JP2023532670A - 表面不動態化層を有するガラスセラミック物品及びその製造方法 - Google Patents

表面不動態化層を有するガラスセラミック物品及びその製造方法 Download PDF

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Abstract

表面不動態化層を含むガラスセラミック物品を提供する。不動態化層は酸化物層であり、20nm以上200nm以下の厚さと、3nm以下のRMS表面粗さとを有している。表面不動態化層は、液相析出処理により形成することができる。ガラスセラミック物品は、表面不動態化層上に配置された易清掃層を含むことができ、ガラスセラミック物品は、化学強化を施すことができる。ガラスセラミック物品は、消費者向け電子機器製品に使用することができる。

Description

優先権
本出願は、2020年9月2日を出願日とする米国仮特許出願第63/073653号及び2020年6月30日を出願日とする米国仮特許出願第63/046492号に基づく優先権の利益を主張するものであり、これらの仮出願のすべての開示内容は、本明細書の依拠するところとし、参照することにより本明細書の一部をなすものとする。
本明細書は、概して、電子デバイスのカバーガラスの用途に適したガラスセラミック物品に関する。
スマートフォン、タブレット端末、ポータブルメディアプレーヤー、パーソナルコンピュータ、カメラなどの携帯型デバイスは、そのモバイル性から、地面などの硬い面に誤って落としてしまう可能性が高い。これらのデバイスには、通常、カバーガラスが組み込まれており、硬い面と衝突するとカバーガラスが破損する恐れがある。そして、これらのデバイスの多くにおいて、カバーガラスはディスプレイカバーとして機能し、タッチ機能を内蔵している場合があるため、カバーガラスが破損するとデバイスの使用に悪影響が出てしまう。
カバーガラスを組み込んだ携帯型デバイスを硬い面に落とした場合に生じるカバーガラスの破損には、大きく分けて2つの形態がある。その1つが、硬い面との衝突によりデバイスに動的な負荷がかかってガラスが曲がることによって起こる曲げ破壊である。もう1つが、ガラスの表面に損傷が入ることによって起こる鋭利接触破壊である。ガラスが、アスファルト、花崗岩などの硬い粗面と衝突すると、ガラス表面に鋭いくぼみが生じる場合がある。そしてこのくぼみがガラス表面の破損部位となり、そこからき裂が発生、進展する恐れがある。
ガラスの曲げ破壊に対する耐性は、ガラス表面に圧縮応力を生じさせるイオン交換技術によって向上させることができる。しかし、イオン交換ガラスであっても、動的な鋭利接触に対しては依然として脆弱であり、これは、鋭利接触によってガラスに局所的なくぼみが生じると、高い応力集中が発生してしまうことが原因となっている。
これまで、携帯デバイスの鋭利接触破壊に対する耐性を向上させるために、ガラス製造業者や携帯デバイス製造業者は継続的な努力を続けてきた。この問題を解決するための取り組みは、カバーガラスにコーティングを施す手法からデバイスを硬い面に落下させた際にカバーガラスが硬い面に直接衝突しないようベゼルを設ける手法まで、多岐にわたっている。しかし、美観や機能面の要件による制約から、カバーガラスが硬い面に衝突することを完全に防ぐのは非常に困難であった。
電子デバイスの性能向上のため、ガラスセラミック材料を電子デバイスに使用する研究が行われている。ガラスセラミック材料は、ガラス材料よりも高い強度を実現する可能性を有してはいるが、ガラス材料を電子デバイスのカバーガラスとして利用する場合にはない難しさもある。例えば、ガラスセラミック材料の表面には結晶相と非晶質相という異なる相が存在するため、表面を均一化したり、表面上に被膜を成膜したりしようとすると、問題が生じる場合があった。
したがって、イオン交換などによる強化が可能で、且つ電子デバイスのディスプレイカバー及び/又は筐体の用途に適した、ガラスセラミック材料などの材料が必要とされている。
態様(1)によれば、物品が提供される。本物品は、表面を有するガラスセラミック基板と、ガラスセラミック基板の表面を覆うように配置された酸化物層と、を含み、酸化物層は、20nm以上200nm以下の厚さと、3nm以下のRMS表面粗さとを有している。
態様(2)によれば、酸化物層を覆うように配置された易清掃層をさらに含む、態様(1)に記載の物品が提供される。
態様(3)によれば、易清掃層がペルフルオロポリエーテルを含む、態様(2)に記載の物品が提供される。
態様(4)によれば、0.15%以下の透過ヘイズを示す、態様(1)~(3)のいずれか1つに記載の物品が提供される。
態様(5)によれば、400nm~700nmの波長域全域にわたって90%以上の透過率を示す、態様(1)~(4)のいずれか1つに記載の物品が提供される。
態様(6)によれば、ガラスセラミック基板が、ペタライト、二ケイ酸リチウム、ケイ酸リチウム、リン酸リチウム、β-スポジュメン、β-石英、スピネル、ムライト、フッ素雲母、メタケイ酸リチウム、フォルステライト、ネフェリン、Li-Zn-Mgオルトケイ酸塩、又はそれらの組み合わせを含む、態様(1)~(5)のいずれか1つに記載の物品が提供される。
態様(7)によれば、ガラスセラミック基板が、ペタライト及び二ケイ酸リチウムを含む、態様(1)~(5)のいずれか1つに記載の物品が提供される。
態様(8)によれば、酸化物層が、SiO、Al、TiO、又はそれらの組み合わせを含む、態様(1)~(7)のいずれか1つに記載の物品が提供される。
態様(9)によれば、酸化物層がSiOを含む、態様(1)~(8)のいずれか1つに記載の物品が提供される。
態様(10)によれば、ガラスセラミック基板が、表面から圧縮深さまで延在する圧縮応力層をさらに有している、態様(1)~(9)のいずれか1つに記載の物品が提供される。
態様(11)によれば、消費者向け電子機器製品が提供される。本消費者向け電子機器製品は、前面、背面及び側面を有する筐体と、筐体の内部に少なくとも一部が収容される電気部品であって、コントローラ、メモリ、及び筐体の前面又はその隣接部に設けられるディスプレイを含む電気部品と、ディスプレイを覆うように配置されるカバープレートと、を備え、筐体及びカバープレートの少なくとも一方が、その少なくとも一部に、態様(1)~(10)のいずれか1つに記載の物品を備えている。
態様(12)によれば、方法が提供される。本方法は、ガラスセラミック基板の表面に液剤を接触させて、表面に酸化物層を成膜してガラスセラミック物品を形成する、接触ステップを含み、酸化物層は、20nm以上200nm以下の厚さと、3nm以下のRMS表面粗さとを有している。
態様(13)によれば、接触ステップ時の液剤の温度が、25℃以上60℃以下である、態様(12)に記載の方法が提供される。
態様(14)によれば、接触ステップが、2分以上1時間以下の時間にわたる、態様(12)又は(13)に記載の方法が提供される。
