JP2023529530A - 表示基板及びその製作方法、表示装置 - Google Patents

表示基板及びその製作方法、表示装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2023529530A
JP2023529530A JP2022562140A JP2022562140A JP2023529530A JP 2023529530 A JP2023529530 A JP 2023529530A JP 2022562140 A JP2022562140 A JP 2022562140A JP 2022562140 A JP2022562140 A JP 2022562140A JP 2023529530 A JP2023529530 A JP 2023529530A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
transistor
electrode
insulating layer
noise reduction
active layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2022562140A
Other languages
English (en)
Inventor
▲鵬▼▲飛▼ 于
露 白
▲潔▼ 代
林宏 ▲韓▼
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
BOE Technology Group Co Ltd
Chengdu BOE Optoelectronics Technology Co Ltd
Original Assignee
BOE Technology Group Co Ltd
Chengdu BOE Optoelectronics Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by BOE Technology Group Co Ltd, Chengdu BOE Optoelectronics Technology Co Ltd filed Critical BOE Technology Group Co Ltd
Publication of JP2023529530A publication Critical patent/JP2023529530A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G09EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09GARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
    • G09G3/00Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes
    • G09G3/20Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters
    • G09G3/22Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters using controlled light sources
    • G09G3/30Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters using controlled light sources using electroluminescent panels
    • G09G3/32Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters using controlled light sources using electroluminescent panels semiconductive, e.g. using light-emitting diodes [LED]
    • G09G3/3208Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters using controlled light sources using electroluminescent panels semiconductive, e.g. using light-emitting diodes [LED] organic, e.g. using organic light-emitting diodes [OLED]
    • G09G3/3266Details of drivers for scan electrodes
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L27/00Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
    • H01L27/02Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
    • H01L27/12Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body
    • H01L27/1214Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body comprising a plurality of TFTs formed on a non-semiconducting substrate, e.g. driving circuits for AMLCDs
    • H01L27/1222Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body comprising a plurality of TFTs formed on a non-semiconducting substrate, e.g. driving circuits for AMLCDs with a particular composition, shape or crystalline structure of the active layer
    • GPHYSICS
    • G09EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09GARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
    • G09G3/00Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes
    • G09G3/20Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters
    • G09G3/34Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters by control of light from an independent source
    • G09G3/36Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters by control of light from an independent source using liquid crystals
    • G09G3/3611Control of matrices with row and column drivers
    • G09G3/3674Details of drivers for scan electrodes
    • G09G3/3677Details of drivers for scan electrodes suitable for active matrices only
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/10OLED displays
    • H10K59/12Active-matrix OLED [AMOLED] displays
    • H10K59/131Interconnections, e.g. wiring lines or terminals
    • GPHYSICS
    • G09EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09GARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
    • G09G2300/00Aspects of the constitution of display devices
    • G09G2300/04Structural and physical details of display devices
    • G09G2300/0421Structural details of the set of electrodes
    • G09G2300/0426Layout of electrodes and connections
    • GPHYSICS
    • G09EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09GARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
    • G09G2300/00Aspects of the constitution of display devices
    • G09G2300/08Active matrix structure, i.e. with use of active elements, inclusive of non-linear two terminal elements, in the pixels together with light emitting or modulating elements
    • G09G2300/0809Several active elements per pixel in active matrix panels
    • G09G2300/0842Several active elements per pixel in active matrix panels forming a memory circuit, e.g. a dynamic memory with one capacitor
    • G09G2300/0852Several active elements per pixel in active matrix panels forming a memory circuit, e.g. a dynamic memory with one capacitor being a dynamic memory with more than one capacitor
    • GPHYSICS
    • G09EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09GARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
    • G09G2310/00Command of the display device
    • G09G2310/02Addressing, scanning or driving the display screen or processing steps related thereto
    • G09G2310/0264Details of driving circuits
    • G09G2310/0286Details of a shift registers arranged for use in a driving circuit
    • GPHYSICS
    • G09EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09GARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
    • G09G2310/00Command of the display device
    • G09G2310/08Details of timing specific for flat panels, other than clock recovery
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C19/00Digital stores in which the information is moved stepwise, e.g. shift registers
    • G11C19/28Digital stores in which the information is moved stepwise, e.g. shift registers using semiconductor elements

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Control Of Indicators Other Than Cathode Ray Tubes (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)
  • Liquid Crystal Display Device Control (AREA)
  • Shift Register Type Memory (AREA)
  • Control Of El Displays (AREA)

Abstract

表示基板及びその製作方法、表示装置を提供する。当該表示基板は、ベース基板と、ベース基板上に設けられるシフトレジスタユニット及び第1クロック信号線とを含み、第1クロック信号線は、ベース基板において第1方向に沿って延伸し、且つシフトレジスタユニットに第1クロック信号を提供するように構成され、シフトレジスタユニットは、入力回路と、出力回路と、第1制御回路と、出力制御回路とを含み、入力回路は、入力トランジスタを含み、入力トランジスタの活性層は、第2方向に沿って延伸する長尺状であり、第2方向は、第1方向と異なる。当該表示基板は、線路構造のレイアウトを最適化し、表示パネルの狭額縁設計の実現に有利である。

