JP2023145908A - 基板貼り合わせ装置及び基板貼り合わせ方法 - Google Patents
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Abstract
Description
<基板貼り合わせ装置>
第1実施形態に係る基板貼り合わせ装置100について説明する。図1は、第1実施形態に係る基板貼り合わせ装置100の一例を示す図である。基板貼り合わせ装置100は、接着層Fを形成した基板S1と、接着層Fを形成した基板S2とを、互いの接着層Fを当接させて貼り付ける。なお、接着層Fは、基板S1及び基板S2の双方に形成されることに限定されず、いずれか一方の基板S1又は基板S2に形成される形態であってもよい。接着層Fは、基板貼り合わせ装置100に搬入される前に、例えば塗布装置等により基板S1、基板S2に塗布、乾燥されることで形成される。なお、この塗布装置は、基板貼り合わせ装置100に備える形態であってもよい。
次に、本実施形態に係る基板貼り合わせ方法について説明する。図6は、本実施形態に係る基板貼り合わせ方法の一例を示すフローチャートである。図7は、図6に続いて、本実施形態に係る基板貼り合わせ方法の一例を示すフローチャートである。この基板貼り合わせ方法は、例えば、制御部Cからの指示により実行される。図8から図18は、基板貼り合わせ装置100の動作の一例を示す工程図である。なお、これらの工程図では、各部の動きが分かり易くなるように、記載を簡略化している。以下、図6、図7のフローチャートに沿って説明する。
<基板貼り合わせ装置>
第2実施形態に係る基板貼り合わせ装置200について説明する。図19は、第2実施形態に係る基板貼り合わせ装置200の一例を示す図である。なお、図19以降の各図において、上記した第1実施形態と同様の構成には同一の符号を付して、その説明を省略又は簡略化する。基板貼り合わせ装置200は、接着層Fを形成した基板S1と、接着層Fを形成した基板S2とを、互いの接着層Fを当接させて貼り付ける。図19に示すように、基板貼り合わせ装置200は、チャンバ10と、下側プレート20と、上側押え部30Bと、リフト部40と、昇降機構50と、アライメント機構60と、スペーサ機構70と、制御部Cと、を備える。制御部Cは、基板貼り合わせ装置200における各部の動作を統括して制御する。
次に、本実施形態に係る基板貼り合わせ方法について説明する。図20は、本実施形態に係る基板貼り合わせ方法の他の例を示すフローチャートである。図21は、図20に続いて、本実施形態に係る基板貼り合わせ方法の他の例を示すフローチャートである。この基板貼り合わせ方法は、例えば、制御部Cからの指示により実行される。図22から図33は、基板貼り合わせ装置200の動作の一例を示す工程図である。なお、これらの工程図では、各部の動きが分かり易くなるように、記載を簡略化している。以下、図20、図21のフローチャートに沿って説明する。
20・・・下側プレート
23f・・・上面
30A、30B・・・上側押え部
32・・・吸着パッド(保持部)
33・・・プッシャーピン
41・・・リフトピン
50・・・昇降機構
60・・・アライメント機構
62・・・アライメントブロック
72・・・スペーサ(保持部)
80・・・支持部材
81・・・ピン
100、200・・・基板貼り合わせ装置
Af・・・機能領域
F1・・・下面外周部
S・・・基板
Claims (9)
- 2枚の基板を貼り合わせる基板貼り合わせ装置であって、
下方側の下側プレートと、
前記下側プレートに設けられ、搬入された前記基板を支持して昇降するリフトピンと、
先に搬入された前記基板を前記リフトピンから受け取って保持する保持部と、
前記下側プレートの上方に配置され、貼り合わされる2枚の前記基板のうち上側の前記基板の上面側に当接可能な上側押え部と、
前記下側プレートに設けられ、前記リフトピンが下降した際に前記基板の下面外周部に当接して前記基板を支持する支持部材と、
前記支持部材に支持された前記基板を、前記基板の表面に沿った方向に挟み込むことで前記基板を位置決めするアライメント機構と、を備える、基板貼り合わせ装置。 - 前記支持部材は、前記下側プレートの周方向に間隔をあけて3個所以上設けられ、前記下側プレートの上面から突出するピンである、請求項1に記載の基板貼り合わせ装置。
- 前記アライメント機構は、前記基板の表面に沿った方向に進退して前記基板を挟み込むことが可能な複数のアライメントブロックを備え、
前記複数のアライメントブロックのそれぞれは、前記ピンに対して前記下側プレートの周方向にずれた状態で配置される、請求項2に記載の基板貼り合わせ装置。 - 前記リフトピンは、前記基板の機能領域が下方を向いている場合に、前記機能領域に当接して前記基板を支持し、
前記支持部材は、前記リフトピンから受け取った前記基板のうち、前記機能領域よりも外側である前記下面外周部に当接して前記基板を支持する、請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の基板貼り合わせ装置。 - 前記上側押え部は、昇降可能であり、
前記上側押え部を昇降させる昇降機構を備える、請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の基板貼り合わせ装置。 - 前記下側プレート及び前記上側押え部の一方又は双方は、前記基板を加熱するための加熱部を備える、請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の基板貼り合わせ装置。
- 前記下側プレート及び前記上側押え部を収容するチャンバを備える、請求項1から請求項6のいずれか一項に記載の基板貼り合わせ装置。
- 前記ピンの先端は、半球状である、請求項2に記載の基板貼り合わせ装置。
- 2枚の基板を貼り合わせる方法であって、
搬入された前記基板をリフトピンにより支持することと、
前記リフトピンから前記基板の下面外周部に当接する支持部材に渡して、前記基板を前記支持部材により支持することと、
前記支持部材に支持された前記基板を、前記基板の表面に沿った方向に挟み込むことで前記基板を位置決めすることと、を含む、基板貼り合わせ方法。
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