JP2024002719A - スリットチャンバーおよび微粒化装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】スリットチャンバーにかかる応力集中を緩和し、適切な締付力を維持して、メンテナンス性能を向上した微粒化装置を提供する。【解決手段】スリットチャンバー1は、原料Mが導入される導水ノズル5と、導水ノズル5の下流側に配置される上流ノズル6であって、両端に拡径部6d、6fを有する長孔形状の第1および第2の上流ノズル導水部6c、6eを有する上流ノズル6と、上流ノズル6よりも下流側に配置される下流ノズル7であって、原料Mが導入される下流ノズル導水部7cを有する下流ノズル7と、を有する。【選択図】図1

Description

本発明は、原料スラリーを微粒化処理するためのスリットチャンバーおよび微粒化装置に関する。
従来、ボールミル、コロイドミル、分散機、ホモジナイザー、微粒化装置等が、微粒化装置として用いられてきた。
原料の特性や付与する性能を調整するために、微粒化装置は、ノズルを有するチャンバーを有する。スリットチャンバーと呼ばれるノズルやライナーの構造が開示されている。
例えば、特許第2788010号公報や特公平05-012976号公報に開示される乳化装置では、硬質のプレート材からなる2枚のライナー部材によって、流路を閉塞する。流入側に配設された第1のライナー部材には、板面中心に対して対象位置に、2つの第1の透孔が貫通形成される。ノズルから噴出された各混合液は、2つの第1の透孔を通過可能である。第1のライナー部材の一方の板面には、透孔の端部を連通させる溝部が形成される。第2のライナー部材は、第1のライナー部材に密着して、流出側に配設される。第1のライナー部材との密着対向面には、第1の溝部と直交する第2の溝部が形成される。第2の溝部の両外方端には、排出用の2つの第2の透孔が貫通形成される。混合液が第1、第2のライナー部材を通過する間に、乳化を行う。
また、特開2022-63686号公報には、スリットチャンバーが開示されている。スリットチャンバーを構成する複数のノズルに対して、特定の部位に応力を集中させないように、上流ノズルと下流ノズルに形成する孔や溝等を工夫している。
また、特許第6125433号公報には、ボルトの締結力によって、入口混合チャンバ要素112と出口混合チャンバ要素114を、入口固定具108と出口固定具110の間で圧縮するチャンバーの構造が開示されている。
従来の乳化装置では、第1、第2のライナー部材に透孔や案内溝が形成される。しかし、混合液(以下、原料スラリーという)がライナー部材、透孔および案内溝の内面や端面に衝突や通過する際、構造的に弱い部分や応力が集中する箇所から破断することがある。
処理量を増加させるために、孔や溝の個数を増やしたり、流路を大きくしたりする必要がある。しかし、薄いノズル部材に加工を施すため、応力集中を回避することを考慮した、長寿命のノズルが求められる。
孔や溝の個数を増やすことや流路を大きくすることによる大流量化を実現するために、孔や溝等が形成された複数のライナー部材やノズルを破損させないように、複数のライナー部材やノズルの適切な位置に、適切な締付力を与える必要がある。そのため、締付機構を改良する必要がある。
ノズル部材の厚みが薄いため、ボルトの締結力のみで締付ける場合、過度な締付によって、厚みが薄いノズル部材の損傷を避ける構造が求められる。
本発明は、スリットチャンバーにかかる応力集中を緩和し、適切な締付力を維持して、メンテナンス性能を向上したスリットチャンバーおよび微粒化装置を提供することを目的とする。
本発明の第1の観点は、
原料が導入される導水ノズルと、
導水ノズルの下流側に配置される上流ノズルであって、両端に拡径部を有する長孔形状の第1および第2の上流ノズル導水部を有する上流ノズルと、