Description

本開示の実施例は、表示基板及びその製作方法、表示装置に関する。
表示技術分野において、例えば液晶表示パネル又は有機発光ダイオード(Organic Light Emitting Diode、 OLED)表示パネルの画素アレイは、一般的には、複数行のゲート線と、ゲート線と交錯する複数列のデータ線とを含む。ゲート線に対する駆動は、バインディングされる集積駆動回路によって実現されることができる。ここ数年、非晶質シリコン薄膜トランジスタ又は酸化物薄膜トランジスタの製造プロセスの絶えない向上に伴い、ゲート線駆動回路を薄膜トランジスタアレイ基板上に直接集積してGOA(Gate driver On Array)を形成することにより、ゲート線を駆動することができる。例えば、カスケード接続される複数のシフトレジスタユニットを含むGOAを採用して画素アレイの複数行のゲート線にスイッチ態電圧信号(走査信号)を提供することができ、それにより、例えば複数行のゲート線が順次にオンするように制御するとともに、データ線によって画素アレイにおける対応する行の画素ユニットにデータ信号を提供することにより、各画素ユニットに表示画像のグレースケールに必要とする階調電圧を形成し、さらに一フレームの画像を表示する。
本開示の少なくとも一つの実施例は、表示基板を提供する。前記表示基板は、ベース基板と、前記ベース基板上に設けられるシフトレジスタユニット及び第1クロック信号線とを含み、前記第1クロック信号線は、前記ベース基板において第1方向に沿って延伸し、且つ前記シフトレジスタユニットに第1クロック信号を提供するように構成され、前記シフトレジスタユニットは、入力回路と、出力回路と、第1制御回路と、出力制御回路とを含み、前記入力回路は、前記第1クロック信号に応じて、入力信号を第1ノードに入力するように構成され、前記出力回路は、出力信号を出力端に出力するように構成され、前記第1制御回路は、前記第1ノードのレベルと前記第1クロック信号に応じて、第2ノードのレベルを制御するように構成され、前記出力制御回路は、前記第2ノードのレベルの制御で、前記出力端のレベルに対して制御を行うように構成され、前記入力回路は、入力トランジスタを含み、前記入力トランジスタの活性層は、第2方向に沿って延伸する長尺状であり、前記第2方向は、前記第1方向と異なり、前記入力トランジスタは、第1ゲート電極と、第2ゲート電極と、前記第1ゲート電極と前記第2ゲート電極とを接続する接続電極とを含み、前記接続電極は、前記第1方向に沿って延伸し、前記第1ゲート電極に接続される第1部分と、前記第2ゲート電極に接続される第2部分と、前記第2方向に沿って延伸し且つ前記第1部分と前記第2部分とを接続する第3部分とを含み、前記接続電極の第3部分は、前記第1クロック信号線に接続されることにより、前記第1クロック信号を受け取る。
例えば、本開示の少なくとも一つの実施例による表示基板において、前記第1方向と前記第2方向とのなす角は、70°~90°の間にある。
例えば、本開示の少なくとも一つの実施例による表示基板において、前記入力トランジスタの第1電極は、前記第2方向に沿って延伸する第1接続配線によって信号入力電極に接続されることにより、前記入力信号を受け取る。
例えば、本開示の少なくとも一つの実施例による表示基板において、前記シフトレジスタユニットは、配線切換電極をさらに含み、前記入力トランジスタの第1電極は、前記配線切換電極の第1端に電気的に接続され、前記配線切換電極は、前記入力トランジスタの活性層と異なる層に位置し、前記配線切換電極の第2端は、前記第1接続配線の第1端に接続され、前記配線切換電極は、前記第1接続配線と異なる層に位置し、前記第1接続配線の第2端は、前記信号入力電極に電気的に接続され、前記配線切換電極は、前記信号入力電極と同じ層に位置する。
例えば、本開示の少なくとも一つの実施例による表示基板において、前記シフトレジスタユニットは、第1絶縁層と、第2絶縁層と、第3絶縁層とをさらに含み、前記第1絶縁層は、前記入力トランジスタの活性層と前記第1接続配線との間に位置し、前記第2絶縁層と前記第3絶縁層とは、前記第1接続配線と前記配線切換電極との間に位置し、前記入力トランジスタの第1電極は、前記配線切換電極と同じ層に位置し、前記配線切換電極の第2端は、前記第2絶縁層と前記第3絶縁層とを貫通するビアホールを介して前記第1接続配線の第1端に接続され、前記第1接続配線の第2端は、前記第2絶縁層と前記第3絶縁層とを貫通するビアホールを介して前記信号入力電極に電気的に接続される。
例えば、本開示の少なくとも一つの実施例による表示基板において、前記表示基板は、第2クロック信号線をさらに含み、前記シフトレジスタユニットに第2クロック信号を提供するように構成され、前記シフトレジスタユニットは、第2制御回路をさらに含み、前記第2制御回路は、前記第1ノードと前記第2ノードに接続され、且つ前記第2ノードのレベルと前記第2クロック信号の制御で、前記第1ノードのレベルに対して制御を行うように構成される。
例えば、本開示の少なくとも一つの実施例による表示基板において、前記第2制御回路は、第1ノイズ低減トランジスタと第2ノイズ低減トランジスタとを含み、前記第1ノイズ低減トランジスタの活性層と前記第2ノイズ低減トランジスタの活性層は、一つの連続するノイズ低減半導体層であり、前記ノイズ低減半導体層は、前記第1方向に沿って延伸し、且つ前記入力トランジスタの活性層と前記第1方向において並設され、前記第1ノイズ低減トランジスタのゲート電極と前記第2ノイズ低減トランジスタのゲート電極は、前記第2方向に沿って延伸し且つ前記第1方向において並設され、前記入力トランジスタの第1電極が前記第1ノードに接続され、前記第1ノイズ低減トランジスタのゲート電極が前記第2ノードに接続される。
例えば、本開示の少なくとも一つの実施例による表示基板において、前記第2ノイズ低減トランジスタのゲート電極は、第3接続配線によって前記第2クロック信号線に電気的に接続され、前記第3接続配線は、第3サブ接続配線と第4サブ接続配線とを含み、前記第3サブ接続配線は、前記第2ノイズ低減トランジスタのゲート電極に接続され、且つ前記第1方向に沿って延伸し、且つ前記第3サブ接続配線の、前記ベース基板への正投影と、前記第2ノイズ低減トランジスタの活性層の、前記ベース基板への正投影とは、前記第2方向に沿って対向して並設され、前記第4サブ接続配線は、前記第3サブ接続配線と前記第2クロック信号線に接続され、且つ前記第2方向に沿って延伸し、前記第4サブ接続配線の、前記ベース基板への正投影は、前記第2ノイズ低減トランジスタの活性層の、前記ベース基板への正投影の、前記第1ノイズ低減トランジスタの活性層の、前記ベース基板への正投影から離れる側に位置する。
例えば、本開示の少なくとも一つの実施例による表示基板は、第4接続配線と、第1絶縁層と、第2絶縁層と、第3絶縁層とをさらに含み、前記第1絶縁層は、前記入力トランジスタの活性層と前記入力トランジスタのゲート電極との間に位置し、前記第2絶縁層と前記第3絶縁層とは、前記入力トランジスタのゲート電極と前記第4接続配線との間に位置し、前記第3サブ接続配線と前記第4サブ接続配線とは、一体的に形成され、前記第3サブ接続配線は、前記第2絶縁層と前記第3絶縁層とを貫通するビアホールを介して前記第4接続配線に接続される。
例えば、本開示の少なくとも一つの実施例による表示基板は、第4接続配線と、第1絶縁層と、第2絶縁層と、第3絶縁層とをさらに含み、前記第1絶縁層は、前記入力トランジスタの活性層と前記入力トランジスタのゲート電極との間に位置し、前記第2絶縁層と前記第3絶縁層とは、前記入力トランジスタのゲート電極と前記第4接続配線との間に位置し、前記第3サブ接続配線は、前記第2絶縁層と前記第3絶縁層とを貫通するビアホールを介して前記第4接続配線に接続され、前記第4サブ接続配線は、前記第2絶縁層と前記第3絶縁層とを貫通するビアホールを介して前記第4接続配線に接続される。
例えば、本開示の少なくとも一つの実施例による表示基板において、前記第1制御回路は、第1制御トランジスタと第2制御トランジスタとを含み、前記第1制御トランジスタの活性層と前記第2制御トランジスタの活性層とは、一つの連続する制御半導体層であり、前記制御半導体層は、前記第1方向に沿って延伸し、前記第1制御トランジスタのゲート電極と前記第2制御トランジスタのゲート電極は、前記第2方向に沿って延伸し且つ前記第1方向において並設される。
例えば、本開示の少なくとも一つの実施例による表示基板において、前記第1制御トランジスタの活性層、前記第2制御トランジスタの活性層と前記入力トランジスタの活性層は、前記第2方向において並設される。
例えば、本開示の少なくとも一つの実施例による表示基板において、前記入力トランジスタの活性層は、前記第1ノイズ低減トランジスタの活性層と前記第2ノイズ低減トランジスタの活性層が前記第1方向に沿って延伸する仮想線上に位置し、前記第1制御トランジスタの活性層、前記第2制御トランジスタの活性層は、前記入力トランジスタの活性層が前記第2方向に沿って延伸する仮想線上に位置する。
例えば、本開示の少なくとも一つの実施例による表示基板において、前記シフトレジスタユニットは、中間切換電極をさらに含み、前記第1制御トランジスタの活性層と前記第2制御トランジスタの活性層と、前記第1ノイズ低減トランジスタの活性層と前記第2ノイズ低減トランジスタの活性層とは、前記第2方向において並設され、前記中間切換電極の、前記ベース基板への正投影は、前記第1制御トランジスタの活性層と前記第2制御トランジスタの活性層の、前記ベース基板への正投影と、前記第1ノイズ低減トランジスタの活性層と前記第2ノイズ低減トランジスタの活性層の、前記ベース基板への正投影との間に位置し、前記第1ノイズ低減トランジスタのゲート電極は、前記中間切換電極によって前記第1制御トランジスタの第1電極と前記第2制御トランジスタの第1電極に接続される。
例えば、本開示の少なくとも一つの実施例による表示基板において、前記第2ノードは、前記中間切換電極を含む。
例えば、本開示の少なくとも一つの実施例による表示基板において、前記シフトレジスタユニットは、第1絶縁層と第2絶縁層とをさらに含み、前記第1絶縁層は、前記ベース基板に垂直する方向において、前記第1ノイズ低減トランジスタの活性層と前記第1ノイズ低減トランジスタのゲート電極との間に位置し、前記第2絶縁層は、前記ベース基板に垂直する方向において、前記第1ノイズ低減トランジスタのゲート電極と前記中間切換電極との間に位置し、前記第1ノイズ低減トランジスタのゲート電極は、前記第2絶縁層を貫通するビアホールを介して前記中間切換電極の第1端に接続され、前記第1制御トランジスタの第1電極と前記第2制御トランジスタの第1電極は、前記中間切換電極の第2端に接続され、且つ前記中間切換電極と同じ層に位置する。
例えば、本開示の少なくとも一つの実施例による表示基板において、前記第2ノードは、前記中間切換電極を含む。
例えば、本開示の少なくとも一つの実施例による表示基板において、前記シフトレジスタユニットは、第1絶縁層と、第2絶縁層と、第3絶縁層と、第2接続配線とをさらに含み、前記第1絶縁層は、前記ベース基板に垂直する方向において、前記第1ノイズ低減トランジスタの活性層と前記第1ノイズ低減トランジスタのゲート電極との間に位置し、前記第2絶縁層は、前記ベース基板に垂直する方向において、前記第1ノイズ低減トランジスタのゲート電極と前記中間切換電極との間に位置し、前記第3絶縁層は、前記ベース基板に垂直する方向において、前記中間切換電極と前記第2接続配線との間に位置し、前記第2接続配線は、第1サブ接続配線と第2サブ接続配線とを含み、前記第1ノイズ低減トランジスタのゲート電極は、前記第2絶縁層と前記第3絶縁層とを貫通するビアホールを介して前記第1サブ接続配線に接続され、前記中間切換電極の第1端は、前記第3絶縁層を貫通するビアホールを介して前記第1サブ接続配線に接続され、前記第1制御トランジスタの第1電極と前記第2制御トランジスタの第1電極は、前記第2サブ接続配線に接続され且つ同じ層に位置し、前記中間切換電極の第2端は、前記第3絶縁層を貫通するビアホールを介して前記第2サブ接続配線に接続される。
例えば、本開示の少なくとも一つの実施例による表示基板において、前記第2ノードは、前記中間切換電極と、前記第2接続配線とを含む。
例えば、本開示の少なくとも一つの実施例による表示基板において、前記シフトレジスタユニットは、電圧安定化回路をさらに含み、前記電圧安定化回路は、前記第1ノードと第3ノードに接続され、且つ前記第3ノードのレベルを安定化するように構成され、前記出力回路は、前記第3ノードに接続され、且つ前記第3ノードのレベルの制御で、前記出力信号を前記出力端に出力するように構成される。
例えば、本開示の少なくとも一つの実施例による表示基板は、第1電源線と第2電源線とをさらに含み、前記シフトレジスタユニットに第1電圧と第2電圧を提供するように構成され、前記電圧安定化回路は、電圧安定化トランジスタを含み、前記第2電源線は、前記第2方向において突出する突出部を含み、前記電圧安定化トランジスタの活性層の、前記ベース基板への正投影は、前記第1方向において、前記第2制御トランジスタの活性層の、前記ベース基板への正投影と、前記第2ノイズ低減トランジスタの活性層の、前記ベース基板への正投影との間に位置し、且つ前記第2制御トランジスタの第2電極と前記電圧安定化トランジスタのゲート電極は、いずれも前記第2電源線上の突出部に接続されることにより、前記第2電圧を受け取り、前記電圧安定化トランジスタの第1電極が前記第3ノードに接続され、前記電圧安定化トランジスタの第2電極が前記第1ノードに接続される。
例えば、本開示の少なくとも一つの実施例による表示基板において、前記入力トランジスタの第1電極は、信号入力電極に接続されることにより、前記入力信号を受け取り、前記出力制御回路は、出力制御トランジスタと第1コンデンサとを含み、前記第1コンデンサの第1電極と第2電極は、ノッチを含み、前記信号入力電極の、前記ベース基板への正投影は、前記第1コンデンサの、前記ベース基板への正投影のノッチ中に入る。
例えば、本開示の少なくとも一つの実施例による表示基板において、前記出力回路は、出力トランジスタと第2コンデンサとを含み、前記出力トランジスタの第1電極は、前記第4接続配線に接続され、前記第4接続配線は、前記第3接続配線によって前記第2クロック信号線に接続され、前記第3接続配線の第3サブ接続配線の、前記ベース基板への正投影は、前記第2ノイズ低減トランジスタの活性層の、前記ベース基板への正投影の、前記出力トランジスタの活性層の、前記ベース基板への正投影に近接する側に位置し、前記出力トランジスタのゲート電極が前記電圧安定化トランジスタの第1電極に電気的に接続され、前記出力トランジスタの第2電極が前記出力端に接続される。
例えば、本開示の少なくとも一つの実施例による表示基板において、前記第2コンデンサの形状は、矩形である。
例えば、本開示の少なくとも一つの実施例による表示基板において、前記出力制御回路が出力制御トランジスタと第1コンデンサとを含む場合、前記出力制御トランジスタの活性層と前記出力トランジスタの活性層とは、一体的に設けられ且つ前記第1方向に沿って延伸し、前記出力制御トランジスタのゲート電極と前記出力トランジスタのゲート電極は、前記第2方向に沿って延伸し且つ前記第1方向において並設され、前記表示基板が第1電源線を含む場合、前記出力制御トランジスタの第1電極は、前記第1電源線に電気的に接続されて第1電圧を受け取る。
例えば、本開示の少なくとも一つの実施例による表示基板において、前記出力トランジスタの第2電極は、前記シフトレジスタユニットと隣接する次段のシフトレジスタユニットの信号入力電極に接続される。
例えば、本開示の少なくとも一つの実施例による表示基板は、画素アレイ領域と周辺領域とをさらに含み、前記第1電源線、前記第2電源線、前記第1クロック信号線、前記第2クロック信号線と前記シフトレジスタユニットは、前記周辺領域内に位置し、前記第2電源線、前記第1クロック信号線と前記第2クロック信号線の、前記ベース基板への正投影は、前記シフトレジスタユニットの、前記ベース基板への正投影の、前記画素アレイ領域から離れる側に位置し、前記第1電源線の、前記ベース基板への正投影は、前記シフトレジスタユニットの、前記ベース基板への正投影の、前記画素アレイ領域に近接する側に位置する。
例えば、本開示の少なくとも一つの実施例による表示基板は、第1電源線と、第2制御回路と、電圧安定化回路と、第1切換電極と、第2切換電極と、第3切換電極とをさらに含み、前記第1電源線は、前記シフトレジスタユニットに第1電圧を提供するように構成され、前記第2制御回路は、前記第1ノードと前記第2ノードに接続され、且つ前記第2ノードのレベルと第2クロック信号の制御で、前記第1ノードのレベルに対して制御を行うように構成され、前記電圧安定化回路は、前記第1ノードと第3ノードに接続され、且つ前記第3ノードのレベルを安定化するように構成され、前記第1制御回路は、第1制御トランジスタと第2制御トランジスタとを含み、前記第2制御回路は、第1ノイズ低減トランジスタと第2ノイズ低減トランジスタとを含み、前記電圧安定化回路は、電圧安定化トランジスタを含み、前記出力制御回路は、出力制御トランジスタと第1コンデンサとを含み、前記出力回路は、出力トランジスタと第2コンデンサとを含み、前記第1切換電極は、前記入力トランジスタの第1電極、前記第1制御トランジスタのゲート電極、前記電圧安定化トランジスタの第2電極及び前記第2ノイズ低減トランジスタの第1電極に接続され、前記第1切換電極は、前記第1制御トランジスタのゲート電極と同じ層に位置せず、前記第2切換電極は、前記電圧安定化トランジスタの第1電極と前記出力トランジスタのゲート電極に接続され、そのうち、前記第2切換電極は、前記出力トランジスタのゲート電極と同じ層に位置せず、前記第3切換電極は、前記第1ノイズ低減トランジスタの第1電極と前記出力制御トランジスタの第1電極に接続され、且つ前記第1電源線に接続される。
例えば、本開示の少なくとも一つの実施例による表示基板において、前記第1ノードは、前記第1切換電極を含み、前記第3ノードは、前記第2切換電極を含む。
本開示の少なくとも一つの実施例は、本開示のいずれか一つの実施例による表示基板を含む表示装置をさらに提供する。
例えば、本開示の少なくとも一つの実施例による表示装置において、前記表示装置は、有機発光ダイオード表示装置である。
例えば、本開示の少なくとも一つの実施例による表示装置は、アレイ状に配列される画素ユニットをさらに含み、そのうち、前記シフトレジスタユニットの出力回路によって出力される出力信号は、ゲート電極走査信号として前記画素ユニットを発光させるようとする。
本開示の少なくとも一つの実施例は、表示基板の製作方法をさらに提供する。前記方法は、前記ベース基板を提供するステップと、前記ベース基板上にシフトレジスタユニット、第1電源線、第2電源線、前記第1クロック信号線と第2クロック信号線を形成するステップとを含み、前記シフトレジスタユニットを形成することは、前記ベース基板に垂直する方向において、半導体層、第1絶縁層、第1導電層、第2絶縁層、第2導電層、第3絶縁層及び第3導電層を順次に形成するステップを含み、各トランジスタの活性層は、前記半導体層に位置し、前記各トランジスタのゲート電極と各コンデンサの第1電極は、前記第1導電層に位置し、前記各コンデンサの第2電極は、前記第2導電層に位置し、前記第1電源線、前記第2電源線、前記第1クロック信号線、前記第2クロック信号線と前記各トランジスタの第1電極と第2電極は、前記第3導電層に位置し、前記各トランジスタと前記各コンデンサは、前記第1絶縁層、前記第2絶縁層又は前記第3絶縁層を貫通するビアホールを介して互いに接続され、前記第1電源線、前記第2電源線、前記第1クロック信号線と前記第2クロック信号線に接続される。
本発明の実施例の技術案をより明瞭に説明するために、以下は、本実施例の添付図面を簡単に紹介し、自明なことに、以下の記述における添付図面は、本発明のいくつかの実施例のみに関し、本発明に対する制限ではない。
表示パネルの全体的な回路構造の概略図である。 シフトレジスタユニットの回路図である。 図1Bに示されるシフトレジスタユニットの作動時の信号シーケンス図である。 図1Bに示されるシフトレジスタユニットの表示基板上でのレイアウト概略図である。 本開示の少なくとも一つの実施例による表示基板のレイアウト概略図である。 本開示の少なくとも一つの実施例による別の表示基板のレイアウト概略図である。 図2Aに示される表示基板のシフトレジスタユニットの各層配線の平面図をそれぞれ示す。 図2Bに示される表示基板のシフトレジスタユニットの各層配線の平面図をそれぞれ示す。 図2Aに示される表示基板のシフトレジスタユニットの各層配線の平面図をそれぞれ示す。 図2Bに示される表示基板のシフトレジスタユニットの各層配線の平面図をそれぞれ示す。 図2Aに示される表示基板のシフトレジスタユニットの各層配線の平面図をそれぞれ示す。 図2Bに示される表示基板のシフトレジスタユニットの各層配線の平面図をそれぞれ示す。 図2Aに示される表示基板のシフトレジスタユニットの各層配線の間のビアホールの平面図である。 図2Bに示される表示基板のシフトレジスタユニットの各層配線の間のビアホールの平面図である。 図2Aに示される表示基板のシフトレジスタユニットの各層配線の平面図をそれぞれ示す。 図2Bに示される表示基板のシフトレジスタユニットの各層配線の平面図をそれぞれ示す。 図2Aに示される表示基板の一例の断面図である。 図2Aに示される表示基板のA-A`方向に沿ういくつかの例示の断面図である。 図2Bに示される表示基板のB-B`方向に沿ういくつかの例示の断面図である。 図2Aに示される表示基板のC-C`方向に沿ういくつかの例示の断面図である。 図2Bに示される表示基板のD-D`方向に沿ういくつかの例示の断面図である。 本開示の少なくとも一つの実施例による表示装置の概略図である。 本開示の少なくとも一つの実施例による表示基板の製作方法のフローチャートである。
本発明の実施例の目的、技術案及び利点をさらに明確に説明するために、以下、本発明の実施例の図面を参照して、本発明の実施例の技術案について明確かつ完全に説明する。記載された実施例は、本発明の一部の実施例であり、全ての実施例ではないことは、明らかである。記載された本発明の実施例に基づいて、当業者が創造的な労働をせずに取得するその他の実施例は、いずれも本発明の保護範囲に含まれる。
