JP2023170910A - 検量線液製造システム、測定システムおよび検量線液製造方法 - Google Patents

検量線液製造システム、測定システムおよび検量線液製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2023170910A
JP2023170910A JP2022083008A JP2022083008A JP2023170910A JP 2023170910 A JP2023170910 A JP 2023170910A JP 2022083008 A JP2022083008 A JP 2022083008A JP 2022083008 A JP2022083008 A JP 2022083008A JP 2023170910 A JP2023170910 A JP 2023170910A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
calibration curve
liquid
solution
manufacturing system
standard solution
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2022083008A
Other languages
English (en)
Inventor
千陽 梅澤
Chiharu UMEZAWA
晃彦 津田
Akihiko Tsuda
史貴 市原
Fumitaka Ichihara
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Organo Corp
Original Assignee
Organo Corp
Japan Organo Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Organo Corp, Japan Organo Co Ltd filed Critical Organo Corp
Priority to JP2022083008A priority Critical patent/JP2023170910A/ja
Priority to PCT/JP2023/010083 priority patent/WO2023223649A1/ja
Priority to TW112115689A priority patent/TW202407314A/zh
Publication of JP2023170910A publication Critical patent/JP2023170910A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
    • B01F23/00—Mixing according to the phases to be mixed, e.g. dispersing or emulsifying
    • B01F23/40—Mixing liquids with liquids; Emulsifying
    • B01F23/45—Mixing liquids with liquids; Emulsifying using flow mixing
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
    • B01F25/00—Flow mixers; Mixers for falling materials, e.g. solid particles
    • B01F25/40—Static mixers
    • B01F25/42—Static mixers in which the mixing is affected by moving the components jointly in changing directions, e.g. in tubes provided with baffles or obstructions
    • B01F25/43—Mixing tubes, e.g. wherein the material is moved in a radial or partly reversed direction
    • B01F25/433—Mixing tubes wherein the shape of the tube influences the mixing, e.g. mixing tubes with varying cross-section or provided with inwardly extending profiles