前記上流ノズルよりも下流側に配置される下流ノズルであって、前記原料が導入される下流ノズル導水部を有する下流ノズルと、
を有するスリットチャンバーである。
本発明の第2の観点は、
前記原料を貯留する原料タンクと、
前記原料タンクの前記原料を圧送する給液ポンプと、
前記給液ポンプから圧送される前記原料を加圧する前記増圧機と、
前記スリットチャンバーと、
を有する、微粒化装置である。
本発明によれば、スリットチャンバーにかかる応力集中を緩和し、適切な締付力を維持して、メンテナンス性能を向上したスリットチャンバーおよび微粒化装置を提供できる。
実施形態のスリットチャンバーの断面図 (a)上流ノズルの正面図、(b)下流ノズルの正面図、(c)荷重受けノズルの正面図 実施形態のスリットチャンバーの主要部の拡大断面図 実施形態の導水ノズルの変形例の断面図 変形例のスリットチャンバーの断面図 実施形態の微粒化装置の構成図
<実施形態>
以下、実施形態について、適宜図面を参照しながら説明する。
本実施形態のスリットチャンバー1は、加圧されたスラリー状の原料Mを微粒化する。図1に示すように、スリットチャンバー1では、スラリー状の原料Mが、入口側(IN)から出口側(OUT)に向かって供給される。スリットチャンバー1は、第1のチャンバー内側部材2と、第2のチャンバー内側部材3と、チャンバー外側部材4と、を有する。第2のチャンバー内側部材3は、第1のチャンバー内側部材2と連結される。チャンバー外側部材4は、第1のチャンバー内側部材2および第2のチャンバー内側部材3の外側に配置される。
第2のチャンバー内側部材3の内側には、導水ノズル5と、上流ノズル6と、下流ノズル7と、荷重受けノズル8と、噴射液の合流口9と、締付調整部10とが配置される。導水ノズル5は、第1のチャンバー内側部材2と接合される。上流ノズル6は、導水ノズル5の下流側に配置される。下流ノズル7は、上流ノズル6の下流側に配置される。荷重受けノズル8は、下流ノズル7の下流側に配置される。締付調整部10は、第1のチャンバー内側部材2と第2のチャンバー内側部材3とチャンバー外側部材4の締付を調整する。
増圧機103で加圧されたスラリー状の原料Mは、第1のチャンバー内側部材2に導入される。第1のチャンバー内側部材2は、上流側に形成される円筒形状の第1の先端部2aを有する。高圧配管や高圧ホース等、微粒化装置100の一部に第1の先端部2aが配置または接続されることで、第1の先端部2aからスラリー状の原料Mが取り込まれる。
なお、第1の先端部2aは、微粒化装置100の一部に連結しやすい形状であればよい。第1の先端部2aは、例えば、円筒形状、多角形状である。第1の先端部2aを微粒化装置100の一部に連結しやすいように、ワンタッチ式の固定具を配置してもよい。
第1のチャンバー内側部材2は、窪み部2cと、周縁部2bを有する。窪み部2cは、円筒形状であり、下流側に形成される。周縁部2bは、窪み部2cの外側に配置される。チャンバー外側部材4は、内側に係合部4aを有する。周縁部2bは、係合部4aと係合する。これによって、第1のチャンバー内側部材2と、各種ノズル(導水ノズル5、上流ノズル6、下流ノズル7、荷重受けノズル8)と、第2のチャンバー内側部材3との位置決めの基準面を設定できる。
窪み部2cは、導水ノズル5を内設できるだけの深さを有する。第2のチャンバー内側部材3は、第2の先端部3aを有する。窪み部2cは、第2の先端部3aを内設した状態で、強度や構造上の安定性を確保できればよい。
周縁部2bは、第1のチャンバー内側部材2とチャンバー外側部材4を安定して係合できればよい。周縁部2bや係合部4aは、剛性や硬度の高い材質で形成してもよい。周縁部2bや係合部4aに、剛性や硬度の高い材質でコーティングを施してもよい。周縁部2bや係合部4aは、係合可能な幅や大きさを有する。また、第1のチャンバー内側部材2とチャンバー外側部材4は、樹脂製部品を介して係合してもよい。