特に定義されない限り、本開示で使用される技術用語又は科学用語は、当業者が理解する通常の意味である。本開示で使用される「第1」、「第2」及び類似する語は、何らかの順序、数量又は重要性を示すものではなく、異なる構成部分を区別するためのものにすぎない。同様に、「1つ」や「1」、「当該」等の類似する語も数量制限ではなく、少なくとも1つが存在することを示すものである。「含む」や「含まれる」などの類似する語は、当該語の前に出現した素子や物が当該語の後に挙げられる素子や物、及びそれらの均等物を含むことを意味するが、その他の素子や物を排除するものではない。「接続」や「互いに接続」などの類似する語は、物理的又は機械的な接続に限定されず、直接的か間接的かを問わず、電気的な接続を含んでもよい。「上」、「下」、「左」、「右」などは、相対位置関係を示すためのものにすぎず、説明対象の絶対位置が変わると、当該相対位置関係もそれに応じて変わる可能性がある。
以下では、いくつかの具体的な実施例によって本開示を説明する。本発明の実施例の以下の説明の明確さと簡潔さを保持するために、既知機能と既知部材の詳細な説明を省略することができる。本発明の実施例のいずれか一つの部材が一つ以上の添付図面において出現する際に、当該部材は、各添付図面において同じ参照符号で表される。
図1Aは、表示パネルの全体的な回路構造の概略図である。例えば、図1Aに示すように、101は、表示パネルの外枠線全体を表し、表示パネルは、有効表示領域(すなわち画素アレイ領域)102と、有効表示領域102の周辺に位置する周辺領域とを含み、当該有効表示領域は、アレイ状に配列される画素ユニット103を含み、当該周辺領域は、シフトレジスタユニット104を含み、カスケード接続される複数のシフトレジスタユニット104は、ゲート電極駆動回路を構成し、表示パネル101の有効表示領域102におけるアレイ状に配列される画素ユニット103に例えば1行ずつシフトされるゲート電極走査信号を提供するために用いられ、当該周辺領域は、発光制御ユニット105をさらに含み、カスケード接続される複数の発光制御ユニット105は、発光制御アレイを構成し、表示パネル101の有効表示領域102におけるアレイ状に配列される画素ユニット103に例えば1行ずつシフトされる発光制御信号を提供するために用いられる。
図1Aに示すように、データ駆動チップICに接続されるデータ線D1-DN(Nは、1よりも大きい整数)は、有効表示領域102を縦方向に貫通することにより、アレイ状に配列される画素ユニット103にデータ信号を提供し、シフトレジスタユニット104と発光制御ユニット105とに接続されるゲート線G1-GM(Mは、1よりも大きい整数)は、有効表示領域102を横方向に貫通することにより、アレイ状に配列される画素ユニットにゲート電極走査信号と発光制御信号とを提供する。例えば、各画素ユニット103は、本分野における、7T1C、8T2C又は4T1C等の回路構造を有する画素回路と発光素子とを含んでもよく、画素回路は、データ線によって伝送されるデータ信号と、ゲート線によって伝送されるゲート電極走査信号と、発光制御信号との制御で作動することにより、発光素子の発光を駆動することにより、表示等の操作を実現する。当該発光素子は、例えば、有機発光ダイオード(OLED)又は量子ドット発光ダイオード(QLED)であってもよい。
図1Bは、シフトレジスタユニットの回路構造図である。図1Cは、図1Bに示されるシフトレジスタユニットの作動時の信号シーケンス図である。以下では、図1Bと図1Cを結び付けて当該シフトレジスタユニットの作動プロセスについて簡単に紹介する。
図1Bに示すように、当該シフトレジスタユニット104は、8つのトランジスタ(入力トランジスタT1、第1制御トランジスタT2、第2制御トランジスタT3、出力制御トランジスタT4、出力トランジスタT5、第1ノイズ低減トランジスタT6、第2ノイズ低減トランジスタT7及び電圧安定化トランジスタT8)と2つのコンデンサ(第1コンデンサC1と第2コンデンサC2)とを含む。例えば、複数のシフトレジスタユニット104がカスケード接続される場合、一段目のシフトレジスタユニット104における入力トランジスタT1の第1電極が入力端INに接続され、入力端INは、トリガ信号線GSTVに接続されることにより、入力信号としてトリガ信号を受け取るように構成され、他の各段のシフトレジスタユニット104における入力トランジスタT1の第1電極は、前段のシフトレジスタユニット104の出力端に電気的に接続されることによって、入力信号として前段のシフトレジスタユニット104の出力端GOUTによって出力される出力信号を受け取り、これによってシフト出力を実現することにより、活性表示領域の画素ユニットのアレイに対して例えば1行ずつ走査を行うために用いられる。
なお、図1Bに示すように、当該シフトレジスタユニットは、第1クロック信号端CKと第2クロック信号端CBとをさらに含み、GCKは、第1サブクロック信号線を表し、GCBは、第2サブクロック信号線を表し、例えば、第1クロック信号端CKが第1サブクロック信号線GCKに接続されることにより、第1クロック信号を受け取る場合、第1サブクロック信号線GCKは、第1クロック信号線であり、第1クロック信号端CKが第2サブクロック信号線GCBに接続されることにより、第1クロック信号を受け取る場合、第2サブクロック信号線GCBは、第1クロック信号線であり、具体的には実際の状況に依存し、本開示の実施例は、これを制限しない。第2クロック信号端CBは、第2サブクロック信号線GCB又は第1サブクロック信号線GCKに接続されることにより、第2クロック信号を受け取る。以下では、第1クロック信号端CKが第1サブクロック信号線GCKに接続されることにより、第1クロック信号を受け取り、第2クロック信号端CBが第2サブクロック信号線GCBに接続されることにより、第2クロック信号を受け取ることを例として紹介し、すなわち第1サブクロック信号線GCKが第1クロック信号線として、第2サブクロック信号線GCBが第2クロック信号線とすることを例として説明し、本開示の実施例は、これを制限しない。例えば、第1クロック信号GCK及び第2クロック信号GCBは、デューティサイクルが50%よりも大きいパルス信号を採用してもよく、且つ両者には例えば半周期の差があり、VGHは、第1電源線及び第1電源線によって提供される第1電圧を表し、例えば、第1電圧は、直流ハイレベルであり、VGLは、第2電源線及び第2電源線によって提供される第2電圧を表し、例えば、第2電圧は、直流ローレベルであり、また第1電圧は、第2電圧よりも大きく、N1、N2及びN3は、回路概略図における第1ノード、第2ノード及び第3ノードをそれぞれ表す。
図1Bに示すように、入力トランジスタT1のゲート電極は、第1クロック信号端CK(第1クロック信号端CKが第1サブクロック信号線GCKに接続される)に接続されることにより、第1クロック信号を受け取り、入力トランジスタT1の第2電極が入力端INに接続され、入力トランジスタT1の第1電極が第1ノードN1に接続される。例えば、当該シフトレジスタユニットが一段目のシフトレジスタユニットである場合、入力端INがトリガ信号線GSTVに接続されることにより、トリガ信号を受け取り、当該シフトレジスタユニットが一段目のシフトレジスタ以外の他の各段のシフトレジスタユニットである場合、入力端INがその前段のシフトレジスタユニットの出力端GOUTに接続される。
第1制御トランジスタT2のゲート電極が第1ノードN1に接続され、第1制御トランジスタT2の第2電極が第1クロック信号端CKに接続されることにより、第1クロック信号を受け取り、第1制御トランジスタT2の第1電極が第2ノードN2に接続される。
第2制御トランジスタT3のゲート電極が第1クロック信号端CKに接続されることにより、第1クロック信号を受け取り、第2制御トランジスタの第2電極が第2電源線VGLに接続されることにより、第2電圧を受け取り、第2制御トランジスタT3の第1電極が第2ノードN2に接続される。
出力制御トランジスタT4のゲート電極が第2ノードN2に接続され、出力制御トランジスタT4の第1電極が第1電源線VGHに接続されることにより、第1電圧を受け取り、出力制御トランジスタT4の第2電極が出力端GOUTに接続される。
第1コンデンサの第1電極が第2ノードN2に接続され、第1コンデンサC1の第2電極が第1電源線VGHに接続される。
出力トランジスタT5のゲート電極が第3ノードN3に接続され出力トランジスタT5の第1電極が第2クロック信号端CBに接続され、出力トランジスタT5の第2電極が出力端GOUTに接続される。
第2コンデンサC2の第1電極が第3ノードN3に接続され、第2コンデンサC2の第2電極が出力端GOUTに接続される。
第1ノイズ低減トランジスタT6のゲート電極が第2ノードN2に接続され、第1ノイズ低減トランジスタT6の第1電極が第1電源線VGHに接続されることにより、第1電圧を受け取り、第1ノイズ低減トランジスタT6の第2電極が第2ノイズ低減トランジスタT7の第2電極に接続される。
第2ノイズ低減トランジスタT7のゲート電極が第2クロック信号端CB(第2クロック信号端CBが第2サブクロック信号線GCBに接続される)に接続されることにより、第2クロック信号を受け取り、第2ノイズ低減トランジスタT7の第1電極が第1ノードN1に接続される。
電圧安定化トランジスタT8のゲート電極が第2電源線VGLに接続されることにより、第2電圧を受け取り、電圧安定化トランジスタT8の第2電極が第1ノードN1に接続され、電圧安定化トランジスタT8の第1電極が第3ノードN3に接続される。
図1Bに示されるシフトレジスタユニット104におけるトランジスタは、いずれもP型トランジスタを例として説明されるものであり、すなわち各トランジスタは、ゲート電極がローレベルを受けた時にオンになり(オンレベル)、ハイレベルを受けた時にオフになる(オフレベル)。このとき、トランジスタの第1電極は、ソース電極であってもよく、トランジスタの第2電極は、ドレイン電極であってもよい。
当該シフトレジスタユニットは、図1Bの配置方式を含むが、それらに限られず、例えば、シフトレジスタユニット104における各トランジスタは、N型トランジスタを採用してもよく、又はP型トランジスタとN型トランジスタとを混合して採用してもよく、選択されるタイプのトランジスタのポート極性を本開示の実施例における相応なトランジスタのポート極性に従って接続すればよい。
説明すべきことは、当該シフトレジスタユニットにおいて採用されるトランジスタは、いずれも薄膜トランジスタ又は電界効果トランジスタ又は他の特性が同じであるスイッチ素子であってもよく、ここでいずれも薄膜トランジスタを例として説明し、例えば当該トランジスタの活性層(チャネル領域)は、半導体材料、例えば、多結晶質シリコン(例えば低温多結晶質シリコン又は高温多結晶質シリコン)、非晶質シリコン、酸化インジウムガリウムスズ(IGZO)等を採用し、ゲート電極、ソース電極、ドレイン電極等は、金属材料、例えば金属アルミニウム又はアルミニウム合金を採用する。ここで採用されるトランジスタのソース電極、ドレイン電極は、構造上に対称するものであってもよいため、そのソース電極、ドレイン電極は、構造上に区別がないものであってもよい。本開示の実施例では、トランジスタのゲート電極以外の両電極を区別するために、そのうちの一電極が第1電極であり、別の電極が第2電極であることを直接記述する。また、本開示の実施例では、コンデンサの電極は、金属電極を採用してもよく、又はそのうちの一つの電極は、半導体材料(例えばドーピングされる多結晶質シリコン)を採用してもよい。
図1Cは、図1Bに示されるシフトレジスタユニット104の作動時の信号シーケンス図である。以下では、図1Bと図1Cを結び付けて当該シフトレジスタの作動プロセスについて詳細に紹介する。例えば、一段目のシフトレジスタユニット104の作動原理を説明し、残りの各段のシフトレジスタユニット104の作動原理は、それと同様であり、説明を省略する。図1Cに示すように、当該シフトレジスタユニット104の作動プロセスは、4つの段階を含み、それぞれは、第1段階t1、第2段階t2、第3段階t3と第4段階t4であり、図1Cは、各段階における各信号のタイミング波形を示す。
第1段階t1において、図1Cに示すように、第1クロック信号端CKは、ローレベルの第1クロック信号を受け取り、トリガ信号線GSTVは、ローレベルのトリガ信号を提供するため、入力トランジスタT1と第2制御トランジスタT3とがオンになり、オンになる入力トランジスタT1は、ローレベルのトリガ信号を第1ノードN1に伝送することにより、第1ノードN1のレベルをローレベルに変更するため、第1制御トランジスタT2と出力トランジスタT5とがオンになり、電圧安定化トランジスタT8は、第2電源線VGLによって提供される第2電圧(ローレベル)に応じてて常にオン状態にあるため、第3ノードN3のレベルは、第1ノードN1のレベルと同じであり、すなわちローレベルであり、それとともに、当該ローレベルを第2コンデンサC2中に記憶する。なお、オンになる第2制御トランジスタT3は、ローレベルの第2電圧VGLを第2ノードN2に伝送し、オンになる第1制御トランジスタT2は、第1クロック信号のローレベルを第2ノードN2に伝送することにより、第2ノードN2のレベルをローレベルに変更し、且つ第1コンデンサC1中に記憶するため、出力制御トランジスタT4は、第2ノードN2のローレベルオンに応じて、第1電源線VGHによって提供されるハイレベルの第1電圧を出力端GOUTに出力するとともに、出力トランジスタT5は、第3ノードN3のローレベルオンに応じて、第2クロック信号端CBによって受け取られるハイレベルの第2クロック信号を出力端GOUTに伝送することにより、この段階において、シフトレジスタユニットは、ハイレベルを出力する。
第2段階t2において、図1Cに示すように、第2クロック信号端CBは、ローレベルの第2クロック信号を受け取るため、第2ノイズ低減トランジスタT7がオンになり、第1クロック信号端CKは、ハイレベルの第1クロック信号を受け取るため、入力トランジスタT1と第2制御トランジスタT3とがオフになる。第2コンデンサC2の記憶作用のため、第1ノードN1は、前の段階のローレベルの保持を続行することができるため、第1制御トランジスタT2と出力トランジスタT5とがオンになる。第1制御トランジスタT2がオンになるため、第1クロック信号端CKによって受け取りられるハイレベルの第1クロック信号は、第2ノードN2に伝送されるため、第2ノードN2がハイレベルに変更されるため、第1ノイズ低減トランジスタT6と出力制御トランジスタT4とがオフになることにより、第1電源線VGHによって提供されるハイレベルが出力端GOUTと第1ノードN1に出力されることを避ける。それとともに、出力トランジスタT5がオンになるため、当該段階において、出力端GOUTは、第2クロック信号端GBによって受け取られるローレベルを出力し、例えば、当該ローレベルは、図1Aに示される画素ユニット103の作動を制御するために用いられる。
第3段階t3において、図1Cに示すように、第1クロック信号端CKは、ローレベルの第1クロック信号を受け取るため、入力トランジスタT1と第2制御トランジスタT3とがオンになり、このとき、トリガ信号線GSTVによって提供されるハイレベルが第1ノードN1と第3ノードN3に伝送されるため、出力トランジスタT5と第1制御トランジスタT2とがオフになる。第2クロック信号端CBは、ハイレベルの第2クロック信号を受け取るため、第2ノイズ低減トランジスタT7がオフになる。第2制御トランジスタT3がオンになるため、第2電源線VGLによって提供されるローレベルが第2ノードN2に伝送され且つ第1コンデンサC1中に記憶されるため、出力制御トランジスタT4と第1ノイズ低減トランジスタT6とがオンになるため、当該段階において、出力端GOUTは、第1電源線VGHによって提供されるハイレベルを出力する。
第4段階t4において、図1Cに示すように、第1クロック信号端CKは、ハイレベルの第1クロック信号を受け取るため、入力トランジスタT1及び第2制御トランジスタT3がオフになる。第2クロック信号端CBは、ローレベルの第2クロック信号を受け取るため、第2ノイズ低減トランジスタT7がオンになる。第2コンデンサC2の記憶作用のため、第1ノードN1のレベルは、前の段階のハイレベルを保持することにより、第1制御トランジスタT2と出力トランジスタT5とがオフになる。第1コンデンサC1の記憶作用のため、第2ノードN2は、前の段階のローレベルを保持し続けることにより、第1ノイズ低減トランジスタT6がオンになることにより、第1電源線VGHによって提供されるハイレベルは、オンになる第1ノイズ低減トランジスタT6及び第2ノイズ低減トランジスタT7によって第1ノードN1と第3ノードN3に伝送されることにより、第1ノードN1と第3ノードN3は、ハイレベルに保持され続け、出力トランジスタT5がオンになることを効果的にを防止することにより、誤出力を避ける。
図1Dは、図1Bに示されるシフトレジスタユニット104の表示基板上でのレイアウト概略図である。図1Dに示すように、当該表示基板は、シフトレジスタユニット104の入力トランジスタT1~電圧安定化トランジスタT8と、第1コンデンサC1~第2コンデンサC2と、第1サブクロック信号線GCKと、第2サブクロック信号線GCBと、第1電源線VGHと、第2電源線VGLとを含む。
例えば、図1Dに示すように、入力トランジスタT1は、「U」字形の活性層と直線型(I型)ゲート電極とを含み、当該直線型ゲート電極は、当該「U」字形の活性層のダブルアームと重なることにより、ダブルゲートトランジスタを実現し、且つ第1ノイズ低減トランジスタT6と第2ノイズ低減トランジスタT7とは、水平に並んでいることにより、表示パネルの水平方向においても、垂直方向においても、当該並び方式は、いずれも比較的に大きい空間を占有し、電圧安定化トランジスタT8のゲート電極から第2制御トランジスタT3の第1電極までの距離が比較的に遠く、且つ第2電源線VGLの異なる位置にそれぞれ接続され、配線の複雑度が増加し、第1制御トランジスタT2と第2制御トランジスタT3との間のノードは、非常に長い接続配線を介して第1ノイズ低減トランジスタT6のゲート電極に接続され、空間混雑等を引き起こす。そのため、図1Dに示される表示基板上の各トランジスタの並び方式と接続方式は、空間混雑を引き起こしやすく、表示パネルの狭額縁設計の実現に不利であり、且つ必要がない重なりのため、寄生コンデンサが大きすぎて信号相互干渉等の問題が発生し、表示パネルの表示品質に影響を与えやすい。
本開示の少なくとも一つの実施例は、表示基板を提供する。前記表示基板は、ベース基板と、ベース基板上に設けられるシフトレジスタユニット及び第1クロック信号線とを含み、第1クロック信号線は、ベース基板において第1方向に沿って延伸し、且つシフトレジスタユニットに第1クロック信号を提供するように構成され、シフトレジスタユニットは、入力回路と、出力回路と、第1制御回路と、出力制御回路とを含み、入力回路は、第1クロック信号に応じて、入力信号を第1ノードに入力するように構成され、出力回路は、出力信号を出力端に出力するように構成され、第1制御回路は、第1ノードのレベルと第1クロック信号に応じて、第2ノードのレベルを制御するように構成され、出力制御回路は、第2ノードのレベルの制御で、出力端のレベルに対して制御を行うように構成され、入力回路は、入力トランジスタを含み、入力トランジスタの活性層は、第2方向に沿って延伸する長尺状であり、第2方向は、第1方向と異なり、入力トランジスタは、第1ゲート電極と、第2ゲート電極と、第1ゲート電極と第2ゲート電極とを接続する接続電極とを含み、接続電極は、第1方向に沿って延伸し、第1ゲート電極に接続される第1部分と、第2ゲート電極に接続される第2部分と、第2方向に沿って延伸し且つ第1部分と第2部分とを接続する第3部分とを含み、接続電極の第3部分は、第1クロック信号線に接続されることにより、第1クロック信号を受け取る。
本開示の少なくとも一つの実施例は、上記表示基板に対応する表示装置及び表示基板の製作方法をさらに提供する。
本開示の上記実施例による表示基板が最適化されたシフトレジスタユニットの線路接続と構造レイアウトは、シフトレジスタユニットが第2方向における長さを一定の程度に圧縮し、表示パネルの狭額縁設計の実現に有利であるとともに、表示パネルの表示品質を確保する。
以下では、添付図面を結び付けて本開示の実施例及びそのいくつかの例について詳細に説明する。
本開示の少なくとも一つの実施例は、表示基板を提供する。図2Aは、図1Bに示されるシフトレジスタユニット104の表示基板上でのレイアウト概略図である。
例えば、図2Aに示すように、当該表示基板1は、ベース基板10と、ベース基板10上に設けられるシフトレジスタユニット104と、第1電源線VGHと、第2電源線VGLと、複数のクロック信号線(例えば、図に示される第1サブクロック信号線GCK、第2サブクロック信号線GCBとトリガ信号線GSTV)とを含む。例えば、第1電源線VGH、第2電源線VGLと複数のクロック信号線は、ベース基板10において第1方向に沿って(例えば、図2Aに示される垂直方向)延伸し、且つシフトレジスタユニット104に第1電圧、第2電圧と複数のクロック信号(例えば、上に記載のトリガ信号、第1クロック信号又は第2クロック信号等)をそれぞれ提供するように構成される。
なお、第1電源線VGHと、第2電源線VGLと、複数のクロック信号線とは、第1方向に沿って平行に設けられてもよく、一定の角度(例えば、20°以下である)を交差してもよく、本開示の実施例は、これを制限しない。
例えば、第1電源線VGHは、走査駆動回路に含まれるカスケード接続される複数のシフトレジスタユニット104に第1電圧を提供するように構成され、第2電源線VGLは、走査駆動回路に含まれるカスケード接続される複数のシフトレジスタユニット104に第2電圧を提供するように構成される。例えば、第1電圧は、第2電圧よりも大きく、例えば第1電圧は、直流ハイレベルであり、第2電圧は、直流ローレベルである。
例えば、当該ベース基板10は、例えばガラス、プラスチック、石英又は他の適切な材料を採用してもよく、本開示の実施例は、これを制限しない。
例えば、表示基板1は、画素アレイ領域(すなわち図1Aに示される有効表示領域102であり、以下では、画素アレイ領域102と呼ばれる)と、前記画素アレイ領域以外の周辺領域とを含み、例えば、上記第1電源線VGH、第2電源線VGL、複数のクロック信号線とシフトレジスタユニット104は、周辺領域内に位置し且つベース基板10の一側に位置し(図1Aに示すように、画素アレイ領域102とベース基板の側辺との間に位置し)、例えば、図1Aに示すように、ベース基板の左側に位置し、もちろんベース基板10の右側又は左右両側に位置してもよく、本開示の実施例は、これを制限しない。