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
    • B01F35/00—Accessories for mixers; Auxiliary operations or auxiliary devices; Parts or details of general application
    • B01F35/80—Forming a predetermined ratio of the substances to be mixed
    • B01F35/83—Forming a predetermined ratio of the substances to be mixed by controlling the ratio of two or more flows, e.g. using flow sensing or flow controlling devices
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N31/00—Investigating or analysing non-biological materials by the use of the chemical methods specified in the subgroup; Apparatus specially adapted for such methods
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
    • B01F2101/00—Mixing characterised by the nature of the mixed materials or by the application field
    • B01F2101/23—Mixing of laboratory samples e.g. in preparation of analysing or testing properties of materials

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Molecular Biology (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Non-Biological Materials By The Use Of Chemical Means (AREA)
  • Sampling And Sample Adjustment (AREA)
  • Accessories For Mixers (AREA)
  • Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Abstract

【課題】より正確なＴＯＣ濃度を求めることが可能な検量線の作成を容易に行う。【解決手段】検量線を用いて分析対象液の全有機炭素濃度を測定する測定装置に対して、検量線を作成するための検量線液を製造して供給する検量線液製造システムであって、ＴＯＣ計５００へ分析対象液を送液する分析対象液ライン１００と、分析対象液ライン１００に標準液２１０を送液する標準液ライン１１０と、分析対象液ライン１００に設けられ、希釈液と標準液２１０とを混合して標準液２１０を希釈する混合部４００と、を有し、混合部４００で混合された希釈液と標準液２１０との混合液を検量線液としてＴＯＣ計５００に供給する。【選択図】図１

Description

本発明は、検量線液製造システム、測定システムおよび検量線液製造方法に関する。
一般的に、液体に含まれる全有機炭素（ＴＯＣ：Ｔｏｔａｌ Ｏｒｇａｎｉｃ Ｃａｒｂｏｎ）の濃度は、全有機炭素計を用いて管理されている。この全有機炭素計にて用いられる検量線は、標準液を用いて作成される。
ＴＯＣの濃度（低濃度）を測定する全有機炭素計として、全有機炭素計の内部で低濃度の試験液を調製する装置が考えられている（例えば、特許文献１参照。）。
特許第３２６５８３０号
一般的に用いられている検量線は、ＴＯＣ濃度が高濃度域の標準液を用いて作成されたものである。ＴＯＣ濃度が高濃度域の標準液を用いて作成された検量線を、ＴＯＣ濃度（低濃度）の測定に用いてしまうと、高濃度域での誤差の割合が低濃度域では大きくなり、正確なＴＯＣ濃度を求めることができなくなってしまう。そこで、超純水に含まれるＴＯＣの濃度を測定する全有機炭素計においては、超純水に含まれるＴＯＣの濃度（低濃度）に相当する濃度の標準液を用いて検量線を作成する必要がある。一方、標準液は、低濃度であるほど環境からの汚染の影響や、標準液の調製での人為的な誤差の影響を大きく受ける。また、特許文献１に記載された装置は、試料を蒸留することで低有機物濃度を得る装置であるため、燃焼管や加熱炉といった設備が必要となってしまう。そのため、専用の設備を準備する必要があり、手間や費用がかかってしまうという問題点がある。
