JP2023516871A - Cmpにおける温度及びスラリ流量の制御 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (23)
- 化学機械研磨システムであって、
研磨パッドを支持するためのプラテン、
前記研磨パッドと接触するように基板を保持するためのキャリアヘッド、
前記プラテンと前記キャリアヘッドとの間の相対的運動を発生させるモータ、
研磨液を前記研磨パッド上に供給するためのポートと、前記ポートへの前記研磨液の流量を制御するための、前記ポートと研磨液供給部との間のフローラインにおける液体流コントローラとを含む、研磨液供給システム、
前記研磨液以外の加熱流体又は冷却流体を前記研磨パッド上に供給するための少なくとも1つの開口を有する、前記プラテン上に延在するアームと、ノズルと蒸気出口とを制御可能に接続及び接続解除するための、前記ノズルと前記蒸気出口との間の流体ラインにおけるバルブとを含む温度制御システム、並びに
前記液体流コントローラ及び前記バルブに連結された制御システムであって、
ベースライン除去速度値を取得することと、
ベースライン温度値及びベースライン研磨液流量値を取得することと、
除去速度を研磨液流量及び温度に関連付ける関数を保存することと、
結果として得られる除去速度値が前記ベースライン除去速度値と等しくなるか又はそれを上回るように、前記関数を使用して、減少した研磨液流量値及び調整された温度値を決定することと、
前記減少した研磨液流量値で前記研磨液を供給するために、前記液体流コントローラを制御し、研磨処理温度が前記調整された温度値に達するように、前記加熱流体又は前記冷却流体の流れを制御するために、前記バルブを制御することと、
を行うように構成された制御システム
を備えている化学機械研磨システム。 - 前記研磨パッドの温度を測定するように位置付けされた温度センサを備え、前記コントローラが、温度測定値を受信して、前記調整された温度値を達成するように前記加熱流体又は前記冷却流体の流量を制御するように構成されている、請求項1に記載のシステム。
- 前記コントローラが、減少した研磨流量を決定することと、前記関数に基づいて、前記減少した研磨流量から生じる除去速度の低下を計算することと、前記関数に基づいて最小温度変化を計算して、前記除去速度の低下を埋め合わせすることとを行うように構成されている、請求項1に記載のシステム。
- 前記除去速度の低下を計算する命令が、除去速度の低下率を計算する命令を含む、請求項3に記載のシステム。
- 前記コントローラが、修正された温度を決定することと、前記関数に基づいて、前記修正された温度から生じる除去速度の増加を計算することと、結果として生じる除去速度の低下が、前記修正された温度から生じる前記除去速度の増加を超えないように、前記関数に基づいて、最大流量減少を計算することとを行うように構成されている、請求項1に記載のシステム。
- 前記除去速度の増加を計算する命令が、除去速度の増加率を計算する命令を含む、請求項5に記載のシステム。
- 前記関数が、温度の上昇と共に除去速度が単調に増加する温度範囲を含む、請求項1に記載のシステム。
- 前記関数が、温度の上昇と共に除去速度が単調に減少する温度範囲を含む、請求項1に記載のシステム。
- 前記関数が、ルックアップテーブルに保存された値を含む、請求項1に記載のシステム。
- 前記コントローラが、前記ルックアップテーブルの前記値間の線形補間によって除去速度の変化を計算するように構成されている、請求項9に記載のシステム。
- 温度制御システムが、加熱された流体を前記研磨パッド上に供給するように構成された加熱システムを備えている、請求項1に記載のシステム。
- 前記加熱された流体が蒸気を含む、請求項11に記載のシステム。
- 温度制御システムが、冷却剤を前記研磨パッド上に供給するように構成された冷却システムを備えている、請求項1に記載のシステム。
- 前記開口が、ノズルを備え、前記ノズルは、前記冷却剤が前記ノズルを通過するときに前記冷却剤の温度を低下させるように構成されている、請求項13に記載のシステム。
- 化学機械研磨システムであって、
研磨パッドを支持するためのプラテン、
前記研磨パッドと接触するように基板を保持するためのキャリアヘッド、
前記プラテンと前記キャリアヘッドとの間の相対的運動を発生させるモータ、
研磨液を前記研磨パッド上に供給するためのポートと、前記ポートへの前記研磨液の流量を制御するための、前記ポートと研磨液供給部との間のフローラインにおける液体流コントローラとを含む、研磨液供給システム、
前記研磨パッドの温度を制御するための温度制御システム、
前記液体流コントローラ及びバルブに連結された制御システムであって、
ベースライン除去速度値を取得することと、
ベースライン温度値及びベースライン研磨液流量値を取得することと、
除去速度を研磨液流量及び温度に関連付ける関数を保存することと、
結果として得られる除去速度値が前記ベースライン除去速度値と等しくなるか又はそれを上回るように、前記関数を使用して、減少した研磨液流量値及び調整された温度値を決定することと、
前記減少した研磨液流量値で前記研磨液を供給するために、前記液体流コントローラを制御し、研磨処理温度が前記調整された温度値に達するように前記温度制御システムを制御することと
を行うように構成された制御システム
を備えている化学機械研磨システム。 - 前記温度制御システムが、加熱システムを備えている、請求項15に記載のシステム。
- 前記加熱システムが、前記プラテン内の抵抗加熱器、前記研磨パッド上へ熱を誘導するように位置付けされた加熱ランプ、又は前記研磨液以外の加熱された流体を前記研磨パッド上に供給するためのディスペンサのうちの1つ又は複数を備えている、請求項16に記載のシステム。
- 前記温度制御システムが、冷却システムを備えている、請求項15に記載のシステム。
- 前記冷却システムが、前記プラテンを貫通する冷却剤チャネル、前記プラテン上の熱電冷却器、又は前記研磨液以外の冷却剤流体を前記研磨パッド上に供給するためのディスペンサのうちの1つ又は複数を備えている、請求項18に記載のシステム。
- 前記研磨パッドの温度を測定するように位置付けされた温度センサを備え、前記コントローラが、温度測定値を受信し、前記温度制御システムを制御して、前記調整された温度値を達成するようにように構成されている、請求項15に記載のシステム。
- 前記コントローラが、減少した研磨流量を決定することと、前記関数に基づいて、前記減少した研磨流量から生じる除去速度の低下を計算することと、前記関数に基づいて最小温度変化を計算して、前記除去速度の低下を埋め合わせすることとを行うように構成されている、請求項15に記載のシステム。
- 前記コントローラが、修正された温度を決定することと、前記関数に基づいて、前記修正された温度から生じる除去速度の増加を計算することと、結果として生じる除去速度の低下が、前記修正された温度から生じる除去速度の増加を超えないように、前記関数に基づいて、最大流量低下を計算することとを行うように構成されている、請求項15に記載のシステム。
- 命令を有する非一過性のコンピュータ可読媒体を備えたコンピュータプログラム製品であって、前記命令は、1つ又は複数のプロセッサに、
研磨処理のためのベースライン除去速度値を取得することと、
前記研磨処理のためのベースライン温度値及びベースライン研磨液流量値を取得することと、
除去速度を研磨液流量及び温度に関連付ける関数を保存することと、
前記関数を使用して、結果として得られる除去速度値が前記ベースライン除去速度値と等しくなるか又はそれを上回るように、減少した研磨液流量値及び調整された温度値を決定することと、
前記減少した研磨液流量値で研磨液を研磨パッド上に供給するために、液体流コントローラを制御し、研磨処理温度が前記調整された温度値に達するように温度制御システムを制御することと
を実行させる、コンピュータプログラム製品。
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