JP2023147552A - 拡張保持リング取り外し治具及び拡張保持リング取り外し方法 - Google Patents

Abstract

【課題】拡張保持リングを傷つけることなく拡張保持リングをフレームから取り外すことが可能な拡張保持リング取り外し治具及び拡張保持リング取り外し方法を提供する。
【解決手段】拡張保持リング１００を外嵌保持する環状の保持溝２４と、保持溝２４よりも内側に設けられ、拡張保持リング１００により拡張状態となっているダイシングテープ４を支持するシート支持面２６と、を有するベース部材１２と、シート支持面２６に対向する位置に設けられたシート押え面３４を有するシート押え部材１４と、を備え、ベース部材１２は、保持溝２４よりも内側の位置であり、且つ、シート押え面３４によるダイシングテープ４の押さ位置よりも外側の位置にカッター１６を逃がすための環状の逃がし溝３８を有する。
【選択図】図４

Description

本発明は、拡張保持リング取り外し治具及び拡張保持リング取り外し方法に係り、特にダイシングテープの拡張状態を保持する拡張保持リングをダイシングフレームから取り外すための拡張保持リング取り外し治具及び拡張保持リング取り外し方法に関する。

従来、半導体チップ（以下、チップと言う。）の製造にあたり、例えば、レーザ照射等によりその内部に分割予定ラインが予め加工された半導体ウェーハ（以下、ウェーハと言う。）を、分割予定ラインに沿って個々のチップに分割（個片化とも言う。）するワーク分割装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

ウェーハは、ダイシングテープに貼付されており、ダイシングテープはダイシングフレーム（以下、フレームと言う。）に外周部が固定されている。ワーク分割装置は、エキスパンドリングによってダイシングテープを拡張してウェーハを個々のチップに分割し、その後、ダイボンダーによるチップの取り外しを行うために、拡張保持リングによってダイシングテープを拡張状態で保持する。

また、特許文献２に開示された拡張保持リングは、外径がフレームの内径よりも小さく、内径がエキスパンドリングの外径よりも大きい本体リングと、本体リングの外周部に装着されて、外径がフレームの内径よりも大きい弾性変形可能な樹脂製の嵌合部（以下、リップ部と言う。）と、を有している。

特開２０２１－１７６２０１号公報 特開２０２１－６４８１１号公報

ところで、ダイボンダーによるチップの取り外し作業が完了すると、拡張保持リングを繰り返し使用するために、拡張保持リングをフレームから取り外す作業が行われる。この取り外し作業は、作業者がナイフ等の切断刃を使用して、フレームとリップ部との間に位置するダイシングテープをリップ部に沿って切断することで実施している。しかしながら、このような取り外し作業では、切断刃によってリップ部を傷つける場合がある。

本発明は、このような問題に鑑みて成されたものであり、拡張保持リングを傷つけることなく拡張保持リングをフレームから取り外すことが可能な拡張保持リング取り外し治具及び拡張保持リング取り外し方法を提供することを目的とする。

本発明の拡張保持リング取り外し治具は、本発明の目的を達成するために、環状のフレームに貼り付けられたシートの拡張状態を保持するためにフレームの内側に嵌合させて装着された状態の拡張保持リングを、フレームから取り外すための拡張保持リング取り外し治具であって、拡張保持リングを外嵌保持する環状の保持溝と、保持溝よりも内側に設けられ、拡張保持リングにより拡張状態となっているシートを支持するシート支持面と、を有するベース部材と、シート支持面に対向する位置に設けられたシート押え面を有するシート押え部材と、を備え、ベース部材は、保持溝よりも内側の位置であり、且つ、シート押え面によるシートの押え位置よりも外側の位置に、シート切断用の切断刃を逃がすための環状の逃がし溝を有する。

本発明の一形態は、シート支持面及びシート押え面は、環状に形成されることが好ましい。

本発明の一形態は、シート押え部材は、ベース部材に開閉自在に取り付けられることが好ましい。

本発明の一形態は、切断刃は、シート押え部材に設けられることが好ましい。

本発明の一形態は、シート押え部材は、切断刃を逃がし溝に沿って移動させる切断刃移動機構を有することが好ましい。

本発明の一形態は、切断刃移動機構は、シート押え部材に回転自在に設けられ、回転されることにより切断刃を逃がし溝に沿って移動させる回転板と、回転板の外周部に当接して回転板を回転方向に案内するガイド部材と、を有することが好ましい。