本発明の目的は、より正確なＴＯＣ濃度を求めることが可能な検量線の作成を容易に行うことができる検量線液製造システム、測定システムおよび検量線液製造方法を提供することにある。
本発明の検量線液製造システムは、
検量線を用いて分析対象液の全有機炭素濃度を測定する測定装置に対して、前記検量線を作成するための検量線液を製造して供給する検量線液製造システムであって、
前記測定装置へ希釈液を送液する第１の送液ラインと、
前記第１の送液ラインに標準液を送液する第２の送液ラインと、
前記第１の送液ラインに設けられ、前記希釈液と前記標準液とを混合して前記標準液を希釈する混合部と、を有し、
前記混合部で混合された前記希釈液と前記標準液との混合液を前記検量線液として前記測定装置に供給する。
また、本発明の測定システムは、
検量線を用いて分析対象液の全有機炭素濃度を測定する測定装置に対して、前記検量線を作成するための検量線液を製造して供給する検量線液製造システムであって、
前記測定装置へ希釈液を送液する第１の送液ラインと、
前記第１の送液ラインに標準液を送液する第２の送液ラインと、
前記第１の送液ラインに設けられ、前記希釈液と前記標準液とを混合して前記標準液を希釈する混合部と、を有し、
前記混合部で混合された前記希釈液と前記標準液との混合液を前記検量線液として前記測定装置に供給する、検量線液製造システムと、
前記測定装置とを有する。
また、本発明の検量線液製造方法は、
検量線を用いて分析対象液の全有機炭素濃度を測定する測定装置に対して、前記検量線を作成するための検量線液を製造して供給する検量線液製造方法であって、
前記測定装置への第１の送液ラインに送液された希釈液と、標準液を送液する第２の送液ラインから前記第１の送液ラインに送液された前記標準液とを混合して前記標準液を希釈し、
前記混合された前記希釈液と前記標準液との混合液を前記検量線液として前記測定装置に供給する。
本発明においては、より正確なＴＯＣ濃度を求めることが可能な検量線の作成を容易に行うことができる。
本発明の検量線液製造システムの実施の一形態を示す図である。 図１に示した補正部が検量線を補正する方法の一例を説明するための図である。 ＴＯＣ濃度が高濃度域で検量線を作成した場合の出力値の一例を示す図である。 ＴＯＣ濃度が低濃度域で検量線を作成した場合の出力値の一例を示す図である。 本発明の検量線液製造システムの適用例を示す図である。
以下に、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図１は、本発明の検量線液製造システムの実施の一形態を示す図である。本形態に係る検量線液製造システムは、図１に示すように、分析対象液ライン１００と、標準液ライン１１０と、ポンプ３００と、混合部４００と、制御部６００とを有する。この検量線液製造システムの混合部４００にて混合された検量線液がＴＯＣ計５００に供給される。補正部７００は、ＴＯＣ計５００と接続されていても良いし、ＴＯＣ計５００の内部に具備されていても良い。また、分析対象液ライン１００には、分析対象液ライン１００に送液される分析対象液の流量を測定する流量計４０が設けられている。また、ＴＯＣ計５００が検量線液製造システムの１つの構成要素として含まれるものでも良い。
分析対象液ライン１００は、分析対象液（例えば、本実施の形態においては超純水）をＴＯＣ計５００へ送液する第１の送液ラインである。ＴＯＣ計５００へ送液される超純水としては、例えば、前処理装置、一純水製造装置および二次純水製造装置（サブシステム）を備える超純水製造システムからユースポイントに供給される超純水の少なくとも一部が採水されたものでも良いし、所定の貯留槽に貯留された超純水でも良い。分析対象液ライン１００に送液される分析対象液は、後述する標準液２１０を希釈するための希釈液として用いられる。分析対象液ライン１００に送液される希釈液は、分析対象液に限らず、分析対象ではない超純水等でも良い。この場合、分析対象液と、分析対象液とは異なる希釈液とが、互いに異なる配管から供給されても良い。
