度より大きく且つ９０度より小さい。例えば、角度θ１は、０．０５度以上５度未満である。図４に示すように、下流ノズル部分ＮＤは、面ＦＮ１に対して線分ＬＤ１２に沿って傾斜する。以下の記載において、角度θ１が大きくなることに応じて、言い換えれば、角度θ１がＺ軸に垂直な方向に近づくことに応じて、下流ノズル部分ＮＤの傾斜が大きいと記載することがある。

１－４．ノズルＮの吐出方向について
本発明におけるノズル基板４６の製造工程は、複数のノズル基板４６となるシリコンウェハーに下流ノズル部分ＮＤ及び上流ノズル部分ＮＵを形成するノズル形成工程と、シリコンウェハーからノズル基板４６を切り出す工程と、を有する。ノズル形成工程においては、例えばドライエッチングを行うことが好ましい。しかしながら、ドライエッチングの際にシリコンウェハー上に形成するマスクパターンの形状のばらつきや、ドライエッチングで用いるプラズマの密度分布のばらつき等に起因して、上流ノズル部分ＮＵ及び下流ノズル部分ＮＤが、面ＦＮ１に対して傾斜する場合がある。下流ノズル部分ＮＤが面ＦＮ１の垂直な方向に対して傾斜する第１参考例におけるノズル基板４６－Ａについて、図６を用いて説明する。

図６は、第１参考例におけるノズル基板４６－Ａを説明する図である。図６では、ノズル基板４６－Ａに形成されるノズルＮ－Ａを通る断面を示してある。第１参考例におけるノズルＮ－Ａは、下流ノズル部分ＮＤの替わりに下流ノズル部分ＮＤ－Ａを有する点で、ノズルＮと相違する。図６に示すように、下流ノズル部分ＮＤ－Ａは、下流ノズル部分ＮＤ－Ａが有する接続部Ｄ１－Ａの重心ＧＤ１－Ａが、上流ノズル部分ＮＵが有する底面Ｕ２の重心ＧＵ２と重なる点で、下流ノズル部分ＮＤと異なる。下流ノズル部分ＮＤ－Ａは、下流ノズル部分ＮＤと同様に、面ＦＮ１に対して線分ＬＤ１２に沿って傾斜する。言い換えれば、下流ノズル部分ＮＤ－Ａは、Ｚ２方向に向かうにつれてＸ２方向に傾斜する。ただし、下流ノズル部分ＮＤ－Ａは、Ｘ２方向に常に傾斜するとは限らず、Ｚ軸に垂直な方向であればどの方向にも傾斜する可能性がある。

第１参考例において、下流ノズル部分ＮＤ－Ａに沿ってインクが吐出するため、インクの吐出方向は、Ｚ軸からずれる。インクの吐出方向がＺ軸からずれることを、以下、「飛翔曲がり」と記載することがある。図６に示す例では、ノズルＮ－Ａから吐出された液滴ＤＲは、Ｘ２方向にずれて吐出されている。飛翔曲がりが発生すると、インクが媒体ＰＰに着弾する位置が理想の着弾位置からずれる。インクが媒体ＰＰに着弾する位置が理想の着弾位置からずれると、媒体ＰＰに形成される画像の質が低下する。

インクが吐出する方向をＺ軸に近づけるためには、ノズル基板４６の製造時に下流ノズル部分ＮＤの傾斜を抑えることが考えられる。しかしながら、ドライエッチングの際にシリコンウェハー上に形成するマスクパターンの形状のばらつきや、ドライエッチングで用いるプラズマの密度分布のばらつき等を完全に抑制することは難しい。仮にこれらの要因を完全に抑制できたとしても、ノズル基板４６の製造工程が煩雑になったり、コストの高い製造装置が必要になったりする場合がある。

上述のように、インクの吐出方向は、下流ノズル部分ＮＤ－Ａの傾斜に影響される。一方で、インクの吐出方向は、底面Ｕ２の重心ＧＵ２と接続部Ｄ１の重心ＧＤ１とが平面視において互いに離れることにも影響されることが、発明者らの実験によって得られた。以下の記載では、重心ＧＤ１の位置に対する重心ＧＵ２の位置のずれを、「同軸度」と記載することがある。重心ＧＤ１と重心ＧＵ２とが互いに近いことを、同軸度が高いと記載することがある。また、重心ＧＵ２から重心ＧＤ１に向かう方向を、同軸度のずれの方向と記載することがある。以下、重心ＧＵ２から重心ＧＤ１が離れる、即ち同軸度が低い第２参考例におけるノズル基板４６－Ｂについて、図７を用いて説明する。

図７は、第２参考例におけるノズル基板４６－Ｂを説明する図である。図７では、ノズル基板４６－Ｂに形成されるノズルＮ－Ｂを通る断面を示してある。第２参考例におけるノズルＮ－Ｂは、下流ノズル部分ＮＤの替わりに下流ノズル部分ＮＤ－Ｂを有する点で、ノズルＮと相違する。図７から理解されるように、平面視において、下流ノズル部分ＮＤ－Ｂが有する接続部Ｄ１－Ｂの重心ＧＤ１－Ｂと、吐出開口Ｄ２－Ｂの重心ＧＤ２－Ｂと、が重なる点、言い換えれば、下流ノズル部分ＮＤ－Ｂが面ＦＮ１に対して直交する点で、下流ノズル部分ＮＤと相違する。つまり、第２参考例において、下流ノズル部分ＮＤ－Ｂは傾斜していない。

図７に示すように、第２参考例におけるインクの吐出方向は、重心ＧＤ１－Ｂから重心ＧＵ２に向かうように傾斜する。言い換えれば、同軸度のずれの方向とは反対の方向にずれるように、インクが吐出する。図７に示す例では、ノズルＮ－Ｂから吐出された液滴ＤＲは、Ｘ１方向にずれて吐出される。同軸度のずれによってインクの吐出方向が傾斜する理由として、下流ノズル部分ＮＤ－Ｂの接続部Ｄ１－Ｂの重心ＧＤ１－Ｂが、底面Ｕ２の重心ＧＵ２からずれているため、ノズルＮに形成されるインクのメニスカスの揺れが吐出タイミング時に重心ＧＵ２からずれることと、メニスカスがＺ１方向に引き込まれ、上流ノズル部分ＮＵに到達した場合に、メニスカスが片方向に寄ることと、下流ノズル部分ＮＤ内でＺ軸に直交する方向において圧力勾配が発生することとが考えられる。