本発明の拡張保持リング取り外し方法は、本発明の目的を達成するために、環状のフレームに貼り付けられたシートの拡張状態を保持するためにフレームの内側に嵌合させて装着された状態の拡張保持リングを、フレームから取り外すための拡張保持リング取り外し方法であって、拡張保持リングを保持する保持工程と、拡張保持リングの内側に位置するシートを挟持してシートを固定する固定工程と、拡張保持リングとシートの固定位置との間に位置するシートを切断する切断工程と、フレームから拡張保持リングを分離する分離工程と、を有する。

本発明によれば、拡張保持リングを傷つけることなく拡張保持リングをフレームから取り外すことが可能となる。

実施形態に係る取り外し治具を上方側から見た斜視図である。 図１に示した取り外し治具を下方側から見た斜視図である。 図１に示した取り外し治具の組立斜視図である。 図１に示した取り外し治具の要部拡大断面図である。 拡張保持リングの全体斜視図である。 図５に示した拡張保持リングの組立斜視図である。 図５に示した拡張保持リングの断面図である。 ダイシングテープを備えたウェーハユニットの説明図である。 ワーク分割装置の概略構成を示した説明図である。 実施形態の取り外し治具の半断面図である。 図１０に示したＡ部の拡大断面図である。 図１０に示したＢ部の拡大断面図である。 拡張保持リングをフレームから取り外した状態を示した説明図である。 拡張保持リング取り外し方法の一例を示したフローチャートである。

以下、添付図面に従って本発明に係る拡張保持リング取り外し治具及び拡張保持リング取り外し方法の実施形態について説明する。

図１は、実施形態に係る拡張保持リング取り外し治具（以下、「取り外し治具」と言う。）１０を上方側から見た斜視図である。図２は、図１に示した取り外し治具１０を下方側から見た斜視図である。図３は、図１に示した取り外し治具１０の組立斜視図である。図４は、図１に示した取り外し治具１０の要部拡大断面図である。

図１乃至図４に示すように、実施形態の取り外し治具１０は、ベース部材１２と、シート押え部材１４と、カッター１６と、カッター移動機構１８とを備えている。

ここで、図１乃至図４に示した取り外し治具１０の取り外し対象となる拡張保持リング１００の一例について説明する。図５は、拡張保持リング１００の全体斜視図である。図６は、図５に示した拡張保持リング１００の組立斜視図である。また、図７は、図５に示した拡張保持リング１００の断面図である。

図５乃至図７に示すように、拡張保持リング１００は、リング本体１０２とリング状のリップ部１０４とを備えている。リング本体１０２は、例えば剛性の高い樹脂製又は金属製である。また、リップ部１０４は、リング本体１０２の外周面１０２Ａに装着されており、リング本体１０２の外周面１０２Ａから外側に向かって突出されている。

リップ部１０４は、例えば弾性変形可能な樹脂製である。リップ部１０４を構成する樹脂材料としては、一例としてポリプロピレンを挙げることができるが、ポリプロピレンに限定されるものではなく、柔軟性を有する樹脂材料であれば適用可能である。なお、拡張保持リングとして、本例ではリング本体１０２とリップ部１０４とが別体で構成された拡張保持リング１００を例示したが、これに限定されるものではなく、リング本体１０２とリップ部１０４とが一体で構成された拡張保持リングであってもよい。

次に、拡張保持リング１００が適用されるウェーハユニット２の一例について説明する。図８は、ウェーハユニット２の一例を示す説明図であり、図８のＶＩＩＩＡはウェーハユニット２の斜視図であり、図８のＶＩＩＩＢはウェーハユニット２の断面図である。このウェーハユニット２は、上記の拡張保持リング１００によって拡張状態で保持されるダイシングテープ４を備えている。

図８に示すように、ウェーハユニット２は、ウェーハ１、フィルム状接着材３、ダイシングテープ４及びフレーム５を有している。ウェーハ１は、表面に粘着層が形成された厚さ１００μｍ程度のダイシングテープ４に、フィルム状接着材３を介して貼付されている。ダイシングテープ４は、剛性のある環状のフレーム５に外周部が貼り付けられている。また、ダイシングテープ４は、ウェーハ１が貼り付けられる平面視円形状の中央部領域４Ａと、中央部領域４Ａの外縁部（ウェーハ１の外縁部）とフレーム５の内縁部との間の平面視ドーナツ形状の環状部領域４Ｂと、を有している。ウェーハ１は、ウェーハユニット２の状態でワーク分割装置７０（図９参照）に搬入され、ワーク分割装置７０によって個々のチップ６に分割される。