ポンプ３００は、容器２００に貯留された標準液２１０を汲み上げる。本形態においては、ポンプ３００の性能として、送液速度の安定性および正確性が必要である。ポンプ３００は、接液部からのＴＯＣ溶出がより少ないものが好ましい。ポンプ３００は、例えば、ダブルプランジャータイプが好ましいが、これに限定しない。ポンプ３００は、同機能を具備するものであれば、ポンプ以外のものでも良い。ポンプ３００が容器２００から標準液２１０を汲み上げる汲み上げ速度（言い換えると、ポンプ３００が容器２００から第２の送液ラインである標準液ライン１１０を介して分析対象液ライン１００へ標準液２１０を送液する送液速度）は、分析対象液ライン１００が超純水を送液する送液速度と、標準液２１０のＴＯＣ濃度とに応じて制御される。この制御については後述する。なお、標準液２１０は、国際標準に紐づけられる標準液（フタル酸水素カリウム）を希釈して調製したものでも良いが、実際に超純水に含まれる有機物、例えば尿素溶液を希釈して調製したものでも良い。標準液ライン１１０は、ポンプ３００で汲み上げられた標準液２１０を分析対象液ライン１００へ送液する。
混合部４００は、分析対象液ライン１００から送液されてきた超純水に、ポンプ３００が汲み上げた標準液２１０を混合する。こうして、混合部４００では、分析対象液ライン１００から送液されてきた超純水を用いて、ポンプ３００が汲み上げた標準液２１０が希釈される。混合部４００として、混合コイルが用いられても良い。混合部４００が混合した液体は、検量線液としてＴＯＣ計５００へ供給される。
制御部６００は、ポンプ３００の標準液２１０の汲み上げ速度（ポンプ３００からの標準液２１０の供給量）を制御する。制御部６００は、超純水の送液速度と、標準液２１０のＴＯＣ濃度とに基づいて、混合部４００が混合した後の液体のＴＯＣ濃度が所定の値以下になるように、ポンプ３００の標準液２１０の汲み上げ速度を制御する。例えば、分析対象液ライン１００における超純水の送液速度（流量）が１０００ｍＬ／分であり、標準液２１０のＴＯＣ濃度が１００ｐｐｂ－Ｃであり、混合部４００が混合した後の液体のＴＯＣ濃度を低濃度域（０．１ｐｐｂ－Ｃ＋超純水のＴＯＣ濃度）としたい場合、制御部６００は、ポンプ３００が標準液２１０を１ｍＬ／分の汲み上げ速度で汲み上げるようにポンプ３００を制御する。このように、制御部６００は、ポンプ３００が容器２００から標準液２１０を汲み上げる汲み上げ速度を、分析対象液ライン１００が超純水を送液する送液速度の所定の割合（例えば、１００分の１）以下となるように制御する。これにより、超純水を用いた標準液２１０の希釈倍率が所定の倍率（例えば、１００倍）以上となる。標準液２１０が希釈されることにより、標準液２１０に汚染や濃度の誤差があっても希釈倍率が高いほどその寄与が小さくなり、より正確な濃度の標準液を調製することができる。なお、標準液２１０のＴＯＣ濃度が１００ｐｐｂ－Ｃよりも高いものを使用しても良い。その場合は、制御部６００は、ポンプ３００が標準液２１０を汲み上げる速度を１ｍＬ／分よりも遅い速度に制御する。また、ポンプ３００が標準液２１０を汲み上げる速度（性能）が固定である場合、標準液２１０のＴＯＣ濃度を調整して、混合部４００が混合した後の液体のＴＯＣ濃度が所定の値以下になるようにする。制御部６００は、少なくともポンプ３００の汲み上げ動作を停止させるか、作動させるかの機能を具備する。制御部６００は、外部から受け付けた操作に基づいた情報を入力し、入力した情報に基づいた制御を行うものでも良い。また、制御部６００は、他の装置から送信されてきた信号を受信し、受信した信号が示す情報に基づいた制御を行うものでも良い。また、制御部６００は、入力した情報または受信した信号が示す情報について所定の処理を行い、その処理の結果にしたがって制御を行うものでも良い。
ＴＯＣ計５００は、分析対象液となる液体の全有機炭素濃度の測定を行う測定装置である。ＴＯＣ計５００は、供給された液体に対して有機物分解を行い、その前後の電気伝導率や比抵抗値を応答値として出力し、その応答値の差（出力値）から全有機炭素濃度を算出するための検量線を作成する機能を有する。ＴＯＣ計５００は、混合部４００で混合された検量線液内の有機物を分解し、有機物が分解された液体の電気伝導率または比抵抗を測定し、測定した電気伝導率または比抵抗に基づいて、上述した検量線を用いて液体の全有機炭素濃度を算出する。ＴＯＣ計５００は、周期的に測定を行う連続式全有機炭素計である。この周期は、あらかじめ設定されていても良いし、外部から設定可能な周期でも良い。また、連続式とは、ＴＯＣ計５００に動作を開始させると動作の終了の指示を入力しない限り、測定を続けるものであって、その測定が所定のタイミングごとに行われるものである。ＴＯＣ計５００は、全有機炭素濃度の測定範囲が０．１～５００ｐｐｂ－Ｃである測定装置である。図１に示した検量線液製造システムと、ＴＯＣ計５００とから、測定システムを構成する。