そこで、発明者らは、下流ノズル部分ＮＤが傾斜して形成されたとしても、下流ノズル部分ＮＤの傾斜によるインクの吐出方向のずれが相殺されるように上流ノズル部分ＮＵを設けることで、インクの吐出方向のずれを抑制することを見いだした。つまり、ノズル基板４６の製造工程において、シリコンウェハーに下流ノズル部分ＮＤを形成した後に、下流ノズル部分ＮＤの傾斜に応じて、シリコンウェハーに上流ノズル部分ＮＵを形成する位置を調整すればよい。例えば、平面視において、重心ＧＤ１と重心ＧＵ２との距離は、３［μｍ］以上且つ１５［μｍ］以下、好ましくは４［μｍ］以上且つ１１［μｍ］以下となるように形成する。

説明を図４及び図５に戻す。本実施形態では、図５に示すように、平面視において、接続部Ｄ１の重心ＧＤ１は、吐出開口Ｄ２の重心ＧＤ２と底面Ｕ２の重心ＧＵ２との間に位置する。第１実施形態では、平面視において、底面Ｕ２と供給開口Ｕ１とは同一の形状であるため、重心ＧＤ１は、重心ＧＤ２と供給開口Ｕ１の重心ＧＵ１との間に位置するともいえる。平面視において、重心ＧＤ１は、重心ＧＤ２と重心ＧＵ１との間に位置するため、必然的に、重心ＧＤ１と重心ＧＤ２との位置は異なり、重心ＧＤ１と重心ＧＵ１との位置は異なり、重心ＧＤ２と重心ＧＵ１との位置は異なる。

平面視において、重心ＧＤ２と重心ＧＵ２との間に位置するとは、必ずしも重心ＧＤ２と重心ＧＵ２とを結ぶ線分ＬＤＵと重なる位置であることには限定されない。重心ＧＤ２と重心ＧＵ２との間に位置するとは、図５に示すように、直線ＬＤ２と直線ＬＤ２との間に位置することを意味する。ここで、直線ＬＤ２は、線分ＬＤＵに対して直交し、且つ、重心ＧＤ２を通る直線であり、直線ＬＵ２は、線分ＬＤＵに対して直交し、且つ、重心ＧＵ２を通る直線である。また、言い換えれば、平面視において、線分ＬＤＵに対して直交し、且つ重心ＧＤ１を通る直線ＬＤ１に対して、重心ＧＤ２はＸ２方向に位置し、重心ＧＵ２はＸ１方向に位置するともいえる。第１実施形態において、線分ＬＤＵは、Ｘ軸に沿うこととして説明する。

平面視において、重心ＧＤ１に対して重心ＧＤ２はＸ２方向に位置するため、ノズルＮから吐出されるインクにはＸ２方向の力が加わる。更に、重心ＧＤ１に対して重心ＧＵ２はＸ１方向に位置するため、ノズルＮから吐出されるインクには、Ｘ１方向の力が加わる。従って、ノズルＮから吐出されるインクに作用するＸ１方向の力とＸ２方向の力とが相殺される。以上により、第１実施形態に係る液体吐出ヘッド１０は、下流ノズル部分ＮＤが傾斜して形成されたとしても、同軸度のずれにより吐出方向のずれを相殺できるので、飛翔曲がりを抑制できる。

また、図５に示すように、平面視において、吐出開口Ｄ２の重心ＧＤ２と、接続部Ｄ１の重心ＧＤ１と、底面Ｕ２の重心ＧＵ２とは、同一直線上に位置する。本実施形態では、平面視において、重心ＧＤ２と重心ＧＵ２とを結ぶ線分と、重心ＧＤ１との直線距離が、１［μｍ］以下である場合、製造誤差として、重心ＧＤ２と重心ＧＤ１と重心ＧＵ２とが、同一直線上に位置すると看做す。

図８は、隣り合うノズルＮの位置関係を説明するための図であり、ｍ１を２以上Ｍ－１以下の整数として、ノズルＮ［ｍ１－１］と、ノズルＮ［ｍ１］と、ノズルＮ［ｍ１＋１］とを示してある。なお、図８では、図面が煩雑になることを避けるため、供給開口Ｕ１、底面Ｕ２、接続部Ｄ１、吐出開口Ｄ２の符号の図示を省略する。

なお、ノズルＮ［ｍ１］が、「第１ノズル」の一例である。ノズルＮ［ｍ１］に連通する圧力室ＣＶ［ｍ１］が「第１圧力室」に相当する。圧力室ＣＶ［ｍ１］内のインクに圧力を付与する圧電素子ＰＺ［ｍ１］が、「第１駆動素子」に相当する。ノズルＮ［ｍ１］が有する上流ノズル部分ＮＵ［ｍ１］が、「第１上流ノズル部分」に相当し、下流ノズル部分ＮＤ［ｍ１］が、「第１下流ノズル部分」に相当する。下流ノズル部分ＮＤ［ｍ１］が有する供給開口Ｕ１［ｍ１］が、「第１供給開口」に相当し、底面Ｕ２［ｍ１］が、「第１底面」に相当する。下流ノズル部分ＮＤ［ｍ１］が有する吐出開口Ｄ２［ｍ１］が、「第１吐出開口」に相当し、接続部Ｄ１［ｍ１］が「第１接続部」に相当する。図８では図示していないが、図４に示すノズルＮが「第１ノズル」に相当する場合、図４に示した重心ＧＤ２と重心ＧＤ１とを結ぶ線分ＬＤ１２が、「第１線分」に相当し、線分ＬＤ１２とＺ軸とがなす角度θ１が、「第１角度」に相当する。