図９は、ワーク分割装置７０の概略構成を示した説明図である。以下、ワーク分割装置７０によるチップ分割動作について簡単に説明する。

まず、図９のＩＸＡで示すように、ウェーハユニット２のフレーム５をワーク分割装置７０のフレーム固定部７２に固定する。次に、エキスパンドリング７４を上昇させてダイシングテープ４の裏面（ウェーハ１が貼付されている表面とは反対側の面）側からダイシングテープ４の環状部領域４Ｂを突き上げる。このエキスパンドリング７４の上昇動作によってダイシングテープ４が拡張され、ウェーハ１が個々のチップ６に分割される（図９のＩＸＢ参照）。なお、環状部領域４Ｂを突き上げるエキスパンドリング７４の上面には、環状部領域４Ｂとの間の摩擦力を低減するためにローラ７６が回動自在に設けられている。

次に、図９のＩＸＢで示すように、拡張保持リング１００を上昇させて、リップ部１０４をフレーム５の表面５Ａに環状部領域４Ｂを介して嵌合させる（図９のＩＸＣ参照）。この拡張保持リング１００の上昇動作によって、ダイシングテープ４が拡張状態で保持される。次に、図９のＩＸＣに示すように、エキスパンドリング７４を下降させる。このとき、ダイシングテープ４は、エキスパンドリング７４による拡張は解除されるが、フレーム５の内側に拡張保持リング１００が嵌合されて装着されているので、弛むことなく拡張状態で保持される。

拡張保持リング１００によってダイシングテープ４が拡張状態で保持されたウェーハユニット２は、フレーム固定部７２から取り外されて、ワーク分割装置７０からダイボンダー（不図示）に搬入され、ダイボンダーによってダイシングテープ４からチップ６が取り外される。なお、図３には、チップ６が取り外されたウェーハユニット２が示されている。図３に示したウェーハユニット２において、拡張保持リング１００（図９のＩＸＣ参照）はダイシングテープ４の裏側に配置されている。この拡張保持リング１００は、実施形態の取り外し治具１０（図１等参照）によってフレーム５から取り外される。

図１乃至図４に戻って、実施形態の取り外し治具１０について引き続き説明する。取り外し治具１０は、既述したようにベース部材１２と、シート押え部材１４と、カッター１６と、カッター移動機構１８と、を備えている。

ベース部材１２は、本発明のベース部材の一例であり、本例では台座２０と、台座２０上に固定されたベース部本体２２と、を有している。台座２０は、平面視矩形状の板状体であり、その表面には軽量化を図るための複数の開口部２０Ａが形成されている。ベース部本体２２は、環状に構成されており、ベース部本体２２の中心軸Ｐを台座２０の中心に合わせた位置で台座２０上に固定されている。

図４に示すように、ベース部本体２２には、図３に示したウェーハユニット２が装着される。なお、図４では、ウェーハユニット２のダイシングテープ４が後述するシート押え部材１４によってベース部本体２２に押えつけられ、且つ、ダイシングテープ４が後述するシート切断用のカッター１６によって切断されている状態が示されている。

図４に示すように、ベース部本体２２は、ベース部本体２２の外径がウェーハユニット２のフレーム５の内径よりも小さく構成されている。また、ベース部本体２２は、ベース部本体２２の上面側に、拡張保持リング１００を外嵌保持する保持溝２４と、保持溝２４よりも内側に設けられ、拡張保持リング１００により拡張状態となっているダイシングテープ４を支持するシート支持面２６と、を備えている。保持溝２４及びシート支持面２６は、それぞれ中心軸Ｐ（図１参照）を中心とした環状に形成されている。したがって、保持溝２４に拡張保持リング１００が外嵌保持された場合、拡張保持リング１００は、拡張保持リング１００の中心軸が中心軸Ｐに合致された状態で保持溝２４に外嵌保持される。保持溝２４は、本発明の保持溝の一例であり、シート支持面２６は、本発明のシート支持面の一例である。

