JP2023143686A - プラズマ処理方法及びプラズマ処理システム - Google Patents

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Abstract

【課題】エッチングの形状異常を抑制する。【解決手段】チャンバを有するプラズマ処理装置において実行されるプラズマ処理方法が提供される。この方法は、(a)シリコン含有膜とシリコン含有膜上のマスクとを有する基板を提供する工程と、(b)シリコン含有膜をエッチングする工程と、を含み、(b)の工程は、(b-1)フッ化水素ガスとタングステン含有ガスとを含む第1の処理ガスから生成したプラズマを用いて、シリコン含有膜をエッチングする工程と、(b-2)フッ化水素ガスを含む第2の処理ガスから生成したプラズマを用いて、シリコン含有膜をエッチングする工程であって、第2の処理ガスは、タングステン含有ガスを含まない、又は、第1の処理ガスにおけるタングステン含有ガスの流量比よりも小さい流量比でタングステン含有ガスを含む工程と、を含む。【選択図】図2

Description

本開示の例示的実施形態は、プラズマ処理方法及びプラズマ処理システムに関する。
特許文献1には、酸化シリコン膜と窒化シリコン膜とが交互に積層された多層膜をエッチングする技術が開示されている。
特開2016-39310号公報
本開示は、エッチングの形状異常を抑制する技術を提供する。
本開示の一つの例示的実施形態において、チャンバを有するプラズマ処理装置において実行されるプラズマ処理方法であって、(a)シリコン含有膜と前記シリコン含有膜上のマスクとを有する基板を提供する工程と、(b)前記シリコン含有膜をエッチングする工程と、を含み、
前記(b)の工程は、(b-1)フッ化水素ガスとタングステン含有ガスとを含む第1の処理ガスから生成したプラズマを用いて、前記シリコン含有膜をエッチングする工程と、(b-2)フッ化水素ガスを含む第2の処理ガスから生成したプラズマを用いて、前記シリコン含有膜をエッチングする工程であって、前記第2の処理ガスは、タングステン含有ガスを含まない、又は、前記第1の処理ガスにおける前記タングステン含有ガスの流量比よりも小さい流量比でタングステン含有ガスを含む工程と、を含む、プラズマ処理方法が提供される。
本開示の一つの例示的実施形態によれば、エッチングの形状異常を抑制する技術を提供することができる。
例示的なプラズマ処理システムを概略的に示す図である。 本処理方法の一例を示すフローチャートである。 基板Wの断面構造の一例を示す図である。 工程ST2において供給されるHF含有ガスの流量の一例を示すタイミングチャートである。 工程ST2において供給されるタングステン含有ガスの流量の一例を示すタイミングチャートである。 工程ST2において供給されるリン含有ガスの流量の一例を示すタイミングチャートである。 工程ST2の処理中の基板Wの断面構造を示す図である。 工程ST2の処理中の基板Wの断面構造を示す図である。 工程ST2の処理中の基板Wの断面構造を示す図である。 工程ST2の処理中の基板Wの断面構造を示す図である。 本処理方法の変形例を示すフローチャートである。 本処理方法の変形例を示すフローチャートである。 実施例3及び参考例4のエッチングの結果を示す図である。 実施例3、実施例4、参考例4及び参考例5のエッチングの結果を示す図である。
以下、本開示の各実施形態について説明する。
一つの例示的実施形態において、チャンバを有するプラズマ処理装置において実行されるプラズマ処理方法であって、(a)シリコン含有膜とシリコン含有膜上のマスクとを有する基板を提供する工程と、(b)シリコン含有膜をエッチングする工程と、を含み、(b)の工程は、(b-1)フッ化水素ガスとタングステン含有ガスとを含む第1の処理ガスから生成したプラズマを用いて、シリコン含有膜をエッチングする工程と、(b-2)フッ化水素ガスを含む第2の処理ガスから生成したプラズマを用いて、シリコン含有膜をエッチングする工程であって、第2の処理ガスは、タングステン含有ガスを含まない、又は、第1の処理ガスにおけるタングステン含有ガスの流量比よりも小さい流量比でタングステン含有ガスを含む工程と、を含むプラズマ処理方法が提供される。
一つの例示的実施形態において、(b)の工程において、(b-1)の工程と(b-2)の工程とを交互に繰り返す。
一つの例示的実施形態において、(b)の工程において、(b-1)の工程と(b-2)の工程とを含むサイクルを複数回繰り返し、2回目以降の少なくとも1つのサイクルの(b-1)の工程において、第1の処理ガスに対するタングステン含有ガスの流量比は、1回目のサイクルの(b-1)の工程における流量比よりも小さい。
一つの例示的実施形態において、第1の処理ガスに含まれるタングステン含有ガス及び第2の処理ガスに含まれるタングステン含有ガスの少なくとも一方は、WFaCl(a及びbはそれぞれ0以上6以下の整数であり、aとbとの和は2以上6以下である)ガスである。
一つの例示的実施形態において、第1の処理ガスに含まれるタングステン含有ガス及び第2の処理ガスに含まれるタングステン含有ガスの少なくとも一方は、WFガス及びWClガスの少なくともいずれかのガスである。
一つの例示的実施形態において、第1の処理ガスにおいて、不活性ガスを除く全てのガスのうち、フッ化水素ガスの流量が最も多い。
一つの例示的実施形態において、第1の処理ガスにおいて、不活性ガスを除く全てのガスのうち、タングステン含有ガスの流量が最も少ない。
一つの例示的実施形態において、第1の処理ガスにおいて、フッ化水素ガスの流量は、タングステン含有ガスの流量の10倍以上である。