補正部７００は、ポンプ３００が無い状態（または制御部６００がポンプ３００の標準液２１０の汲み上げを停止させた状態）でＴＯＣ計５００が測定した第１の出力値と、制御部６００がポンプ３００の汲み上げを作動させた状態でＴＯＣ計５００が測定した第２の出力値とから、標準添加法を用いて、ＴＯＣ計５００が作成した検量線を補正する。具体的には、補正部７００は、標準添加法を用いて得られた超純水の全有機炭素濃度を、ポンプ３００が汲み上げて超純水を用いて希釈された標準液２１０の全有機炭素濃度に加算して、ＴＯＣ計５００が作成した検量線を補正する。補正部７００は、ＴＯＣ計５００に具備されていても良い。
図２は、図１に示した補正部７００が検量線を補正する方法の一例を説明するための図である。図２において、ｘ軸は、ポンプ３００が汲み上げた標準液２１０のＴＯＣ濃度を示す（０は、ポンプ３００による標準液２１０の汲み上げが無いことを示す）。ｙ軸は、ＴＯＣ計５００の出力値を示す。補正部７００は、少なくともポンプ３００による添加濃度が０である場合の１点（第１の濃度）と、ポンプ３００による添加濃度が０ではない場合の１点（第２の濃度）との合計２点、好ましくはポンプ３００による添加濃度が０である場合の１点と、ポンプ３００による添加濃度が０ではない場合の２点以上の合計３点以上のＴＯＣ濃度についてＴＯＣ計５００が出力した値を用いる。図２に示したグラフ上では、ポンプ３００による添加濃度が０である場合（ポンプ３００の動作を停止した状態）と、ポンプ３００によって汲み上げられた標準液２１０が希釈された後のＴＯＣ濃度が０．５ｐｐｂ－Ｃである場合と、ＴＯＣ濃度が１．０ｐｐｂ－Ｃである場合との３点の出力値をプロットしている。プロットされた３点を結ぶ直線を実線で表す。ポンプ３００による添加濃度が０（ｘ＝０）である場合、分析対象液ライン１００からの超純水にもＴＯＣが含まれるため、ＴＯＣ計５００の測定値は０（ｙ＝０）とならない。そこで、補正部７００は、標準添加法を用いて、実線を延長し（破線で表す）、ｘ軸との交点を求める。ｘ軸との交点の座標と０との間の距離に応じた濃度が超純水のＴＯＣ濃度となる。補正部７００は、この超純水のＴＯＣ濃度分、実線部分と破線部分との検量線をｘ軸の正方向へ移動させる。移動させた直線を一点鎖線で表す。この一点鎖線が補正後の検量線となる。
図３は、ＴＯＣ濃度が高濃度域で検量線を作成した場合の出力値の一例を示す図である。図３に示した出力値は、ＴＯＣ計５００がＴＯＣ濃度を算出するために測定する電気伝導率、比抵抗またはそれらに限らず他の値であって、ＴＯＣ濃度を算出する際に用いる値である。以下に説明する図４についても同じである。図３は、装置の測定誤差が１％以内である場合を示す。図３に示すように、標準液のＴＯＣ濃度が５００ｐｐｂ－Ｃである場合の理論上の出力値は５００であるが、実際の出力値は５０２となる。また、標準液のＴＯＣ濃度が１０００ｐｐｂ－Ｃである場合の理論上の出力値は１０００であるが、実際の出力値は９９７となる。また、標準液のＴＯＣ濃度が１５００ｐｐｂ－Ｃである場合の理論上の出力値は１５００であるが、実際の出力値は１４９４となる。これらの結果をグラフにすると、図３の下図のように示され、このＴＯＣ濃度（ｘ）と出力値（ｙ）との関係式（検量線）は、ｙ＝０．９９２ｘ＋５．６６６７となる。この検量線から、ＴＯＣ濃度が低濃度である１ｐｐｂ－Ｃであるときの出力値を算出すると、６．６５８７となり、大きな誤差が生じてしまう。このように、高濃度の標準液を使用して作成した検量線を用いて低濃度の測定をして得られた出力値を変換すると、当該変換で得られる測定値は信頼性の低い値となってしまう。
図４は、ＴＯＣ濃度が低濃度域で検量線を作成した場合の出力値の一例を示す図である。図４は、装置の測定誤差が１％以内である場合を示す。図４に示すように、標準液のＴＯＣ濃度が０．５ｐｐｂ－Ｃである場合の理論上の出力値は０．５であるが、実際の出力値は０．５２となる。また、標準液のＴＯＣ濃度が１．０ｐｐｂ－Ｃである場合の理論上の出力値は１．０であるが、実際の出力値は０．９９７となる。また、標準液のＴＯＣ濃度が１．５ｐｐｂ－Ｃである場合の理論上の出力値は１．５であるが、実際の出力値は１．４９４となる。これらの結果をグラフにすると、図４の下図のように示され、このＴＯＣ濃度（ｘ）と出力値（ｙ）との関係式（検量線）は、ｙ＝０．９９２ｘ＋０．００５７となる。この検量線から、ＴＯＣ濃度が低濃度である１ｐｐｂ－Ｃであるときの出力値を算出すると、０．９９７７となり、誤差が小さくなる。このように、測定対象濃度付近の標準液を使用して作成した検量線を用いて、測定をして得られた出力値を変換すると、当該変換で得られる測定値は信頼性の高い値となる。