更に、１からＭまでのうちｍ１と異なる整数ｍ２について、ノズルＮ［ｍ２］が、「第２ノズル」の一例である。図８の例では、ｍ２がｍ１－１であるとみなすと、ノズルＮ［ｍ１－１］も、「第２ノズル」の一例とみなせる。ノズルＮ［ｍ１－１］が「第２ノズル」である場合、ノズルＮ［ｍ１－１］に連通する圧力室ＣＶ［ｍ１－１］が「第２圧力室」に相当する。圧力室ＣＶ［ｍ１－１］内のインクに圧力を付与する圧電素子ＰＺ［ｍ１－１］が、「第２駆動素子」に相当する。ノズルＮ［ｍ１－１］が有する上流ノズル部分ＮＵ［ｍ１－１］が、「第２上流ノズル部分」に相当し、下流ノズル部分ＮＤ［ｍ１－１］が、「第２下流ノズル部分」に相当する。上流ノズル部分ＮＵ［ｍ１－１］が有する供給開口Ｕ１［ｍ１－１］が、「第２供給開口」の一例であり、底面Ｕ２［ｍ１－１］が、「第２底面」の一例である。下流ノズル部分ＮＤ［ｍ１－１］が有する吐出開口Ｄ２［ｍ１－１］が、「第２吐出開口」の一例であり、接続部Ｄ１［ｍ１－１］が「第２接続部」の一例である。図８では示していないが、図４に示すノズルＮが「第２ノズル」に相当する場合、重心ＧＤ２と重心ＧＤ１とを結ぶ線分ＬＤ１２が、「第２線分」に相当し、線分ＬＤ１２とＺ軸とがなす角度θ１が、「第２角度」に相当する。

また、ノズルＮ［ｍ１－１］は、ノズルＮ［ｍ１］の隣に位置する。従って、ノズルＮ［ｍ１－１］は、「第３ノズル」の一例ともみなせる。ノズルＮ［ｍ１－１］が「第３ノズル」である場合、ノズルＮ［ｍ１－１］に連通する圧力室ＣＶ［ｍ１－１］が「第３圧力室」に相当する。圧力室ＣＶ［ｍ１－１］内のインクに圧力を付与する圧電素子ＰＺ［ｍ１－１］が、「第３駆動素子」に相当する。ノズルＮ［ｍ１－１］が有する上流ノズル部分ＮＵ［ｍ１－１］が、「第３上流ノズル部分」に相当し、下流ノズル部分ＮＤ［ｍ１－１］が、「第３下流ノズル部分」に相当する。上流ノズル部分ＮＵ［ｍ１－１］が有する供給開口Ｕ１［ｍ１－１］が、「第３供給開口」の一例であり、底面Ｕ２［ｍ１－１］が、「第３底面」の一例である。下流ノズル部分ＮＤ［ｍ１－１］が有する吐出開口Ｄ２［ｍ１－１］が、「第３吐出開口」の一例であり、接続部Ｄ１［ｍ１－１］が「第３接続部」の一例である。

ノズルＮ［ｍ１＋１］は、ノズルＮ［ｍ１］の隣に位置し、且つ、ノズルＮ［ｍ１］からノズルＮ［ｍ１－１］に向かう方向であるＹ２方向とは反対方向であるＹ１方向に位置する。従って、ノズルＮ［ｍ１＋１］は、「第４ノズル」の一例とみなせる。ノズルＮ［ｍ１＋１］が「第４ノズル」である場合、ノズルＮ［ｍ１＋１］に連通する圧力室ＣＶ［ｍ１＋１］が「第４圧力室」に相当する。圧力室ＣＶ［ｍ１＋１］内のインクに圧力を付与する圧電素子ＰＺ［ｍ１＋１］が、「第４駆動素子」に相当する。ノズルＮ［ｍ１＋１］が有する上流ノズル部分ＮＵ［ｍ１＋１］が、「第４上流ノズル部分」に相当し、下流ノズル部分ＮＤ［ｍ１＋１］が、「第４下流ノズル部分」に相当する。上流ノズル部分ＮＵ［ｍ１＋１］が有する供給開口Ｕ１［ｍ１＋１］が、「第４供給開口」の一例であり、底面Ｕ２［ｍ１＋１］が、「第４底面」の一例である。下流ノズル部分ＮＤ［ｍ１＋１］が有する吐出開口Ｄ２［ｍ１＋１］が、「第４吐出開口」の一例であり、接続部Ｄ１［ｍ１＋１］が「第４接続部」の一例である。

図８の例では、ノズルＮ［ｍ１－１］の下流ノズル部分ＮＤ［ｍ１－１］は、Ｘ２方向に傾斜する。ノズルＮ［ｍ］の下流ノズル部分ＮＤ［ｍ］は、Ｗ１方向に傾斜する。Ｗ１方向は、Ｚ２方向にみた場合に、Ｙ１方向を時計回りに４５度回転した方向である。ノズルＮ［ｍ１＋１］の下流ノズル部分ＮＤ［ｍ１＋１］は、Ｙ１方向に傾斜する。説明の簡略化のため、底面Ｕ２［ｍ１－１］、底面Ｕ２［ｍ１］、及び、底面Ｕ２［ｍ１＋１］の夫々のＺ軸における位置は、略同じであるという前提に基づいて説明する。

本実施形態に係るノズル基板４６には、下流ノズル部分ＮＤの傾斜が大きくなることに応じて、同軸度のずれを大きくするという特徴がある。具体的には、図８の例では、平面視において、接続部Ｄ１［ｍ１］の重心ＧＤ１［ｍ１］と吐出開口Ｄ２［ｍ１］の重心ＧＤ２の距離Ｌ１［ｍ１］は、接続部Ｄ１［ｍ１－１］の重心ＧＤ１［ｍ１－１］と吐出開口Ｄ２［ｍ１－１］の重心ＧＤ２の距離Ｌ１［ｍ１－１］より長い。底面Ｕ２［ｍ１－１］及び底面Ｕ２［ｍ１］の夫々のＺ軸における位置が略同じであるという前提から、距離Ｌ１［ｍ１］が距離Ｌ１［ｍ１－１］より長い場合、必然的に、重心ＧＤ２［ｍ１］と重心ＧＤ１［ｍ１］とを結ぶ線分とＺ軸とのなす角度が、重心ＧＤ２［ｍ１－１］と重心ＧＤ１［ｍ１－１］とを結ぶ線分とＺ軸とのなす角度より大きい。言い換えれば、下流ノズル部分ＮＤ［ｍ１］は、下流ノズル部分ＮＤ［ｍ１－１］よりも傾斜している。下流ノズル部分ＮＤの傾斜が大きくなることに応じて、インクの吐出方向がずれる程度も大きくなる。そこで、図８の例では、底面Ｕ２［ｍ１］の重心ＧＵ２［ｍ１］と接続部Ｄ１［ｍ１］の重心ＧＤ１との距離Ｌ２［ｍ１］は、底面Ｕ２［ｍ１－１］の重心ＧＵ２［ｍ１－１］と接続部Ｄ１［ｍ１－１］の重心ＧＤ１［ｍ１－１］との距離Ｌ２［ｍ１－１］よりも長い。