図４に示すように、保持溝２４は、ベース部本体２２の外周部に形成され、且つ、上記のシート支持面２６に対して拡張保持リング１００（リング本体１０２）の厚みＴ分だけ下方に下がった位置に形成されている。これにより、拡張保持リング１００に対してダイシングテープ４を上側にした状態で拡張保持リング１００が保持溝２４に外嵌保持されると、拡張保持リング１００のリング本体１０２の上面とシート支持面２６とが面一となることから、ダイシングテープ４はシート支持面２６に平坦な状態で支持される。また、保持溝２４の内壁面として形成された段差面２８は、下方に向けて拡径するテーパ面として構成され、このテーパ面にリング本体１０２の内周面１０３のテーパ面が嵌合されている。このような構成により、拡張保持リング１００が保持溝２４に外嵌保持されて、ウェーハユニット２がベース部本体２２に装着される。

図１乃至図４に示すように、本例のシート押え部材１４は、シート押え本体３０と、シート押え本体３０を支持する蓋部材３２と、を有する。シート押え本体３０は、円盤状に構成されている。また、蓋部材３２は、矩形状に構成されており、蓋部材３２の中央部には開口部３２Ａが形成され、この開口部３２Ａから後述するカッター移動機構１８が露出して配置されている。

図４に示すように、シート押え本体３０は、シート支持面２６に対向する位置に環状のシート押え面３４を有している。このシート押え面３４は、シート押え本体３０の下面の外周部に環状に突設した凸部３６の下面に形成されている。シート支持面２６に支持されたダイシングテープ４は、シート押え面３４が上側（ダイシングテープ４のシート支持面２６とは反対側）からダイシングテープ４に当接することによって、シート押え面３４によりシート支持面２６に押えつけられた状態となる。シート押え面３４は、本発明のシート押え面の一例である。

図４に示すように、ベース部本体２２の上面は、カッター１６を逃がすための環状の逃がし溝３８を有している。この逃がし溝３８は、保持溝２４よりも内側の位置であり、且つ、シート押え面３４によるダイシングテープ４の押え位置よりも外側の位置に形成されている。また、逃がし溝３８は、中心軸Ｐを中心とした円環状に形成されている。逃がし溝３８は、本発明の逃がし溝の一例である。

図１０は、取り外し治具１０の半断面図である。図１１は、図１０に示したＡ部の拡大断面図である。図１２は、図１０に示したＢ部の拡大断面図である。以下、図１０乃至図１２を用いて、シート押え部材１４、カッター１６及びカッター移動機構１８の構成について詳しく説明する。

図１０及び図１１に示すように、シート押え本体３０は、シート押え本体３０の上面の中央部に軸４０が上方に向けて突設されている。この軸４０には、カッター移動機構１８を構成する回転板４２が軸受４４を介して取り付けられている。これにより、シート押え本体３０と回転板４２は、軸４０を中心に相対的に回転可能に連結される。

図１０及び図１２に示すように、回転板４２は、回転板４２の外周部がガイドローラ４６に摺動自在に係合されている。このガイドローラ４６は、蓋部材３２の下面から下方に突設された軸４８に軸支されている。また、ガイドローラ４６と軸４８とを有するガイド部材５０は、例えば、軸４０を中心とする同心円上の位置に等間隔で３箇所に配置されている。このような構成により、シート押え本体３０は、軸受４４、回転板４２及び各ガイド部材５０を介して蓋部材３２に支持される。また、回転板４２は、蓋部材３２に対して軸４０を中心に相対的に回転可能に支持される。カッター移動機構１８は、本発明の切断刃移動機構の一例である。回転板４２は、本発明の回転板の一例である。ガイド部材５０は、本発明のガイド部材の一例である。

図１及び図２に示すように、蓋部材３２は、一対のヒンジ５２を介して台座２０に開閉自在に取り付けられる。これにより、ベース部材１２に対してシート押え部材１４が開閉自在に構成されている。図１及び図２には、シート押え部材１４が開かれた場合の状態（以下、開状態と言う。）が示され、図１０乃至図１２には、シート押え部材１４が閉じられた場合の状態（以下、閉状態と言う。）が示されている。