このように、低いＴＯＣ濃度を測定するために使用される測定装置の検量線は、検量線を用いて得られる測定値の信頼性が高いものとするために、低濃度の標準液を用いて作成される必要がある。しかしながら、一般的に標準液は、調製してから使用するまでに環境から汚染されるおそれがある。例えば、環境からの汚染によるＴＯＣ濃度の増加が５ｐｐｂ－Ｃであると仮定すると、低濃度５ｐｐｂ－Ｃの標準液を調製しても、環境により使用時にはＴＯＣ濃度が１０ｐｐｂ－Ｃになってしまう。ＴＯＣ濃度の増加の割合は１００％となる。一方で、一般的に用いられているＴＯＣ濃度２５０ｐｐｂ－Ｃの標準液を調製した場合、環境により使用時にはＴＯＣ濃度が２５５ｐｐｂ－Ｃになる。ＴＯＣ濃度の増加の割合は２％となる。このように、低濃度の標準液を調製して使用することが好ましいが、低濃度の標準液はその濃度の誤差が大きくなるため難しい。このため、標準液は、調製時には一般的に用いられているＴＯＣ濃度の標準液を使用し、測定装置へ供給する際に、この標準液を低濃度に希釈して使用することが必要となる。そこで、本発明を用いて、一般的に用いられているＴＯＣ濃度と同等のＴＯＣ濃度の標準液を、分析対象液ラインから超純水が送液される送液速度と当該標準液をポンプで汲み上げる速度とを調整して、超純水と混合し、混合した後の液体のＴＯＣ濃度が低濃度となるように希釈して、インラインで測定装置へ供給する。さらに、標準液と混合する超純水に含まれるＴＯＣ濃度を考慮するために、標準添加法によって得られた分析対象液のＴＯＣ濃度を用いて検量線を補正する。これにより、低濃度域（例えば、１ｐｐｂ－Ｃ以下）のＴＯＣ濃度を測定するにあたって、測定誤差の少ない検量線を作成することができる。
図５は、本発明の検量線液製造システムの適用例を示す図である。図５に示した例では、超純水槽１０と、ポンプ２０と、熱交換器３０と、紫外線酸化装置３１と、非再生型イオン交換装置３２と、膜脱気装置３３と、限外ろ過装置３４と、流量計４０と、分析対象液ライン１００と、標準液２１０が貯留された容器２００と、ポンプ３００と、制御部６００と、混合コイル４１０と、ＴＯＣ計５００と、補正部７００とが設けられている。
超純水が超純水槽１０からポンプ２０を用いて熱交換器３０へ供給され、熱交換器３０から紫外線酸化装置３１、非再生型イオン交換装置３２、膜脱気装置３３および限外ろ過装置３４を経由して分析対象液ライン１００へ送液される。分析対象液ライン１００には流量計４０が設けられている。それぞれが水処理装置である熱交換器３０、紫外線酸化装置３１、非再生型イオン交換装置３２、膜脱気装置３３および限外ろ過装置３４それぞれにおける処理は、一般的な水処理システムにおけるものと同じである。
また、流量計４０、容器２００、標準液２１０、ポンプ３００、制御部６００、ＴＯＣ計５００および補正部７００のそれぞれは、図１に示したものとそれぞれ同じものである。混合コイル４１０は、図１に示した混合部４００に相当する。混合コイル４１０は、分析対象液ライン１００から送液されてきた超純水に、ポンプ３００が汲み上げた標準液２１０を混合して、標準液２１０を希釈する。
以上、各構成要素を個別に説明したが、その構成は任意に組み合わせたものであっても良いし、これらを１つまたは複数の装置に分担させても良い。例えば、上述したように補正部７００がＴＯＣ計５００に具備されていても良いし、制御部６００および補正部７００がＴＯＣ計５００に具備されていても良い。また、制御部６００および補正部７００が、ＴＯＣ計５００とは別の装置に具備されており、その装置とＴＯＣ計５００とが通信を行って、信号のやり取りを行っても良い。さらに、本システムが、一般的な超純水製造装置や水処理装置（例えば、限外ろ過装置）を具備しても良い。
１０ 超純水槽
２０，３００ ポンプ
３０ 熱交換器
３１ 紫外線酸化装置
３２ 非再生型イオン交換装置
３３ 膜脱気装置
３４ 限外ろ過装置
４０ 流量計
１００ 分析対象液ライン
１１０ 標準液ライン
２００ 容器
２１０ 標準液
４００ 混合部
４１０ 混合コイル
５００ ＴＯＣ計
６００ 制御部
７００ 補正部

Claims (10)

  1. 検量線を用いて分析対象液の全有機炭素濃度を測定する測定装置に対して、前記検量線を作成するための検量線液を製造して供給する検量線液製造システムであって、
    前記測定装置へ希釈液を送液する第１の送液ラインと、
    前記第１の送液ラインに標準液を送液する第２の送液ラインと、
    前記第１の送液ラインに設けられ、前記希釈液と前記標準液とを混合して前記標準液を希釈する混合部と、を有し、
    前記混合部で混合された前記希釈液と前記標準液との混合液を前記検量線液として前記測定装置に供給する、検量線液製造システム。