例えば、第2電源線VGLと複数のクロック信号線は、シフトレジスタユニット104の画素アレイ領域102から離れる側に位置し、例えば、いずれも図2Aに示されるシフトレジスタユニット104の左側に位置し、すなわちシフトレジスタユニット104がベース基板10への正投影は、第2電源線VGLと複数のクロック信号線がベース基板10への正投影と画素アレイ領域102との間に位置し、例えば、第1電源線VGHは、画素アレイ領域102に近接するシフトレジスタユニット104の一側に位置し、すなわち第1電源線VGHがベース基板10への正投影は、シフトレジスタユニット104がベース基板10への正投影と画素アレイ領域102の間に位置する。
なお、上記配線の位置は、例示的なものに過ぎず、シフトレジスタユニットとの接続を容易にする配線の設置を満たしていればよく、本開示の実施例は、これを制限しない。
例えば、画素アレイ領域102は、アレイ状に配列される複数の画素ユニット103を含む。例えば、複数の画素ユニット103のそれぞれは、画素回路を含み、例えば発光素子(図示せず)をさらに含んでもよい。
例えば、カスケード接続される複数のシフトレジスタユニット104は、ゲート電極駆動回路を構成する。例えば、当該複数のシフトレジスタユニット104の出力端GOUTは、画素アレイ領域に位置する各行の画素回路のゲート電極走査信号端にそれぞれ接続されることにより、当該各行の画素回路に出力信号(例えば、ゲート電極走査号)を提供することにより、発光素子の発光を駆動することを実現する。例えば、当該画素回路は、本分野内の例えば7T1C、2T1C、4T2C、8T2C等の回路構造を含む画素回路であってもよく、ここで説明を省略する。
図2Aには、ゲート電極駆動回路における一段目のシフトレジスタユニット104と二段目のシフトレジスタユニット104のみが示され、例えば、図2Aに示すように、一段目のシフトレジスタユニット104の第1クロック端CK(図1Bに示すように)は、第2サブクロック信号線GCBに接続されることにより、第1クロック信号を受け取り、一段目のシフトレジスタユニット104の第2クロック信号端CBは、第1クロック信号GCKに接続されることにより、第2クロック信号を受け取り、二段目のシフトレジスタユニットの第1クロック信号端CKは、第1サブクロック信号線GCKに接続されることにより、第1クロック信号を受け取り、二段目のシフトレジスタユニットの第2クロック信号端CBは、第2サブクロック信号線GCBに接続されることにより、第2クロック信号を受け取り、これによって類推し、X(Xは、1よりも大きい奇数)段目のシフトレジスタユニット104の第1クロック端CKは、第2サブクロック信号線GCBに接続されることにより、第1クロック信号を受け取り、X段目のシフトレジスタユニット104の第2クロック信号端CBは、第1クロック信号GCKに接続されることにより、第2クロック信号を受け取り、X+1段目のシフトレジスタユニットの第1クロック信号端CKは、第1サブクロック信号線GCKに接続されることにより、第1クロック信号を受け取り、X+1段目のシフトレジスタユニットの第2クロック信号端CBは、第2サブクロック信号線GCBに接続されることにより、第2クロック信号を受け取る。なお、各段のシフトレジスタユニットとクロック信号線との接続方式は、さらに本分野内の他の接続方式を採用してもよく、本開示の実施例は、これを制限しない。例えば、一段目のシフトレジスタユニット104の入力端がトリガ信号線GSTVに接続されることにより、入力信号としてトリガ信号を受け取り、二段目のシフトレジスタユニット104の入力端が前段のシフトレジスタユニット(すなわち、一段目のシフトレジスタユニット)の出力端GOUTに接続され、残りの各段のシフトレジスタユニットの接続方式は、これと同様である。以下では、一段目のシフトレジスタユニットの構造を例として説明し、本開示の実施例は、これを制限しない。
例えば、図2Aに示される例示では、一段目のシフトレジスタユニット104の第1クロック端CK(図1Bに示すように)が第2サブクロック信号線GCBに接続されることにより、第1クロック信号を受け取り、一段目のシフトレジスタユニット104の第2クロック信号端CBが第1クロック信号GCKに接続されることにより、第2クロック信号を受け取るため、当該例示では、第2サブクロック信号線GCBが第1クロック信号線であり、第1サブクロック信号線GCKが第2クロック信号線であることを例として説明し、本開示の実施例は、これを制限しない。
例えば、図1Bに示すように、いくつかの例示では、当該シフトレジスタユニット104は、入力回路1041と、出力回路1043と、第1制御回路1042と、出力制御回路1044とを含み、別のいくつかの例示では、当該シフトレジスタユニット104は、第2制御回路1045と電圧安定化回路1046とをさらに含む。
入力回路1041は、第1クロック信号に応じて、入力信号を第1ノードN1に入力するように構成される。例えば、入力回路1041は、入力端IN、第1ノードN1及び第1クロック信号端CKに接続され、第1クロック信号端CKによって受け取られる第1クロック信号の制御でオンになり、入力端INを第1ノードN1とを接続することにより、入力信号を第1ノードN1に入力するように構成される。例えば、入力回路1041は、上に記載の入力トランジスタT1として実現され、入力トランジスタT1の接続方式は、上の記述を参照してもよく、ここで説明を省略する。
出力回路1043は、出力信号を出力端GOUTに出力するように構成される。例えば、出力回路1043は、第3ノードN3、出力端GOUT及び第2クロック信号端CBに接続され、第3ノードN3のレベルの制御でオンになることにより、第2クロック信号端CBと出力端GOUTとを接続することにより、出力端GOUTで第2クロック信号を出力し、例えば、第2クロック信号のローレベルを出力するように構成される。例えば、出力回路1043は、上に記載の出力トランジスタT5と第2コンデンサC2として実現され、出力トランジスタT5と第2コンデンサC2の接続方式は、上の記述を参照してもよく、ここで説明を省略する。
第1制御回路1042は、第1ノードN1のレベルと第1クロック信号に応じて、第2ノードN2のレベルを制御するように構成される。例えば、第1制御回路は、第1ノードN1、第2ノードN2及び第1クロック信号端CKに接続され、第1ノードN1のレベルの制御でオンになり、第2ノードN2と第1クロック信号端CKとを接続することにより、第1クロック信号端CKによって提供される第1クロック信号を第2ノードN2に提供するように構成される。例えば、第1制御回路1042は、上に記載の第1制御トランジスタT2と第2制御トランジスタT3として実現され、第1制御トランジスタT2と第2制御トランジスタT3の接続方式は、上の記述を参照してもよく、ここで説明を省略する。なお、第1制御回路1042は、第1ノードN1に接続されることに限られず、他の独立した電圧端(第1ノードN1の電圧と同じ電圧を提供する)又は単独に設けられて入力回路と同じである回路に接続されてもよく、本開示の実施例は、これを制限しない。シフトレジスタユニットの他の回路の接続は、これと同様であり、ここで説明を省略する。
出力制御回路1044は、第2ノードN2のレベルの制御で、出力端GOUTのレベルに対して制御を行うように構成される。例えば、出力制御回路1044は、第2ノードN2、第1電源線VGH及び出力端GOUTに接続され、且つ第2ノードN2のレベルの制御で、出力端GOUTが第1電源線VGHに接続されることにより、第1電源線VGHによって提供される第1電圧を出力端GOUTに出力することによって、出力端GOUTをハイレベルに制御することにより、シフトレジスタユニットが非出力段階での誤出力を避けるように構成される。例えば、出力制御回路1044は、上に記載の出力制御トランジスタT4と第1コンデンサC1として実現され、出力制御トランジスタT4と第1コンデンサC1の接続方式は、上の記述を参照してもよく、ここで説明を省略する。
第2制御回路1045は、第1ノードN1と第2ノードN2に接続され、且つ第2ノードN2のレベルと第2クロック信号の制御で、第1ノードN1のレベルに対して制御を行うように構成される。第2制御回路1045は、第1ノードN1、第2ノードN2、第1電源線VGHと第2クロック信号端CBに接続され、第2ノードN2のレベルと第2クロック信号端CBによって受け取られる第2クロック信号の制御でオンになり、第1電源線VGHが第1ノードN1に接続されることにより、第1ノードN1の電位をハイレベルに充電することによって、非出力段階において出力回路1042がオンになることを避けることにより、誤出力を避けるように構成される。例えば、第2制御回路1045は、上に記載の第1ノイズ低減トランジスタT6と第2ノイズ低減トランジスタT7として実現され、第1ノイズ低減トランジスタT6と第2ノイズ低減トランジスタT7の接続方式は、上の記述を参照してもよく、ここで説明を省略する。
電圧安定化回路1046は、第1ノードN1と第3ノードN3に接続され、且つ第3ノードN3のレベルを安定化するように構成される。例えば、電圧安定化回路1046は、第1ノードN1、第3ノードN3と第2電源線VGLに接続され、且つ第2電源線VGLによって提供される第2電圧の制御でオンになり、それによって第1ノードN1が第3ノードN3に接続されるように構成される。例えば、電圧安定化回路1046は、電圧安定化トランジスタT8として実現され、具体的な紹介は、上の図1Bにおける電圧安定化トランジスタT8に関する記述を参照してもよく、ここで説明を省略する。
例えば、電圧安定化トランジスタT8は、第2電源線VGLによって提供される第2電圧の制御で、常にオン状態にあることにより、第3ノードN3は、当該電圧安定化トランジスタT8によって第1ノードN1に接続されることにより、第3ノードN3のレベルが第1ノードN1に接続される入力トランジスタT1、第1制御トランジスタT2及び第2ノイズ低減トランジスタT7によって漏電することを防止するとともに、さらに第1制御トランジスタT1に対する第3ノードN3のレベルの応力を減少することができることにより、出力トランジスタT5が出力段階において十分に開くように、第3ノードN3のレベルを保持することに役立つことができる。
図3A、図4A、図5Aと図6Aは、図2Aに示される表示基板のシフトレジスタユニットの各層配線の平面図をそれぞれを示し、図3B、図4B、図5Bと図6Bは、図2Bに示される表示基板のシフトレジスタユニットの各層配線の平面図をそれぞれ示す。図3Aと図3Bは、本開示の少なくとも一つの実施例による表示基板の半導体層の平面図であり、図4Aと図4Bは、本開示の少なくとも一つの実施例による表示基板の第1導電層の平面図であり、図5Aと図5Bは、本開示の少なくとも一つの実施例による表示基板の第2導電層の平面図であり、図6Aと図6Bは、本開示の少なくとも一つの実施例による表示基板の第3導電層の平面図である。図7Aは、図2Aに示される表示基板の一例の断面図であり、図7Bは、図2Aに示される表示基板のA-A`方向に沿う別の例示の断面図であり、図7Cは、図2Bに示される表示基板のB-B`方向に沿う一例の断面図である。
例えば、層間絶縁層(例えば、第1絶縁層、第2絶縁層、第3絶縁層等を含む)は、図3A~図6A又は図3B~図6Bに示される層構造の間に位置してもよい。例えば、第1絶縁層350(図7Aに示すように)は、図3Aに示される半導体層310と図4Aに示される第1導電層320との間に位置するか又は図3Bに示される半導体層310と図4Bに示される第1導電層320との間に位置し、第2絶縁層360(図7Aに示すように)は、図4Aに示される第1導電層320と図5Aに示される第2導電層330との間に位置するか又は図4Bに示される第1導電層320と図5Bに示される第2導電層330との間に位置し、第3絶縁層370(図7Aに示すように)は、図5Aに示される第2導電層330と図6Aに示される第3導電層340との間に位置するか又は図5Bに示される第2導電層330と図6Bに示される第3導電層340との間に位置する。
例えば、図7A、7Bと7Cに示すように、当該表示基板は、第4絶縁層380をさらに含み、当該第4絶縁層380は、第3導電層340上に位置し、第3導電層340を保護するために用いられる。
例えば、第1絶縁層350と、第2絶縁層360と、第3絶縁層370と、第4絶縁層380の材料とは、例えばSiNx、SiOx、SiNxOy等の無機絶縁材料、例えば有機樹脂等の有機絶縁材料、又は他の適切な材料を含んでもよく、本開示の実施例は、これを限定しない。
なお、図2Aに示される表示基板は、走査駆動回路における最初の二段のシフトレジスタと、それに接続される第1電源線と、第2電源線と、信号線とのレイアウト設計を例として説明し、残りの各段のシフトレジスタのレイアウト実施形態は、図2Aに示されるレイアウト方式を参照してもよく、ここで説明を省略し、もちろん他のレイアウト方式を採用してもよく、本開示の実施例は、これを制限しない。もちろん、残りの各走査駆動回路の各段のシフトレジスタは、図2Aに示されるレイアウト方式を参照してもよく、他のレイアウト方式を採用してもよく、本開示の実施例は、これを制限しない。
以下では、図2A~図7Cを結び付けて本開示の少なくとも一つの実施例による表示基板について詳細に紹介する。
例えば、図2Aに示されるシフトレジスタユニット104の入力トランジスタT1~電圧安定化トランジスタT8の活性層は、図3Aに示される半導体層310上に形成されてもよい。図2Bに示されるシフトレジスタユニット104の入力トランジスタT1~電圧安定化トランジスタT8の活性層は、図3Bに示される半導体層310上に形成されてもよい。半導体層310は、半導体材料をパターニングして形成されてもよい。例えば、図3Aと図3Bに示すように、必要に応じて、当該半導体層310は、短棒状又は屈曲又は屈折を有する形状であってもよく、上記入力トランジスタT1~電圧安定化トランジスタT8の活性層を製作するために用いることができる。各活性層は、ソース領域と、ドレイン領域と、ソース領域とドレイン領域との間に位置するチャネル領域とを含んでもよい。例えば、チャネル領域は、半導体特性を有し、ソース領域とドレイン領域は、チャネル領域の両側にあり、且つ不純物がドーピングされてもよく、そのため導電性を有する。例えば、当該ソース領域は、活性層の一部であり、当該ソース領域と接触する金属電極(例えば、第3導電層340に位置する)は、トランジスタのソース電極(又は第1電極と呼ばれる)に対応し、ドレイン領域は、活性層の一部であり、当該ドレイン領域と接触する金属電極(例えば、第3導電層340に位置する)は、トランジスタのドレイン電極(又は第2電極と呼ばれる)に対応する。例えば、ソース領域は、第1絶縁層350、第2絶縁層360及び第3絶縁層370を貫通するビアホールを介してそれに対応する金属電極(第1電極)に接続され、ドレイン領域は、第1絶縁層350、第2絶縁層360及び第3絶縁層370を貫通するビアホールを介してそれに対応する金属電極(第2電極)に接続される。
例えば、図7Aに示すように、第1制御トランジスタT2を例として、当該第1制御トランジスタT2の活性層は、ソース領域S2と、ドレイン領域D2と、チャネル領域P2とを含み、当該第1制御トランジスタT2は、ゲート電極G2をさらに含み、そのうち、ゲート電極G2は、第1導電層320に位置し、第1ノイズ低減トランジスタT6を例として、当該第1ノイズ低減トランジスタT6の活性層は、ソース領域S6と、ドレイン領域D6と、チャネル領域P6とを含み、当該第1ノイズ低減トランジスタT6は、ゲート電極G6をさらに含み、そのうち、ゲート電極G6は、第1導電層320に位置し、残りのトランジスタは、これと同様であり、ここで説明を省略する。
例えば、半導体層310の材料は、酸化物半導体、有機半導体又は非晶質シリコン、多結晶質シリコン等を含んでもよく、例えば、酸化物半導体は、金属酸化物半導体(例えば酸化インジウムガリウム亜鉛(IGZO))を含み、多結晶質シリコンは、低温多結晶質シリコン又は高温多結晶質シリコン等を含み、本開示の実施例は、これを限定しない。説明すべきことは、上記ソース領域とドレイン領域とは、n型不純物又はp型不純物がドーピングされている領域であってもよく、本開示の実施例は、これを制限しない。
なお、別のいくつかの例示では、各トランジスタの第1電極と第2電極は、他の導電層に位置してもよく、それと半導体層との中間に位置する絶縁層におけるビアホールを介してそれに対応する活性層に接続され、本開示の実施例は、これを制限しない。
図4Aと図4Bは、当該表示基板の第1導電層320を示し、第1導電層320が第1絶縁層上に設けられることにより、半導体層310から絶縁される。例えば、第1導電層320は、第1コンデンサC1~第2コンデンサC2の第1電極CE11、CE12と、入力トランジスタT1~電圧安定化トランジスタT8のゲート電極と、ゲート電極に直接接続される各配線(例えば、第1接続配線L1と第3接続配線L2)と、接続電極とを含んでもよく、それに応じて第1絶縁層もゲート電極絶縁層とする。図4Aに示すように、入力トランジスタT1~電圧安定化トランジスタT8のゲート電極は、点線で囲まれた部分であり、すなわち各トランジスタの半導体層構造と第1導電層320上の配線とが重なる部分である。
図4Bに示すように、当該第1導電層320は、中間切換電極11をさらに含んでもよく、例えば、当該例示では、当該中間切換電極11と第1ノイズ低減トランジスタT6のゲート電極G6とは、一体的に形成される。例えば、当該例示では、第1接続配線L1は、図4Bに示される第1導電層320に位置しなくてもよく、例えば、図6Bに示される第3導電層340に位置し、本開示の実施例は、これを制限せず、トランジスタの間の接続を実現することができればよい。
図5Aと図5Bは、当該表示基板の第2導電層330を示し、第2導電層330は、第1コンデンサC1~第2コンデンサC2の第2電極CE21、CE22を含む。第2電極CE21と第1電極CE11の少なくとも一部とが重なることにより、第1コンデンサC1を形成し、第2電極CE22と第1電極CE12の少なくとも一部とが重なることにより、第2コンデンサC2を形成する。例えば、図5Aに示される第2導電層330は、中間切換電極11をさらに含む。
例えば、図5Bに示される例示は、図5Aに示される例示と同様であり、異なりは、当該第2導電層330が中間切換電極11を含まず、すなわち図2Bに示される表示基板において、中間切換電極11がさらに当該第2導電層330に位置しなくてもよく、例えば、図4Bに示される第1導電層320に位置し、本開示の実施例は、これを制限しないことである。
図6Aと図6Bは、当該表示基板の一段目のシフトレジスタユニットと二段目のシフトレジスタユニットの第3導電層340を示し、第3導電層340は、複数の信号線(例えば、一段目のシフトレジスタユニット104の入力端に接続されるトリガ信号線GSTV、第1サブクロック信号線GCKと第2サブクロック信号線GCB)、第1電源線VGH、第2電源線VGL及び基準電圧線Vinit等を含む。なお、当該第3導電層340は、各トランジスタと、コンデンサと、信号線との間を接続する第1切換電極17、第2切換電極18、第3切換電極16、信号入力電極13、第2接続配線(第1接続サブ配線L3と第2接続サブ配線L4とを含む)及び第4接続配線L5等をさらに含む。
図2A~図6Bに示すように、複数の信号線、第1電源線VGH、第2電源線VGLは、図5C又は図5Dに示される少なくとも一つのビアホールを介して、残りの各層においてそれに接続される必要があるトランジスタ及びコンデンサに接続され、各トランジスタと、コンデンサとの間も、少なくとも一つビアホールを介して接続されるか、又は切換電極を介してブリッジされ、ここで説明を省略する。
例えば、上記第3導電層340の材料は、チタン、チタン合金、アルミニウム、アルミニウム合金、銅、銅合金又は他のいずれかの適切な複合材料を含んでもよく、本開示の実施例は、これを限定しない。例えば、第1導電層320と第2導電層330との材料は、第3導電層340の材料と同じでもよく、ここで説明を省略する。
図2Aは、上記図3Aに示される半導体層310と、図4Aに示される第1導電層320と、図5Aに示される第2導電層330と、図6Aに示される第3導電層340との積層位置関係の概略図である。図2Bは、上記図3Bに示される半導体層310と、図4Bに示される第1導電層320と、図5Bに示される第2導電層330と、図6Bに示される第3導電層340との積層位置関係の概略図である。
図2A、図3A又は図2B、図3Bに示すように、少なくとも一つ例示では、入力トランジスタT1の活性層は、第2方向に沿って延伸する長尺状であり、第2方向は、前記第1方向と異なる。例えば、第1方向と前記第2方向とのなす角は、70°~90°の間にあり、且つ70°と90°とを含む。例えば、第1方向と前記第2方向とのなす角は、70°、90°又は80°等であり、実際の状況に基づいて設定されてもよく、本開示の実施例は、これを制限しない。例えば、いくつかの例示では、当該入力トランジスタT1の活性層のチャネル領域は、ベース基板10上に「I」字状であり、且つチャネル領域のチャネル長さ方向は、第1方向に垂直する第2方向(例えば、図における横方向)であり、もちろん本開示の実施例は、これを制限せず、表示パネルが第1方向における長さを短縮することができればよい。例えば、当該チャネル長さ方向は、キャリアが入力トランジスタT1の第1電極から第2電極へ流れる方向であり、二つの並列される(且つ例えば互いに電気的に接続される)ゲート電極は、入力トランジスタT1の長尺状の活性層(「I」字状活性層)とそれぞれ重なり、これによって「I」字状ダブルゲートトランジスタを得る。もちろん、入力トランジスタT1の長尺状の活性層と重なるのは、単一ゲート電極であってもよく、本開示の実施例は、これを制限しない。
入力トランジスタT1の活性層(なお、ここでは、入力トランジスタT1の活性層の全体的な形状を指す)は、図1Dに示される「U」字形構造から第2方向に沿って延伸する長尺状(例えば、第2方向に沿う「I」字状構造、例えば、「一」字状)に変更されるため、表示パネルが第1方向における長さ、すなわち表示パネルの垂直高さを短縮することができ、他のトランジスタ(例えば、第1ノイズ低減トランジスタT6と第2ノイズ低減トランジスタT7)が入力トランジスタT1の下方に並ぶことに有利である。