態様(15)によれば、液剤が、HSiFと、B(OH)及びCa(OH)のうち少なくとも一方と、を含む、態様(12)~(14)のいずれか1つに記載の方法が提供される。
態様(16)によれば、液剤が、0.1M以上3M以下の濃度のHSiFを含む、態様(12)~(15)のいずれか1つに記載の方法が提供される。
態様(17)によれば、液剤が、0.05M以上2.0M以下の濃度のB(OH)を含む、態様(12)~(16)のいずれか1つに記載の方法が提供される。
態様(18)によれば、液剤が、0.01M以上2.0M以下の濃度のCa(OH)を含む、態様(12)~(17)のいずれか1つに記載の方法が提供される。
態様(19)によれば、液剤が、Al(SOとNaHCOとを含む、態様(12)~(18)のいずれか1つに記載の方法が提供される。
態様(20)によれば、液剤が、(NHTiFとB(OH)とを含む、態様(12)~(19)のいずれか1つに記載の方法が提供される。
態様(21)によれば、酸化物層を覆うように易清掃層を配置するステップをさらに含む、態様(12)~(20)のいずれか1つに記載の方法が提供される。
態様(22)によれば、易清掃層がペルフルオロポリエーテルを含む、態様(12)~(21)のいずれか1つに記載の方法が提供される。
態様(23)によれば、ガラスセラミック物品が、0.15%以下の透過ヘイズを示す、態様(12)~(22)のいずれか1つに記載の方法が提供される。
態様(24)によれば、ガラスセラミック物品が、400nm~700nmの波長域全域にわたって90%以上の透過率を示す、態様(12)~(23)のいずれか1つに記載の方法が提供される。
態様(25)によれば、ガラスセラミック基板が、ペタライト、二ケイ酸リチウム、ケイ酸リチウム、リン酸リチウム、β-スポジュメン、β-石英、スピネル、ムライト、フッ素雲母、メタケイ酸リチウム、フォルステライト、ネフェリン、Li-Zn-Mgオルトケイ酸塩、又はそれらの組み合わせを含む、態様(12)~(24)のいずれか1つに記載の方法が提供される。
態様(26)によれば、ガラスセラミック基板が、ペタライト及び二ケイ酸リチウムを含む、態様(12)~(25)のいずれか1つに記載の方法が提供される。
態様(27)によれば、酸化物層が、SiO、Al、TiO、又はそれらの組み合わせを含む、態様(12)~(26)のいずれか1つに記載の方法が提供される。
態様(28)によれば、酸化物層がSiOを含む、態様(12)~(27)のいずれか1つに記載の方法が提供される。
態様(29)によれば、ガラスセラミック基板が、表面から圧縮深さまで延在する圧縮応力層をさらに有している、態様(12)~(28)のいずれか1つに記載の方法が提供される。
以下の詳細な説明において、さらなる特徴及び利点を記載する。下記のさらなる特徴及び利点は、当業者であれば、ある程度はその説明からただちに理解するであろうし、あるいは、以下の詳細な説明、特許請求の範囲、及び添付の図面を含む本明細書に記載の実施形態を実施することによって理解するであろう。
上述の概略的な説明及び以下の詳細な説明はいずれも、種々の実施形態を説明するものであり、特許請求する主題の性質及び特徴を理解するための概観又は枠組みを提供することを意図するものであることを理解されたい。添付の図面は、種々の実施形態のさらなる理解のために添付するものであり、本明細書に組み込まれ、その一部をなすものとする。図面は、本明細書に記載の種々の実施形態を例示的に示すものであり、以下の詳細な説明と合わせて、特許請求する主題の原理及び作用を説明するためのものである。
本明細書に開示及び記載する複数の実施形態に係る、表面に圧縮応力層を有するガラスの断面を示す模式図 本明細書に開示のガラスセラミック物品のいずれかを組み込んだ例示的な電子デバイスを示す平面図 図2Aに示す例示的な電子デバイスの斜視図 研磨・洗浄後のガラスセラミック基板の原子間力顕微鏡(AFM)画像を2種類の倍率で示す図 pH12の洗浄剤で洗浄後のガラスセラミック基板及び比較ガラスの水接触角を損傷サイクル数の関数で示すグラフ 15分間、30分間、及び45分間の液相析出処理を経た後の、一実施形態に係るガラスセラミック物品の上面外観及び断面を示す走査電子顕微鏡(SEM)画像を示す図 一実施形態に係るガラスセラミック物品の酸化シリカ層の層厚及びRMS表面粗さを液相析出時間の関数で示すグラフ ガラスセラミック基板、一実施形態に係るガラスセラミック物品、1回洗浄後のガラスセラミック物品、及び3回洗浄後のガラスセラミック物品のRMS表面粗さをプロットした図 ガラスセラミック基板、一実施形態に係るガラスセラミック物品、及び比較ガラスの水接触角を損傷サイクル数の関数で示すグラフ ガラスセラミック基板(GC)、1回洗浄後のガラスセラミック基板(GC 1X)、3回洗浄後のガラスセラミック基板(GC 3X)、一実施形態に係るガラスセラミック物品(GCA)、1回洗浄後のガラスセラミック物品(GCA 1X)、及び3回洗浄後のガラスセラミック物品(GCA 3X)の透過率を波長の関数で示すグラフ 図9の試料の透過ヘイズをプロットした図 ガラスセラミック基板(GC)及び一実施形態に係るガラスセラミック物品(GCA)のリングオンリング試験結果のワイブルプロット ガラスセラミック基板及び一実施形態に係るガラスセラミック物品についての、円錐漸増引掻試験の画像及び関連する摩擦係数(COF)プロットを示す図 ガラスセラミック基板(GC)、一実施形態に係るガラスセラミック物品(GCA)、及びシリカ層成膜前にフッ酸処理を行ったガラスセラミック物品(GCA HF)についてのヌープ引掻試験(KST)結果を示す区間プロット ガラスセラミック基板、一実施形態に係るガラスセラミック物品、及び経年劣化試験後のガラスセラミック物品の透過率を波長の関数で示すグラフ
次に、種々の実施形態に係る、表面不動態化層を有するガラスセラミック物品について詳細に説明する。
本明細書において、「ガラスセラミック(glass-ceramic)」という用語は、非晶質相(ガラス相)と少なくとも1つの結晶相とを含む材料を指す。ガラスセラミック、特にイオン交換性ガラスセラミックは、高い強度、高い耐損傷性、低い脆性、広範なマイクロ波周波数にわたる高い透過率、及び可視スペクトルにおける所望の透明性又は不透明性などの特性を、望ましい組み合わせで実現できるものである。このような特性の組み合わせにより、ガラスセラミック材料は、消費者向け電子デバイスのディスプレイカバーや筐体に特に適したものとなっている。特に有利なガラスセラミック材料としては、アルミノケイ酸リチウムガラスセラミック、例えば、二ケイ酸リチウム結晶相を含むものが挙げられる。例示的なガラスセラミック材料としては、米国特許第9809488号明細書及び米国特許出願公開第2018/0186686号明細書に記載のものが挙げられ、これらのすべての内容はいずれも本明細書の一部をなすものとする。