第2のチャンバー内側部材3は、第1のチャンバー内側部材2に連結される。また、第2のチャンバー内側部材3の内側には、各種ノズル(導水ノズル5、上流ノズル6、下流ノズル7、荷重受けノズル8)が配置される。
第2のチャンバー内側部材3は、第2の先端部3aを有する。第2の先端部3aは、円筒形状であり、上流側に形成される。第1のチャンバー内側部材2の窪み部2cに、第2の先端部3aを接合する。これによって、第1のチャンバー内側部材2内に形成される流路から、スラリー状の原料Mが各種ノズル(導水ノズル5、上流ノズル6、下流ノズル7、荷重受けノズル8)に供給される。
チャンバー外側部材4の内側には、第1のチャンバー内側部材2および第2のチャンバー内側部材3が配置される。チャンバー外側部材4は、第1のチャンバー内側部材2および第2のチャンバー内側部材3の位置を固定する。チャンバー全体に対して、締付力を与えることによって、スラリー状の原料Mが通過するための流路の位置が安定化する。
導水ノズル5は、図1および図3に示すように、各種ノズル(上流ノズル6、下流ノズル7、荷重受けノズル8)の位置を安定させた状態で、第1のチャンバー内側部材2と第2のチャンバー内側部材3との締付位置を調整する。導水ノズル5は、図3に示すように、上流側に導水ノズルテーパ5aを有する。第1のチャンバー内側部材2は、下流側に第1のチャンバー内側部材テーパ2dを有する。導水ノズルテーパ5aと第1のチャンバー内側部材テーパ2dは、適切に面接触するように、配置される。
導水ノズル5は、図3に示すように、下流側の外周に導水ノズル周縁部5bを有する。導水ノズル周縁部5bは、第2の先端部3aの内径以上の外径を有する。これにより、全周方向のブレを防止できる。なお、導水ノズル周縁部5bに、コーティング等を施すことによって、損傷等を防止してもよい。
導水ノズル5は、変形例として、導水ノズル内側部材と導水ノズル外側部材に分割した構造でもよい。導水ノズル内側部材(不図示)は、導水ノズル外側部材(不図示)の内側に配置される。導水ノズル内側部材は、原料処理に耐えるために、導水ノズル外側部材よりも硬度が高い材質で形成される。
導水ノズル5は、第1の上流ノズル導水部6cと第2の上流ノズル導水部6eに連通する流路を内側に有する。その流路は、ストレート形状、縮径形状等、下流側に配置されるノズルの流路の形状や通過させる原料Mの量に応じて、設定できる。
図4は、導水ノズル5の変形例を示す。導水ノズル5は、導水ノズルテーパ5aに代えて、導水ノズル円弧部5cを有する。導水ノズル円弧部5cは、円弧状の表面を有する。そのため、導水ノズル円弧部5cは、第1のチャンバー内側部材テーパ2dと点や円弧状に接触する。これにより、面接触する場合と比べて、他の要素とのかじりや損傷を避けることができる。なお、導水ノズル円弧部5cにおける円弧の角度は、第1のチャンバー内側部材テーパ2dの角度に応じて、適宜設定する。
上流ノズル6は、図1および図2(a)に示すように、第2のチャンバー内側部材3の内側で、導水ノズル5の下流側に配置される。上流ノズル6は、上流ノズル内側部材6aと上流ノズル外側部材6bとを有する。上流ノズル内側部材6aは、上流ノズル外側部材6bの内側に配置される。上流ノズル内側部材6aは、原料処理に耐えるために、上流ノズル外側部材6bよりも硬度が高い材質で形成される。
上流ノズル内側部材6aは、第1の上流ノズル導水部6cと、第2の上流ノズル導水部6eとを有する。第1の上流ノズル導水部6cの両端には、第1の上流ノズル拡径部6dが形成される。第2の上流ノズル導水部6eの両端には、第2の上流ノズル拡径部6fが形成される。原料Mの処理量を増やすには、チャンバー内に多くの原料Mを取り込む必要がある。第1、第2の上流ノズル導水部6c、6eを真円形状や楕円形状にするだけでは、原料Mを十分に処理できない。また、第1、第2の上流ノズル導水部6c、6eを長孔形状(縦長の形状)にすると、第1、第2の上流ノズル導水部6c、6eの両端箇所に応力が集中し、上流ノズル6の破損が生じやすくなる。第1、第2の上流ノズル導水部6c、6eの両端に、第1の上流ノズル拡径部6dと、第2の上流ノズル拡径部6fを形成することで、上流ノズル6の応力集中を緩和し、長寿命化を実現できる。