例えば、図3A又は図3Bに示すように、第1ノイズ低減トランジスタT6の活性層と第2ノイズ低減トランジスタT7の活性層は、一つの連続するノイズ低減半導体層A11で形成され(すなわち、一体的に設けられ)、当該ノイズ低減半導体層A11は、第1方向に沿って延伸し、且つ入力トランジスタT1の活性層と第1方向において並設され、すなわち、入力トランジスタT1と、第1ノイズ低減トランジスタT6と、第2ノイズ低減トランジスタT7とは、第1方向に沿って上下に並設される。例えば、入力トランジスタT1の活性層は、第1ノイズ低減トランジスタT6の活性層と第2ノイズ低減トランジスタT7の活性層が第1方向に沿って延伸する仮想線上に位置する。
例えば、図2A、2Bと図3Aに示すように、第1ノイズ低減トランジスタT6の活性層は、第1方向において、第2ノイズ低減トランジスタT7の活性層と部分的に重なってもよく(図2Aと図3Aに示すように)、又は完全に重なってもよく(図2Bと図3Bに示すように)、すなわち第1ノイズ低減トランジスタT6の活性層は、第2ノイズ低減トランジスタT7の活性層が第1方向に沿って延伸する仮想線上に位置してもよく、第1ノイズ低減トランジスタT6の活性層は、第1方向において、第2ノイズ低減トランジスタT7の活性層と重ならなくてもよく、例えば、図2Aと図3Aに示すように、第1ノイズ低減トランジスタT6の活性層は、第1方向において、第2ノイズ低減トランジスタT7の活性層と一定の距離をずらしてもよく、他の構造の配列に影響を与えず、シフトレジスタユニットの幅を過剰に増加させず、また第1方向において、第1ノイズ低減トランジスタT6と第2ノイズ低減トランジスタT7とが入力トランジスタT1の下に位置すればよく、本開示の実施例は、これを制限しない。
本開示の実施例では、入力トランジスタT1と、第1ノイズ低減トランジスタT6と、第2ノイズ低減トランジスタT7とは、図1Dにおける水平に並設される構造から上下に羅列される構造に変更され、表示パネルの周辺領域の第2方向に沿う幅、例えば、図1Aに示される水平幅を減少することができることにより、表示パネルの狭額縁設計の実現に有利である。
例えば、第1ノイズ低減トランジスタT6のゲート電極と第2ノイズ低減トランジスタT7のゲート電極とは、第2方向に沿って延伸し且つ第1方向において並設され、例えば、第1ノイズ低減トランジスタT6のゲート電極と第2ノイズ低減トランジスタT7のゲート電極とは、平行してもよく、例えば、いずれも第2方向に沿って延伸し、第1ノイズ低減トランジスタT6のゲート電極の延伸し方向と、第2ノイズ低減トランジスタT7のゲート電極の延伸し方向とは、平行しなくてもよく、例えば一定の角度で交差し、例えば、当該交差角度は、20°以下であり、又は両者と水平線との角度は、20°以下であり、本開示の実施例は、これを制限せず、第1ノイズ低減トランジスタT6と第2ノイズ低減トランジスタT7のとが一体的に設けられ、且つ第1方向に沿って上下に並んでいる構造であればよい。
例えば、入力トランジスタT1の第1電極と、第1制御トランジスタT2のゲート電極と、第2ノイズ低減トランジスタT7の第1電極と、以下に記述される電圧安定化トランジスタT8の第2電極とは、いずれも第1ノードN1に接続され、例えば、入力トランジスタT1の第1電極と、第1制御トランジスタT2のゲート電極と、第2ノイズ低減トランジスタT7の第1電極との間は、ビアホールを介して接続される。第2ノードN2は、第1ノイズ低減トランジスタT6のゲート電極、出力制御トランジスタT4のゲート電極、第1制御トランジスタT2の第1電極、第1コンデンサC1の第1電極と第2制御トランジスタT3の第1電極に接続され、例えば、図2Aに示すように、第1ノイズ低減トランジスタT6のゲート電極と、出力制御トランジスタT4のゲート電極と、第1制御トランジスタT2の第1電極と、第1コンデンサC1の第1電極と、第2制御トランジスタT3の第1電極との間は、ビアホールを介して接続される。第3ノードN3は、電圧安定化トランジスタT8の第1電極、出力トランジスタT5のゲート電極と第2コンデンサC2の第1電極に接続され、例えば、電圧安定化トランジスタT8の第1電極と、出力トランジスタT5のゲート電極と、第2コンデンサC2の第1電極との間は、ビアホールを介して接続される。
例えば、図6Aに示すように、当該シフトレジスタユニットは、第1切換電極17と、第2切換電極18と、第3切換電極16とをさらに含む。
例えば、第1切換電極17は、入力トランジスタT1の第1電極、第1制御トランジスタT2のゲート電極、電圧安定化トランジスタT8の第2電極と第2ノイズ低減トランジスタT7の第1電極に接続される。例えば、第1切換電極17は、第2絶縁層360と第3絶縁層370を貫通するビアホールを介して第1制御トランジスタT2のゲート電極に接続され、第1切換電極17は、入力トランジスタT1の第1電極と、電圧安定化トランジスタT8の第2電極と、第2ノイズ低減トランジスタT7の第1電極と同じ層に位置し(例えば、いずれも第3導電層340に位置し)且つ一体的に設けられる。例えば、第1ノードN1は、第1切換電極17を含み、すなわち、第1切換電極17は、第1ノードN1として機能し、入力トランジスタT1と、第1制御トランジスタT2と、電圧安定化トランジスタT8と、第2ノイズ低減トランジスタT7の対応する電極を接続する。
例えば、第1切換電極17は、第1制御トランジスタT2と、第2制御トランジスタT3と、電圧安定化トランジスタT8と、第1ノイズ低減トランジスタT6と、第2ノイズ低減トランジスタT7との間に位置し、且つ第1方向に沿って屈折して延伸する折線であり、その始点は、入力トランジスタT1の第1電極であり、終点は、第2ノイズ低減トランジスタT7の第1電極である。第1ノイズ低減トランジスタT6と、第2ノイズ低減トランジスタT7と、入力トランジスタT1とは、第1方向に沿って並設され、第1制御トランジスタT2と、第2制御トランジスタT3とも、第1方向に沿って並設され、すなわち第1ノイズ低減トランジスタT6と第2ノイズ低減トランジスタT7と、第1制御トランジスタT2と第2制御トランジスタT3との間の間隔が比較的に小さいことにより、当該第1切換電極17が第1方向における延在長さは、第2方向における延在長さよりも大きく、そのため、これらのトランジスタを接続する第1切換電極17の長さと第2方向における幅を短縮することにより、狭額縁の実現に有利である。
例えば、第2切換電極18は、電圧安定化トランジスタT8の第1電極と出力トランジスタT5のゲート電極に接続される。例えば、第2切換電極18は、第2絶縁層360と第3絶縁層370を貫通するビアホールを介して出力トランジスタT5のゲート電極に接続され、第2切換電極18は、電圧安定化トランジスタT8の第1電極と同じ層に位置し(例えば、いずれも第3導電層340に位置し)且つ一体的に設けられる。例えば、第3ノードN3は、第2切換電極18を含み、すなわち、第2切換電極18は、第3ノードN3として機能し、電圧安定化トランジスタT8と出力トランジスタT5とを接続する。
例えば、図4Aに示すように、入力トランジスタT1は、第1ゲート電極G1と、第2ゲート電極G1`と、第1ゲート電極G1と第2ゲート電極G1`とを接続する接続電極(G11-G13)とを含む。接続電極(G11-G13)は、第1ゲート電極G1と第2ゲート電極G1`と同じ層に位置し、第1方向(例えば、図4Aに示される垂直方向)に沿って延伸し、第1ゲート電極G1に接続される第1部分G11と、第2ゲート電極G1`に接続される第2部分G12と、第2方向(例えば、図4Aに示される水平方向)に沿って延伸し且つ第1部分G11と第2部分G12とを接続する第3部分G13とを含み、入力トランジスタT1の第1ゲート電極G1と第2ゲート電極G1`とは、接続電極の第3部分G13によって、第1クロック信号を提供する第1クロック信号線に接続されることにより、第1クロック信号を受け取る。
例えば、第1ゲート電極G1と第2ゲート電極G1`とは、まず接続電極(G11-G13)によって接続され、さらに第1クロック信号線に接続される。例えば、入力トランジスタT1のゲート電極と第2制御トランジスタT3のゲート電極とを接続し、さらに、全体として第1クロック信号線に接続することをさらに採用してもよく、例えば、図1Dに示される接続方式を採用し、本開示の実施例は、これを制限しない。
例えば、図2Aに示すように、一段目のシフトレジスタユニットに対して、当該第1クロック信号を提供する第1クロック信号線は、第2サブクロック信号線GCBであり、二段目のシフトレジスタユニットに対して、当該第1クロック信号の第1クロック信号線は、第1サブクロック信号線GCKであり、本開示の実施例は、これを制限しない。
例えば、いくつかの例示では、第1制御トランジスタT2の活性層の第2電極は、直接的に配線によって第2サブクロック信号線GCBに接続されてもよい。例えば、図6Aに示すように、別のいくつかの例示では、当該シフトレジスタユニットは、切換電極15をさらに含み、当該例示では、第1制御トランジスタT2の第2電極は、直接的に配線によって第2サブクロック信号線GCBに接続されるものではなく、切換電極15によって接続電極の第3部分G13に接続されることにより、接続電極の第3部分G13とともに第2サブクロック信号線GCBに接続されることにより、第1クロック信号を受け取ってもよい。本開示の実施例は、これを制限しない。
例えば、入力トランジスタT1の活性層は、第2方向に沿って延伸する第1接続配線L1によって信号入力電極に接続されることにより、入力信号を受け取り、当該信号入力電極は、シフトレジスタユニット104の入力端INとして、例えば、図6Aに示される第3導電層中に位置する信号入力電極13である。例えば、当該信号入力電極13は、単独に提供される電極であってもよく、例えば、図6Aに示される一段目のシフトレジスタユニットの第3導電層に示すように、出力トランジスタT5の第2電極(出力トランジスタT5の第2電極は、出力回路1043の出力端GOUTとする)の延在領域は、当該信号入力電極13としてもよく、例えば、現在段のシフトレジスタユニットの出力トランジスタT5の第2電極(すなわち出力トランジスタT5の活性層のドレイン領域に接続される金属電極)は、出力回路1043の出力端GOUTとして、且つシフトレジスタユニット(例えば、一段目のシフトレジスタユニット)と隣接する次段のシフトレジスタユニット(例えば、二段目のシフトレジスタユニット)の信号入力電極に接続されることにより、次段のシフトレジスタユニットの入力信号として、本開示の実施例は、これを制限しない。
例えば、図2A、図4Aと図6Aに示すように、シフトレジスタユニットは、配線切換電極12をさらに含む。例えば、当該配線切換電極12は、第3導電層340に位置する。例えば、配線切換電極12は、入力トランジスタT1の活性層と異なる層に位置し、例えば、入力トランジスタT1の第1電極は、配線切換電極12の第1端121に電気的に接続され、例えば、入力トランジスタT1の第1電極は、配線切換電極12と同じ層に位置し、且つ一体的に設けられて形成される。例えば、入力トランジスタT1の活性層のソース領域は、第1絶縁層350、第2絶縁層360と第3絶縁層370を貫通するビアホールを介して、入力トランジスタT1の第1電極に接続され、配線切換電極12の第2端122と、同じ層に位置せず第2方向に沿って延伸する第1接続配線L1(図4Aに示される第1導電層320に位置する)の第1端L11とは、第2絶縁層360と第3絶縁層370を貫通するビアホールを介して接続され、第2方向に沿って延伸する第1接続配線L1の第2端L12と、同じ層に位置しない信号入力電極13(第3導電層340に位置する)とは、第2絶縁層360と第3絶縁層370を貫通するビアホールを介して電気的に接続されることにより、入力トランジスタT1と入力端INとの接続を実現する。例えば、配線切換電極12は、信号入力電極13と同じ層に位置する。
例えば、図2Bと6Bに示すように、当該第1接続配線L1は、さらに第3導電層340に形成されてもよく、配線切換電極12と信号入力電極13に直接接続され(すなわちビアホールを介さず)、すなわち一体的に形成され、本開示の実施例は、これを制限せず、入力トランジスタT1と信号入力電極13との接続を実現することができればよい。
例えば、本開示のいくつかの実施例では、第1制御トランジスタT2の活性層と第2制御トランジスタT3の活性層は、一つの連続する制御半導体層A12で形成され(すなわち、一体的に設けられ)、当該制御半導体層A12は、第1方向に沿って延伸し、第1制御トランジスタT2のゲート電極と、第2制御トランジスタT3のゲート電極とは、第2方向に沿って平行に延伸し、且つ第1方向において互いに重なり、すなわち第1制御トランジスタT2のゲート電極と、第2制御トランジスタT3のゲート電極とは、第1導電層320において第1方向に沿って上下に並んで設けられる。なお、明確に、簡潔に表現するために、A11とA12を異なる半導体層と命名するが、ノイズ低減半導体層A11と制御半導体層A12とは、いずれも図3A又は図3Bに示される同一の半導体層330に位置する。
例えば、図2Aと図4Aに示すように、第2制御トランジスタT3がベース基板10への正投影と、第1制御トランジスタT2がベース基板10への正投影とは、第1方向において、第2サブ接続配線L4の両側に位置する。もちろん、第1制御トランジスタT2のゲート電極の延伸し方向と、第2制御トランジスタT3のゲート電極の延伸し方向とは、平行しなくてもよく、例えば一定の角度で交差し、例えば、当該交差角度は、20°であり、又は両者と水平線との角度は、20°であり、本開示の実施例は、これを制限しない。
例えば、図2A、2Bと図3A、図3Bに示すように、第1制御トランジスタT2の活性層は、第1方向において、第2制御トランジスタT3の活性層と部分的に重なってもよく(図2Aと図3Aに示すように)、又は完全に重なってもよく(図示せず)、すなわち第1制御トランジスタT2の活性層は、第2制御トランジスタT3の活性層が第1方向に沿って延伸する仮想線上に位置してもよく、第1制御トランジスタT2の活性層は、第1方向において、第2制御トランジスタT3の活性層と重ならなくてもよく、例えば、図2Aと図3Aに示すように、第1制御トランジスタT2の活性層と、第2制御トランジスタT3の活性層とは、第1方向において一定の距離をずらし、他の構造の配列に影響を与えず、シフトレジスタユニットの幅を過剰に増加させず、また第1方向において、第1制御トランジスタT2の活性層と第2制御トランジスタT3の活性層とが入力トランジスタT1の下に位置すればよく、本開示の実施例は、これを制限しない。
例えば、第1制御トランジスタT2の活性層と、第2制御トランジスタT2の活性層と、入力トランジスタT1の活性層とは、第2方向において並設される。例えば、いくつかの例示では、第1制御トランジスタT2の活性層と、第2制御トランジスタT3の活性層とは、入力トランジスタT1の活性層が第2方向に沿って延伸する仮想線と交差し、すなわち第1制御トランジスタT2の活性層と第2制御トランジスタT3の活性層は、入力トランジスタT1の活性層が第2方向に沿って延伸する仮想線上に位置する。例えば、本開示の実施例において、シフトレジスタユニットにおける第1制御トランジスタT2と第2制御トランジスタT3以外の他のトランジスタを制限せず、回路の接続関係を満たすことができればよい。
これによって、本開示の実施例において、第1制御トランジスタT2と第2制御トランジスタT3の並び方式は、図1Dに示される第2方向に沿って左右に並んでいる構造から第1方向に沿って上下に並んでいるの構造に変更され、表示パネルの周辺領域の水平幅及びトランジスタから信号線と第2電源線までの距離を減少することができることにより、表示パネルの狭額縁設計の実現に有利である。
例えば、本開示のいくつかの実施例では、入力トランジスタT1の活性層はさらに、第1ノイズ低減トランジスタT6の活性層と第2ノイズ低減トランジスタT7の活性層が第1方向に沿って延伸する仮想線上に位置し、第1制御トランジスタT2の活性層と第2制御トランジスタT3の活性層と、第1ノイズ低減トランジスタT6の活性層と第2ノイズ低減トランジスタT7の活性層とは、第2方向において対向して並設されることにより、第1制御トランジスタT2の活性層と、第2制御トランジスタT3の活性層から、第1ノイズ低減トランジスタT6の活性層と第2ノイズ低減トランジスタT7の活性層までの間隔を減少することができる。
例えば、いくつかの例示では、当該シフトレジスタユニットは、中間切換電極11をさらに含む。第1ノイズ低減トランジスタT6のゲート電極は、図5Aに示される、第2導電層330中に位置する中間切換電極11と、図6Aにおける第2接続サブ配線L4によって第1制御トランジスタT2の第1電極と第2制御トランジスタT3の第1電極に接続され、すなわち第1制御トランジスタT2の活性層と第2制御トランジスタT3の活性層との間の部分に接続され、且つ中間切換電極11がベース基板10への正投影は、第1制御トランジスタT2の活性層と第2制御トランジスタT3の活性層がベース基板10への正投影と第1方向において重ならず、すなわち中間切換電極11がベース基板10への正投影は、第1制御トランジスタT2の活性層と第2制御トランジスタT3の活性層がベース基板10への正投影と、第1ノイズ低減トランジスタT6がベース基板10への正投影との間に位置する。
これによって、本開示の実施例において、第1制御トランジスタT2と第2制御トランジスタT3との並び方式は、図1Dに示される第2方向に沿って左右に並んでいる構造から図2Aに示される第1方向に沿って上下に並んでいる構造に変更され、入力トランジスタT1と、第1ノイズ低減トランジスタT6と、第2ノイズ低減トランジスタT7との並び方式と位置も、第1方向に沿って上下に並んでいる構造に変更されることにより、第1ノイズ低減トランジスタT6がベース基板10への正投影と、第1制御トランジスタT2と第2制御トランジスタT3がベース基板10への正投影との間の距離を短縮することにより、第1ノイズ低減トランジスタT6のゲート電極と、第1制御トランジスタT2と第2制御トランジスタT3との配線(すなわち中間切換電極11)とを接続する長さを大幅に短縮し、配線が密集して長すぎることによる空間混雑の問題を大幅に最適化する。
例えば、いくつかの例示では、中間切換電極11の接続方式は、図7A又は図7Bに示す通りである。例えば、当該例示では、中間切換電極11は、第2導電層11に位置する。例えば、図7Aに示すように、第1絶縁層350は、ベース基板10に垂直する方向において、第1ノイズ低減トランジスタT6の活性層(例えば、半導体層310に位置し、ソース領域S6と、ドレイン領域D6と、チャネル領域P6とを含む)と第1ノイズ低減トランジスタT6のゲート電極G6との間に位置し、第2絶縁層360は、ベース基板10に垂直する方向において、第1ノイズ低減トランジスタT6のゲート電極G6と中間切換電極11との間に位置する。
例えば、図7Aに示すように、いくつかの例示では、第1ノイズ低減トランジスタT6のゲート電極は、第2絶縁層360を貫通するビアホールH22を介して中間切換電極11の第1端111に接続され、第1制御トランジスタT2の第1電極S21は、中間切換電極11と同じ層に位置し、且つ中間切換電極11の第2端112に接続され、すなわち中間切換電極11と第1制御トランジスタT2の第1電極S21のとは、一体的に設けられることにより、第1ノイズ低減トランジスタT6のゲート電極と第1制御トランジスタT2の第1電極との接続を実現する。第1制御トランジスタT2の第1電極S21と、第1制御トランジスタT2の活性層のソース領域S2(すなわち第1制御トランジスタT2の第1電極)とは、第1絶縁層350と第2絶縁層360を貫通するビアホールH11を介して接続される。例えば、いくつかの例示では、第2ノードN2は、中間切換電極11を含む。なお、明確に、簡潔に表現するために、図7Aには第1制御トランジスタT2の第1電極S21が中間切換電極11の第2端112に接続されることのみが示され、第1制御トランジスタT2の第1電極が第2制御トランジスタT3の第1電極に接続されるため、第2制御トランジスタT3の第1電極も中間切換電極11の第2端112に接続され、本開示の実施例は、これを制限しない。以下の実施例は、これと同じであり、説明を省略する。
例えば、図5Cと7Bに示すように、別のいくつかの例示では、当該シフトレジスタユニット104は、第2接続配線をさらに含み、例えば、第2接続配線は、第1接続サブ配線L3と第2接続サブ配線L4とを含む。例えば、第3絶縁層370は、ベース基板10に垂直する方向において、中間切換電極11と第2接続配線L3/L4との間に位置する。
例えば、第1ノイズ低減トランジスタT6のゲート電極G6は、第2絶縁層360と第3絶縁層370を貫通するビアホールH4を介して第1接続サブ配線L3に接続され、中間切換電極11の第1端111は、第3絶縁層370を貫通するビアホールH3を介して第1接続サブ配線L3に接続される。
例えば、第1制御トランジスタT2の活性層のソース領域S2は、第1絶縁層350、第2絶縁層360と第3絶縁層370を貫通するビアホールH1を介して第1制御トランジスタT2の第1電極S21に接続され、第1制御トランジスタT2の第1電極S21が第2接続サブ配線L4に接続され、第1制御トランジスタT2の第1電極S21と同じ層に位置し且つ一体的に設けられ、中間切換電極11の第2端は、第3絶縁層370を貫通するビアホールH2を介して第2接続サブ配線L4に接続されることにより、第1ノイズ低減トランジスタT6のゲート電極と第1制御トランジスタT2の第1電極との接続を実現する。
例えば、当該例示では、第2ノードN2は、中間切換電極11と第2接続配線とを含む。
例えば、別のいくつかの例示では、第2接続配線は、第1接続サブ配線L3又は第2接続サブ配線L4のみを含む。例えば、図2Bと7Cに示される例示では、第2接続配線が第2接続サブ配線L4のみを含むことを例として紹介し、もちろん本開示の実施例は、これを制限しない。
例えば、図5Cと7Cに示すように、当該例示では、中間切換電極11は、第1導電層320に位置してもよく、且つ第1ノイズ低減トランジスタT6のゲート電極と一体的に形成される。
例えば、図7Cに示すように、第1制御トランジスタT2の活性層のソース領域S2は、第1絶縁層350、第2絶縁層360と第3絶縁層370を貫通するビアホールH1を介して第1制御トランジスタT2の第1電極S21に接続され、第1制御トランジスタT2の第1電極S21が第2接続サブ配線L4に接続され、第1制御トランジスタT2の第1電極S21は、第2接続サブ配線L4と同じ層に位置し且つ一体的に設けられ、中間切換電極11の第2端112は、第3絶縁層370を貫通するビアホールH2を介して第2接続サブ配線L4に接続されることにより、第1ノイズ低減トランジスタT6のゲート電極と第1制御トランジスタT2の第1電極との接続を実現する。
例えば、当該例示では、第2ノードN2は、中間切換電極11と第2接続サブ配線L4とを含む。