ガラスセラミック材料、特にガラスセラミック材料の表面には、不均質な相(結晶相とガラス相)があるため、洗浄処理や研磨処理の結果、表面に望ましくない孔食が発生してしまう恐れがある。孔食は、ガラスセラミックの表面に性質の異なる相が存在することにより生じるものである。例えば、ガラスセラミックの表面に存在する異なる相や結晶ファセットは、それぞれ反応度や溶解速度が異なっている場合があり、その結果、湿式洗浄処理や化学機械研磨処理においてエッチングが選択的に行われてしまっていた。また、ガラスセラミックの表面に硬度の異なる相が存在しているため、機械研磨処理による除去が、相によって異なる速度で行われる場合もあった。そして、このような処理効果の差により、ガラスセラミック表面に孔食が発生してしまい、その結果、表面に施した、易清掃(easy to clean:ETC)被膜などの被膜の性能を低下させてしまう可能性があった。例示的なETC被膜として、ペルフルオロポリエーテル(PFPE)が挙げられる。洗浄・研磨処理などで直径10nm~30nmの孔食が発生すると、ETCの性能を低下させてしまう恐れがあった。
本明細書に記載のガラスセラミック物品は、表面不動態化層で表面を覆ったガラスセラミック基板で構成される。表面不動態化層は、液相析出(liquid phase deposition:LPD)処理により生成することができる。表面不動態化層は、不均質なガラスセラミック表面を不動態化し、その上に成膜するETC層の性能を向上させる役割を果たす。表面不動態化層は、物品表面の平滑性を向上させ、洗浄・研磨処理でのエッチング差による孔食に対する耐性を向上させるものである。表面不動態化層は、ガラスセラミック材料の光学的、機械的、化学的耐久性を低下させることなく、これらの有益な効果をもたらす。
ガラスセラミック材料の処理に用いられる既存の洗浄プロセスでは、研磨スラリーなどの残渣を除去するために、pH10以上の洗浄剤が使用される。高pHの洗浄剤により、ガラスセラミック表面のエッチングが選択的に行われ、表面に孔食が発生してしまう。ガラスセラミックに施されたETC被膜の性能と表面孔食の間には強い相関があることが確認されている。一般に、表面の孔食密度が高く、孔食が深いほど、深刻なETCの性能劣化が生じる。ガラスセラミック表面の不動態化処理により、シリカ層などの均質な酸化物層で孔食を埋めて、表面を滑らかにすることで、ガラスセラミック物品の光学的性能や機械的性能を損なうことなく、ETC被膜の性能を大幅に向上させることが実証されている。例えば、本明細書に記載の表面不動態化層は、ETC被膜の耐久性を高めることにより、ETC被膜性能を向上させるものである。
本明細書に記載の表面不動態化層は、酸化物層である。酸化物層は、任意の適切な酸化物を含むことができる。複数の実施形態において、酸化物層は、SiO、Al、TiO、又はそれらの組み合わせを含む。酸化物層は、均質層とすることができる。複数の実施形態において、酸化物層は、均質なSiO層とすることができる。酸化物層は、ガラスセラミック基板の表面に直接配置することができる。
酸化物層は、当該酸化物層を配置するガラスセラミック基板の表面よりも平滑な表面を有することができる。表面の平滑度は、原子間力顕微鏡(atomic force microscopy:AFM)で測定した二乗平均平方根(root mean square:RMS)表面粗さに基づいて評価することができる。RMS表面粗さが大きすぎると、当該表面上に配置されるETC被膜の性能が低下してしまう恐れがある。複数の実施形態において、酸化物層のRMS表面粗さは、3nm以下であり、例えば、0nm以上3.0nm以下、0.25nm以上2.75nm以下、0.5nm以上2.5nm以下、0.75nm以上2.25nm以下、1.0nm以上2.0nm以下、1.25nm以上1.75nm以下、1.0nm以上1.5nm以下、及び上記の範囲のいずれかの端点間に形成される任意の及びすべての部分範囲である。
酸化物層は、任意の適切な厚さを有することができる。酸化物層の厚さが十分でない場合、ガラスセラミック基板表面の孔食を十分に埋めることができず、所望のRMS表面粗さが得られない可能性がある。一方、酸化物層が厚すぎると、ガラスセラミック物品の物理的特性及び/又は光学的特性に望ましくない変化が生じてしまう恐れがある。複数の実施形態において、酸化物層の厚さは、20nm以上200nm以下であり、例えば、25nm以上195nm以下、30nm以上190nm以下、35nm以上185nm以下、40nm以上180nm以下、45nm以上175nm以下、50nm以上170nm以下、55nm以上165nm以下、60nm以上160nm以下、65nm以上155nm以下、70nm以上150nm以下、75nm以上145nm以下、80nm以上140nm以下、85nm以上135nm以下、90nm以上130nm以下、95nm以上125nm以下、100nm以上120nm以下、105nm以上115nm以下、100nm以上110nm以下、及び上記の範囲のいずれかの端点間に形成される任意の及びすべての部分範囲である。
本明細書に記載のガラスセラミック物品のガラスセラミック基板は、非晶質相と少なくとも1つの結晶相とを含む。非晶質相は、アルミノケイ酸塩ガラスとすることができ、例えばアルカリアルミノケイ酸塩ガラスとすることができる。複数の実施形態において、非晶質相は、アルミノケイ酸リチウムである。結晶相は、ペタライト、二ケイ酸リチウム、ケイ酸リチウム、リン酸リチウム、β-スポジュメン、β-石英、スピネル、ムライト、フッ素雲母(fluormica)、メタケイ酸リチウム、フォルステライト、ネフェリン、又はLi-Zn-Mgオルトケイ酸塩のうちの少なくとも1つを含むことができる。複数の実施形態において、ガラスセラミック基板は、結晶相としてペタライト及び二ケイ酸リチウムを含む。複数の実施形態において、ガラスセラミック基板は、結晶相としてペタライト及び二ケイ酸リチウムを含み、非晶質相としてアルミノケイ酸リチウムを含む。
ガラスセラミック物品の形成に利用するガラスセラミック基板は、イオン交換などによる化学強化を施したものとすることができる。詳細は後述するが、化学強化を施したガラスセラミック基板は、ガラスセラミック基板の表面からガラスセラミック基板の内部に圧縮深さまで延在する圧縮応力層を有している。複数の実施形態において、酸化物層を成膜する前に、ガラスセラミック基板はイオン交換により圧縮応力層が形成された状態とされる。
ガラスセラミック物品は、酸化物層を覆うように配置される追加層をさらに備えることもできる。追加層は、易清掃(ETC)被膜や、防眩被膜、反射防止被膜など、消費者向け電子デバイスに使用されるガラス材料又はガラスセラミック材料の表面に通常施される任意の層とすることができる。複数の実施形態において、ガラスセラミック物品は、酸化物層を覆うように配置されたETC被膜を備えている。ETC被膜は、ペルフルオロポリエーテル(PFPE)被膜など、所望の性能を発揮する任意の被膜とすることができる。ETC被膜は、任意の適切なプロセスにより形成することができる。