  2. 請求項１に記載の検量線液製造システムにおいて、
    前記第２の送液ラインに設けられ、前記第１の送液ラインへ前記標準液を供給するポンプと、
    前記ポンプの供給量を制御する制御部と、を有し、
    前記制御部は、前記第１の送液ラインにおける前記希釈液の送液速度および前記標準液の全有機炭素濃度に基づいて、前記検量線液の全有機炭素濃度が所定値以下となるように、前記ポンプを制御する検量線液製造システム。
  3. 請求項２に記載の検量線液製造システムにおいて、
    前記所定値が１００ｐｐｂ－Ｃである、検量線液製造システム。
  4. 請求項２または請求項３に記載の検量線液製造システムにおいて、
    前記制御部は、前記第１の送液ラインにおける前記希釈液の送液速度の１００分の１以下の送液速度で前記標準液が前記第１の送液ラインに供給されるように前記ポンプを制御する検量線液製造システム。
  5. 請求項２または請求項３に記載の検量線液製造システムにおいて、
    前記制御部が前記ポンプを停止させて前記測定装置に前記希釈液が送液される状態で前記測定装置が測定した第１の濃度と、前記制御部が前記ポンプを作動させて前記測定装置に前記検量線液が送液される状態で前記測定装置が測定した第２の濃度とから、標準添加法を用いて得られた前記希釈液の全有機炭素濃度に基づいて、前記測定装置が作成した検量線を補正する補正部を有する検量線液製造システム。
  6. 請求項５に記載の検量線液製造システムにおいて、
    前記補正部は、前記標準添加法を用いて得られた前記希釈液の全有機炭素濃度を、前記ポンプが作動して前記希釈液を用いて希釈された標準液の全有機炭素濃度に加算して、前記測定装置が作成した検量線を補正する検量線液製造システム。
  7. 請求項１から３のいずれか１項に記載の検量線液製造システムにおいて、
    前記混合部が混合した液体内の有機物を分解し、該有機物が分解された液体の電気伝導率または比抵抗を測定し、該測定した電気伝導率または比抵抗に基づいて前記液体の全有機炭素濃度を算出する前記測定装置の検量線を作成するための検量線液を製造する検量線液製造システム。
  8. 請求項１から３のいずれか１項に記載の検量線液製造システムにおいて、
    前記測定装置は、全有機炭素濃度の測定範囲が０．１～５００ｐｐｂ－Ｃである検量線液製造システム。
  9. 請求項１から３のいずれか１項に記載の検量線液製造システムと、
    前記測定装置とを有する測定システム。
  10. 検量線を用いて分析対象液の全有機炭素濃度を測定する測定装置に対して、前記検量線を作成するための検量線液を製造して供給する検量線液製造方法であって、
    前記測定装置への第１の送液ラインに送液された希釈液と、標準液を送液する第２の送液ラインから前記第１の送液ラインに送液された前記標準液とを混合して前記標準液を希釈し、
    前記混合された前記希釈液と前記標準液との混合液を前記検量線液として前記測定装置に供給する、検量線液製造方法。
JP2022083008A 2022-05-20 2022-05-20 検量線液製造システム、測定システムおよび検量線液製造方法 Pending JP2023170910A (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2022083008A JP2023170910A (ja) 2022-05-20 2022-05-20 検量線液製造システム、測定システムおよび検量線液製造方法
PCT/JP2023/010083 WO2023223649A1 (ja) 2022-05-20 2023-03-15 検量線液製造システム、測定システムおよび検量線液製造方法
TW112115689A TW202407314A (zh) 2022-05-20 2023-04-27 檢量線液製造系統、測定系統及檢量線液製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2022083008A JP2023170910A (ja) 2022-05-20 2022-05-20 検量線液製造システム、測定システムおよび検量線液製造方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2023170910A true JP2023170910A (ja) 2023-12-01

Family

ID=88835195