一つの例示的実施形態において、第1の処理ガス及び第2の処理ガスの少なくとも一方は、リン含有ガスをさらに含む。
一つの例示的実施形態において、リン含有ガスは、ハロゲン化リンガスである。
一つの例示的実施形態において、第1の処理ガス及び第2の処理ガスの少なくとも一方は、炭素含有ガスをさらに含む。
一つの例示的実施形態において、炭素含有ガスは、フルオロカーボンガス又はハイドロフルオロカーボンガスのいずれかである。
一つの例示的実施形態において、第1の処理ガス及び第2の処理ガスの少なくとも一方は、酸素含有ガスをさらに含む。
一つの例示的実施形態において、第1の処理ガス及び第2の処理ガスの少なくとも一方は、フッ素以外のハロゲン含有ガスをさらに含む。
一つの例示的実施形態において、マスクは、ホールパターン又はスリットパターンを有する。
一つの例示的実施形態において、チャンバを有するプラズマ処理装置において実行されるプラズマ処理方法であって、(a)シリコン含有膜とシリコン含有膜上のマスクとを有する基板を提供する工程と、(b)シリコン含有膜をエッチングする工程と、を含み、(b)の工程は、(b-1)フッ化水素種とタングステン、チタン又はモリブデンの少なくともいずれかを含有する化学種とを含む第1のプラズマを用いてシリコン含有膜をエッチングする工程と、(b-2)フッ化水素種を含む第2のプラズマを用いてシリコン含有膜をエッチングする工程であって、第2のプラズマは、化学種を含まない、又は、化学種を第1のプラズマにおける化学種の分圧よりも小さい分圧で含む工程と、を含むプラズマ処理方法が提供される。
一つの例示的実施形態において、フッ化水素種は、フッ化水素ガス又はハイドロフルオロカーボンガスの少なくとも1種のガスから生成される。
一つの例示的実施形態において、フッ化水素種は、炭素数が2以上のハイドロフルオロカーボンガスから生成される。
一つの例示的実施形態において、フッ化水素種は、フッ素含有ガス及び水素含有ガスから生成される。
一つの例示的実施形態において、チャンバ、チャンバ内に設けられた基板支持部、プラズマ生成部、及び、制御部を備え、制御部は、(a)シリコン含有膜とシリコン含有膜上のマスクとを有する基板を、基板支持部上に提供する制御と、(b)シリコン含有膜をエッチングする制御と、を実行し、(b)の制御は、(b-1)フッ化水素ガスとタングステン含有ガスとを含む第1の処理ガスから生成したプラズマを用いて、シリコン含有膜をエッチングする制御と、(b-2)フッ化水素ガスを含む第2の処理ガスから生成したプラズマを用いて、シリコン含有膜をエッチングする工程であって、第2の処理ガスは、タングステン含有ガスを含まない、又は、第1の処理ガスにおけるタングステン含有ガスの流量比よりも小さい流量比でタングステン含有ガスを含む制御と、を含むプラズマ処理システムが提供される。
以下、図面を参照して、本開示の各実施形態について詳細に説明する。なお、各図面において同一または同様の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。特に断らない限り、図面に示す位置関係に基づいて上下左右等の位置関係を説明する。図面の寸法比率は実際の比率を示すものではなく、また、実際の比率は図示の比率に限られるものではない。
<プラズマ処理システムの構成例>
以下に、プラズマ処理システムの構成例について説明する。図1は、容量結合型のプラズマ処理装置の構成例を説明するための図である。
プラズマ処理システムは、容量結合型のプラズマ処理装置1及び制御部2を含む。容量結合型のプラズマ処理装置1は、プラズマ処理チャンバ10、ガス供給部20、電源30及び排気システム40を含む。また、プラズマ処理装置1は、基板支持部11及びガス導入部を含む。ガス導入部は、少なくとも1つの処理ガスをプラズマ処理チャンバ10内に導入するように構成される。ガス導入部は、シャワーヘッド13を含む。基板支持部11は、プラズマ処理チャンバ10内に配置される。シャワーヘッド13は、基板支持部11の上方に配置される。一実施形態において、シャワーヘッド13は、プラズマ処理チャンバ10の天部(ceiling)の少なくとも一部を構成する。プラズマ処理チャンバ10は、シャワーヘッド13、プラズマ処理チャンバ10の側壁10a及び基板支持部11により規定されたプラズマ処理空間10sを有する。プラズマ処理チャンバ10は、少なくとも1つの処理ガスをプラズマ処理空間10sに供給するための少なくとも1つのガス供給口と、プラズマ処理空間からガスを排出するための少なくとも1つのガス排出口とを有する。プラズマ処理チャンバ10は接地される。シャワーヘッド13及び基板支持部11は、プラズマ処理チャンバ10筐体とは電気的に絶縁される。
基板支持部11は、本体部111及びリングアセンブリ112を含む。本体部111は、基板Wを支持するための中央領域111aと、リングアセンブリ112を支持するための環状領域111bとを有する。ウェハは基板Wの一例である。本体部111の環状領域111bは、平面視で本体部111の中央領域111aを囲んでいる。基板Wは、本体部111の中央領域111a上に配置され、リングアセンブリ112は、本体部111の中央領域111a上の基板Wを囲むように本体部111の環状領域111b上に配置される。従って、中央領域111aは、基板Wを支持するための基板支持面とも呼ばれ、環状領域111bは、エッジリングアセンブリ112を支持するためのリング支持面とも呼ばれる。