例えば、図6Aに示すように、第2電源線VGLは、第2方向において突出する突出部14を含む。電圧安定化トランジスタT8の活性層は、第2方向において、第2制御トランジスタT3の活性層と第2ノイズ低減トランジスタT7の活性層との間に位置し、且つ第2制御トランジスタT3の第2電極と電圧安定化トランジスタT8のゲート電極とは、いずれも第2電源線VGL上の突出部14に接続され、例えば第2制御トランジスタT3の第2電極は、第2電源線VGL上の突出部14と同じ層に位置し、且つ一体的に形成され、電圧安定化トランジスタT8のゲート電極と、同じ層に位置しない第2電源線VGL上の突出部14とは、例えば第2絶縁層360と第3絶縁層370を貫通するビアホールを介して接続されることにより、第2電圧を受け取り、例えば、第2制御トランジスタT3の第2電極と第2制御トランジスタT3の活性層のドレイン領域とを接続するためのビアホールと、電圧安定化トランジスタT8のゲート電極と突出部14とを接続するためのビアホールとは、それぞれ突出部14の異なる側と重なり(例えば図2Aに示すように、それぞれ突出部14の第1方向に沿う上側と下側と重なる)、例えばそれぞれ突出部14の異なる対角に位置する(例えば図2Aに示すように、それぞれ突出部14の第1方向に沿う左上角と右下角と重なる)。
本開示の実施例において、第1制御トランジスタT2と第2制御トランジスタT3は、図1Dに示される第2方向に沿って左右に並設される構造から、図2Aに示される第1方向に沿って上下に羅列される構造に変更され、表示パネルの周辺領域が第2方向における幅を縮小することができることにより、他のトランジスタ(例えば、電圧安定化トランジスタT8)と第2電源線VGLとの距離を短くすることができるとともに、第2制御トランジスタT3の第2電極(例えば、ソース電極)は、電圧安定化トランジスタT8のゲート電極とともに第2電源線VGL上の突出部14に接続されるため、空間においてさらに近接し、それにより、配線の長さを減少し、表示パネルの狭額縁の実現に有利である。
例えば、図2Aと図5Aに示すように、第1コンデンサC1の第1電極CE11と第2電極CE12は、ノッチを含み、第2方向に沿って延伸する第1接続配線L1に接続される信号入力電極13が第1コンデンサC1のノッチ中に形成され、例えば、信号入力電極13がベース基板への正投影は、第1コンデンサC1がベース基板への正投影のノッチに入り、第1コンデンサC1の第1電極CE11と第2電極CE12との形状は、信号入力電極13と相補し、表示基板上の空間を十分に利用することにより、表示パネルの狭額縁設計の実現に有利である。
なお、第1コンデンサC1のコンデンサの形状は変化するが、第1コンデンサC1の寸法/サイズは、一般的に変化せず、例えば、寸法変化は、10%~20%を上下に変動してもよく、その具体的な形状は、他の構造に応じて設計されてもよく、本開示の実施例は、これを制限しない。
例えば、図2Aと図4Aに示すように、第2クロック信号を提供するクロック信号線(例えば第1サブクロック信号線GCK)と第2ノイズ低減トランジスタT7のゲート電極とを接続する第3接続配線L2(第1導電層320に位置する)がベース基板10への正投影は、第2ノイズ低減トランジスタT7の活性層がベース基板10への正投影と第1方向において重なり、且つの少なくとも一部は、第2ノイズ低減トランジスタT7のゲート電極と平行し、すなわち当該第3接続配線L2は、第2ノイズ低減トランジスタT7の活性層の信号線から離れる側(例えば、図2Aに示される第2ノイズ低減トランジスタT7の活性層の右側)を通過する。
例えば、図2Aと図4Aに示すように、第3接続配線L2は、第3サブ接続配線L21と第4サブ接続配線L22とを含み、第3サブ接続配線L21は、第1方向に沿って延伸し、且つベース基板10への正投影と、第2ノイズ低減トランジスタT7の活性層がベース基板10への正投影とは、第2方向に沿って対向して並設され、第4サブ接続配線L22は、第3サブ接続配線L21に接続され且つ第2方向に沿って延伸する。
例えば、いくつかの例示では、図4Aに示すように、第3接続配線L2は、一つのゲート電極配線であり、すなわち当該第3サブ接続配線L21と第4サブ接続配線L22とは、直接接続され(ビアホールによる接続を必要としない)且つ一体的に形成され、例えば、第4サブ接続配線L22は、第2クロック信号を提供する第1サブクロック信号線GCKに接続される。例えば、別の例示では、図4Bに示すように、第3接続配線L2は、ビアホールを介して接続されるゲート電極配線を含み、一つは、第3サブ接続配線L21であり、もう一つは、第4サブ接続配線L22である。第3サブ接続配線L21と第4サブ接続配線L22との接続関係について、以下で詳細に紹介する。
例えば、第4サブ接続配線L22と第2ノイズ低減トランジスタT7のゲート電極とを接続する第3サブ接続配線L21と、同じ層に位置しない出力トランジスタT5の第1電極とは、ビアホールを介して接続されることにより、出力トランジスタT5の第1電極を第2クロック信号端CBに接続し、例えば、第2クロック信号端CBが第1サブクロック信号線GCKに接続される。例えば、出力トランジスタT5の第1電極は、第3サブ接続配線L21に電気的に接続され、第3サブ接続配線L21は、出力トランジスタT5に近接する第2ノイズ低減トランジスタT7の活性層の一側に位置する。例えば、当該ビアホールがベース基板10への正投影は、第2ノイズ低減トランジスタT7の活性層がベース基板10への正投影と、出力トランジスタT5の活性層がベース基板10への正投影との間に位置する。例えば、第4サブ接続配線L22は、第1導電層320に位置し、それがベース基板10への正投影は、X段目のシフトレジスタユニットの電圧安定化トランジスタT8がベース基板10への正投影と、X+1段目のシフトレジスタユニットの入力トランジスタT1がベース基板10への正投影との間に位置する。
例えば、出力トランジスタT5のゲート電極が電圧安定化トランジスタT8の第1電極に電気的に接続され、出力トランジスタT5の第2電極が出力端GOUTに接続される。
例えば、いくつかの例示では、図2A、図4A、図5Cと図7Dに示すように、出力トランジスタT5の第1電極S51は、第1絶縁層350、第2絶縁層360と第3絶縁層370を貫通するビアホールH7を介して出力トランジスタT5のソース領域S5に接続され、出力トランジスタT5の第1電極S51が第4接続配線L5に接続され、例えば、出力トランジスタT5の第1電極S51は、第4接続配線L5と同じ層に位置し且つ一体的に形成され、第4接続配線L5は、第2絶縁層360と第3絶縁層370を貫通するビアホールH5とビアホールH6を介して第3サブ接続配線L21に接続され、第3サブ接続配線L21は、第2ノイズ低減トランジスタT7のゲート電極及び第4サブ接続配線L22に接続されることにより、出力トランジスタT5の第1電極S51が第2ノイズ低減トランジスタT7のゲート電極G7に接続され、且つ一緒に第1サブクロック信号線GCKに接続されることにより、第2クロック信号を受け取ることを実現する。
例えば、別のいくつかの例示では、図2B、図4B、図5D、図6Bと図7Eに示すように、出力トランジスタT5の第1電極は、第4接続配線L5に接続され、出力トランジスタT5の第1電極S51は、第4接続配線L5に接続され、第4接続配線L5の第1端L51は、第2絶縁層360と第3絶縁層370を貫通するビアホールH8とビアホールH9を介して第2導電層320に位置する第3サブ接続配線L21に接続され、第4接続配線L5の第2端L52は、第2絶縁層360と第3絶縁層370を貫通するビアホールH5とビアホールH6を介して第2導電層320に位置する第4サブ接続配線L22に接続され、第3サブ接続配線L21は、第2ノイズ低減トランジスタT7のゲート電極G7に直接接続され且つ一体的に形成されることにより、出力トランジスタT5の第1電極が第2ノイズ低減トランジスタT7のゲート電極G7に接続され、且つ第4接続配線L5と第4サブ接続配線L22によって一緒に第1サブクロック信号線GCKに接続されることにより、第2クロック信号を受け取ることを実現する。
例えば、図2A、図3Aと図4Aに示すように、出力制御トランジスタT4の活性層と出力トランジスタT5の活性層は、一つの第1出力半導体層A13と第2出力半導体層A14とで形成され(すなわち出力制御トランジスタT4の活性層と出力トランジスタT5の活性層とは、一体的に設けられ)且つ第1方向に沿って延伸する。例えば、出力制御トランジスタT4の活性層は、出力トランジスタT5の活性層が第1方向における仮想線上に位置し、例えば、出力制御トランジスタT4の活性層は、第3半導体層のA13と、第4半導体層A14の第1方向に沿う上半部分とを含み、出力トランジスタT5の活性層は、第3半導体層A13と、第4半導体層A14の第1方向に沿う下半部分とを含む。なお、出力制御トランジスタT4の活性層と出力トランジスタT5の活性層とがそれぞれ第3半導体層A13と第4半導体層A14に占める比率は、実際の状況に応じて設けられてもよく、本開示の実施例は、これを制限しない。例えば、出力制御トランジスタT4のゲート電極と出力トランジスタT5のゲート電極とは、第2方向に沿って延伸し且つ第1方向において互いに重なり、すなわち出力制御トランジスタT4と出力トランジスタT5とは、第1方向に沿って上下に並んで設けられる。例えば、出力制御トランジスタT4のゲート電極は、出力トランジスタT5のゲート電極が第1方向における仮想線上に位置する。例えば、出力制御トランジスタT4の第1電極が第1電源線VGHに電気的に接続される。
本開示の実施例において、図1Dに示される第2ノイズ低減トランジスタT7の両側にいずれも接続配線が設けられる状況に対して、本開示の少なくとも一つの実施例による、第2ノイズ低減トランジスタT7の接続配線を変更する設置(すなわち、配線は、出力トランジスタT5と第2ノイズ低減トランジスタT7との間のみを通過する)は、配線の複雑度を低減させ、空間混雑の問題の現れを避け、表示パネルの狭額縁設計の実現に有利である。
例えば、本開示のいくつかの実施例では、各層の配線の線幅は、例えば一般的には3ミクロンであり、同層に位置する配線の間の間隔は、例えば3ミクロンよりも大きい。例えば、当該配線間隔は、例えば露光機の精度に関連し、露光機の精度が高いほど、間隔が小さく、具体的には実際の状況に応じて決定されてもよく、本開示の実施例は、これを制限しない。本開示の実施例において、実際のプロセスにおける配線接着、信号短絡を避けるために、同層の配線の間に、必要な間隔を残さなければならない。
第1導電層320の各配線がベース基板10への正投影と、第2導電層330の各配線がベース基板10への正投影との間の間隔は、例えば一般的には1.5ミクロンであり、例えば、第1導電層320におけるトランジスタのゲート電極は、それが半導体層31における活性層を例えば2ミクロン以上超える必要がある。例えば、図2A、3と4に示すように、第1トランジスタT1の「U」字形ダブルゲートは、第1方向において、第1トランジスタT1のストリップ形の活性層の両側にいずれも第1トランジスタT1のストリップ形の活性層を例えば2ミクロン以上超え、例えば、第1トランジスタT1のストリップ形の活性層と重ならない部分(例えば、第1部分G11と第2部分G12)が第1方向における長さは、2ミクロン以上であり、本開示の実施例は、これを制限しない。
例えば、半導体層310上の各トランジスタの活性層がベース基板10への正投影と、第1導電層320上の各ゲート電極配線がベース基板10への正投影との間の間隔は、1.5ミクロン以上であり、それにより、ゲート電極配線と半導体層310上の各トランジスタの活性層との間にチャネル効果が発生することを避けることができる。例えば、半導体層310がベース基板10への正投影と、第2導電層330がベース基板10への正投影との間の間隔は、制限がなく、重なって設けられてもよい。例えば、本開示のいくつかの実施例では、異なる層の配線の間に一定の間隔(この間隔が同層の配線間隔よりも小さい)を可能な限り保留し、必要がない重なりを減少し、寄生コンデンサが大きすぎることによる相互干渉の発生を避けることができる。
例えば、第3導電層340の各配線の幅は、それに対応するビアホールを包む必要があり、例えば、ビアホールの寸法(例えば、ビアホールの直径)を1ミクロン以上超えてもよく、例えば、ビアホールの寸法は、2.0~2.5ミクロンであり、ビアホールを包む第3導電層340の各配線の幅は、4~5ミクロンである。例えば、ビアホールに対応する出力制御トランジスタT4と出力トランジスタT5の配線線幅は、ビアホールを上下に1ミクロン超え、例えば、4.0~4.5ミクロンであり、出力制御トランジスタT4と出力トランジスタT5に対応するビアホールが比較的に多いが、他のトランジスタに接続されて第3導電層340に位置する配線の幅は、ビアホールの位置で1ミクロンを超えてビアホールを包むという要求を満たしていればよく、例えば、ビアホールの間の配線幅は、細くてもよい。
例えば、第3導電層340に位置する第1サブクロック信号線GCK、第2サブクロック信号線GCB、第1電源線VGH、第2電源線VGL等の配線の間の間隔は、3ミクロン以上であり、第1サブクロック信号線GCKと第2サブクロック信号線GCBとは、駆動能力を満たすために、その線幅が9ミクロン以上であることが要求され、第2電源線VGLの線幅は、6、9又は10ミクロンであってもよく、第1電源線VGHの線幅は、例えば10ミクロンであり、基準電圧線Vinitの線幅は、例えば15ミクロンであり、第2電源線VGLによって提供される第2電圧は、例えば一般的には-7Vであり、基本電圧線Vinitによって提供される基準電圧は、例えば-3Vであり、基準電圧線Vinitは、表示パネル全体の画素アレイを駆動する必要があるが、第1電源線VGHと第2電源線VGLとは、表示パネルの周辺領域に位置するゲート電極駆動回路のみを駆動すればよいため、基準電圧線Vinitの線幅は、第1電源線VGHの線幅と第2電源線VGLの線幅よりもわずかに広い。
例えば、いくつかの例示では、第1導電層320と第2導電層330の厚さは、2000~300オングストロームであり、第3導電層340の厚さは、5000~8000オングストロームであり、本開示の実施例は、これを制限しない。
例えば、本開示のいくつかの実施例では、第2電源線VGL上に突出部が設けられることは、電圧安定化トランジスタT8のゲート電極を接続する接続配線と第2制御トランジスタT3の活性層とを短縮するためであり、第2制御トランジスタT3の活性層が長すぎると、ドーピングされる導体抵抗が比較的に大きい。例えば、本開示のいくつかの実施例では、第1ノードN1が第3導電層340における配線(すなわち中間切換電極11)の形状は、他の層の配線と電極とがベース基板10への正投影と可能な限り重ならないように設計され、隙間の位置に設けられ、それにより、配線重なりによるクロストークの発生を避ける。
なお、本開示の実施例において、例えば、第1切換電極17、第2切換電極18、第3切換電極16は、第3導電層340に位置する。例えば、第1切換電極17は、例えば図1Bに示される入力トランジスタT1と、第1制御トランジスタT2と、第2ノイズ低減トランジスタT7と、電圧安定化トランジスタT8とを接続するための電極であり、例えば第1ノードN1は、第1切換電極17を含む。例えば、第2切換電極18は、電圧安定化トランジスタT8と出力トランジスタT5とを接続するための電極であり、第3ノードN3は、第2切換電極18を含む。例えば、中間切換電極11は、第1制御トランジスタT2と、第2制御トランジスタT3と、第1ノイズ低減トランジスタT6とを接続するための電極であり、第2導電層330に位置してもよく、第1導電層320に位置してもよく、中間切換電極11が第2導電層330に位置し且つ図7Bに示される接続方式を採用する場合、第2ノードN2は、中間切換電極11と、当該中間切換電極11に接続される、第3導電層340に位置する第3サブ接続配線L3及び第4サブ接続配線L4とを含む。例えば、配線切換電極12は、第1導電層320に位置し、第3導電層340に位置する第1接続配線L1に接続される切換電極であり、又は両者が同じ層に位置し、本開示の実施例は、これを制限しない。
例えば、上記切換電極と接続配線との設置によって、同じ層の配線が密集することによる配線接着、信号短絡等の問題を避けることができる。例えば、上記各切換電極と接続配線は、接続又はジャンパー接続の役割を果たす。
本開示の上記実施例による表示基板が最適化されたシフトレジスタユニットの線路接続と構造レイアウトは、シフトレジスタユニットの長さを一定の程度に圧縮し、表示パネルの狭額縁設計の実現に有利であり、それとともに、表示パネルの表示品質を確保する。
本開示の少なくとも一つの実施例は、表示装置をさらに提供する。図8は、本開示の少なくとも一つの実施例による表示装置の概略図である。図8に示すように、当該表示装置2は、本開示のいずれか一つの実施例による表示基板1、例えば、図2A又は図2Bに示される表示基板1を含む。
説明すべきことは、当該表示装置2は、OLEDパネル、OLEDテレビ、QLEDパネル、QLEDテレビ、携帯電話、タブレットパソコン、ノートパソコン、デジタルフォトフレーム、ナビゲーション機器等の任意の表示機能を有する製品又は部材であってもよい。当該表示装置2は、他の部材、例えばデータ駆動回路、タイミングコントローラ等をさらに含んでもよく、本開示の実施例は、これを限定しない。
説明すべきことは、明確かつ簡潔に示すために、本開示の実施例は、当該表示装置のすべての構成ユニットを与えるものではない。当該表示装置の基板機能を実現するために、当業者は、具体的な必要に応じて、他の図示されていない構造を提供し、設けることができ、本開示の実施例は、これを制限しない。
上記実施例による表示装置2の技術的効果については、本開示の実施例による表示基板1の技術的効果を参照してもよく、ここで説明を省略する。
本開示の少なくとも一つの実施例は、表示基板の製作方法をさらに提供する。図9は、本開示の少なくとも一つの実施例による表示基板の製作方法のフローチャートである。例えば、当該製作方法は、本開示のいずれか一つの実施例による表示基板を製作するために用いることができる。例えば、図2Aに示される表示基板を製作するために用いることができる。
図9に示すように、当該表示基板の製作方法は、ステップS110~ステップS120を含む。
ステップS110:ベース基板を提供する。
ステップS120:ベース基板に垂直する方向において、半導体層、第1絶縁層、第1導電層、第2絶縁層、第2導電層、第3絶縁層及び第3導電層を順次に形成する。
例えば、半導体層と、第1絶縁層と、第1導電層と、第2絶縁層と、第2導電層と、第3絶縁層と、第3導電層とを形成することは、対応する材料層(例えば、半導体材料層、絶縁材料層又は導電材料層)を形成し、その後にパターニングプロセスで対応するパターン構造(例えば、活性層、電極パターン、配線、ビアホール等)をそれぞれ形成することをそれぞれ含む。当該パターニングプロセスは、例えばフォトリソグラフィプロセスであり、例えば、パターニングされる必要がある材料層上にフォトレジスト層をコーティングし、マスク板を用いてフォトレジスト層に対して露光を行い、露光されるフォトレジスト層に対して現像を行うことにより、フォトレジストパターンを得て、フォトレジストパターンを用いて構造層に対してエッチングを行い、その後にフォトレジストパターンを選択的に除去することを含む。
ステップS110に対して、例えば、当該ベース基板10は、例えばガラス、プラスチック、石英、又は他の適切な材料を採用してもよく、本開示の実施例は、これを制限しない。
例えば、ベース基板上にシフトレジスタユニット、第1電源線、第2電源線、第1クロック信号線と第2クロック信号線を形成する。
ステップS120に対して、例えば、前記シフトレジスタユニットを形成することは、ベース基板に垂直する方向において、半導体層、第1絶縁層、第1導電層、第2絶縁層、第2導電層、第3絶縁層及び第3導電層を順次に形成することを含む。
例えば、第1電源線VGH、第2電源線VGL、複数のクロック信号線(例えば、トリガ信号線GSTV、第1サブクロック信号線GCKと第2サブクロック信号線GCB等)であり、シフトレジスタユニット104中に含まれる各トランジスタの第1電極と第2電極、各トランジスタとコンデンサとを接続する接続配線、切換電極等は、第3導電層340に位置し、各トランジスタの活性層は、半導体層310に位置し、各トランジスタのゲート電極とシフトレジスタユニット中に含まれる各コンデンサの第1電極は、第1導電層320に位置し、各コンデンサの第2電極が第2導電層330に形成され、各トランジスタと各コンデンサとは、第1絶縁層310、第2絶縁層320又は第3絶縁層330を貫通するビアホールを介して第1電源線VGH、第2電源線VGL、複数のクロック信号線、接続配線及び切換電極にそれぞれ接続される。
シフトレジスタユニット104の各トランジスタとコンデンサ、第1電源線VGH、第2電源線VGL、複数のクロック信号線、接続配線及び切換電極の接続構造の設置については、図2A~図7Eの記述を参照してもよく、ここで説明を省略する。
説明すべきことは、本開示の複数の実施例では、当該表示基板の製作方法のフローは、より多く又はより少ない操作を含んでもよく、これらの操作は、順序で実行されてもよく、又は並列実行されてもよい。以上に記述された製作方法のフローは、特定の順序で出現する複数の操作を含むが、明確に理解すべきことは、複数の操作の順序が制限を受けない。以上に記述された製作方法は、一回実行されてもよく、所定の条件に従って複数回実行されてもよい。
上記実施例による表示基板の製作方法の技術的効果については、本開示の実施例による表示基板の技術的効果を参照してもよく、ここで説明を省略する。
以下の数点について説明する必要がある。
(1)本開示の実施例の添付図面は、本開示の実施例に係る構造のみに関し、他の構造は、通常設計を参照してもよい。
(2)衝突しない場合、本開示の実施例及び実施例における特徴は、相互に組み合わせることにより新たな実施例を得ることができる。
以上に記載のは、本開示の例示的な実施形態に過ぎず、本開示の保護範囲を制限するためのものではなく、本開示の保護範囲は、添付される請求項によって決定される。
1 表示基板
2 表示装置
10 ベース基板
11 中間切換電極
101 表示パネル
102 有効表示領域、画素アレイ領域
103 画素ユニット
104 シフトレジスタユニット
105 発光制御ユニット
310 半導体層
320 第1導電層
330 第2導電層
340 第3導電層
350 第1絶縁層
360 第2絶縁層
370 第3絶縁層
380 第4絶縁層