本明細書に記載のガラスセラミック物品は、ガラスセラミック物品が持つ特性によって特徴付けることができる。特に、ガラスセラミック物品はその光学特性を特徴とすることができる。例えば、ガラスセラミック物品は、その透過ヘイズや可視スペクトルにおける透過率を特徴とすることができる。透過ヘイズが高すぎる場合及び/又は可視スペクトルにおける透過率が低すぎる場合には、ガラスセラミック物品は、消費者向け電子デバイスのカバープレートの用途に適さない場合がある。
ガラスセラミック物品を消費者向け電子デバイスなどのディスプレイを覆うカバープレートとして使用する場合、ガラスセラミック物品の透過ヘイズは、所望の光学的透明度が得られる程度の低さとすることができる。透過ヘイズの測定は、市販のヘイズメーターで行う。複数の実施形態において、ガラスセラミック物品の透過ヘイズは、1%以下とすることができ、例えば、0.95%以下、0.90%以下、0.85%以下、0.80%以下、0.75%以下、0.70%以下、0.65%以下、0.60%以下、0.55%以下、0.50%以下、0.45%以下、0.40%以下、0.35%以下、0.30%以下、0.25%以下、0.20%以下、0.15%以下、0.10%以下、及び上記の範囲のいずれかの端点間に形成される任意の及びすべての部分範囲とすることができる。複数の実施形態において、ガラスセラミック物品の透過ヘイズは、0.15%以下である。なお、電子デバイスの筐体に用いられる場合など、ガラスセラミック基板が不透明な場合には、透過ヘイズが適格な特性ではない場合もある。
ガラスセラミック物品を消費者向け電子デバイスなどのディスプレイを覆うカバープレートとして使用する場合、ガラスセラミック物品の可視スペクトルにおける透過率は、所望の光学的透明度が得られる程度の高さとすることができる。透過率の測定は、市販のUV-VIS分光光度計で行う。可視スペクトルにおける透過率が低下すると、ガラスセラミック物品をカバープレートとして使用しているディスプレイの電力消費が増加してしまう恐れがある。これは、ディスプレイの見え方を望ましいものとするためにディスプレイの明るさを上げる必要がある場合があるためである。複数の実施形態において、ガラスセラミック物品は、400nm~700nmの波長域全域において、90%以上の透過率を有することができ、例えば、91%以上、92%以上、93%以上、94%以上、95%以上、96%以上、97%以上、98%以上、99%以上、又は99%超の透過率を有することができる。
ガラスセラミック物品の形成に利用するガラスセラミック基板は、任意の適切なプロセスによって形成することができる。複数の実施形態において、ガラスセラミック基板は、前駆体ガラスのセラミック化により形成することができ、セラミック化で非晶質ガラス中に結晶相を形成することにより、ガラスセラミック基板を製造することができる。ガラスセラミック基板は、酸化物層の成膜や化学強化を行う前に、機械的処理及び/又は化学的処理を施して、所望のジオメトリとすることができる。
酸化物層は、液相析出(LPD)処理により形成される。LPD処理は、ガラスセラミック基板の表面に液剤を接触させ、ガラスセラミック物品に酸化物層を成膜するステップを含む。液剤は、所望の酸化物層が生成されるように選択される。複数の実施形態において、LPD処理は、バッチ処理として実行することができる。
ガラスセラミック基板の表面への液剤の接触は、任意の適切な時間にわたり行われる。接触時間は、2分以上1時間以下とすることができ、例えば、10分以上60分以下、15分以上45分以下、20分以上55分以下、25分以上50分以下、30分以上45分以下、35分以上40分以下、及び上記の範囲のいずれかの端点間に形成される任意の及びすべての部分範囲とすることができる。接触時間が短すぎると、酸化物層が薄すぎて、所望の結果が得られない場合がある。一方、接触時間が長すぎると、処理効率が低下するほか、ガラスセラミック物品の光学的及び/又は機械的特性に悪影響を及ぼす恐れもある。
ガラスセラミック基板との接触時の液剤の温度は、任意の適切な温度とすることができる。液剤は、その凝固点から沸点までの間の任意の温度で利用することができる。なお、液剤の温度が低すぎると成膜速度が極端に遅くなり、液剤の温度が高すぎると成膜後の酸化物層の品質が望ましくないほど低下してしまう恐れがある。複数の実施形態において、液剤の温度は、25℃以上60℃以下の範囲内とすることができ、例えば、30℃以上55℃以下、35℃以上50℃以下、40℃以上45℃以下の範囲内、及び上記の範囲のいずれかの端点間に形成される任意の及びすべての部分範囲内とすることができる。複数の実施形態において、液剤の温度を40℃又は50℃とすることができる。
一例を挙げれば、HSiFとB(OH)を含有する液剤を用いることにより、均質な酸化シリカ層を形成することができる。かかる液剤のLPD処理は、以下の反応により制御される:
SiF+HO←→6HF+SiO
B(OH)+4HF←→BF +H+2H
SiFとB(OH)の濃度を制御することにより、析出するシリカの密度と成長速度を制御することができる。HSiF濃度が高いほどSiO層が密になり、B(OH)濃度が高いほどシリカ成長率が高くなり、シリカ層の空隙率が高くなる。
酸化物層の形成には、任意の適切な液剤を利用することができる。シリカ層を成膜する場合、HSiFとB(OH)を含有する液剤を使用することができる。液剤中のHSiF濃度は、0.1M以上3M以下の範囲内とすることができ、例えば、0.25M以上3M以下、0.5M以上3M以下、0.75M以上2.75M以下、1M以上2.5M以下、1.25M以上2.25M以下、1.5M以上2M以下、1.5M以上1.75M以下、及び上記の範囲のいずれかの端点間に形成される任意の及びすべての部分範囲内とすることができる。液剤中のB(OH)濃度は、0.05M以上2.0M以下の範囲内とすることができ、例えば、0.05M以上0.5M以下、0.1M以上0.45M以下、0.15M以上0.4M以下、0.2M以上0.35M以下、0.25M以上0.3M以下、0.5M以上1.75M以下、0.75M以上1.5M以下、1.0M以上1.25M以下、及び上記の範囲のいずれかの端点間に形成される任意の及びすべての部分範囲内とすることができる。複数の実施形態において、液剤中のB(OH)のうちすべて又は一部をCa(OH)で置き換えることができる。複数の実施形態において、液剤中のCa(OH)濃度は、0.01M以上2.0M以下の範囲内とすることができ、例えば、0.05M以上0.4M以下、0.1M以上0.35M以下、0.15M以上0.3M以下、0.2M以上0.25M以下、0.5M以上1.75M以下、0.75M以上1.5M以下、1.0M以上1.5M以下、及び上記の範囲のいずれかの端点間に形成される任意の及びすべての部分範囲内とすることができる。
液剤は、ガラスセラミック基板上にTiO含有酸化物層、例えば均質なTiO層を成膜するように選択することができる。かかる実施形態では、液剤は、(NHTiFとB(OH)を含有することができる。
液剤は、ガラスセラミック基板上にAl含有酸化物層、例えば均質なAl層を成膜するように選択することができる。かかる実施形態では、液剤は、Al(SOとNaHCOを含有することができる。