一実施形態において、本体部111は、基台1110及び静電チャック1111を含む。基台1110は、導電性部材を含む。基台1110の導電性部材は下部電極として機能し得る。静電チャック1111は、基台1110の上に配置される。静電チャック1111は、セラミック部材1111aとセラミック部材1111a内に配置される静電電極1111bとを含む。セラミック部材1111aは、中央領域111aを有する。一実施形態において、セラミック部材1111aは、環状領域111bも有する。なお、環状静電チャックや環状絶縁部材のような、静電チャック1111を囲む他の部材が環状領域111bを有してもよい。この場合、リングアセンブリ112は、環状静電チャック又は環状絶縁部材の上に配置されてもよく、静電チャック1111と環状絶縁部材の両方の上に配置されてもよい。また、RF又はDC電極がセラミック部材1111a内に配置されてもよく、この場合、RF又はDC電極が下部電極として機能する。後述するバイアスRF信号又はDC信号がRF又はDC電極に接続される場合、RF又はDC電極はバイアス電極とも呼ばれる。なお、基台1110の導電性部材とRF又はDC電極との両方が2つの下部電極として機能してもよい。
リングアセンブリ112は、1又は複数の環状部材を含む。一実施形態において、1又は複数の環状部材は、1又は複数のエッジリングと少なくとも1つのカバーリングとを含む。エッジリングは、導電性材料又は絶縁材料で形成され、カバーリングは、絶縁材料で形成される。
また、基板支持部11は、静電チャック1111、リングアセンブリ112及び基板のうち少なくとも1つをターゲット温度に調節するように構成される温調モジュールを含んでもよい。温調モジュールは、ヒータ、伝熱媒体、流路1110a、又はこれらの組み合わせを含んでもよい。流路1110aには、ブラインやガスのような伝熱流体が流れる。一実施形態において、流路1110aが基台1110内に形成され、1又は複数のヒータが静電チャック1111のセラミック部材1111a内に配置される。また、基板支持部11は、基板Wの裏面と中央領域111aとの間に伝熱ガスを供給するように構成された伝熱ガス供給部を含んでもよい。
シャワーヘッド13は、ガス供給部20からの少なくとも1つの処理ガスをプラズマ処理空間10s内に導入するように構成される。シャワーヘッド13は、少なくとも1つのガス供給口13a、少なくとも1つのガス拡散室13b、及び複数のガス導入口13cを有する。ガス供給口13aに供給された処理ガスは、ガス拡散室13bを通過して複数のガス導入口13cからプラズマ処理空間10s内に導入される。また、シャワーヘッド13は、上部電極を含む。なお、ガス導入部は、シャワーヘッド13に加えて、側壁10aに形成された1又は複数の開口部に取り付けられる1又は複数のサイドガス注入部(SGI:Side Gas Injector)を含んでもよい。
ガス供給部20は、少なくとも1つのガスソース21及び少なくとも1つの流量制御器22を含んでもよい。一実施形態において、ガス供給部20は、少なくとも1つの処理ガスを、それぞれに対応のガスソース21からそれぞれに対応の流量制御器22を介してシャワーヘッド13に供給するように構成される。各流量制御器22は、例えばマスフローコントローラ又は圧力制御式の流量制御器を含んでもよい。さらに、ガス供給部20は、少なくとも1つの処理ガスの流量を変調又はパルス化する1又はそれ以上の流量変調デバイスを含んでもよい。
電源30は、少なくとも1つのインピーダンス整合回路を介してプラズマ処理チャンバ10に結合されるRF電源31を含む。RF電源31は、ソースRF信号及びバイアスRF信号のような少なくとも1つのRF信号(RF電力)を、少なくとも1つの下部電極及び/又は少なくとも1つの上部電極に供給するように構成される。これにより、プラズマ処理空間10sに供給された少なくとも1つの処理ガスからプラズマが形成される。従って、RF電源31は、プラズマ処理チャンバ10において1又はそれ以上の処理ガスからプラズマを生成するように構成されるプラズマ生成部の少なくとも一部として機能し得る。また、バイアスRF信号を少なくとも1つの下部電極に供給することにより、基板Wにバイアス電位が発生し、形成されたプラズマ中のイオン成分を基板Wに引き込むことができる。
一実施形態において、RF電源31は、第1のRF生成部31a及び第2のRF生成部31bを含む。第1のRF生成部31aは、少なくとも1つのインピーダンス整合回路を介して少なくとも1つの下部電極及び/又は少なくとも1つの上部電極に結合され、プラズマ生成用のソースRF信号(ソースRF電力)を生成するように構成される。一実施形態において、ソースRF信号は、10MHz~150MHzの範囲内の周波数を有する。一実施形態において、第1のRF生成部31aは、異なる周波数を有する複数のソースRF信号を生成するように構成されてもよい。生成された1又は複数のソースRF信号は、少なくとも1つの下部電極及び/又は少なくとも1つの上部電極に供給される。
第2のRF生成部31bは、少なくとも1つのインピーダンス整合回路を介して少なくとも1つの下部電極に結合され、バイアスRF信号(バイアスRF電力)を生成するように構成される。バイアスRF信号の周波数は、ソースRF信号の周波数と同じであっても異なっていてもよい。一実施形態において、バイアスRF信号は、ソースRF信号の周波数よりも低い周波数を有する。一実施形態において、バイアスRF信号は、100kHz~60MHzの範囲内の周波数を有する。一実施形態において、第2のRF生成部31bは、異なる周波数を有する複数のバイアスRF信号を生成するように構成されてもよい。生成された1又は複数のバイアスRF信号は、少なくとも1つの下部電極に供給される。また、種々の実施形態において、ソースRF信号及びバイアスRF信号のうち少なくとも1つがパルス化されてもよい。
