JP2023172596A - 電子線照射装置および真空容器 - Google Patents
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Abstract
Description
以下、本発明の一実施形態について、詳細に説明する。以下の説明において、数値範囲を示す「A~B」は、特筆しない限りは「A以上かつB以下」を意味する。
図1は、本実施形態に係る電子線照射装置1の概略を示す図である。図1に示すように、電子線照射装置1は、真空容器2、電極部3、碍子4、遮蔽体5、および直流電源6を備える。視認性のため、図1においては、真空容器2および碍子4については断面とし、内部を示している。
本願発明者は、シールド9を有しない、従来の電子線照射装置において、高エネルギーの電子線を得るために加速電圧を増大させると電子線が不安定になるという問題があることを見出した。本願発明者は、鋭意検討を重ねた結果、被照射物から碍子へのX線が上記の問題の原因であるとの知見を得た。
本発明の他の実施形態について、以下に説明する。なお、説明の便宜上、上記実施形態にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を繰り返さない。
本発明の一態様に係る電子線照射装置は、電子線を被照射物に照射する電子線照射装置であって、導体で形成された真空容器と、前記電子線を発生させる電極部と、前記真空容器の内部において、前記真空容器から電気的に絶縁された状態で前記電極部を支持する碍子と、前記被照射物に前記電子線が照射されることで前記被照射物から前記碍子へ向けて放射されるX線の、少なくとも一部を遮断するシールドと、を備える。
2、2A 真空容器
3 電極部
4 碍子
5 遮蔽体
7 被照射物
9 シールド
21 周壁
22 取出し口
Claims (4)
- 電子線を被照射物に照射する電子線照射装置であって、
導体で形成された真空容器と、
前記電子線を発生させる電極部と、
前記真空容器の内部において、前記真空容器から電気的に絶縁された状態で前記電極部を支持する碍子と、
前記被照射物に前記電子線が照射されることで前記被照射物から前記碍子へ向けて放射されるX線の、少なくとも一部を遮断するシールドと、を備える電子線照射装置。 - 前記真空容器は、前記電子線を外部へ取り出すための取出し口を有し、
前記シールドは、前記真空容器の外側表面における、前記取出し口の近傍に設けられる請求項1に記載の電子線照射装置。 - 前記真空容器および前記被照射物を収容し、前記被照射物から放射されるX線を遮断する遮蔽体をさらに備え、
前記真空容器は前記遮蔽体の内部に設置されている請求項1または2に記載の電子線照射装置。 - 電子線を発生させる電極部を、碍子により支持された状態で収容する真空容器であって、
導体で形成された周壁と、
前記電子線が照射される被照射物から前記碍子へ向けて放射されるX線の少なくとも一部を遮断するシールドと、を備える真空容器。
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