図１０乃至図１２に示す閉状態において、シート押え部材１４は、ベース部本体２２の中心軸Ｐに軸４０の軸心が合致する位置に台座２０に取り付けられている。これにより、閉状態において回転板４２は、中心軸Ｐを中心に回転される。したがって、閉状態の回転板４２は、ベース部本体２２に装着されたウェーハユニット２に対し、拡張保持リング１００の中心軸を中心に回転される。なお、図２に示すように、蓋部材３２の下面には、脚部５４が下方に向けて突設されている。この脚部５４は、軸４０を中心とする同心円上の位置に等間隔で４箇所に配置されている。各脚部５４は、上記の閉状態時において台座２０の上面に当接する。これにより、シート押え部材１４の閉状態が安定的に維持される。

図１０及び図１２に示すように、本発明の切断刃の一例であるカッター１６は、回転板４２の外周部に取り付けられる。また、カッター１６は、閉状態においてベース部本体２２の逃がし溝３８にカッター１６の下端１６Ａが挿入可能な位置に回転板４２に取り付けられている。具体的に説明すると、回転板４２の径方向における軸４０の軸心からカッター１６までの距離が、ベース部本体２２の径方向における中心軸Ｐから逃がし溝３８（例えば、逃がし溝３８の中央位置）までの距離に設定されている。このような構成により、カッター１６は、シート押え部材１４の開状態から閉状態への移動により逃がし溝３８に向けて移動していき、閉状態のときに下端１６Ａが逃がし溝３８に挿入される。つまり、図４の如く、ベース部本体２２の保持溝２４に拡張保持リング１００が外嵌保持されている場合、拡張保持リング１００の内側に位置する逃がし溝３８上のダイシングテープ４がカッター１６の下端１６Ａによって突き破られる。

図１２に示すように、カッター１６は、カッター支持部５６を介して操作ツマミ５８に連結されている。カッター支持部５６は、回転板４２の開口部４２Ａに貫通配置されたパイプ６０内に挿入配置され、パイプ６０の軸方向に沿って移動自在に取り付けられている。なお、パイプ６０の軸方向は中心軸Ｐ（図１参照）と平行である。また、カッター支持部５６は、パイプ６０内に配置されたコイルスプリング６２を介してパイプ６０に支持されている。図１２に示すカッター１６は、操作ツマミ５８の矢印Ｃで示す押下操作により、下端１６Ａがパイプ６０の下部開口部から下方に突出した状態が示されているが、操作ツマミ５８を押下操作しない状態では、コイルスプリング６２の付勢力によりパイプ６０内にカッター１６の全体が収容されている。したがって、本例のカッター１６は、シート押え部材１４を閉状態にした後に行われる操作ツマミ５８の押下操作よって逃がし溝３８内に挿入される。

次に、上記の如く構成された取り外し治具１０による拡張保持リング取り外し方法の一例について、図１４に示したフローチャートを参照して説明する。

まず、図１及び図２に示したように、シート押え部材１４を開状態にして、図３に示したウェーハユニット２をベース部本体２２に装着する。すなわち、図４に示したように、拡張保持リング１００を保持溝２４に外嵌保持させる（保持工程：Ｓ１０）。

次に、ヒンジ５２を利用してシート押え部材１４を閉じる（開状態から閉状態にする）。この動作によって、拡張保持リング１００の内側に位置するダイシングテープ４が、シート支持面２６とシート押え面３４とによって挟持されて固定される（固定工程：Ｓ２０）。その結果、拡張保持リング１００がベース部材１２に固定される。なお、この状態では、操作ツマミ５８は押下操作前なので、カッター１６はパイプ６０内に全体が収容されている。この後、操作ツマミ５８を押下操作すると、カッター１６がコイルスプリング６２の付勢力に抗してパイプ６０の下部開口部から下方に突出する。これにより、逃がし溝３８上のダイシングテープ４がカッター１６の下端１６Ａによって突き破られる（図４及び図１２参照）。

次に、操作ツマミ５８を押下操作した状態で、操作ツマミ５８を、カッター移動機構１８を利用して軸４０（中心軸Ｐ）を中心に回転させる。このとき、ダイシングテープ４をシート支持面２６に押えつけているシート押え本体３０は回転せず、回転板４２が軸４０（中心軸Ｐ）を中心に回転していく。これにより、カッター１６が逃がし溝３８に挿入された状態で逃がし溝３８に沿って移動していく。このカッター１６の移動動作によって拡張保持リング１００とダイシングテープ４の固定位置（シート支持面２６の位置）との間のダイシングテープ４が逃がし溝３８に沿って円形に切断されていく。そして、操作ツマミ５８を１回転させたところで操作ツマミ５８の回転操作を停止する。これにより、逃がし溝３８の内側に位置するダイシングテープ４Ｃ（図４参照）が、逃がし溝３８の外側の位置するダイシングテープ４Ｄ（図４参照）から切断される（切断工程：Ｓ３０）。