また、電源30は、プラズマ処理チャンバ10に結合されるDC電源32を含んでもよい。DC電源32は、第1のDC生成部32a及び第2のDC生成部32bを含む。一実施形態において、第1のDC生成部32aは、少なくとも1つの下部電極に接続され、第1のDC信号を生成するように構成される。生成された第1のバイアスDC信号は、少なくとも1つの下部電極に印加される。一実施形態において、第2のDC生成部32bは、少なくとも1つの上部電極に接続され、第2のDC信号を生成するように構成される。生成された第2のDC信号は、少なくとも1つの上部電極に印加される。
種々の実施形態において、第1及び第2のDC信号のうち少なくとも1つがパルス化されてもよい。この場合、DCに基づく電圧パルスのシーケンスが少なくとも1つの下部電極及び/又は少なくとも1つの上部電極に印加される。電圧パルスは、矩形、台形、三角形又はこれらの組み合わせのパルス波形を有してもよい。一実施形態において、DC信号から電圧パルスのシーケンスを生成するための波形生成部が第1のDC生成部32aと少なくとも1つの下部電極との間に接続される。従って、第1のDC生成部32a及び波形生成部は、電圧パルス生成部を構成する。第2のDC生成部32b及び波形生成部が電圧パルス生成部を構成する場合、電圧パルス生成部は、少なくとも1つの上部電極に接続される。電圧パルスは、正の極性を有してもよく、負の極性を有してもよい。また、電圧パルスのシーケンスは、1周期内に1又は複数の正極性電圧パルスと1又は複数の負極性電圧パルスとを含んでもよい。なお、第1及び第2のDC生成部32a、32bは、RF電源31に加えて設けられてもよく、第1のDC生成部32aが第2のRF生成部31bに代えて設けられてもよい。
排気システム40は、例えばプラズマ処理チャンバ10の底部に設けられたガス排出口10eに接続され得る。排気システム40は、圧力調整弁及び真空ポンプを含んでもよい。圧力調整弁によって、プラズマ処理空間10s内の圧力が調整される。真空ポンプは、ターボ分子ポンプ、ドライポンプ又はこれらの組み合わせを含んでもよい。
制御部2は、本開示において述べられる種々の工程をプラズマ処理装置1に実行させるコンピュータ実行可能な命令を処理する。制御部2は、ここで述べられる種々の工程を実行するようにプラズマ処理装置1の各要素を制御するように構成され得る。一実施形態において、制御部2の一部又は全てがプラズマ処理装置1に含まれてもよい。制御部2は、例えばコンピュータ2aを含んでもよい。コンピュータ2aは、例えば、処理部(CPU:Central Processing Unit)2a1、記憶部2a2、及び通信インターフェース2a3を含んでもよい。処理部2a1は、記憶部2a2からプログラムを読み出し、読み出されたプログラムを実行することにより種々の制御動作を行うように構成され得る。このプログラムは、予め記憶部2a2に格納されていてもよく、必要なときに、媒体を介して取得されてもよい。取得されたプログラムは、記憶部2a2に格納され、処理部2a1によって記憶部2a2から読み出されて実行される。媒体は、コンピュータ2aに読み取り可能な種々の記憶媒体であってもよく、通信インターフェース2a3に接続されている通信回線であってもよい。記憶部2a2は、RAM(Random Access Memory)、ROM(Read Only Memory)、HDD(Hard Disk Drive)、SSD(Solid State Drive)、又はこれらの組み合わせを含んでもよい。通信インターフェース2a3は、LAN(Local Area Network)等の通信回線を介してプラズマ処理装置1との間で通信してもよい。
<プラズマ処理方法の一例>
図2は、一つの例示的実施形態に係るプラズマ処理方法(以下「本処理方法」ともいう。)を示すフローチャートである。図2に示すように、本処理方法は、基板を提供する工程ST1と、エッチングを行う工程ST2とを含む。各工程における処理は、図1に示すプラズマ処理システムで実行されてよい。以下では、制御部2がプラズマ処理装置1の各部を制御して、基板Wに対して本処理方法を実行する場合を例に説明する。
(工程ST1:基板の提供)
工程ST1において、基板Wは、プラズマ処理装置1のプラズマ処理空間10s内に提供される。基板Wは、基板支持部11の中央領域111aに提供される。そして、基板Wは、静電チャック1111により基板支持部11に保持される。
図3は、工程ST1で提供される基板Wの断面構造の一例を示す図である。基板Wは、下地膜UF上に、シリコン含有膜SF及びマスクMFがこの順で積層されている。基板Wは、半導体デバイスの製造に用いられてよい。半導体デバイスは、例えば、DRAM、3D-NANDフラッシュメモリ等の半導体メモリデバイスを含む。
下地膜UFは、一例では、シリコンウェハやシリコンウェハ上に形成された有機膜、誘電体膜、金属膜、半導体膜等である。下地膜UFは、複数の膜が積層されて構成されてよい。
シリコン含有膜SFは、本処理方法において、エッチングの対象となる膜である。シリコン含有膜SFは、一例では、シリコン酸化膜、シリコン窒化膜、シリコン酸窒化膜、多結晶シリコン膜である。シリコン含有膜SFは、複数の膜が積層されて構成されてよい。シリコン含有膜SFは、シリコン酸化膜、シリコン窒化膜および多結晶シリコン膜からなる群から選択される少なくとも2種類の膜が積層されて構成されてよい。例えば、シリコン含有膜SFは、シリコン酸化膜とシリコン窒化膜とが交互に積層されて構成されてよい。また例えば、シリコン含有膜SFは、シリコン酸化膜と多結晶シリコン膜とが交互に積層されて構成されてよい。