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2022083008A Pending JP2023170910A (ja) 2022-05-20 2022-05-20 検量線液製造システム、測定システムおよび検量線液製造方法

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JP2023170910A (ja)
TW (1) TW202407314A (ja)
WO (1) WO2023223649A1 (ja)

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63246661A (ja) * 1987-03-31 1988-10-13 Shimadzu Corp 燃焼式水質分析計
JPH0894639A (ja) * 1994-09-26 1996-04-12 Fujitsu Ltd 分析装置及び分析方法
JP3320050B2 (ja) * 1999-11-26 2002-09-03 東亜ディーケーケー株式会社 有機炭素含量の測定方法及び測定装置
JP2002210454A (ja) * 2001-01-19 2002-07-30 Japan Organo Co Ltd 冷却水系における水処理用薬品の濃度管理方法及び装置
JP4538604B2 (ja) * 2004-09-21 2010-09-08 独立行政法人産業技術総合研究所 光反応管内蔵型光反応装置及びこれを用いる水質モニタリング装置
EP3146315B1 (en) * 2014-05-23 2019-11-27 Hach Company Measurement of total organic carbon
CN208705151U (zh) * 2018-09-10 2019-04-05 浙江省方正校准有限公司 一种在线toc水质监测仪检定用标准液体稀释装置

Also Published As

Publication number Publication date
TW202407314A (zh) 2024-02-16
WO2023223649A1 (ja) 2023-11-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5405042B2 (ja) エッチング液調合装置及びエッチング液濃度測定装置
JP5961112B2 (ja) 液体混合物の調製方法及びシステム
CN105974081A (zh) 一种在线水质监测仪器、运维终端及云系统
JP3741811B2 (ja) アルカリ現像原液の希釈方法および希釈装置
JP2008039486A (ja) 電解質分析装置及びその測定データ処理方法
WO2023223649A1 (ja) 検量線液製造システム、測定システムおよび検量線液製造方法
WO2018179503A1 (ja) 規定濃度水の供給方法及び装置
US20220184571A1 (en) Dilute chemical solution production device
US8888989B2 (en) Method and apparatus for electrolyte measurements
KR20140095311A (ko) 시료의 혼합장치와 시료의 혼합방법 및 이를 이용한 수질분석장치와 수질분석방법
JP2013108916A (ja) 超純水中の微量過酸化水素の濃度測定方法
JP2004085263A (ja) 金属水溶液自動希釈装置
KR20060095640A (ko) 약액 혼합 공급 장치 및 방법
EP4166929A1 (en) Water quality analyzer and water quality analysis method
JP2020529026A (ja) リアルタイム電気化学検知を使用してモノクロラミン生成において１つ以上の成分値を調節する方法
CN211800636U (zh) 一种次氯酸钠溶液自动配制和充装装置
CN211718259U (zh) 水质分析仪
CN201046385Y (zh) 将化学品原液量稀释的装置
JPH0666783A (ja) ステンレス鋼酸洗浄液中の硝酸、弗酸の濃度測定方法および濃度測定装置
JPH02118445A (ja) リン酸濃度測定装置
JP7492540B2 (ja) 電解質分析装置
CN115613018A (zh) 铜箔防氧化处理系统及处理方法
JP2010243200A (ja) 過酸化水素含有水溶液中の過酸化水素濃度の測定方法
JPH11304711A (ja) 水中の３態窒素分析における自動校正方法及び装置
JPH05256844A (ja) 液体中のアンモニア濃度測定方法