液剤は、酸化物の混合物を含有する酸化物層を成膜するように選択することができる。複数の実施形態において、液剤は、本明細書に記載の成分のいずれかの混合物を含むことができる。
なお、各成分について様々な範囲を記載しているが、当然ながら、或る成分の様々な範囲のいずれかを他のいずれかの成分の様々な範囲のいずれかと、個別に組み合わせることが可能である。本明細書において、数値末尾の0は、その数値の有効数字を示すことを意図している。例えば、「1.0」という数字の有効数字は2桁、「1.00」という数字の有効数字は3桁である。
上述したように、複数の実施形態において、本明細書に記載のガラスセラミック基板は、イオン交換などにより強化して、耐損傷性を有するガラスセラミック基板を作ることができる。そのようなガラスセラミック基板の用途としては、ディスプレイカバーなどが挙げられるが、これに限定されるものではない。図1を参照すると、ガラスセラミック基板の表面から圧縮深さ(DOC)まで延在する、圧縮応力を受ける第1の領域(例えば、図1の第1の圧縮層120及び第2の圧縮層122)と、ガラスセラミック基板の圧縮深さから中心領域(内部領域)まで延在する、引張応力又は中心張力(CT)を受ける第2の領域(例えば、図1の中心領域130)と、を有するガラスセラミック基板が図示されている。本明細書において、圧縮深さ(DOC)とは、ガラスセラミック基板内部で応力が圧縮応力から引張応力に変化する深さを指す。圧縮深さは、正の(圧縮)応力から負の(引張)応力に応力が変化する深さであり、よって応力値がゼロとなる。
当技術分野で通常使用される慣例に従えば、圧縮応力(compression stress,compressive stress)は負(<0)の応力、引張応力(tension stress,tensile stress)は正(>0)の応力として表される。しかし、本明細書の説明を通じて、圧縮応力(CS)を正の値つまり絶対値として表す。すなわち、本明細書において、CS=|CS|とする。圧縮応力(CS)は、ガラスセラミック基板の表面又はその近傍で最大となり、表面からの距離dに応じて関数変化する。再び図1を参照すると、第1の区間120は、第1の面110から深さdまで延在し、第2の区間122は、第2の面112から深さdまで延在している。そして、これらの区間の組み合わせにより、ガラスセラミック基板100の圧縮応力(CS)が決まる。圧縮応力(表面圧縮応力を含む)は、有限会社折原製作所(日本)製のFSM-6000などの市販の機器を用いて、表面応力計(FSM)で測定することができる。表面応力を測定するためには、ガラスの複屈折に関係している応力光学係数(stress optical coefficient:SOC)の正確な測定が必要である。一方、応力光学係数は、ASTM規格C770-16「ガラスの応力光学係数測定の標準試験法(Standard Test Method for Measurement of Glass Stress-Optical Coefficient)」に記載される手順C(ガラスディスク法)に従って測定される。なお、本記載のすべての内容は引用することにより本明細書の一部をなすものとする。
複数の実施形態において、ガラスセラミック基板の圧縮応力は、100MPa以上1000MPa以下であり、例えば、150MPa以上950MPa以下、200MPa以上900MPa以下、250MPa以上850MPa以下、300MPa以上800MPa以下、350MPa以上750MPa以下、400MPa以上700MPa以下、450MPa以上650MPa以下、500MPa以上600MPa以下、500MPa以上550MPa以下、及び上記範囲の端点間のあらゆる部分範囲である。
図1における両主面110、112の圧縮応力は、ガラスセラミック基板の中心領域130に蓄積される張力と釣り合う。最大中心張力(最大CT)値及び圧縮深さ(DOC)値は、当技術分野において公知の散乱光偏光器(scattered light polariscope:SCALP)技術を使用して測定することができる。ガラスセラミック基板の応力プロファイルは、屈折近視野(refracted near-field:RNF)法又はSCALP法で測定することができる。RNF法で応力プロファイルを測定する場合、SCALP法により取得した最大中心張力値をRNF法で利用して行う。詳細には、RNF法で測定した応力プロファイルは、SCALP測定によって取得した最大中心張力値に対して力平衡が取られ、較正される。RNF法については、米国特許第8854623号明細書(発明の名称「Systems and methods for measuring a profile characteristic of a glass sample(ガラス試料のプロファイル特性を測定するためのシステムおよび方法)」)に記載されている。なお、本特許明細書のすべての内容は参照することにより本明細書の一部をなすものとする。具体的には、RNF法は、ガラスセラミック基板を基準ブロックに隣接して配置するステップと、直交偏波間を1Hz~50Hzの速度で切り替わる偏波スイッチ光ビームを生成するステップと、偏波スイッチ光ビームの出力量を測定するステップと、偏波スイッチ基準信号を生成するステップと、を含み、直交偏波の出力量測定値は、一方が他方の50%以内である、方法である。また、このRNF法は、偏波スイッチ光ビームを、ガラス試料及び基準ブロックを通して透過させて、ガラス試料の異なる複数の深さまで到達させるステップと、その後、透過した偏波スイッチ光ビームを、リレー光学系を用いて信号光検出器に中継して、信号光検出器によって偏波スイッチ検出信号を生成するステップと、をさらに含む。そして、このRNF法は、検出信号を基準信号で除算して、正規化された検出信号を形成するステップと、この正規化された検出信号からガラスセラミック基板試料のプロファイル特性を求めるステップと、をさらに含む。
複数の実施形態において、ガラスセラミック基板は、20MPa以上の最大中心張力を有することができ、例えば、25MPa以上、30MPa以上、35MPa以上、40MPa以上、45MPa以上、50MPa以上、55MPa以上、60MPa以上、65MPa以上、70MPa以上、75MPa以上、80MPa以上、85MPa以上、90MPa以上、95MPa以上、100MPa以上、又は105MPa以上、及び上記の値の間のすべての範囲及び部分範囲の最大中心張力を有することができる。いくつかの実施形態では、ガラスセラミック基板は、110MPa以下の最大中心張力を有することができ、例えば、105MPa以下、100MPa以下、95MPa以下、90MPa以下、85MPa以下、80MPa以下、75MPa以下、70MPa以下、65MPa以下、60MPa以下、55MPa以下、50MPa以下、45MPa以下、40MPa以下、35MPa以下、30MPa以下、又は25MPa以下、及び上記の値の間のすべての範囲及び部分範囲の最大中心張力を有することができる。当然ながら、複数の実施形態において、上記のいずれかの範囲を他のいずれかの範囲と組み合わせることができ、ガラスセラミック基板は20MPa以上110MPa以下の最大中心張力を有することができ、例えば、25MPa以上105MPa以下、30MPa以上100MPa以下、35MPa以上95MPa以下、40MPa以上90MPa以下、45MPa以上85MPa以下、50MPa以上80MPa以下、55MPa以上75MPa以下、60MPa以上70MPa以下、及び上記の値の間のすべての範囲及び部分範囲の最大中心張力を有することができる。