マスクMFは、シリコン含有膜SFのエッチングにおいてマスクとして機能する膜である。マスクMFは、例えば、ポリシリコン膜、ホウ素ドープシリコン膜、タングステン含有膜(例えば、WC膜、WSi膜等)、炭素含有膜(例えばアモルファスカーボン膜、スピンオンカーボン膜、フォトレジスト膜)又は酸化ズズ膜又はチタン含有膜(例えば、TiN膜等)でよい。
図3に示すとおり、マスクMFは、シリコン含有膜SF上において少なくとも一つの開口OPを規定する。開口OPは、シリコン含有膜SF上の空間であって、マスクMFの側壁に囲まれている。すなわち、シリコン含有膜SFの上面は、マスクMFによって覆われた領域と、開口OPの底部において露出した領域とを有する。
開口OPは、基板Wの平面視、すなわち、基板Wを図3の上から下に向かう方向に見た場合において、任意の形状を有してよい。当該形状は、例えば、円、楕円、矩形、線やこれらの1種類以上を組み合わせた形状であってよい。マスクMFは、複数の側壁を有し、複数の側壁が複数の開口OPを規定してもよい。複数の開口OPは、それぞれ線形状を有し、一定の間隔で並んでライン&スペースのパターンを構成してもよい。また、複数の開口OPは、それぞれ穴形状を有し、アレイパターンを構成してもよい。
基板Wを構成する各膜(下地膜UF、シリコン含有膜SF、マスクMF)は、それぞれ、CVD法、ALD法、スピンコート法等により形成されてよい。開口OPは、マスクMFをエッチングすることで形成されてよい。またマスクMFは、リソグラフィによって形成されてもよい。なお、上記各膜は、平坦な膜であってよく、また、凹凸を有する膜であってもよい。また基板Wが下地膜UFの下に他の膜をさらに有し、シリコン含有膜SF及び下地膜UFの積層膜が多層マスクとして機能してもよい。すなわち、シリコン含有膜SF及び下地膜UFの積層膜を多層マスクとして、当該他の膜をエッチングしてもよい。
基板Wの各膜を形成するプロセスの少なくとも一部は、プラズマ処理チャンバ10の空間内で行われてよい。一例では、マスクMFをエッチングして開口OPを形成する工程は、プラズマ処理チャンバ10で実行されてよい。すなわち、開口OP及び後述するシリコン含有膜SFのエッチングは、同一のチャンバ内で連続して実行されてよい。また、基板Wの各膜の全部又は一部がプラズマ処理装置1の外部の装置やチャンバで形成された後、基板Wがプラズマ処理装置1のプラズマ処理空間10s内に搬入され、基板支持部11の中央領域111aに配置されることで、基板が提供されてもよい。
基板Wを基板支持部11の中央領域111aに提供後、基板支持部11の温度が温調モジュールにより設定温度に調整される。設定温度は、例えば、70℃以下、0℃以下、-10℃以下、-20℃以下、-30℃以下、-40℃以下、-50℃以下、-60℃以下又は-70℃以下でよい。一例では、基板支持部11の温度を調整又は維持することは、流路1110aを流れる伝熱流体の温度を設定温度又は設定温度と異なる温度に調整又は維持することを含む。一例では、基板支持部11の温度を調整又は維持することは、静電チャック1111と基板Wの裏面との間の伝熱ガス(例えばHe)の圧力を制御することを含む。なお、流路1110aに伝熱流体が流れ始めるタイミングは、基板Wが基板支持部11に載置される前でも後でもよく、また同時でもよい。また、本処理方法において、基板支持部11の温度は、工程ST1の前に設定温度に調整されてよい。すなわち、基板支持部11の温度が設定温度に調整された後に、基板支持部11に基板Wを提供してよい。
(工程ST2:エッチング)
工程ST2において、基板Wのシリコン含有膜SFがエッチングされる。工程ST2は、第1のエッチング工程ST21と、第2のエッチング工程ST22とを備える。また工程ST2は、エッチングの停止条件を満たしているか判定する工程ST23を備えてよい。すなわち、工程ST23において停止条件を満たすと判定されるまで、工程ST21と工程ST22とを交互に繰り返してよい。工程ST2における処理の間、基板支持部11の温度は、工程ST1で調整した設定温度に維持される。
(工程ST21:第1のエッチング工程)
工程ST21において、第1の処理ガスから生成したプラズマを用いて、シリコン含有膜SFがエッチングされる。まず、ガス供給部20から第1の処理ガスがプラズマ処理空間10s内に供給される。第1の処理ガスは、フッ化水素(HF)ガスとタングステン含有ガスとを含む。次に、基板支持部11の下部電極及び/又はシャワーヘッド13の上部電極にソースRF信号が供給される。これにより、シャワーヘッド13と基板支持部11との間で高周波電界が生成され、プラズマ処理空間10s内の第1の処理ガスからプラズマが生成される。また、基板支持部11の下部電極にバイアス信号が供給されて、プラズマと基板Wとの間にバイアス電位が発生する。バイアス電位によって、プラズマ中のイオン、ラジカル等の活性種が基板Wに引きよせられ、当該活性種によってシリコン含有膜SFがエッチングされる。
(工程ST22:第2のエッチング工程)