Claims (33)

  1. ベース基板と、前記ベース基板上に設けられるシフトレジスタユニット及び第1クロック信号線とを含み、
    前記第1クロック信号線は、前記ベース基板において第1方向に沿って延伸し、且つ前記シフトレジスタユニットに第1クロック信号を提供するように構成され、
    前記シフトレジスタユニットは、入力回路と、出力回路と、第1制御回路と、出力制御回路とを含み、
    前記入力回路は、前記第1クロック信号に応じて、入力信号を第1ノードに入力するように構成され、
    前記出力回路は、出力信号を出力端に出力するように構成され、
    前記第1制御回路は、前記第1ノードのレベルと前記第1クロック信号に応じて、第2ノードのレベルを制御するように構成され、
    前記出力制御回路は、前記第2ノードのレベルの制御で、前記出力端のレベルに対して制御を行うように構成され、
    前記入力回路は、入力トランジスタを含み、前記入力トランジスタの活性層は、第2方向に沿って延伸する長尺状であり、前記第2方向は、前記第1方向と異なり、
    前記入力トランジスタは、第1ゲート電極と、第2ゲート電極と、前記第1ゲート電極と前記第2ゲート電極とを接続する接続電極とを含み、
    前記接続電極は、前記第1方向に沿って延伸し、前記第1ゲート電極に接続される第1部分と、前記第2ゲート電極に接続される第2部分と、前記第2方向に沿って延伸し且つ前記第1部分と前記第2部分とを接続する第3部分とを含み、前記接続電極の第3部分は、前記第1クロック信号線に接続されることにより、前記第1クロック信号を受け取る、表示基板。
  2. 前記第1方向と前記第2方向とのなす角は、70°~90°の間にある、請求項1に記載の表示基板。
  3. 前記入力トランジスタの第1電極は、前記第2方向に沿って延伸する第1接続配線によって信号入力電極に接続されることにより、前記入力信号を受け取る、請求項1又は2に記載の表示基板。
  4. 前記シフトレジスタユニットは、配線切換電極をさらに含み、
    前記入力トランジスタの第1電極は、前記配線切換電極の第1端に電気的に接続され、前記配線切換電極は、前記入力トランジスタの活性層と異なる層に位置し、前記配線切換電極の第2端は、前記第1接続配線の第1端に接続され、前記配線切換電極は、前記第1接続配線と異なる層に位置し、前記第1接続配線の第2端は、前記信号入力電極に電気的に接続され、前記配線切換電極は、前記信号入力電極と同じ層に位置する、請求項3に記載の表示基板。
  5. 前記シフトレジスタユニットは、第1絶縁層と、第2絶縁層と、第3絶縁層とをさらに含み、
    前記第1絶縁層は、前記入力トランジスタの活性層と前記第1接続配線との間に位置し、前記第2絶縁層と前記第3絶縁層とは、前記第1接続配線と前記配線切換電極との間に位置し、
    前記入力トランジスタの第1電極は、前記配線切換電極と同じ層に位置し、前記配線切換電極の第2端は、前記第2絶縁層と前記第3絶縁層とを貫通するビアホールを介して前記第1接続配線の第1端に接続され、前記第1接続配線の第2端は、前記第2絶縁層と前記第3絶縁層とを貫通するビアホールを介して前記信号入力電極に電気的に接続される、請求項4に記載の表示基板。
  6. 前記表示基板は、第2クロック信号線をさらに含み、前記シフトレジスタユニットに第2クロック信号を提供するように構成され、前記シフトレジスタユニットは、第2制御回路をさらに含み、
    前記第2制御回路は、前記第1ノードと前記第2ノードに接続され、且つ前記第2ノードのレベルと前記第2クロック信号の制御で、前記第1ノードのレベルに対して制御を行うように構成される、請求項1から5のいずれか1項に記載の表示基板。
  7. 前記第2制御回路は、第1ノイズ低減トランジスタと第2ノイズ低減トランジスタとを含み、
    前記第1ノイズ低減トランジスタの活性層と前記第2ノイズ低減トランジスタの活性層は、一つの連続するノイズ低減半導体層であり、前記ノイズ低減半導体層は、前記第1方向に沿って延伸し、且つ前記入力トランジスタの活性層と前記第1方向において並設され、
    前記第1ノイズ低減トランジスタのゲート電極と前記第2ノイズ低減トランジスタのゲート電極は、前記第2方向に沿って延伸し且つ前記第1方向において並設され、
    前記入力トランジスタの第1電極が前記第1ノードに接続され、前記第1ノイズ低減トランジスタのゲート電極が前記第2ノードに接続される、請求項6に記載の表示基板。
  8. 前記第2ノイズ低減トランジスタのゲート電極は、第3接続配線によって前記第2クロック信号線に電気的に接続され、前記第3接続配線は、第3サブ接続配線と第4サブ接続配線とを含み、前記第3サブ接続配線は、前記第2ノイズ低減トランジスタのゲート電極に接続され、且つ前記第1方向に沿って延伸し、且つ前記第3サブ接続配線の、前記ベース基板への正投影と、前記第2ノイズ低減トランジスタの活性層の、前記ベース基板への正投影とは、前記第2方向に沿って対向して並設され、前記第4サブ接続配線は、前記第3サブ接続配線と前記第2クロック信号線に接続され、且つ前記第2方向に沿って延伸し、前記第4サブ接続配線の、前記ベース基板への正投影は、前記第2ノイズ低減トランジスタの活性層の前記ベース基板への正投影の、前記第1ノイズ低減トランジスタの活性層の前記ベース基板への正投影から離れる側に位置する、請求項7に記載の表示基板。
  9. 第4接続配線と、第1絶縁層と、第2絶縁層と、第3絶縁層とをさらに含み、
    前記第1絶縁層は、前記入力トランジスタの活性層と前記入力トランジスタのゲート電極との間に位置し、前記第2絶縁層と前記第3絶縁層とは、前記入力トランジスタのゲート電極と前記第4接続配線との間に位置し、
    前記第3サブ接続配線と前記第4サブ接続配線とは、一体的に形成され、前記第3サブ接続配線は、前記第2絶縁層と前記第3絶縁層とを貫通するビアホールを介して前記第4接続配線に接続される、請求項8に記載の表示基板。
  10. 第4接続配線と、第1絶縁層と、第2絶縁層と、第3絶縁層とをさらに含み、
    前記第1絶縁層は、前記入力トランジスタの活性層と前記入力トランジスタのゲート電極との間に位置し、前記第2絶縁層と前記第3絶縁層とは、前記入力トランジスタのゲート電極と前記第4接続配線との間に位置し、
    前記第3サブ接続配線は、前記第2絶縁層と前記第3絶縁層とを貫通するビアホールを介して前記第4接続配線に接続され、前記第4サブ接続配線は、前記第2絶縁層と前記第3絶縁層とを貫通するビアホールを介して前記第4接続配線に接続される、請求項8に記載の表示基板。
  11. 前記第1制御回路は、第1制御トランジスタと第2制御トランジスタとを含み、
    前記第1制御トランジスタの活性層と前記第2制御トランジスタの活性層とは、一つの連続する制御半導体層であり、前記制御半導体層は、前記第1方向に沿って延伸し、前記第1制御トランジスタのゲート電極と前記第2制御トランジスタのゲート電極は、前記第2方向に沿って延伸し且つ前記第1方向において並設される、請求項7に記載の表示基板。
  12. 前記第1制御トランジスタの活性層、前記第2制御トランジスタの活性層、及び、前記入力トランジスタの活性層は、前記第2方向において並設される、請求項11に記載の表示基板。
  13. 前記入力トランジスタの活性層は、前記第1ノイズ低減トランジスタの活性層と前記第2ノイズ低減トランジスタの活性層とが前記第1方向に沿って延伸する仮想線上に位置し、前記第1制御トランジスタの活性層と、前記第2制御トランジスタの活性層とは、前記入力トランジスタの活性層が前記第2方向に沿って延伸する仮想線上に位置する、請求項11に記載の表示基板。
  14. 前記シフトレジスタユニットは、中間切換電極をさらに含み、
    前記第1制御トランジスタの活性層及び前記第2制御トランジスタの活性層と、前記第1ノイズ低減トランジスタの活性層及び前記第2ノイズ低減トランジスタの活性層とは、前記第2方向において並設され、
    前記中間切換電極の、前記ベース基板への正投影は、前記第1制御トランジスタの活性層と前記第2制御トランジスタの活性層の、前記ベース基板への正投影と、前記第1ノイズ低減トランジスタの活性層と前記第2ノイズ低減トランジスタの活性層の、前記ベース基板への正投影との間に位置し、
    前記第1ノイズ低減トランジスタのゲート電極は、前記中間切換電極によって前記第1制御トランジスタの第1電極と前記第2制御トランジスタの第1電極に接続される、請求項11から13のいずれか1項に記載の表示基板。
  15. 前記第2ノードは、前記中間切換電極を含む、請求項14に記載の表示基板。
  16. 前記シフトレジスタユニットは、第1絶縁層と第2絶縁層とをさらに含み、
    前記第1絶縁層は、前記ベース基板に垂直する方向において、前記第1ノイズ低減トランジスタの活性層と前記第1ノイズ低減トランジスタのゲート電極との間に位置し、
    前記第2絶縁層は、前記ベース基板に垂直する方向において、前記第1ノイズ低減トランジスタのゲート電極と前記中間切換電極との間に位置し、
    前記第1ノイズ低減トランジスタのゲート電極は、前記第2絶縁層を貫通するビアホールを介して前記中間切換電極の第1端に接続され、前記第1制御トランジスタの第1電極と前記第2制御トランジスタの第1電極とは、前記中間切換電極の第2端に接続され、且つ前記中間切換電極と同じ層に位置する、請求項14又は15に記載の表示基板。
  17. 前記第2ノードは、前記中間切換電極を含む、請求項16に記載の表示基板。
  18. 前記シフトレジスタユニットは、第1絶縁層と、第2絶縁層と、第3絶縁層と、第2接続配線とをさらに含み、
    前記第1絶縁層は、前記ベース基板に垂直する方向において、前記第1ノイズ低減トランジスタの活性層と前記第1ノイズ低減トランジスタのゲート電極との間に位置し、
    前記第2絶縁層は、前記ベース基板に垂直する方向において、前記第1ノイズ低減トランジスタのゲート電極と前記中間切換電極との間に位置し、
    前記第3絶縁層は、前記ベース基板に垂直する方向において、前記中間切換電極と前記第2接続配線との間に位置し、前記第2接続配線は、第1サブ接続配線と第2サブ接続配線とを含み、
    前記第1ノイズ低減トランジスタのゲート電極は、前記第2絶縁層と前記第3絶縁層とを貫通するビアホールを介して前記第1サブ接続配線に接続され、前記中間切換電極の第1端は、前記第3絶縁層を貫通するビアホールを介して前記第1サブ接続配線に接続され、
    前記第1制御トランジスタの第1電極と前記第2制御トランジスタの第1電極とは、前記第2サブ接続配線に接続され且つ同じ層に位置し、前記中間切換電極の第2端は、前記第3絶縁層を貫通するビアホールを介して前記第2サブ接続配線に接続される、請求項14又は15に記載の表示基板。
  19. 前記第2ノードは、前記中間切換電極と、前記第2接続配線とを含む、請求項18に記載の表示基板。
  20. 前記シフトレジスタユニットは、電圧安定化回路をさらに含み、
    前記電圧安定化回路は、前記第1ノードと第3ノードに接続され、且つ前記第3ノードのレベルを安定化するように構成され、
    前記出力回路は、前記第3ノードに接続され、且つ前記第3ノードのレベルの制御で、前記出力信号を前記出力端に出力するように構成される、請求項11から19のいずれか1項に記載の表示基板。
  21. 第1電源線と第2電源線とをさらに含み、前記シフトレジスタユニットに第1電圧と第2電圧を提供するように構成され、前記電圧安定化回路は、電圧安定化トランジスタを含み、前記第2電源線は、前記第2方向において突出する突出部を含み、
    前記電圧安定化トランジスタの活性層の、前記ベース基板への正投影は、前記第1方向において、前記第2制御トランジスタの活性層の前記ベース基板への正投影と、前記第2ノイズ低減トランジスタの活性層の前記ベース基板への正投影との間に位置し、且つ前記第2制御トランジスタの第2電極と前記電圧安定化トランジスタのゲート電極とは、いずれも前記第2電源線上の突出部に接続されることにより、前記第2電圧を受け取り、
    前記電圧安定化トランジスタの第1電極が前記第3ノードに接続され、前記電圧安定化トランジスタの第2電極が前記第1ノードに接続される、請求項20に記載の表示基板。
  22. 前記入力トランジスタの第1電極は、信号入力電極に接続されることにより、前記入力信号を受け取り、
    前記出力制御回路は、出力制御トランジスタと第1コンデンサとを含み、
    前記第1コンデンサの第1電極及び第2電極は、ノッチを含み、前記信号入力電極の前記ベース基板への正投影は、前記第1コンデンサの前記ベース基板への正投影のノッチに入る、請求項1から21のいずれか1項に記載の表示基板。
  23. 前記出力回路は、出力トランジスタと第2コンデンサとを含み、前記出力トランジスタの第1電極は、前記第4接続配線に接続され、前記第4接続配線は、前記第3接続配線によって前記第2クロック信号線に接続され、前記第3接続配線の第3サブ接続配線の、前記ベース基板への正投影は、前記第2ノイズ低減トランジスタの活性層の前記ベース基板への正投影の、前記出力トランジスタの活性層の前記ベース基板への正投影に近接する側に位置し、
    前記出力トランジスタのゲート電極が前記電圧安定化トランジスタの第1電極に電気的に接続され、前記出力トランジスタの第2電極が前記出力端に接続される、請求項9又は10に記載の表示基板。
  24. 前記第2コンデンサの形状は、矩形である、請求項23に記載の表示基板。
  25. 前記出力制御回路が出力制御トランジスタと第1コンデンサとを含む場合、
    前記出力制御トランジスタの活性層と前記出力トランジスタの活性層とは、一体的に設けられ且つ前記第1方向に沿って延伸し、
    前記出力制御トランジスタのゲート電極と前記出力トランジスタのゲート電極とは、前記第2方向に沿って延伸し且つ前記第1方向において並設され、
    前記表示基板が第1電源線を含む場合、前記出力制御トランジスタの第1電極は、前記第1電源線に電気的に接続されて第1電圧を受け取る、請求項23又は24に記載の表示基板。
  26. 前記出力トランジスタの第2電極は、前記シフトレジスタユニットと隣接する次段のシフトレジスタユニットの信号入力電極に接続される、請求項23から25のいずれか1項に記載の表示基板。
  27. 画素アレイ領域と周辺領域とをさらに含み、
    前記第1電源線、前記第2電源線、前記第1クロック信号線、前記第2クロック信号線、及び、前記シフトレジスタユニットは、前記周辺領域内に位置し、
    前記第2電源線、前記第1クロック信号線、及び、前記第2クロック信号線の前記ベース基板への正投影は、前記シフトレジスタユニットの前記ベース基板への正投影の、前記画素アレイ領域から離れる側に位置し、
    前記第1電源線の前記ベース基板への正投影は、前記シフトレジスタユニットの前記ベース基板への正投影の前記画素アレイ領域に近接する側に位置する、請求項21に記載の表示基板。
  28. 第1電源線と、第2制御回路と、電圧安定化回路と、第1切換電極と、第2切換電極と、第3切換電極とをさらに含み、
    前記第1電源線は、前記シフトレジスタユニットに第1電圧を提供するように構成され、
    前記第2制御回路は、前記第1ノードと前記第2ノードに接続され、且つ前記第2ノードのレベルと第2クロック信号の制御で、前記第1ノードのレベルに対して制御を行うように構成され、
    前記電圧安定化回路は、前記第1ノードと第3ノードに接続され、且つ前記第3ノードのレベルを安定化するように構成され、
    前記第1制御回路は、第1制御トランジスタと第2制御トランジスタとを含み、前記第2制御回路は、第1ノイズ低減トランジスタと第2ノイズ低減トランジスタとを含み、前記電圧安定化回路は、電圧安定化トランジスタを含み、前記出力制御回路は、出力制御トランジスタと第1コンデンサとを含み、前記出力回路は、出力トランジスタと第2コンデンサとを含み、
    前記第1切換電極は、前記入力トランジスタの第1電極、前記第1制御トランジスタのゲート電極、前記電圧安定化トランジスタの第2電極、及び、前記第2ノイズ低減トランジスタの第1電極に接続され、そのうち、前記第1切換電極は、前記第1制御トランジスタのゲート電極と同じ層に位置せず、
    前記第2切換電極は、前記電圧安定化トランジスタの第1電極と前記出力トランジスタのゲート電極に接続され、そのうち、前記第2切換電極は、前記出力トランジスタのゲート電極と同じ層に位置せず、
    前記第3切換電極は、前記第1ノイズ低減トランジスタの第1電極と前記出力制御トランジスタの第1電極に接続され、且つ前記第1電源線に接続される、請求項1から27のいずれか1項に記載の表示基板。
  29. 前記第1ノードは、前記第1切換電極を含み、前記第3ノードは、前記第2切換電極を含む、請求項28に記載の表示基板。
  30. 請求項1から29のいずれか1項に記載の表示基板を含む、表示装置。
  31. 前記表示装置は、有機発光ダイオード表示装置である、請求項30に記載の表示装置。
  32. アレイ状に配列される画素ユニットをさらに含み、そのうち、前記シフトレジスタユニットの出力回路によって出力される出力信号は、ゲート電極走査信号として前記画素ユニットを発光させるようとする、請求項31に記載の表示装置。
  33. 前記ベース基板を提供するステップと、
    前記ベース基板上にシフトレジスタユニット、第1電源線、第2電源線、前記第1クロック信号線、及び、第2クロック信号線を形成するステップとを含み、そのうち、前記シフトレジスタユニットを形成するステップは、
    前記ベース基板に垂直する方向において、半導体層、第1絶縁層、第1導電層、第2絶縁層、第2導電層、第3絶縁層及び第3導電層を順次に形成するステップを含み、
    各トランジスタの活性層は、前記半導体層に位置し、前記各トランジスタのゲート電極と各コンデンサの第1電極は、前記第1導電層に位置し、前記各コンデンサの第2電極は、前記第2導電層に位置し、前記第1電源線、前記第2電源線、前記第1クロック信号線、前記第2クロック信号線と、前記各トランジスタの第1電極及び第2電極とは、前記第3導電層に位置し、
    前記各トランジスタと前記各コンデンサとは、前記第1絶縁層、前記第2絶縁層又は前記第3絶縁層を貫通するビアホールを介して互いに接続され、前記第1電源線、前記第2電源線、前記第1クロック信号線、及び、前記第2クロック信号線に接続される、請求項1から29のいずれか1項に記載の表示基板の製作方法。
JP2022562140A 2020-04-10 2020-04-10 表示基板及びその製作方法、表示装置 Pending JP2023529530A (ja)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/CN2020/084235 WO2021203422A1 (zh) 2020-04-10 2020-04-10 显示基板及其制作方法、显示装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2023529530A true JP2023529530A (ja) 2023-07-11