本実施形態に係るノズル基板４６は、隣り合う吐出開口Ｄ２の間隔は、隣り合う底面Ｕ２の間隔よりも一定に近いという特徴がある。言い換えれば、隣り合う吐出開口Ｄ２の間隔のばらつきは、隣り合う底面Ｕ２の間隔のばらつきよりも小さい。具体的には、図８から理解されるように、距離ＬＧ１と距離ＬＧ２との差の絶対値は、距離ＬＧ３と距離ＬＧ４との差の絶対値より小さい。距離ＬＧ１は、平面視において、吐出開口Ｄ２［ｍ１］の重心ＧＤ２［ｍ１］から吐出開口Ｄ２［ｍ１－１］の重心ＧＤ２［ｍ１－１］までの距離である。距離ＬＧ２は、平面視において、吐出開口Ｄ２［ｍ１］の重心ＧＤ２［ｍ１］から吐出開口Ｄ２［ｍ１＋１］の重心ＧＤ２［ｍ１＋１］までの距離である。距離ＬＧ３は、底面Ｕ２［ｍ１］の重心ＧＵ２［ｍ１］から底面Ｕ２［ｍ１－１］の重心ＧＵ２［ｍ１－１］までの距離である。距離ＬＧ４は、底面Ｕ２［ｍ１］の重心ＧＵ２［ｍ１］から底面Ｕ２［ｍ１＋１］の重心ＧＵ２［ｍ１＋１］までの距離である。図８の例では、距離ＬＧ１と距離ＬＧ２との差の絶対値は、略０である。
なお、距離ＬＧ１は、「第１距離」の一例である。距離ＬＧ２は、「第２距離」の一例である。距離ＬＧ３は、「第３距離」の一例である。距離ＬＧ４は、「第４距離」の一例である。

また、図８から理解されるように、Ｍ個の吐出開口Ｄ２の夫々の重心ＧＤ２は、Ｙ軸に平行なノズル列Ｌｎ上に位置する。言い換えれば、Ｍ個の吐出開口Ｄ２の夫々の重心ＧＤ２のＸ軸における位置は、略同一である。一方、上流ノズル部分ＮＵは、下流ノズル部分ＮＤの傾斜の方向及び傾斜の度合いに応じて設けられる。従って、Ｍ個の底面Ｕ２の夫々の重心ＧＵ２のＸ軸における位置は、互いに異なる可能性がある。

１－５．第１実施形態のまとめ
以下、Ｍ個の圧電素子ＰＺのうちｍ１番目の圧電素子ＰＺ［ｍ１］を用いて、第１実施形態のまとめを記載する。ｍ１は、１以上Ｍ以下の整数である。

以上、第１実施形態に係る液体吐出ヘッド１０は、圧電素子ＰＺ［ｍ１］と、圧力室基板３４に区画され、圧電素子ＰＺ［ｍ１］の駆動によりインクに圧力を付与する圧力室ＣＶ［ｍ１］と、ノズル基板４６に形成され、圧力室ＣＶ［ｍ１］と連通し、インクを吐出するノズルＮ［ｍ１］と、を備え、ノズル基板４６は、面ＦＮ１と、面ＦＮ１よりも圧力室基板３４に近い面ＦＮ２と、を有し、ノズルＮ［ｍ１］は、面ＦＮ２に開口した供給開口Ｕ１［ｍ１］と、供給開口Ｕ１［ｍ１］に対向する底面Ｕ２［ｍ１］と、を含む上流ノズル部分ＮＵ［ｍ１］と、面ＦＮ１に開口した吐出開口Ｄ２［ｍ１］と、底面Ｕ２［ｍ１］に開口した接続部Ｄ１［ｍ１］とを含む下流ノズル部分ＮＤ［ｍ１］と、を含み、ノズル基板４６の厚さ方向、言い換えればＺ軸に沿ってみたとき、上流ノズル部分ＮＵ［ｍ１］の断面積は、下流ノズル部分ＮＤ［ｍ１］の断面積よりも大きく、Ｚ軸に沿ってみたとき、接続部Ｄ１［ｍ１］の重心ＧＤ１［ｍ１］は、吐出開口Ｄ２［ｍ１］の重心ＧＤ２［ｍ１］と底面Ｕ２［ｍ１］の重心ＧＵ２［ｍ１］との間に位置する。
重心ＧＤ１［ｍ１］が重心ＧＤ２［ｍ１］と重心ＧＵ２［ｍ１］との間にあることは、下流ノズル部分ＮＤ［ｍ１］の傾斜により重心ＧＤ１［ｍ１］から重心ＧＤ２［ｍ１］に向かう吐出方向のずれと、同軸度のずれにより重心ＧＤ１［ｍ１］から重心ＧＵ２［ｍ１］に向かう吐出方向のずれとが相殺することを意味する。図５の例では、下流ノズル部分ＮＤの傾斜によりＸ２方向の吐出方向のずれと、同軸度のずれによるＸ１方向の吐出方向のずれとが相殺する。従って、第１実施形態に係る液体吐出ヘッド１０は、下流ノズル部分ＮＤ［ｍ１］が傾斜して形成されたとしても、同軸度のずれにより吐出方向のずれを相殺できるので、飛翔曲がりを抑制できる。

また、吐出開口Ｄ２［ｍ１］の重心ＧＤ２［ｍ１］と接続部Ｄ１［ｍ１］の重心ＧＤ１［ｍ１］とを結ぶ線分ＬＤ１２［ｍ１］と、Ｚ軸に沿う方向とがなす角度θ１［ｍ１］は、０度より大きく且つ９０度より小さく、下流ノズル部分ＮＤ［ｍ１］は、面ＦＮ１に対して線分ＬＤ１２［ｍ１］に沿って傾斜する。

また、Ｚ軸に沿う方向にみたとき、吐出開口Ｄ２［ｍ１］の重心ＧＤ２［ｍ１］と、接続部Ｄ１［ｍ１］の重心ＧＤ１［ｍ１］と、底面Ｕ２［ｍ１］の重心ＧＵ２［ｍ１］とは、同一直線上に位置する。