第2のエッチング工程ST22において、第2の処理ガスから生成したプラズマを用いて、シリコン含有膜SFがエッチングされる。まず、ガス供給部20から第2の処理ガスがプラズマ処理空間10s内に供給される。第2の処理ガスは、タングステン含有ガスを含まなくてよい。また第2の処理ガスは、タングステン含有ガスを含んでもよい。この場合、第2の処理ガスにおけるタングステン含有ガスの流量比(不活性ガスを除く全ガスの流量に占めるタングステン含有ガスの流量)は、第1の処理ガスにおけるタングステン含有ガスの流量比よりも小さい。すなわち、第2の処理ガスは、第1の処理ガスにおけるタングステン含有ガスの流量比よりも小さい流量比でタングステン含有ガスを含んでよい。次に、基板支持部11の下部電極及び/又はシャワーヘッド13の上部電極にソースRF信号が供給される。これにより、シャワーヘッド13と基板支持部11との間で高周波電界が生成され、プラズマ処理空間10s内の第2の処理ガスからプラズマが生成される。また、基板支持部11の下部電極にバイアス信号が供給されて、プラズマと基板Wとの間にバイアス電位が発生する。バイアス電位によって、プラズマ中のイオン、ラジカル等の活性種が基板Wに引きよせられ、当該活性種によってシリコン含有膜SFがエッチングされ、マスクMFの開口OPの形状に基づいて凹部が形成される。
工程ST21及び工程ST22において、バイアス信号は、第2のRF生成部31bから供給されるバイアスRF信号であってよい。またバイアス信号は、DC生成部32aから供給されるバイアスDC信号であってもよい。ソースRF信号及びバイアス信号は、双方が連続波又はパルス波でよく、また一方が連続波で他方がパルス波でもよい。ソースRF信号及びバイアス信号の双方がパルス波である場合、双方のパルス波の周期は同期してよい。またパルス波のデューティ比は適宜設定してよく、例えば、1~80%でよく、また5~50%でよい。なお、デューティ比は、パルス波の周期における、電力又は電圧レベルが高い期間が占める割合である。またバイアスDC信号を用いる場合、パルス波は、矩形、台形、三角形又はこれらの組み合わせの波形を有してよい。バイアスDC信号の極性は、プラズマと基板との間に電位差を与えてイオンを引き込むように基板Wの電位が設定されれば、負であっても正であってもよい。
(工程ST23:終了判定)
工程ST23において、停止条件が満たされるか否かが判定される。停止条件は、例えば、工程ST21及び工程ST22を1サイクルとし、当該サイクルの繰り返し回数が所与の回数に達しているか否かでよい。停止条件は、例えば、エッチング時間が所与の時間に達しているかでもよい。停止条件は、例えば、エッチングにより形成される凹部の深さが所与の深さに達しているかでもよい。工程ST23において停止条件が満たされていないと判定されると、工程ST21及び工程ST22を含むサイクルが繰り返される。工程ST23において停止条件が満たされると判定されると、本処理方法を終了する。
(処理ガスの構成)
上述のとおり、第1の処理ガスは、フッ化水素(HF)ガスとタングステン含有ガスとを含む。また第2の処理ガスは、フッ化水素(HF)ガスを含み、タングスタン含有ガスを含まないか、又は、第1の処理ガスにおけるタングステン含有ガスの流量比よりも小さい流量比でタングステン含有ガスを含む。
第1の処理ガス及び/又は第2の処理ガスにおいて、不活性ガスを除く全ガスのうち、HFガスの流量が最も多くてよい。一例では、HFガスは、不活性ガスを除く総流量に対して、50体積%以上、60体積%以上、70体積%以上でよく、また80体積%以上でもよい。また第1の処理ガス及び/又は第2の処理ガスにおいて、フッ化水素ガスの流量は、タングステン含有ガスの流量の10倍以上でよい。なお、HFガスとしては、高純度のもの、例えば、純度が99.999%以上のものを用いてよい。
第2の処理ガスにタングステンガスが含まれる場合、当該タングステン含有ガスは、第1の処理ガスに含まれるタングステン含有ガスと同一種のガスでよく、また異なるガスでもよい。ここで、タングステン含有ガスは、タングステンとハロゲンとを含有するガスでよく、一例では、WFClガスである(a及びbはそれぞれ0以上6以下の整数であり、aとbとの和は2以上6以下である)。具体的には、タングステン含有ガスとしては、2フッ化タングステン(WF)ガス、4フッ化タングステン(WF)ガス、5フッ化タングステン(WF)ガス、6フッ化タングステン(WF)ガス等のタングステンとフッ素とを含有するガス、2塩化タングステン(WCl)ガス、4塩化タングステン(WCl)ガス、5塩化タングステン(WCl)ガス、6塩化タングステン(WCl)ガス等のタングステンと塩素とを含有するガスであってよい。これらの中でも、WFガス及びWClガスの少なくともいずれかのガスであってよい。
第1の処理ガス及び/又は第2の処理ガスにおいて、不活性ガスを除く全ガスのうち、タングステン含有ガスの流量が最も少なくてよい。一例では、タングステン含有ガスの流量は、不活性ガスを除く処理ガスの総流量に対して、1体積%以下でよく、0.5体積%以下、0.3体積%以下、又は0.2体積%以下でもよい。一例では、タングステン含有ガスの流量は、不活性ガスを除く処理ガスの総流量に対して、0,1体積%以上であってよい。
第1の処理ガスは、タングステン含有ガスに代えて又は加えて、チタン含有ガス又はモリブデン含有ガスを含んでよい。この場合、第1の処理ガスから生成するプラズマ中には、タングステン、チタン又はモリブデンの化学種が生成される。第2の処理ガスは、当該化学種を生成するガスを含まなくてよい。また第2の処理ガスは、当該化学種を生成するガスを、第1の処理ガスにおける当該ガスの分圧よりも小さい分圧で含んでもよい。
第1の処理ガス及び/又は第2の処理ガスは、リン含有ガスをさらに含んでよい。第1の処理ガスと第2の処理ガスの双方にリン含有ガスが含まれる場合、それぞれに含まれるリン含有ガスは、同一種のガスでも異なるガスでもよい。