第1、第2の上流ノズル導水部6c、6eは、長孔形状(縦長の形状)であればよく、高さ、幅、個数は、適宜設定できる。第1の上流ノズル拡径部6dと、第2の上流ノズル拡径部6fは、第1、第2の上流ノズル導水部6c、6eよりも幅(内径またが外径)の大きな形状であればよい。第1の上流ノズル拡径部6dと、第2の上流ノズル拡径部6fの形状としては、図2(a)に示すように、円形であることが望ましいが、別途、応力集中を回避できる形状や対策を講じた形状であればよい。上流ノズル導水部の数に応じて、ノズル拡径部の数は増加する。なお、第1、第2の上流ノズル導水部6c、6eにコーティング等を施すことにより、損傷等を防止できる。
下流ノズル7は、図1および図2(b)に示すように、第2のチャンバー内側部材3の内側で、上流ノズル6の下流側に配置される。下流ノズル7は、下流ノズル内側部材7aと下流ノズル外側部材7bとを有する。下流ノズル内側部材7aは、下流ノズル外側部材7bの内側に配置される。下流ノズル内側部材7aは、原料処理に耐えるために、下流ノズル外側部材7bよりも硬度が高い材質で形成される。
下流ノズル内側部材7aは、下流ノズル導水部7cを有する。下流ノズル導水部7cの両端には、下流ノズル拡径部7dが形成される。第1の上流ノズル拡径部6d、第2の上流ノズル拡径部6fと同様、下流ノズル拡径部7dにより、原料Mの流量を多くする場合に発生する応力集中を回避し、下流ノズル7の長寿命化を実現できる。
下流ノズル導水部7cは、長孔形状(縦長の形状)であればよく、高さや幅は適宜設定できる。下流ノズル拡径部7dは、下流ノズル導水部7cよりも幅(内径又は外径)の大きな形状であればよい。下流ノズル拡径部7dの形状としては、図2(b)に示すように、円形であることが望ましいが、別途、応力集中を回避できる形状や対策を講じた形状であればよい。下流ノズル導水部の数に応じて、ノズル拡径部の数は増加する。なお、下流ノズル拡径部7dにコーティング等を施すことにより、損傷等を防止できる。
荷重受けノズル8は、図1および図2(c)に示すように、下流ノズル7の下流側に配置される。荷重受けノズル8は、荷重受けノズル導水部8cを有する。下流ノズル導水部7cと荷重受けノズル導水部8cが連通するように、荷重受けノズル8が配置される。荷重受けノズル8は、荷重受けノズル内側部材8aと荷重受けノズル外側部材8bとを有する。荷重受けノズル内側部材8aは、荷重受けノズル外側部材8bの内側に配置される。荷重受けノズル内側部材8aは、原料処理に耐えるために、荷重受けノズル外側部材8bよりも硬度が高い材質で形成される。
荷重受けノズル導水部8cは、下流ノズル拡径部7dと同等以上の大きさを有する。なお、荷重受けノズル導水部8cにコーティング等を施すことにより、損傷等を防止できる。
荷重受けノズル8は、変形例として、荷重受けノズル内側部材8aと荷重受けノズル外側部材8bとを分割構造とせずに、一体構造でもよい。その場合、上流ノズル6や下流ノズル7の材質や形状に適したものを選択する。
導水ノズル5、上流ノズル6、下流ノズル7、荷重受けノズル8の材質は、各種金属、超硬、焼結ダイヤ等の硬度の高いものが望ましい。
導水ノズル5、上流ノズル6、下流ノズル7、荷重受けノズル8は、それぞれ接合部を有し、お互いに接合しあう構造を有する。
導水ノズル5は、突起形状の導水ノズル接合部5dを有する。導水ノズル接合部5dは、導水ノズルテーパ5aの下流側に形成される。上流ノズル6は、突起形状の第1の上流ノズル接合部6hを有する。第1の上流ノズル接合部6hは、上流ノズル内側部材6aの上流側に形成される。導水ノズル接合部5dと第1の上流ノズル接合部6hとが接合される。