以下では、更に、ｍ２番目の圧電素子ＰＺ［ｍ２］を用いて、第１実施形態のまとめを記載する。ｍ２は、１からＭまでの整数であり、ｍ１とは異なる。第１実施形態に係る液体吐出ヘッド１０は、圧電素子ＰＺ［ｍ２］と、圧力室基板３４に区画され、圧電素子ＰＺ［ｍ２］の駆動によりインクに圧力を付与する圧力室ＣＶ［ｍ２］と、ノズル基板４６に形成され、圧力室ＣＶ［ｍ２］と連通し、インクを吐出するノズルＮ［ｍ２］と、を更に備え、ノズルＮ［ｍ２］は、面ＦＮ２に開口した供給開口Ｕ１［ｍ２］と、供給開口Ｕ１［ｍ２］に対向する底面Ｕ２［ｍ２］と、を含む上流ノズル部分ＮＵ［ｍ２］と、面ＦＮ１に開口した吐出開口Ｄ２と、底面Ｕ２［ｍ２］に開口した接続部Ｄ１［ｍ２］とを含む下流ノズル部分ＮＤ［ｍ２］と、を含み、Ｚ軸に沿ってみたとき、上流ノズル部分ＮＵ［ｍ２］の断面積は、下流ノズル部分ＮＤ［ｍ２］の断面積よりも大きく、Ｚ軸に沿ってみたとき、接続部Ｄ１［ｍ２］の重心ＧＤ１［ｍ２］は、吐出開口Ｄ２［ｍ２］の重心ＧＤ２［ｍ２］と底面Ｕ２［ｍ２］の重心ＧＵ２［ｍ２］との間に位置し、吐出開口Ｄ２の重心ＧＤ２［ｍ２］と接続部Ｄ１［ｍ２］の重心ＧＤ１［ｍ２］とを結ぶ線分ＬＤ１２［ｍ２］と、Ｚ軸とがなす角度θ１［ｍ２］は、０度より大きく且つ９０度より小さく、下流ノズル部分ＮＤ［ｍ２］は、面ＦＮ１に対して線分ＬＤ１２［ｍ２］に沿って傾斜し、角度θ１［ｍ１］が角度θ１［ｍ２］より大きい場合、Ｚ軸に沿ってみたとき、底面Ｕ２［ｍ１］の重心ＧＵ２［ｍ１］と接続部Ｄ１［ｍ１］の重心ＧＤ１［ｍ１］との距離は、底面Ｕ２［ｍ２］の重心ＧＵ２［ｍ２］と接続部Ｄ１［ｍ２］の重心ＧＤ１［ｍ２］との距離よりも長い。
下流ノズル部分ＮＤの傾斜が大きくなることに応じて、下流ノズル部分ＮＤの傾斜による重心ＧＤ１から重心ＧＤ２にずれる力が大きくなる。従って、下流ノズル部分ＮＤの傾斜が大きくなることに応じて、同軸度のずれを大きくすることにより、下流ノズル部分ＮＤの傾斜に応じて、飛翔曲がりを適切に抑制できる。

以下では、ｍ１を２からＭ－１までの整数とし、更に、ｍ１－１番目の圧電素子ＰＺ［ｍ１－１］と、ｍ１＋１番目の圧電素子ＰＺ［ｍ１＋１］とを用いて、第１実施形態のまとめを記載する。第１実施形態に係る液体吐出ヘッド１０は、圧電素子ＰＺ［ｍ１］とは異なる圧電素子ＰＺ［ｍ１－１］及び圧電素子ＰＺ［ｍ１＋１］と、圧力室基板３４に区画され、圧電素子ＰＺ［ｍ１－１］の駆動によりインクに圧力を付与する圧力室ＣＶ［ｍ１－１］と、ノズル基板４６に形成され、圧力室ＣＶ［ｍ１－１］と連通し、インクを吐出するノズルＮ［ｍ１－１］と、圧力室基板３４に区画され、圧電素子ＰＺ［ｍ１＋１］の駆動によりインクに圧力を付与する圧力室ＣＶ［ｍ１＋１］と、ノズル基板４６に形成され、圧力室ＣＶ［ｍ１＋１］と連通し、インクを吐出するノズルＮ［ｍ１＋１］と、を更に備える。ノズルＮ［ｍ１－１］は、ノズルＮ［ｍ１］の隣に位置し、ノズルＮ［ｍ１＋１］は、ノズルＮ［ｍ１］の隣に位置し、且つ、ノズルＮ［ｍ１］からノズルＮ［ｍ１－１］に向かう方向とは反対方向に位置する。ノズルＮ［ｍ１－１］は、面ＦＮ２に開口した供給開口Ｕ１［ｍ１－１］と、供給開口Ｕ１［ｍ１－１］に対向する底面Ｕ２［ｍ１－１］と、を含む上流ノズル部分ＮＵ［ｍ１－１］と、面ＦＮ１に開口した吐出開口Ｄ２［ｍ１－１］と、底面Ｕ２［ｍ１－１］に開口した接続部Ｄ１［ｍ１－１］とを含む下流ノズル部分ＮＤ［ｍ１－１］と、を含む。Ｚ軸に沿ってみたとき、上流ノズル部分ＮＵ［ｍ１－１］の断面積は、下流ノズル部分ＮＤ［ｍ１－１］の断面積よりも大きい。Ｚ軸に沿ってみたとき、接続部Ｄ１［ｍ１－１］の重心ＧＤ１［ｍ１－１］は、吐出開口Ｄ２［ｍ１－１］の重心ＧＤ２［ｍ１－１］と底面Ｕ２［ｍ１－１］の重心ＧＵ２［ｍ１－１］との間に位置する。ノズルＮ［ｍ１＋１］は、面ＦＮ２に開口した供給開口Ｕ１［ｍ１＋１］と、供給開口Ｕ１［ｍ１＋１］に対向する底面Ｕ２［ｍ１＋１］と、を含む上流ノズル部分ＮＵ［ｍ１＋１］と、面ＦＮ１に開口した吐出開口Ｄ２［ｍ１＋１］と、底面Ｕ２［ｍ１＋１］に開口した接続部Ｄ１［ｍ１＋１］とを含む下流ノズル部分ＮＤ［ｍ１＋１］と、を含む。Ｚ軸に沿ってみたとき、上流ノズル部分ＮＵ［ｍ１＋１］の断面積は、下流ノズル部分ＮＤ［ｍ１＋１］の断面積よりも大きく、Ｚ軸に沿ってみたとき、接続部Ｄ１［ｍ１＋１］の重心ＧＤ１［ｍ１＋１］は、吐出開口Ｄ２［ｍ１＋１］の重心ＧＤ２［ｍ１＋１］と底面Ｕ２［ｍ１＋１］の重心ＧＵ２［ｍ１＋１］との間に位置する。Ｚ軸に沿ってみたとき、吐出開口Ｄ２［ｍ１］の重心ＧＤ２［ｍ１］から吐出開口Ｄ２［ｍ１－１］の重心ＧＤ２［ｍ１－１］までの距離ＬＧ１、吐出開口Ｄ２［ｍ１］の重心ＧＤ２［ｍ１］から吐出開口Ｄ２［ｍ１＋１］の重心ＧＤ２［ｍ１＋１］までの距離ＬＧ２、底面Ｕ２［ｍ１］の重心ＧＵ２［ｍ１］から底面Ｕ２［ｍ１－１］の重心ＧＵ２［ｍ１＋１］までの距離ＬＧ３、及び、底面Ｕ２［ｍ１］の重心ＧＵ２［ｍ１］から底面Ｕ２［ｍ＋１］の重心ＧＵ２［ｍ１＋１］までの距離ＬＧ４を用いると、距離ＬＧ１と距離ＬＧ２との差の絶対値は、距離ＬＧ３と距離ＬＧ４との差の絶対値より小さい。
吐出開口Ｄ２からインクが吐出されるため、隣り合う吐出開口Ｄ２の間隔が一定でないと、媒体ＰＰに形成されるドットの間隔が一定でなくなり、画像の質が低下してしまう。従って、隣り合う吐出開口Ｄ２の間隔は一定であることが好ましい。以上により、第１実施形態に係る液体吐出ヘッド１０は、隣り合う底面Ｕ２の間隔が、隣り合う吐出開口Ｄ２の間隔よりも一定である態様と比較して、媒体ＰＰに形成される画像の質を向上できる。