リン含有ガスは、リン含有分子を含むガスである。リン含有分子は、十酸化四リン(P10)、八酸化四リン(P)、六酸化四リン(P)等の酸化物であってもよい。十酸化四リンは、五酸化二リン(P)と呼ばれることがある。リン含有分子は、三フッ化リン(PF)、五フッ化リン(PF)、三塩化リン(PCl)、五塩化リン(PCl)、三臭化リン(PBr)、五臭化リン(PBr)、ヨウ化リン(PI)のようなハロゲン化物(ハロゲン化リン)であってもよい。すなわち、リン含有分子は、フッ化リン等、ハロゲン元素としてフッ素を含んでもよい。或いは、リン含有分子は、ハロゲン元素としてフッ素以外のハロゲン元素を含んでもよい。リン含有分子は、フッ化ホスホリル(POF)、塩化ホスホリル(POCl)、臭化ホスホリル(POBr)のようなハロゲン化ホスホリルであってよい。リン含有分子は、ホスフィン(PH)、リン化カルシウム(Ca等)、リン酸(HPO)、リン酸ナトリウム(NaPO)、ヘキサフルオロリン酸(HPF)等であってよい。リン含有分子は、フルオロホスフィン類(HPF)であってよい。ここで、gとhの和は、3又は5である。フルオロホスフィン類としては、HPF、HPFが例示される。処理ガスは、少なくとも一つのリン含有分子として、上記のリン含有分子のうち一つ以上のリン含有分子を含み得る。例えば、処理ガスは、少なくとも一つのリン含有分子として、PF、PCl、PF、PCl、POCl、PH、PBr、又はPBrの少なくとも一つを含み得る。なお、第1の処理ガス及び/又は第2の処理ガスに含まれる各リン含有分子が液体又は固体である場合、各リン含有分子は、加熱等によって気化されてプラズマ処理空間10s内に供給され得る。
リン含有ガスは、PCl(aは1以上の整数であり、bは0以上の整数であり、a+bは5以下の整数である)ガス又はPC(d、eはそれぞれ1以上5以下の整数であり、cは0以上9以下の整数である)ガスであってよい。
PClガスは、例えば、PClFガス、PClFガス及びPClガスからなる群から選択される少なくとも1種のガスでよい。
PCガスは、例えば、PFCHガス、PF(CHガス、PHCFガス、PH(CFガス、PCH(CFガス、PHFガス及びPF(CHガスからなる群から選択される少なくとも1種のガスでよい。
リン含有ガスは、PCl(v、w、x及びyはそれぞれ1以上の整数である)ガスであってよい。またリン含有ガスは、P(リン)、F(フッ素)及びF(フッ素)以外のハロゲン(例えば、Cl、Br又はI)を分子構造に含むガス、P(リン)、F(フッ素)、C(炭素)及びH(水素)を分子構造に含むガス、又は、P(リン)、F(フッ素)及びH(水素)を分子構造に含むガスであってもよい。
リン含有ガスは、ホスフィン系ガスを用いてよい。ホスフィン系ガスとしては、ホスフィン(PH)、ホスフィンの少なくとも1つの水素原子を適当な置換基により置換した化合物、及びホスフィン酸誘導体が挙げられる。
ホスフィンの水素原子を置換する置換基としては、特に限定されず、例えばフッ素原子、塩素原子等のハロゲン原子;メチル基、エチル基、プロピル基等のアルキル基;並びにヒドロキシメチル基、ヒドロキシエチル基、ヒドロキシプロピル基等のヒドロキシアルキル基等が挙げられ、一例では、塩素原子、メチル基、及びヒドロキシメチル基が挙げられる。
ホスフィン酸誘導体としては、ホスフィン酸(HP)、アルキルホスフィン酸(PHO(OH)R)、及びジアルキルホスフィン酸(PO(OH)R)が挙げられる。
ホスフィン系ガスとしては、例えば、PCHCl(ジクロロ(メチル)ホスフィン)ガス、P(CHCl(クロロ(ジメチル)ホスフィン)ガス、P(HOCH)Cl(ジクロロ(ヒドロキシルメチル)ホスフィン)ガス、P(HOCHCl(クロロ(ジヒドロキシルメチル)ホスフィン)ガス、P(HOCH)(CH(ジメチル(ヒドロキシルメチル)ホスフィン)ガス、P(HOCH(CH)(メチル(ジヒドロキシルメチル)ホスフィン)ガス、P(HOCH(トリス(ヒドロキシルメチル)ホスフィン)ガス、HP(ホスフィン酸)ガス、PHO(OH)(CH)(メチルホスフィン酸)ガス及びPO(OH)(CH(ジメチルホスフィン酸)ガスからなる群から選択される少なくとも1種のガスを用いてよい。
第1の処理ガス及び/又は第2の処理ガスに含まれるリン含有ガスの流量は、当該リン含有ガスが含まれる処理ガスの、不活性ガスを除く総流量のうち、20体積%以下、10体積%以下、5体積%以下でよい。
第1の処理ガス及び/又は第2の処理ガスは、炭素含有ガスをさらに含んでよい。第1の処理ガスと第2の処理ガスの双方に炭素含有ガスが含まれる場合、それぞれに含まれる炭素含有ガスは、同一種のガスでも異なるガスでもよい。ここで、炭素含有ガスは、例えば、フルオロカーボンガス及びハイドロフルオロカーボンガスのいずれかまたは両方でよい。一例では、フルオロカーボンガスは、Cガス、Cガス、Cガス、Cガス、Cガス、Cガス及びCガスからなる群から選択される少なくとも1種でよい。一例では、ハイドロフルオロカーボンガスは、CHFガス、CHガス、CHFガス、CHFガス、Cガス、Cガス、Cガス、CHFガス、Cガス、Cガス、Cガス、Cガス、Cガス、Cガス、Cガス、Cガス、C10ガス及びCガスからなる群から選択される少なくとも1種でよい。また、炭素含有ガスは、不飽和結合を有する直鎖状のものであってよい。不飽和結合を有する直鎖状の炭素含有ガスは、例えば、C(ヘキサフルオロプロぺン)ガス、C(オクタフルオロ-1-ブテン、オクタフルオロ-2-ブテン)ガス、C(1,3,3,3-テトラフルオロプロペン)ガス、C(トランス-1,1,1,4,4,4-ヘキサフルオロ-2-ブテン)ガス、CO(ペンタフルオロエチルトリフルオロビニルエーテル)ガス、CFCOFガス(1,2,2,2-テトラフルオロエタン-1-オン)、CHFCOF(ジフルオロ酢酸フルオライド)ガス及びCOF(フッ化カルボニル)ガスからなる群から選択される少なくとも1種でよい。