次に、操作ツマミ５８の押下操作を解除してカッター１６の全体をパイプ６０内に収容する。その後、シート押え部材１４を開く（閉状態から開状態にする）。このとき、逃がし溝３８の内側に位置していたダイシングテープ４Ｃは、シート押え面３４に接着されているため、シート押え部材１４を開く操作によりダイシングテープ４Ｄに対して上方に切り離される。これにより、ダイシングテープ４には、ダイシングテープ４Ｃの大きさに対応した円形の開口部が形成される。

次に、図４の位置にあるフレーム５を図４の位置から下方に向けて押し下げる。そうすると、図１３に示した要部拡大断面図の如く、ダイシングテープ４Ｄがフレーム５と共に押し下げられていき、ダイシングテープ４Ｄとフレーム５が拡張保持リング１００から分離する。すなわち、フレーム５から拡張保持リング１００が分離する（分離工程：Ｓ４０）。そして、保持溝２４に外嵌保持された拡張保持リング１００を保持溝２４から取り外す（取り外し工程：Ｓ５０）。この一連の操作によって、拡張保持リング１００をフレーム５から取り外すことができる。また、拡張保持リング１００の内側に位置するダイシングテープ４Ｃをカッター１６によって切断する構成を採用したので、拡張保持リング１００（特にリップ部１０４）を傷つけることなく、拡張保持リング１００をフレーム５から取り外すことができる。

以上の如く、実施形態の取り外し治具１０によれば、ベース部材１２とシート押え部材１４とを備え、ベース部材１２において、保持溝２４よりも内側の位置であり、且つ、シート押え面３４によるダイシングテープ４の押え位置よりも外側の位置にカッター１６を逃がすための環状の逃がし溝３８を有する構成を採用したので、カッター１６で拡張保持リング１００を傷つけることなく、拡張保持リング１００をフレーム５から取り外すことができる。また、カッター１６でフレーム５を傷つけることなく、拡張保持リング１００をフレーム５から取り外すことができる。

以下、実施形態の取り外し治具１０の幾つかの変形例について説明する。

〈第１変形例〉
実施形態の取り外し治具１０では、シート支持面及びシート押え面として、それぞれ環状に形成されたシート支持面２６及びシート押え面３４を例に挙げて説明したが、これに限定されるものではなく、例えば、平面視で円弧状又は直線状に形成されたものであってもよい。但し、シート支持面２６とシート押え面３４との間でダイシングテープ４を確実に押える観点から、シート支持面２６とシート押え面３４の形状はそれぞれ環状であることが好ましい。

〈第２変形例〉
実施形態の取り外し治具１０では、逃がし溝として、円環状に形成された逃がし溝３８を例に挙げて説明したが、これに限定されるものではなく、例えば、多角環状に形成されたものであってもよい。また、環状（円環状及び多角環状）に限定されるものではなく、環状の一部（一箇所又は複数箇所）が繋がっていない形状、例えばＣ字状のような形状の逃がし溝であってもよい。

〈第３変形例〉
実施形態の取り外し治具１０では、シート押え部材１４をベース部材１２に開閉自在に取り付けた構成を例に挙げて説明したが、これに限定されるものではなく、シート押え部材１４とベース部材１２とが分離した構成であってもよい。但し、シート押え部材１４をベース部材１２に開閉自在に取り付けた構成を採用することにより、シート押え部材１４によるダイシングテープ４の押え操作が容易になる。

〈第４変形例〉
実施形態の取り外し治具１０では、シート押え部材１４にカッター１６を設けた構成を例に挙げて説明したが、これに限定されるものではなく、シート押え部材１４とカッター１６とが分離した構成であってもよい。但し、シート押え部材１４にカッター１６を設けた構成を採用することにより、シート押え部材１４の一部品としてカッター１６を取り扱うことができるので、カッター１６の取り扱いが容易になる。