上流ノズル6は、突起形状の第2の上流ノズル接合部6iを有する。第2の上流ノズル接合部6iは、上流ノズル内側部材6aの下流側に形成される。下流ノズル7は、突起形状の第1の下流ノズル接合部7iを有する。第1の下流ノズル接合部7iは、下流ノズル内側部材7aの上流側に形成される。第2の上流ノズル接合部6iと第1の下流ノズル接合部7iとが接合される。
下流ノズル7は、突起形状の第2の下流ノズル接合部7hを有する。第2の下流ノズル接合部7hは、下流ノズル内側部材7aの下流側に形成される。荷重受けノズル8は、突起形状の荷重受けノズル接合部8hを有する。荷重受けノズル接合部8hは、荷重受けノズル内側部材8aの上流側に形成される。第2の下流ノズル接合部7hと荷重受けノズル接合部8hとが接合される。
このように、接合部同士がフラットな状態で接合しあうことによって、ノズル内における適切な流体(原料M)の流れを確保できる。各ノズルは、内側部材と外側部材とを有する。このように、内側部材と外側部材の少なくとも一方を軸として固定できる構造とすることにより、安定した構造となる。なお、接合部にコーティング等を施すことにより、損傷等を防止できる。
上流ノズル外側部材6bの下部には、上流ノズル平坦部6gが形成される。下流ノズル外側部材7bの下部には、下流ノズル平坦部7gが形成される。荷重受けノズル外側部材8bの下部には、荷重受けノズル平坦部8gが形成される。
第2のチャンバー内側部材3の内部には、平坦形状の位置決め用平坦部3bが形成される。これにより、上流ノズル平坦部6g、下流ノズル平坦部7g、荷重受けノズル平坦部8gを位置決め用平坦部3bに合わせて、最適な位置決めを行うことができる。
なお、平坦部の形状による位置決め構造は、一例であり、各要素の溝機構やネジ機構等、適宜設定できる。そのほか、適宜、シール部材を配置してもよい。
また、平坦部に代えて/加えて、導水ノズル5、上流ノズル6、下流ノズル7、荷重受けノズル8を内通する流路同士が適切に接合するように、1つまたは複数の連結部(不図示)を配置してもよい。連結部は、例えば、各ノズルの外側から固定具等で連結するものや、導水部や拡径部の外周から(各ノズルの内側から)固定具等で連結するものである。
微粒化流路7fは、下流ノズル導水部7cと直交する。微粒化流路7fは、第1、第2の上流ノズル導水部6c、6eと連通する。微粒化流路7fで、原料Mを微粒化する。複数の微粒化流路7fを形成することによって、微粒化処理する原料の量を増やすことができる。第1、第2の上流ノズル導水部6c、6eの高さや幅に合わせて、微粒化流路7fの数を変更してもよい。微粒化流路7fの形状は、円筒状、多角形状等問わない。微粒化流路7fの形状は、円筒状であることが望ましい。
微粒化流路7fは、図3に示すように、下流ノズル内側部材7aの一面だけではなく、両面に形成される。初期設定の配置で、上流側に形成される第1の微粒化流路7faで、原料Mを微粒化する。微粒化処理によって、第1の微粒化流路7faの内部が摩耗することがある。下流ノズル内側部材7aの反対側に第2の微粒化流路7fbを形成しておくことによって、不具合時に下流ノズル内側部材7aの表裏を引っ繰り返して利用できる。
下流ノズル導水部7cの左右方向の幅は、微粒化流路7fの左右方向の幅よりも小さい第1、第2の上流ノズル導水部6c、6eを通過したスラリー状の原料Mが下流ノズル7の入口側端面に衝突した後、直角方向に移動する。そして、縮径された微粒化流路7fでスラリー状の原料Mが微粒化される。
微粒化装置100の起動時には、一時的に第1、第2の上流ノズル導水部6c、6e付近の内部空間に充填されるスラリー状の原料Mの流れが乱れる。しかし、合流口9から処理物が噴射され続けることによって、スラリー状の原料Mの流れの乱れが少なくなる。