また、図８に示したように、平面視において、Ｍ個の吐出開口Ｄ２のＸ軸における位置は、略同一である。吐出開口Ｄ２のＸ軸における位置がずれていると、吐出が開始される位置がノズルＮごとで異なってしまう。吐出が開始される位置がノズルＮごとで異なると、着弾位置の調整が困難となる。従って、第１実施形態に係る液体吐出ヘッド１０は、Ｍ個の底面Ｕ２がＹ軸に沿って設けられる態様と比較して、着弾位置の調整が容易になる。

また、第１実施形態に係る液体吐出装置１００は、液体吐出ヘッド１０を備える。第１実施形態に係る液体吐出装置１００は、下流ノズル部分ＮＤが傾斜して形成されたとしても、同軸度のずれにより吐出方向のずれを相殺できるので、飛翔曲がりを抑制できる。

また、第１実施形態に係る液体吐出ヘッド１０は、第１実施形態に係るノズル基板４６を有する。第１実施形態に係るノズル基板４６は、下流ノズル部分ＮＤが傾斜して形成されたとしても、同軸度のずれにより吐出方向のずれを相殺できるので、飛翔曲がりを抑制できる。

２．変形例
以上に例示した各形態は多様に変形され得る。具体的な変形の態様を以下に例示する。以下の例示から任意に選択された２以上の態様は、相互に矛盾しない範囲で適宜に併合され得る。

２－１．第１変形例
第１実施形態に係る液体吐出ヘッド１０は、平面視において、重心ＧＤ２［ｍ１］と重心ＧＤ１［ｍ１］と重心ＧＵ２［ｍ１］とが同一直線上に位置したが、重心ＧＤ２［ｍ１］と重心ＧＤ１［ｍ１］と重心ＧＵ２［ｍ１］とが三角形の頂点に位置してもよい。

図９は、第１変形例に係るノズルＮ－Ｄ付近の平面図である。第１変形例に係る液体吐出ヘッド１０－Ｄは、ノズル基板４６の替わりにノズル基板４６－Ｄを有する点で、液体吐出ヘッド１０と相違する。ノズル基板４６－Ｄは、下流ノズル部分ＮＤの替わりに下流ノズル部分ＮＤ－Ｄを有する点で、ノズル基板４６と相違する。図９に示すように、平面視において、下流ノズル部分ＮＤ－Ｄが有する接続部Ｄ１－Ｄの重心ＧＤ１－Ｄが、吐出開口Ｄ２－Ｄの重心ＧＤ２－Ｄと底面Ｕ２の重心ＧＵ２とを結ぶ線分ＬＤＵ－Ｄ上に位置しない。第１変形例において、線分ＬＤＵ－Ｄは、Ｘ軸に沿うこととして説明する。

平面視において、重心ＧＤ１－Ｄは、重心ＧＤ２－Ｄと重心ＧＵ２との間に位置する。具体的には、平面視において、重心ＧＤ１－Ｄは、重心ＧＤ２－Ｄを通り、線分ＬＤＵ－Ｄに直交する直線ＬＤ２ーＤと、重心ＧＵ２を通り、線分ＬＤＵ－Ｄに直交する直線ＬＵ２との間に位置する。下流ノズル部分ＮＤ－Ｄは、重心ＧＤ１－Ｄから重心ＧＤ２－Ｄに向かうＷ１方向に傾斜する。従って、下流ノズル部分ＮＤ－Ｄの傾斜によりＷ１方向に吐出方向がずれる。一方、同軸度のずれの方向は、重心ＧＵ２から重心ＧＤ１－Ｄに向かうＶ１方向である。Ｖ１方向は、Ｚ２方向にみた場合に、Ｘ２方向を反時計回りに４５度回転した方向である。

第１変形例では、下流ノズル部分ＮＤ－Ｄの傾斜によりＷ１方向にインクを吐出させる力と、同軸度のずれによりＶ１方向の反対の方向であるＶ２方向にインクを吐出させる力とが発生する。Ｗ１方向は、Ｘ２方向の成分と、Ｙ１方向への成分とに分解できる。また、Ｖ２方向は、Ｘ１方向の成分と、Ｙ１方向への成分とに分解できる。従って、第１変形例に係る液体吐出ヘッド１０は、Ｗ１方向にインクを吐出させる力のうちＸ２方向の成分と、Ｖ２方向にインクを吐出させる力のうちＸ１方向の成分とが相殺される。従って、第１変形例に係る液体吐出ヘッド１０－Ｄは、下流ノズル部分ＮＤ－Ｄが傾斜して形成されたとしても、同軸度のずれにより吐出方向のずれを相殺できるので、飛翔曲がりを抑制できる。