Family

ID=78023737

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2022562140A Pending JP2023529530A (ja) 2020-04-10 2020-04-10 表示基板及びその製作方法、表示装置

Country Status (6)

Country Link
US (2) US11875749B2 (ja)
EP (1) EP4134942A4 (ja)
JP (1) JP2023529530A (ja)
KR (1) KR20220166324A (ja)
CN (1) CN113785353B (ja)
WO (1) WO2021203422A1 (ja)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2022246756A1 (zh) * 2021-05-27 2022-12-01 京东方科技集团股份有限公司 显示基板及其制备方法、显示装置
CN114005411A (zh) * 2021-11-05 2022-02-01 武汉天马微电子有限公司 阵列基板、显示面板及显示装置
WO2023115400A1 (zh) * 2021-12-22 2023-06-29 京东方科技集团股份有限公司 显示基板及其制备方法、显示装置
CN117413310A (zh) * 2022-03-24 2024-01-16 京东方科技集团股份有限公司 移位寄存器、栅极驱动电路和显示装置
JP7108350B1 (ja) * 2022-03-25 2022-07-28 株式会社セレブレクス 狭額縁ディスプレイモジュール及びデータ出力装置
US20240265861A1 (en) * 2022-06-29 2024-08-08 Yunnan Invensight Optoelectronics Technology Co., Ltd. Array base plate, display panel and display device

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9153341B2 (en) 2005-10-18 2015-10-06 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Shift register, semiconductor device, display device, and electronic device
WO2012029915A1 (ja) * 2010-09-02 2012-03-08 シャープ株式会社 トランジスタ回路、フリップフロップ、信号処理回路、ドライバ回路、および表示装置
CN104849928B (zh) * 2015-04-16 2019-04-05 上海中航光电子有限公司 一种tft阵列基板、显示面板及显示装置
WO2016190186A1 (ja) * 2015-05-25 2016-12-01 シャープ株式会社 シフトレジスタ回路
CN105742294B (zh) * 2016-03-23 2019-01-15 深圳市华星光电技术有限公司 Tft基板的制作方法及制得的tft基板
CN206697217U (zh) * 2017-05-05 2017-12-01 信利(惠州)智能显示有限公司 一种移位寄存器电路
CN106910453A (zh) * 2017-05-09 2017-06-30 京东方科技集团股份有限公司 移位寄存器、其驱动方法、栅极集成驱动电路及显示装置
CN107452351B (zh) * 2017-08-21 2019-04-26 京东方科技集团股份有限公司 一种移位寄存器、其驱动方法、驱动控制电路及显示装置
CN108257567A (zh) * 2018-01-31 2018-07-06 京东方科技集团股份有限公司 Goa单元及其驱动方法、goa电路、触控显示装置
CN109375832B (zh) 2018-12-29 2022-01-07 厦门天马微电子有限公司 触控显示面板和触控显示装置
CN110972504B (zh) * 2019-01-04 2022-05-13 京东方科技集团股份有限公司 移位寄存器单元及驱动方法、栅极驱动电路、显示装置
CN109712551B (zh) 2019-01-31 2020-07-28 京东方科技集团股份有限公司 栅极驱动电路及其驱动方法、显示装置及其控制方法
CN110416226B (zh) 2019-07-29 2022-02-22 云谷(固安)科技有限公司 一种显示面板及其制作方法和显示装置
CN110767665B (zh) 2019-11-29 2022-05-31 京东方科技集团股份有限公司 一种显示面板、其制备方法及显示装置
US11735107B2 (en) * 2020-04-10 2023-08-22 Chengdu Boe Optoelectronics Technology Co., Ltd. Display substrate and manufacturing method thereof, display device
WO2021217546A1 (zh) * 2020-04-30 2021-11-04 京东方科技集团股份有限公司 显示基板及其制备方法、显示装置

Also Published As

Publication number Publication date
KR20220166324A (ko) 2022-12-16
WO2021203422A1 (zh) 2021-10-14
EP4134942A4 (en) 2023-06-14
EP4134942A1 (en) 2023-02-15
US20220343856A1 (en) 2022-10-27
US20240112638A1 (en) 2024-04-04
US11875749B2 (en) 2024-01-16
CN113785353B (zh) 2022-10-18
CN113785353A (zh) 2021-12-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2023529530A (ja) 表示基板及びその製作方法、表示装置
CN113785350B (zh) 显示基板及其制作方法、显示装置
WO2021217546A1 (zh) 显示基板及其制备方法、显示装置
WO2021031167A1 (zh) 显示基板、显示装置及显示基板的制作方法
WO2022067634A1 (zh) 显示基板及其制作方法、显示装置
WO2021253392A1 (zh) 显示基板及其制作方法、显示装置
CN113785352B (zh) 显示基板及其制作方法、显示装置
US11683957B2 (en) Display panel and display device
US20240203330A1 (en) Display substrate and manufacturing method thereof, and display device
CN113724667B (zh) 显示基板及其制作方法、显示装置
US20240249678A1 (en) Display Substrate and Display Apparatus
WO2022151082A1 (zh) 显示基板及其制作方法、显示装置
US20230177994A1 (en) Display panel and display device

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20230407

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20230407

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20240222

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20240311

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20240611

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20240729