上述したように、圧縮深さは、当技術分野において公知の散乱光偏光器(SCALP)技術を使用して測定することができる。圧縮深さは、本明細書に記載のいくつかの実施形態では、ガラスセラミック基板の厚さ(t)の一部として得られる深さである。複数の実施形態において、ガラスセラミック基板は、0.15t以上0.25t以下の圧縮深さ(DOC)を有することができ、例えば、0.18t以上0.22t以下、又は0.19t以上0.21t以下、及び上記の値の間のすべての範囲及び部分範囲の圧縮深さを有することができる。
圧縮応力層は、ガラスセラミック基板をイオン交換溶液に曝露することによりガラスセラミック基板中に形成することができる。複数の実施形態において、イオン交換溶液は、溶融硝酸塩とすることができる。いくつかの実施形態では、イオン交換溶液は、溶融KNO、溶融NaNO、又はそれらの組み合わせとすることができる。特定の実施形態では、イオン交換溶液は、約100%未満の溶融KNOを含むことができ、例えば、約95%未満の溶融KNO、約90%未満の溶融KNO、約80%未満の溶融KNO、約70%未満の溶融KNO、約60%未満の溶融KNO、又は約50%未満の溶融KNOを含むことができる。特定の実施形態では、イオン交換溶液は、少なくとも約5%の溶融NaNOを含むことができ、例えば、少なくとも約10%の溶融NaNO、少なくとも約20%の溶融NaNO、少なくとも約30%の溶融NaNO、又は少なくとも約40%の溶融NaNOを含むことができる。他の実施形態では、イオン交換溶液は、約95%の溶融KNO及び約5%の溶融NaNO、約94%の溶融KNO及び約6%の溶融NaNO、約93%の溶融KNO及び約7%の溶融NaNO、約90%の溶融KNO及び約10%の溶融NaNO、約80%の溶融KNO及び約20%の溶融NaNO、約75%の溶融KNO及び約25%の溶融NaNO、約70%の溶融KNO及び約30%の溶融NaNO、約65%の溶融KNO及び約35%の溶融NaNO、又は約60%の溶融KNO及び約40%の溶融NaNO、及び上記の値の間のすべての範囲及び部分範囲を含むことができる。複数の実施形態において、イオン交換溶液に他のナトリウム塩やカリウム塩を用いることもでき、例えば、ナトリウム又はカリウムの亜硝酸塩、リン酸塩、又は硫酸塩を用いることができる。複数の実施形態において、イオン交換溶液は、LiNOなどのリチウム塩を含むことができる。
ガラスセラミック基板のイオン交換溶液への曝露は、ガラスセラミック基板をイオン交換溶液浴に浸す工程、ガラスセラミック基板にイオン交換溶液を吹き付ける工程、又は、その他の方法でガラスセラミック基板にイオン交換溶液を物理的に付着させる工程により行うことができ、これにより、イオン交換ガラスセラミック基板を形成することができる。複数の実施形態によれば、ガラスセラミック基板への曝露時のイオン交換溶液の温度は、360℃以上500℃以下とすることができ、例えば、370℃以上490℃以下、380℃以上480℃以下、390℃以上470℃以下、400℃以上460℃以下、410℃以上450℃以下、420℃以上440℃以下、430℃以上、及び上記の値の間のすべての範囲及び部分範囲とすることができる。複数の実施形態において、イオン交換溶液へのガラスセラミック基板の曝露時間は、4時間以上48時間以下とすることができ、例えば、8時間以上44時間以下、12時間以上40時間以下、16時間以上36時間以下、20時間以上32時間以下、又は24時間以上28時間以下、及び上記の値の間のすべての範囲及び部分範囲とすることができる。
イオン交換処理実施後のイオン交換ガラスセラミック基板の表面の組成は、成形時(as-formed)のガラスセラミック基板(すなわち、イオン交換処理実施前のガラスセラミック基板)の組成とは異なっていることを理解されたい。これは、成形時のガラスセラミック基板中の1種類のアルカリ金属イオン(例えば、Li又はNaが)、より大きなアルカリ金属イオンに(例えば、それぞれNa又はKに)交換されるためである。ただし、複数の実施形態において、イオン交換ガラスセラミック基板の中心又はその近傍における組成は、当該イオン交換ガラスセラミック基板の形成に利用した、イオン交換処理を行っていない成形時のガラスセラミック基板の組成をそのまま有していると考えられる。
本明細書に開示のガラスセラミック物品は、他の物品に組み込むことができる。そのような他の物品としては、例えば、ディスプレイを有する物品(又は、ディスプレイ物品)(例えば、携帯電話、タブレット端末、コンピュータ、ナビゲーションシステムなどの消費者向け電子機器)や、建築用物品、運輸用物品(例えば、自動車、列車、航空機、船舶など)、電化製品物品などの、一定の透明性、耐擦傷性、耐摩耗性、又はそれらの組み合わせを必要とする任意の物品が挙げられる。図2A及び図2Bに、本明細書に開示のガラスセラミック物品のいずれかを組み込んだ例示的な物品を示す。具体的には、図2A及び図2Bは消費者向け電子デバイス200を示している。消費者向け電子デバイス200は、前面204、背面206及び側面208を有する筐体202と、筐体の内部に少なくとも一部又は全体が収容され、かつコントローラ、メモリ、及び筐体の前面またはその隣接部に設けられるディスプレイ210を少なくとも備える電気部品(図示せず)と、ディスプレイを覆うように筐体の前面に設けられる又は前面を覆うカバープレート212と、を備えている。複数の実施形態において、カバープレート212及び筐体202の少なくとも一方が、その少なくとも一部に、本明細書に開示のガラスセラミック物品のいずれかを備えることができる。
実施形態は、下記の各実施例によりさらに明らかとなるであろう。なお、下記の実施例は、上述の実施形態を限定するものではないことを理解されたい。
アルミノケイ酸リチウム非晶質相、ペタライト結晶相、及び二ケイ酸リチウム結晶相を含む例示的なガラスセラミック基板を形成した。
ガラスセラミック基板の表面を酸化セリウムスラリーで研磨し、pH12の洗浄剤で洗浄した。図3に、これにより得たガラスセラミック基板表面の原子間力顕微鏡(AFM)画像を、2種類の倍率で示す。研磨・洗浄工程におけるエッチング差により生じたRSM表面粗さは3~4nmの範囲であった。