第１変形例と第１実施形態とを比較すると、第１変形例では、Ｗ１方向にインクを吐出させる力のうちＹ１方向の成分と、Ｖ２方向にインクを吐出させる力のうちＹ１方向の成分とは相殺されない。一方、第１実施形態では、重心ＧＤ２［ｍ１］と重心ＧＤ１［ｍ１］と重心ＧＵ２［ｍ１］とが同一直線上に位置するため、下流ノズル部分ＮＤ－Ｄの傾斜によりインクを吐出させる方向と、同軸度のずれによりインクを吐出させる方向とが互いに反対方向の関係にある。以上により、第１実施形態に係る液体吐出ヘッド１０は、第１変形例に係る液体吐出ヘッド１０－Ｃと比較して、飛翔曲がりをより抑制できる。

２－２．第２変形例
上述の各態様では、平面視において、供給開口Ｕ１の重心ＧＵ１の位置と底面Ｕ２の重心ＧＵ２の位置とが略同一であるが、異なってもよい。

図１０は、第２変形例に係るノズルＮ－Ｅの断面図である。第２変形例に係る液体吐出ヘッド１０－Ｅは、ノズル基板４６の替わりにノズル基板４６－Ｅを有する点で、液体吐出ヘッド１０と相違する。ノズル基板４６－Ｅは、上流ノズル部分ＮＵの替わりに上流ノズル部分ＮＵ－Ｅを有する点で、ノズル基板４６と相違する。上流ノズル部分ＮＵ－Ｅは、Ｚ軸に対して角度θ２傾斜する点で、上流ノズル部分ＮＵと相違する。角度θ２は、０度より大きく且つ９０度未満である。角度θ２は、角度θ１と同一でもよいし異なってもよい。図１０の例では、上流ノズル部分ＮＵ－Ｅは、Ｘ１方向に傾斜しているが、傾斜する方向は、Ｘ１方向に限らずＺ軸に直交する方向であればどの方向でもよい。

図１０から理解されるように、平面視において、上流ノズル部分ＮＵ－Ｅの供給開口Ｕ１－Ｅの重心ＧＵ１－Ｅと底面Ｕ２－Ｅの重心ＧＵ２－Ｅとの位置が異なる。第２変形例における液体吐出ヘッド１０において、下流ノズル部分ＮＤ－Ｄが傾斜して形成されたとしても、同軸度のずれにより吐出方向のずれを相殺できるので、飛翔曲がりを抑制できる。

２－３．第３変形例
上述の各態様では、供給開口Ｕ１及び底面Ｕ２が略同一の面積であるが、異なる面積でもよい。例えば、上流ノズル部分ＮＵは、Ｚ２方向に向かうことに応じて断面積が小さくなるテーパー形状であってもよい。

２－４．第４変形例
上述の各態様における液体吐出ヘッド１０は、圧電素子ＰＺに替えて圧力室ＣＶ内のインクを加熱する発熱素子を有してもよい。第４変形例において、発熱素子が、「駆動素子」の一例である。

２－５．第５変形例
上述した各態様では、液体吐出モジュールＨＵを、Ｘ軸方向に往復同させるシリアル方式の液体吐出装置１００を例示したが、本発明はこのような態様に限定されるものではない。液体吐出装置は、複数のノズルＮが、媒体ＰＰの全幅に亘り分布する、ライン方式の液体吐出装置であってもよい。

２－６．その他の変形例
上述の液体吐出装置は、印刷に専用される機器のほか、ファクシミリ装置及びコピー機等の各種の機器に採用され得る。もっとも、本発明の液体吐出装置の用途は印刷に限定されない。例えば、色材の溶液を吐出する液体吐出装置は、液晶表示装置のカラーフィルターを形成する製造装置として利用される。また、導電材料の溶液を吐出する液体吐出装置は、配線基板の配線及び電極を形成する製造装置として利用される。

２…駆動信号生成回路、５…移動機構、６…制御モジュール、７…ヘッド移動機構、８…搬送機構、１０，１０－Ｃ，１０－Ｄ，１０－Ｅ…液体吐出ヘッド、１４…液体容器、３２…連通板、３４…圧力室基板、３６…振動板、４２…筐体部、４４…封止体、４６，４６－Ａ，４６－Ｂ，４６－Ｄ，４６－Ｅ…ノズル基板、４８…コンプライアンス基板、５０…配線基板、５１…駆動回路、７１…収納ケース、７２…無端ベルト、１００…液体吐出装置、３２２…開口部、３２４…第２連通路、３２６…第１連通路、３２８…共通流路、３６１…弾性膜、３６２…絶縁膜、４２２…収容部、４２４…導入口、Ｂ，Ｃ…案件、ＣＶ…圧力室、Ｃｏｍ…駆動信号、Ｄ１，Ｄ１－Ａ，Ｄ１－Ｂ，Ｄ１－Ｄ…接続部、Ｄ２，Ｄ２－Ｂ，Ｄ２－Ｄ…吐出開口、ＤＲ…液滴、ＦＮ１，ＦＮ２…面、Ｇ１，Ｇ２…距離、ＧＤ１，ＧＤ１－Ａ，ＧＤ１－Ｂ，ＧＤ１－Ｄ，ＧＤ２，ＧＤ２－Ｂ，ＧＤ２－Ｄ，ＧＵ１，ＧＵ１－Ｅ，ＧＵ２，ＧＵ２－Ｅ…重心、ＨＵ…液体吐出モジュール、Ｉｍｇ…印刷データ、Ｌ１，Ｌ２…距離、ＬＤ１２，ＬＤＵ，ＬＤＵ－Ｄ…線分、ＬＧ１，ＬＧ２，ＬＧ３，ＬＧ４…距離、Ｌｎ…ノズル列、Ｎ，Ｎ－Ａ，Ｎ－Ｂ，Ｎ－Ｄ，Ｎ－Ｅ…ノズル、ＮＤ，ＮＤ－Ａ，ＮＤ－Ｂ，ＮＤ－Ｄ…下流ノズル部分、ＮＵ，ＮＵ－Ｅ…上流ノズル部分、ＰＰ…媒体、ＰＺ…圧電素子、ＲＳ…液体貯留室、ＳＩ…印刷信号、Ｕ１，Ｕ１－Ｅ…供給開口、Ｕ２，Ｕ２－Ｅ…底面、ＷＤ，ＷＵ…壁面、ｄＣｏｍ…波形指定信号、θ１，θ２…角度。