微粒化流路7fの深さは、下流ノズル導水部7cの深さよりも小さい。微粒化流路7fの上下方向の幅は、第1、第2の上流ノズル導水部6c、6eの直径よりも小さい。この縮径及び縮流により、強力なせん断応力が原料Mに加わり、微粒化性能が向上する。
下流ノズル導水部7cや微粒化流路7fの流路内に表面処理を施したり、流路を凹凸形状としたりしてもよい。
締付調整部10は、第1のチャンバー内側部材2、第2のチャンバー内側部材3およびチャンバー外側部材4の締付力を調整する。締付調整部10は、例えば、図1に示すように、溝部3cとネジ部4bで構成される。溝部3cは、第2のチャンバー内側部材3の外側に形成される。ネジ部4bは、チャンバー外側部材4の内側に形成される。
ボルト等の締結具(不図示)を用いた締付のみの場合、作業者の力加減によって、過剰に締付力がかかってしまい、接触する要素同士のかじりや損傷が発生する可能性がある。属人的な締付力の付与ではなく、簡易な締付構造とすることで、このような不具合を低減できる。
<変形例>
変形例のスリットチャンバー1Aは、加圧されたスラリー状の原料Mを微粒化する。図5に示すように、スリットチャンバー1Aでは、スラリー状の原料Mが、入口側(IN)から出口側(OUT)に向かって供給される。スリットチャンバー1Aは、第1のチャンバー内側部材2´と、第2のチャンバー内側部材3´と、チャンバー外側部材4´と、を有する。第2のチャンバー内側部材3´は、第1のチャンバー内側部材2´と連結される。チャンバー外側部材4´は、第1のチャンバー内側部材2´および第2のチャンバー内側部材3´の外側に配置される。
第2のチャンバー内側部材3´の内側には、導水ノズル5´と、上流ノズル6´と、下流ノズル7´と、荷重受けノズル8´と、合流口9´が配置される。導水ノズル5´は、第1のチャンバー内側部材2´と接合される。上流ノズル6´は、導水ノズル5´の下流側に配置される。下流ノズル7´は、上流ノズル6の下流側に配置される。荷重受けノズル8´は、下流ノズル7´の下流側に配置される。
チャンバー外側部材4´は、内側に窪み部4cを有する。窪み部4cと第1のチャンバー内側部材2´の外側で画定される空間に、締付調整部10´が配置される。締付調整部10´は、例えば、1つまたは複数のバネ、スプリング等の弾性部材を有する。これにより、過度な締付を回避するための弾性力を付加できる。
<微粒化装置>
図6を参照して、実施形態の微粒化装置100について説明する。微粒化装置100は、原料タンク101と、給液ポンプ102と、増圧機103と、スリットチャンバー1と、を有する原料タンク101は、スラリー状の原料Mを貯留する。給液ポンプ102は、原料タンク101の原料スラリーを圧送する。増圧機103は、給液ポンプ102から圧送されるスラリー状の原料Mを加圧する。スリットチャンバー1は、加圧されたスラリー状の原料Mを乳化処理する。
以下、本実施形態の微粒化装置100における処理手順について説明する。なお、スリットチャンバー1は、上述した実施形態の構成を用いる。
まず、原料タンク101内に微粒化対象となる原料を投入し、スラリー状に調整する。次に、原料タンク101内のスラリー状の原料Mが、給液ポンプ102によって、増圧機103の増圧室内に圧送される。圧送されたスラリー状の原料Mは、増圧機103によって加圧される。加圧されたスラリー状の原料Mは、スリットチャンバー1に供給される。
スリットチャンバー1に供給されたスラリー状の原料Mは、導水ノズル5内側の流路を通り、上流ノズル6の第1、第2の上流ノズル導水部6c、6eに入る。その後、スラリー状の原料Mは、下流ノズル7の端面に衝突し、直角状に軌道を変えて微粒化流路7fで縮径される。これにより、せん断応力およびキャビテーション効果が得えられ、微粒化される。