このガラスセラミック基板をpH12の洗浄剤で洗浄し、洗浄を1回行った試料(GC 1X)と、洗浄を3回行った第2の試料(GC 3X)とを用意した。また、比較用のガラス試料(Glass 3X)も洗浄剤で3回洗浄した。その後、各試料に対しスチールウール摩耗試験を行い、水接触角を測定した。図4に、各試料の水接触角の測定値を摩耗サイクルの関数で示す。水接触角が高いほどETC性能が高いことを示している。3回の洗浄を行ったガラスセラミック基板(GC 3X)は、洗浄1回のガラスセラミック基板(GC 1X)よりも孔食が多く、比較ガラス試料(Glass 3X)の孔食が最も少ないため、図4から、表面孔食とETC性能との間に強い相関があることがわかる。
このガラスセラミック基板にLPD処理を施して、表面にシリカ層を形成した。その際、15分間接触後(LPD:15分間)、30分間接触後(LPD:30分間)、45分間接触後(LPD:45分間)の酸化シリカ層を分析した。図5に、走査電子顕微鏡(SEM)により生成した、それぞれの接触時間後の試料の上面外観及び断面を示す。図5に示すように、15~30分間のLPD処理を行うと、酸化シリカ層がガラスセラミック基板表面の孔食を埋めた。30分後には、厚さ70nmの均質なシリカ層が成長し、ガラスセラミック基板の表面が不動態化された。
図6に、上述の種類のガラスセラミック物品のRMS表面粗さ及びシリカ層の層厚をLPD時間の関数で示す。図6に示すように、液相析出シリカは、ガラスセラミック基板の表面の孔食を埋めただけでなく、大幅に平滑性が向上した表面を生成し、RMS表面粗さは、不動態化処理を施していないガラスセラミック基板の3.6nmから、45分間のLPD処理を行って製造したガラスセラミック物品では1.6nmまで向上した。図6に挿入されている画像は、図示のLPD時間それぞれにおけるガラスセラミック表面のAFM画像である。
また、LPD処理によりシリカ層を生成したガラスセラミック物品の耐性も測定した。LPD成膜処理前のガラスセラミック基板、LPD成膜処理後のシリカ層を有するガラスセラミック物品(GCA)、1回洗浄後のガラスセラミック物品(GCA 1X)、及び3回洗浄後のガラスセラミック物品(GCA 3X)で、RMS表面粗さを測定した。洗浄は、pH12の洗浄剤を使用し、70℃の温度で行った。図7に示すように、ガラスセラミック物品を1回洗浄後、RMS表面粗さは1.52nmから1.7nmまで増大し、3回洗浄後のRMS表面粗さは2.08nmまで増大した。中性pHの液剤で洗浄を行っても、ガラスセラミック物品のRMS表面粗さが大きくなることはなく、孔食が発生しなかったことが示された。
そして、LPD処理により生成した層を有しないガラスセラミック基板(GC)、60分間のLPD処理を行ってシリカ層を生成したガラスセラミック物品(GCA)、及び比較ガラス試料(Glass)をスチールウールで摩耗し、水接触角を測定した。図8に、各試料の水接触角の測定値を摩耗サイクルの関数で示す。水接触角が高いほどETC性能が高いことを示している。図8に示すように、LPD処理で生成した層を有するガラスセラミック物品は、不動態化処理を施していないガラスセラミック基板に比べて、スチールウール摩耗試験を行った場合のETC性能低下に対する耐性が大幅に向上した。
さらに、透過率の測定を、ガラスセラミック基板(GC)、1回洗浄後のガラスセラミック基板(GC 1X)、3回洗浄後のガラスセラミック基板(GC 3X)、一実施形態に係るガラスセラミック物品(GCA)、1回洗浄後のガラスセラミック物品(GCA 1X)、及び3回洗浄後のガラスセラミック物品(GCA 3X)で行った。洗浄は、pH12の洗浄剤を使用して、70℃の超音波バスで行い、その後、脱イオン水ですすいだ。図9に示すように、シリカ不動態化層を追加したガラスセラミック物品でも、洗浄後は特に、ガラスセラミック基板と比べて光透過率の著しい劣化は見られない。また、425nmより長い波長では、ガラスセラミック物品の方がガラスセラミック基板より透過率が高かった。なお、洗浄後、特に3回洗浄後のガラスセラミック基板の透過率の上昇は、ガラスセラミック基板が選択的にエッチングされて、空隙率が非常に高くなり、これにより透過率が高くなったことによる。また、これらの試料について、透過ヘイズの測定も行った。図10に示すように、シリカ不動態化処理を施したガラスセラミック物品では、洗浄後に透過ヘイズの顕著な上昇が見られなかった。
ガラスセラミック基板、及び90nmのシリカ層を有するガラスセラミック物品について、リングオンリング(Ring-on-Ring:ROR)強度試験を実施した。図11に示すように、ガラスセラミック物品は、ガラスセラミック基板に比べて、ROR強度が向上したことが確認された。
また、ガラスセラミック基板(GC)とガラスセラミック物品(GCA)に対して、200mNの円錐漸増(ramp)引掻試験を行った。これにより得られた引掻傷及び摩擦係数(coefficient of friction:COF)のプロットを図12に示す。また、これらの試料と、シリカ層成膜前にフッ酸処理を行ったガラスセラミック物品試料(GCA HF)とに対して、ヌープ引掻試験(Knoop Scratch Test:KST)も行った。その結果を図13に示す。図12及び図13の結果から、シリカ層が存在しても引掻挙動に大きな差がないことがわかり、よって、シリカ層は表面引掻耐性に悪影響を及ぼさないことが明らかとなった。
また、ガラスセラミック物品に対し、温度85℃、湿度85%の環境下で12日間にわたる経年劣化試験(aging)を行って、経年劣化ガラスセラミック物品(GCA Aged)を作製し、シリカ層の耐久性を評価した。経年劣化試験後に透過率を測定した結果、図14に示すように、経年劣化試験後のガラスセラミック物品は、経年劣化試験を行っていないガラスセラミック物品に比べて、透過率の劣化は観察されなかった。なお、図14には、比較のため、シリカ層を有しないガラスセラミック基板の透過率も示している。
本明細書に開示のすべての範囲は、その範囲の開示箇所の前後にその旨を明記しているか否かにかかわらず、開示した広い範囲が包含するあらゆる範囲及び部分範囲を含むものである。
当業者であれば、特許請求の範囲に記載の主題の趣旨及び範囲から逸脱しない範囲で、本明細書に記載の実施形態に種々の変形及び変更を加えることができることは明らかであろう。したがって、本明細書に記載の種々の実施形態の変形及び変更が添付の特許請求の範囲及びその均等物を逸脱しない場合に、そのような変形及び変更も本明細書の範囲に含むことが意図されている。
以下、本発明の好ましい実施形態を項分け記載する。
実施形態1
表面を有するガラスセラミック基板と、
前記ガラスセラミック基板の前記表面を覆うように配置された酸化物層と、
を含む物品であって、
前記酸化物層が、20nm以上200nm以下の厚さと、3nm以下のRMS表面粗さとを有している、物品。
実施形態2
前記酸化物層を覆うように配置された易清掃層をさらに含む、実施形態1に記載の物品。
実施形態3
前記易清掃層がペルフルオロポリエーテルを含む、実施形態2に記載の物品。
実施形態4
0.15%以下の透過ヘイズを示す、実施形態1~3のいずれか1つに記載の物品。
実施形態5
400nm~700nmの波長域全域にわたって90%以上の透過率を示す、実施形態1~4のいずれか1つに記載の物品。