Claims (8)

1. 第１駆動素子と、
   圧力室基板に区画され、前記第１駆動素子の駆動により液体に圧力を付与する第１圧力室と、
   ノズル基板に形成され、前記第１圧力室と連通し、液体を吐出する第１ノズルと、
   を備え、
   前記ノズル基板は、第１面と、前記第１面よりも前記圧力室基板に近い第２面と、を有し、
   前記第１ノズルは、
   前記第２面に開口した第１供給開口と、前記第１供給開口に対向する第１底面と、を含む第１上流ノズル部分と、
   前記第１面に開口した第１吐出開口と、前記第１底面に開口した第１接続部と、を含む第１下流ノズル部分と、を含み、
   前記ノズル基板の厚さ方向にみたとき、前記第１上流ノズル部分の断面積は、前記第１下流ノズル部分の断面積よりも大きく、
   前記厚さ方向にみたとき、前記第１接続部の重心は、前記第１吐出開口の重心と前記第１底面の重心との間に位置する、
   ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
2. 前記第１吐出開口の重心と前記第１接続部の重心とを結ぶ第１線分と、前記厚さ方向とがなす第１角度は、０度より大きく且つ９０度より小さく、
   前記第１下流ノズル部分は、前記第１面に対して前記第１線分に沿って傾斜する、
   ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
3. 前記厚さ方向にみたとき、前記第１吐出開口の重心と、前記第１接続部の重心と、前記第１底面の重心とは、同一直線上に位置する、
   ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
4. 前記厚さ方向にみたとき、前記第１供給開口の重心の位置と前記第１底面の重心の位置とが異なる、
   ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
5. 前記第１駆動素子とは異なる第２駆動素子と、
   前記圧力室基板に区画され、前記第２駆動素子の駆動により液体に圧力を付与する第２圧力室と、
   前記ノズル基板に形成され、前記第２圧力室と連通し、液体を吐出する第２ノズルと、
   を更に備え、
   前記第２ノズルは、
   前記第２面に開口した第２供給開口と、前記第２供給開口に対向する第２底面と、を含む第２上流ノズル部分と、
   前記第１面に開口した第２吐出開口と、前記第２底面に開口した第２接続部とを含む第２下流ノズル部分と、
   を含み、
   前記厚さ方向にみたとき、前記第２上流ノズル部分の断面積は、前記第２下流ノズル部分の断面積よりも大きく、
   前記厚さ方向にみたとき、前記第２接続部の重心は、前記第２吐出開口の重心と前記第２底面の重心との間に位置し、
   前記第２吐出開口の重心と前記第２接続部の重心とを結ぶ第２線分と、前記厚さ方向とがなす第２角度は、０度より大きく且つ９０度より小さく、
   前記第２下流ノズル部分は、前記第１面に対して前記第２線分に沿って傾斜し、
   前記第１角度が前記第２角度より大きい場合、前記厚さ方向にみたとき、前記第１底面の重心と前記第１接続部の重心との距離は、前記第２底面の重心と前記第２接続部の重心との距離よりも長い、
   ことを特徴とする請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
6. 前記第１駆動素子とは異なる第３駆動素子及び第４駆動素子と、
   前記圧力室基板に区画され、前記第３駆動素子の駆動により液体に圧力を付与する第３圧力室と、
   前記ノズル基板に形成され、前記第３圧力室と連通し、液体を吐出する第３ノズルと、
   前記圧力室基板に区画され、前記第４駆動素子の駆動により液体に圧力を付与する第４圧力室と、
   前記ノズル基板に形成され、前記第４圧力室と連通し、液体を吐出する第４ノズルと、
   を更に備え、
   前記第３ノズルは、前記第１ノズルの隣に位置し、
   前記第４ノズルは、前記第１ノズルの隣に位置し、且つ、前記第１ノズルから前記第３ノズルに向かう方向とは反対方向に位置し、
   前記第３ノズルは、
   前記第２面に開口した第３供給開口と、前記第３供給開口に対向する第３底面と、を含む第３上流ノズル部分と、
   前記第１面に開口した第３吐出開口と、前記第３底面に開口した第３接続部とを含む第３下流ノズル部分と、
   を含み、
   前記厚さ方向にみたとき、前記第３上流ノズル部分の断面積は、前記第３下流ノズル部分の断面積よりも大きく、
   前記厚さ方向にみたとき、前記第３接続部の重心は、前記第３吐出開口の重心と前記第３底面の重心との間に位置し、
   前記第４ノズルは、
   前記第２面に開口した第４供給開口と、前記第４供給開口に対向する第４底面と、を含む第４上流ノズル部分と、
   前記第１面に開口した第４吐出開口と、前記第４底面に開口した第４接続部とを含む第４下流ノズル部分と、
   を含み、
   前記厚さ方向にみたとき、前記第４上流ノズル部分の断面積は、前記第４下流ノズル部分の断面積よりも大きく、
   前記厚さ方向にみたとき、前記第４接続部の重心は、前記第４吐出開口の重心と前記第４底面の重心との間に位置し、
   前記厚さ方向にみたとき、前記第１吐出開口の重心から前記第３吐出開口の重心までの距離を第１距離とし、前記第１吐出開口の重心から前記第４吐出開口の重心までの距離を第２距離とし、前記第１底面の重心から前記第３底面の重心までの距離を第３距離とし、前記第１底面の重心から前記第４底面の重心までの距離を第４距離とすると、
   前記第１距離と前記第２距離との差の絶対値は、前記第３距離と前記第４距離との差の絶対値より小さい、
   ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
7. 請求項１から６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドを、
   備えることを特徴とする液体吐出装置。
8. 液体を吐出する第１ノズルを備えるノズル基板であって、
   第１面と、前記第１面とは反対側に位置する第２面とを有し、
   前記第１ノズルは、
   前記第２面に開口した第１供給開口と、前記第１供給開口に対向する第１底面と、を含む第１上流ノズル部分と、
   前記第１面に開口した第１吐出開口と、前記第１底面に開口した第１接続部と、を含む第１下流ノズル部分と、を含み、
   前記ノズル基板の厚さ方向にみたとき、前記第１上流ノズル部分の断面積は、前記第１下流ノズル部分の断面積よりも大きく、
   前記厚さ方向にみたとき、前記第１接続部の重心は、前記第１吐出開口の重心と前記第１底面の重心との間に位置する、
   ことを特徴とするノズル基板。

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