微粒化された原料Mは、下流ノズル導水部7cを通り、下流ノズル拡径部7dから、荷重受けノズル導水部8cを通過した後、合流口9から噴射される。なお、処理は1回だけでなく、複数回繰り返してもよい。
本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明はその趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更が可能であることは言うまでもない。
1 スリットチャンバー
2 第1のチャンバー内側部材
3 第2のチャンバー内側部材
4 チャンバー外側部材
5 導水ノズル
6 上流ノズル
7 下流ノズル
8 荷重受けノズル
9 合流口
10 締付調整部
100 微粒化装置
101 原料タンク
102 給液ポンプ
103 増圧機

Claims (8)

  1. 原料が導入される導水ノズルと、
    前記導水ノズルの下流側に配置される上流ノズルであって、両端に拡径部を有する長孔形状の第1および第2の上流ノズル導水部を有する上流ノズルと、
    前記上流ノズルよりも下流側に配置される下流ノズルであって、前記原料が導入される下流ノズル導水部を有する下流ノズルと、
    を有するスリットチャンバー。
  2. 前記原料が導入される第1のチャンバー内側部材と、
    前記導水ノズル、前記上流ノズルおよび前記下流ノズルの外側に配置される第2のチャンバー内側部材と、
    前記第1のチャンバー内側部材および前記第2のチャンバー内側部材の外側に配置されるチャンバー外側部材と、
    を更に有する、請求項1に記載のスリットチャンバー。
  3. 前記第1のチャンバー内側部材は、第1のチャンバー内側部材テーパを有し、
    前記第2のチャンバー内側部材は、第2の先端部を有し、
    前記導水ノズルは、
    前記第1のチャンバー内側部材テーパに接合される導水ノズルテーパと、
    前記第2の先端部に内設される導水ノズル周縁部と、
    を有する、
    請求項2に記載のスリットチャンバー。
  4. 前記第1のチャンバー内側部材は、周縁部を有し、
    前記チャンバー外側部材は、前記周縁部と係合する係合部を有する、
    請求項2または3に記載のスリットチャンバー。
  5. 前記第1のチャンバー内側部材、前記第2のチャンバー内側部材および前記チャンバー外側部材の締付力を調整する締付調整部を更に有する、
    請求項2~4のいずれかに記載のスリットチャンバー。
  6. 前記上流ノズルは、下部に上流ノズル平坦部を有し、
    前記下流ノズルは、下部に下流ノズル平坦部を有し、
    前記第2のチャンバー内側部材は、内部に位置決め用平坦部を有する、
    請求項2~5のいずれかに記載のスリットチャンバー。
  7. 前記導水ノズルは、下流側に形成される、突起形状の導水ノズル接合部を有し、
    前記上流ノズルは、
    上流側に形成される、突起形状の第1の上流ノズル接合部であって、前記導水ノズル接合部と接合される第1の上流ノズル接合部と、
    下流側に形成される、突起形状の第2の上流ノズル接合部と、
    を有し、
    前記下流ノズルは、
    上流側に形成される、突起形状の第1の下流ノズル接合部であって、前記第2の上流ノズル接合部と接合される第1の下流ノズル接合部と、
    下流側に形成される、突起形状の第2の下流ノズル接合部と、
    を有する、
    請求項1~6のいずれかに記載のスリットチャンバー。
  8. 前記原料を貯留する原料タンクと、
    前記原料タンクの前記原料を圧送する給液ポンプと、
    前記給液ポンプから圧送される前記原料を加圧する増圧機と、
    請求項1~7のいずれかに記載のスリットチャンバーと、
    を有する、微粒化装置。
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