実施形態6
前記ガラスセラミック基板が、ペタライト、二ケイ酸リチウム、ケイ酸リチウム、リン酸リチウム、β-スポジュメン、β-石英、スピネル、ムライト、フッ素雲母、メタケイ酸リチウム、フォルステライト、ネフェリン、Li-Zn-Mgオルトケイ酸塩、又はそれらの組み合わせを含む、実施形態1~5のいずれか1つに記載の物品。
実施形態7
前記ガラスセラミック基板が、ペタライト及び二ケイ酸リチウムを含む、実施形態1~5のいずれか1つに記載の物品。
実施形態8
前記酸化物層が、SiO、Al、TiO、又はそれらの組み合わせを含む、実施形態1~7のいずれか1つに記載の物品。
実施形態9
前記酸化物層がSiOを含む、実施形態1~8のいずれか1つに記載の物品。
実施形態10
前記ガラスセラミック基板が、前記表面から圧縮深さまで延在する圧縮応力層をさらに有している、実施形態1~9のいずれか1つに記載の物品。
実施形態11
前面、背面及び側面を有する筐体と、
前記筐体の内部に少なくとも一部が収容される電気部品であって、コントローラ、メモリ、及び前記筐体の前記前面又はその隣接部に設けられるディスプレイを含む電気部品と、
前記ディスプレイを覆うように配置されるカバープレートと、
を備える消費者向け電子機器製品であって、
前記筐体及び前記カバープレートの少なくとも一方が、その少なくとも一部に、実施形態1~10のいずれか1つに記載の前記物品を備えている、消費者向け電子機器製品。
実施形態12
ガラスセラミック基板の表面に液剤を接触させて、前記表面に酸化物層を成膜してガラスセラミック物品を形成する、接触ステップを含み、
前記酸化物層が、20nm以上200nm以下の厚さと、3nm以下のRMS表面粗さとを有している、方法。
実施形態13
前記接触ステップ時の前記液剤の温度が、25℃以上60℃以下である、実施形態12に記載の方法。
実施形態14
前記接触ステップが、2分以上1時間以下の時間にわたる、実施形態12又は13に記載の方法。
実施形態15
前記液剤が、HSiFと、B(OH)及びCa(OH)のうち少なくとも一方と、を含む、実施形態12~14のいずれか1つに記載の方法。
実施形態16
前記液剤が、0.1M以上3M以下の濃度のHSiFを含む、実施形態12~15のいずれか1つに記載の方法。
実施形態17
前記液剤が、0.05M以上2.0M以下の濃度のB(OH)を含む、実施形態12~16のいずれか1つに記載の方法。
実施形態18
前記液剤が、0.01M以上2.0M以下の濃度のCa(OH)を含む、実施形態12~17のいずれか1つに記載の方法。
実施形態19
前記液剤が、Al(SOとNaHCOとを含む、実施形態12~18のいずれか1つに記載の方法。
実施形態20
前記液剤が、(NHTiFとB(OH)とを含む、実施形態12~19のいずれか1つに記載の方法。
実施形態21
前記酸化物層を覆うように易清掃層を配置するステップをさらに含む、実施形態12~20のいずれか1つに記載の方法。
実施形態22
前記易清掃層がペルフルオロポリエーテルを含む、実施形態12~21のいずれか1つに記載の方法。
実施形態23
前記ガラスセラミック物品が、0.15%以下の透過ヘイズを示す、実施形態12~22のいずれか1つに記載の方法。
実施形態24
前記ガラスセラミック物品が、400nm~700nmの波長域全域にわたって90%以上の透過率を示す、実施形態12~23のいずれか1つに記載の方法。
実施形態25
前記ガラスセラミック基板が、ペタライト、二ケイ酸リチウム、ケイ酸リチウム、リン酸リチウム、β-スポジュメン、β-石英、スピネル、ムライト、フッ素雲母、メタケイ酸リチウム、フォルステライト、ネフェリン、Li-Zn-Mgオルトケイ酸塩、又はそれらの組み合わせを含む、実施形態12~24のいずれか1つに記載の方法。
実施形態26
前記ガラスセラミック基板が、ペタライト及び二ケイ酸リチウムを含む、実施形態12~25のいずれか1つに記載の方法。
実施形態27
前記酸化物層が、SiO、Al、TiO、又はそれらの組み合わせを含む、実施形態12~26のいずれか1つに記載の方法。
実施形態28
前記酸化物層がSiOを含む、実施形態12~27のいずれか1つに記載の方法。
実施形態29
前記ガラスセラミック基板が、前記表面から圧縮深さまで延在する圧縮応力層をさらに有している、実施形態12~28のいずれか1つに記載の方法。
100 ガラスセラミック基板
110 第1の面
112 第2の面
120 第1の圧縮層
122 第2の圧縮層
130 中心領域
200 消費者向け電子デバイス
202 筐体
204 前面
206 背面
208 側面
210 ディスプレイ
212 カバープレート

Claims (10)

  1. 表面を有するガラスセラミック基板と、
    前記ガラスセラミック基板の前記表面を覆うように配置された酸化物層と、
    を含む物品であって、
    前記酸化物層が、20nm以上200nm以下の厚さと、3nm以下のRMS表面粗さとを有している、物品。
  2. 前記酸化物層を覆うように配置された易清掃層をさらに含む、請求項1に記載の物品。
  3. 0.15%以下の透過ヘイズを示し、
    400nm~700nmの波長域全域にわたって90%以上の透過率を示す、請求項1又は2に記載の物品。
  4. 前記ガラスセラミック基板が、ペタライト、二ケイ酸リチウム、ケイ酸リチウム、リン酸リチウム、β-スポジュメン、β-石英、スピネル、ムライト、フッ素雲母、メタケイ酸リチウム、フォルステライト、ネフェリン、Li-Zn-Mgオルトケイ酸塩、又はそれらの組み合わせを含む、請求項1又は2に記載の物品。
  5. 前記酸化物層が、SiO、Al、TiO、又はそれらの組み合わせを含む、請求項1又は2に記載の物品。
  6. 前記ガラスセラミック基板が、前記表面から圧縮深さまで延在する圧縮応力層をさらに有している、請求項1又は2に記載の物品。
  7. ガラスセラミック基板の表面に液剤を接触させて、前記表面に酸化物層を成膜してガラスセラミック物品を形成する、接触ステップを含み、
    前記酸化物層が、20nm以上200nm以下の厚さと、3nm以下のRMS表面粗さとを有している、方法。
  8. 前記接触ステップ時の前記液剤の温度が、25℃以上60℃以下であり、
    前記接触ステップが、2分以上1時間以下の時間にわたる、請求項7に記載の方法。
  9. 前記液剤が、
    SiFと、B(OH)及びCa(OH)のうち少なくとも一方、及び/又は
    Al(SOとNaHCO、及び/又は
    (NHTiFとB(OH)
    を含む、請求項7又は8に記載の方法。
  10. 前記液剤が、
    0.1M以上3M以下の濃度のHSiF、及び/又は、
    0.05M以上2.0M以下の濃度のB(OH)、及び/又は、
    0.01M以上2.0M以下の濃度のCa(OH)
    を含む、請求項7又は8に記載の方法。
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