〈第５変形例〉
実施形態の取り外し治具１０では、シート押え部材１４にカッター移動機構１８を設けた構成を例に挙げて説明したが、これに限定されるものではなく、カッター移動機構を設けることなく、カッター１６を単独で操作してダイシングテープ４を切断してもよい。但し、シート押え部材１４にカッター移動機構１８を設ける構成を採用することにより、ダイシングテープ４の切断が容易になる。

〈第６変形例〉
実施形態の取り外し治具１０では、ベース部本体２２の上面に、カッター１６を逃がすための環状の逃がし溝３８を設けたが、逃がし溝３８の代わりに交換可能な環状のカッターマットを設けてもよい。第６変形例では、カッター１６によって切り込みを入れようとした場合に逃がし溝３８に逃げてしまうような柔軟なダイシングテープ４であっても、カッターマットによってダイシングテープ４の逃げを抑制できるので、カッター１６により容易に切断可能となる。

以上、本発明に係る拡張保持リング取り外し治具の一例について説明したが、本発明の技術は実施形態に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、いくつかの改良又は変形を行ってもよい。

１…ウェーハ、２…ウェーハユニット、３…フィルム状接着材、４…ダイシングテープ、５…フレーム、１０…取り外し治具、１２…ベース部材、１４…シート押え部材、１６…カッター、１８…カッター移動機構、２０…台座、２２…ベース部本体、２４…保持溝、２６…シート支持面、２８…段差面、３０…シート押え本体、３２…蓋部材、３４…シート押え面、３６…凸部、３８…逃がし溝、４０…軸、４２…回転板、４４…軸受、４６…ガイドローラ、４８…軸、５０…ガイド部材、５２…ヒンジ、５４…脚部、５６…カッター支持部、５８…操作ツマミ、６０…パイプ、６２…コイルスプリング、７０…ワーク分割装置、７２…フレーム固定部、７４…エキスパンドリング、７６…ローラ、１００…拡張保持リング、１０２…リング本体、１０４…リップ部

Claims (7)

1. 環状のフレームに貼り付けられたシートの拡張状態を保持するために前記フレームの内側に嵌合させて装着された状態の拡張保持リングを、前記フレームから取り外すための拡張保持リング取り外し治具であって、
   前記拡張保持リングを外嵌保持する環状の保持溝と、前記保持溝よりも内側に設けられ、前記拡張保持リングにより拡張状態となっている前記シートを支持するシート支持面と、を有するベース部材と、
   前記シート支持面に対向する位置に設けられたシート押え面を有するシート押え部材と、
   を備え、
   前記ベース部材は、前記保持溝よりも内側の位置であり、且つ、前記シート押え面による前記シートの押え位置よりも外側の位置に、シート切断用の切断刃を逃がすための逃がし溝を有する、
   拡張保持リング取り外し治具。
2. 前記シート支持面、前記シート押え面及び前記逃がし溝は、環状に形成される、
   請求項１に記載の拡張保持リング取り外し治具。
3. 前記シート押え部材は、前記ベース部材に開閉自在に取り付けられる、
   請求項１又は２に記載の拡張保持リング取り外し治具。
4. 前記切断刃は、前記シート押え部材に設けられる、
   請求項１から３のいずれか１項に記載の拡張保持リング取り外し治具。
5. 前記シート押え部材は、前記切断刃を前記逃がし溝に沿って移動させる切断刃移動機構を有する、
   請求項４に記載の拡張保持リング取り外し治具。
6. 前記切断刃移動機構は、
   前記シート押え部材に回転自在に設けられ、回転されることにより前記切断刃を前記逃がし溝に沿って移動させる回転板と、
   前記回転板の外周部に当接して前記回転板を回転方向に案内するガイド部材と、
   を有する、
   請求項５に記載の拡張保持リング取り外し治具。
7. 環状のフレームに貼り付けられたシートの拡張状態を保持するために前記フレームの内側に嵌合させて装着された状態の拡張保持リングを、前記フレームから取り外すための拡張保持リング取り外し方法であって、
   前記拡張保持リングを保持する保持工程と、
   前記拡張保持リングの内側に位置する前記シートを挟持してシートを固定する固定工程と、
   前記拡張保持リングと前記シートの固定位置との間に位置する前記シートを切断する切断工程と、
   前記フレームから前記拡張保持リングを分離する分離工程と、
   を有する、
   拡張保持リング取り外し方法。
   

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