JP2023548757A5 - - Google Patents

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Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113257989A (zh) 2020-10-29 2021-08-13 阿里巴巴集团控股有限公司 约瑟夫森结的制备方法、装置、设备以及超导器件
US12527234B2 (en) 2021-06-04 2026-01-13 Anyon Systems Inc. Method for fabricating tunnel junctions
JP2024526085A (ja) 2021-06-11 2024-07-17 シーク， インコーポレイテッド 超伝導量子回路のための磁束バイアスのシステム及び方法
CN118077031A (zh) 2021-10-07 2024-05-24 谷歌有限责任公司 硬掩模剥离工艺
US12462184B2 (en) * 2021-12-21 2025-11-04 Intel Corporation Apparatus and method for efficient and scalable quantum instruction implementation for a high sensitivity silicon spin qubit readout
CN116940217A (zh) 2022-03-29 2023-10-24 腾讯科技（深圳）有限公司 约瑟夫森结制备方法及生产线设备
CN116156999B (zh) * 2022-09-27 2024-11-15 本源量子计算科技（合肥）股份有限公司 约瑟夫森结及其制备方法
CN116156998B (zh) * 2022-09-27 2024-08-13 本源量子计算科技（合肥）股份有限公司 超导约瑟夫森结及其制备方法
CN115410981A (zh) * 2022-08-03 2022-11-29 北京量子信息科学研究院 用于制备约瑟夫森结的样品台和制备约瑟夫森结的方法
FI20225827A1 (en) * 2022-09-23 2024-03-24 Iqm Finland Oy Superconducting vacuum-bridged josephson junctions
US20240169232A1 (en) * 2022-11-18 2024-05-23 International Business Machines Corporation Long-range coupling qubits in quantum computing with energy loss protection via multi-mode and fluxonium qubits
CN116227391B (zh) * 2023-02-22 2023-11-10 中国计量科学研究院 可容错的约瑟夫森结阵、动态三进制设计方法及设备
CN116682721A (zh) * 2023-06-19 2023-09-01 本源量子计算科技（合肥）股份有限公司 掩膜及其制造方法、约瑟夫森结的制造方法
NL2038876B1 (en) * 2024-06-14 2026-01-12 Quantware Holding B V Josephson junction quantum mechanical device with increased critical current

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4370359A (en) * 1980-08-18 1983-01-25 Bell Telephone Laboratories, Incorporated Fabrication technique for junction devices
JP5289673B2 (ja) * 2005-10-21 2013-09-11 中国電力株式会社 超電導接合素子および超電導接合回路
CN104701451B (zh) * 2015-03-20 2017-03-29 清华大学 一种原位三层膜边缘覆盖超导约瑟夫森结制备工艺
US20190288176A1 (en) * 2016-06-13 2019-09-19 Intel Corporation Suspended josephson junctions
US10916690B2 (en) * 2018-11-28 2021-02-09 International Business Machines Corporation Electrical leads for trenched qubits
CN111613661B (zh) * 2019-02-22 2024-03-26 中国科学院物理研究所 隧道结、其制备方法和应用
CN111244259B (zh) * 2020-01-20 2023-07-25 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 一种约瑟夫森结及超导量子干涉器件的制备方法
CN111403590A (zh) * 2020-04-30 2020-07-10 合肥本源量子计算科技有限责任公司 一种超导约瑟夫森结的制备方法
CN111554798B (zh) * 2020-04-30 2021-06-08 合肥本源量子计算科技有限责任公司 一种量子芯片测试结构、其制备方法和测试方法
US11683995B2 (en) * 2020-08-03 2023-06-20 International Business Machines Corporation Lithography for fabricating Josephson junctions
CN113257989A (zh) * 2020-10-29 2021-08-13 阿里巴巴集团控股有限公司 约瑟夫森结的制备方法、装置、设备以及超导器件

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