第1の処理ガス及び/又は第2の処理ガスは、酸素含有ガスをさらに含んでよい。第1の処理ガスと第2の処理ガスの双方に酸素含有ガスが含まれる場合、それぞれに含まれる酸素含有ガスは、同一種のガスでも異なるガスでもよい。ここで、酸素含有ガスは、例えば、O、CO、CO、HO及びHからなる群から選択される少なくとも1種のガスでよい。一例では、酸素含有ガスは、HO以外の酸素含有ガス、例えばO、CO、CO及びHからなる群から選択される少なくとも1種のガスでよい。酸素含有ガスの流量は、炭素含有ガスの流量に応じて調整してよい。
第1の処理ガス及び/又は第2の処理ガスは、フッ素以外のハロゲン含有ガスをさらに含んでよい。第1の処理ガスと第2の処理ガスの双方にフッ素以外のハロゲン含有ガスが含まれる場合、それぞれに含まれるフッ素以外のハロゲン含有ガスは、同一種のガスでも異なるガスでもよい。ここで、フッ素以外のハロゲン含有ガスは、塩素含有ガス、臭素含有ガス及び/又はヨウ素含有ガスでよい。塩素含有ガスは、一例では、Cl、SiCl、SiCl、CCl、SiHCl、SiCl、CHCl、SOCl、BCl、PCl、PCl及びPOClからなる群から選択される少なくとも1種のガスでよい。臭素含有ガスは、一例では、Br、HBr、CBr、CBr、PBr、PBr、POBr及びBBrからなる群から選択される少なくとも1種のガスでよい。ヨウ素含有ガスは、一例では、HI、CFI、CI、CI、IF、IF、I、PIからなる群から選択される少なくとも1種のガスでよい。一例では、フッ素以外のハロゲン含有ガスは、Clガス、Brガス及びHBrガスからなる群から選択される少なくとも1種でよい。一例では、フッ素以外のハロゲン含有ガスは、Clガス又はHBrガスである。
第1の処理ガス及び/又は第2の処理ガスは、不活性ガスをさらに含んでよい。第1の処理ガスと第2の処理ガスの双方に不活性ガスが含まれる場合、それぞれに含まれる不活性ガスは、同一種のガスでも異なるガスでもよい。不活性ガスは、一例では、Arガス、Heガス、Krガス等の貴ガス又は窒素ガスでよい。
第1の処理ガス及び/又は第2の処理ガスは、HFガスに代えて又はHFガスに加えて、プラズマ中にHF種を生成可能なガスを含んでよい。ここで、HF種は、フッ化水素のガス、ラジカル及びイオンの少なくともいずれかを含む。
HF種を生成可能なガスは、例えば、ハイドロフルオロカーボンガスである。ハイドロフルオロカーボンガスは、炭素数が2以上、3以上又は4以上でもよい。ハイドロフルオロカーボンガスは、一例では、CHガス、Cガス、Cガス、Cガス、Cガス、Cガス、Cガス、Cガス、C10ガス及びCガスからなる群から選択される少なくとも1種である。ハイドロフルオロカーボンガスは、一例では、CHガス、Cガス、Cガス及びCガスからなる群から選択される少なくとも1種である。
HF種を生成可能なガスは、例えば、フッ素含有ガス及び水素含有ガスである。フッ素含有ガスは、例えば、フルオロカーボンガスである。フルオロカーボンガスは、一例では、Cガス、Cガス、Cガス、Cガス、Cガス、Cガス及びCガスからなる群から選択される少なくとも1種である。またフッ素含有ガスは、例えば、NFガス又はSFガスでもよい。水素含有ガスは、一例では、Hガス、CHガス及びNHガスからなる群から選択される少なくとも一種である。
図4A~図4Cは、工程ST2における処理ガス(第1の処理ガス又は第2の処理ガス)中のHFガス、タングステン含有ガス及びリン含有ガスの流量の一例を示すタイミングチャートである。図4A~図4Cにおいて、縦軸は、各ガスの流量を示し、横軸は時間を示す。図4Aにおいて、F1は0より大きい流量である。図4Bにおいて、F2は0より大きい流量であり、F3は、F2より小さい流量または0である。一例では、F1>F2>F3の関係が成り立つ。図4Cにおいて、F4は0より大きい流量又は0である。図4A~図4Cにおいて、期間T1(時間t0~時間t1)及び期間T3(時間t2~時間t3)が工程ST21に対応する。また期間T2(時間t1~時間t2)及び期間T4(時間t3~時間t4)が工程ST22に対応する。工程ST21の継続時間(期間T1・T3)と、工程ST22の継続時間(期間T2・T4)との比は、適宜設定してよい。当該比は、例えば、後述するマスクMFの保護と開口OPの閉塞抑制とのバランスを考慮して設定してよい。当該比は、例えば、1:11~11:1の範囲で設定してよい。また工程ST21の継続時間はサイクル毎に同一でも異なってもよい。すなわち、期間T1と期間T3とは、同一でも異なってもよい。例えば、工程ST21の継続時間は、サイクル数に応じて設定されてよい。一例では、サイクル数が所与の回数を超えると、又は、所与のサイクル数ごとに、工程ST21の継続時間を短くしてよい。これにより、シリコン含有膜SFに形成される凹部RCが深くなるにしたがって、工程ST21の継続時間が短くなるようにしてよい。同様に、工程ST22の継続時間はサイクル毎に同一でも異なってもよい。すなわち、期間T2と期間T4とは、同一でも異なってもよい。
図5A~図5Dは、工程ST2の処理中の基板Wの断面構造の一例を示す図である。図5Aは、図4A~図4Cに示す期間T1終了時の基板Wの断面構造の一例を示す。同様に、図5B~図5Dは、ぞれぞれ、期間T2~期間T4終了時の基板Wの断面構造の一例を示す。
図5Aに示すように、期間T1(1サイクル目の工程ST21)における処理により、シリコン含有膜SFのうち、開口OPにおいて露出した部分が深さ方向(図5Aで上から下に向かう方向)にエッチングされ、凹部RCが形成される。またマスクMF上にタングステンを含有する保護膜PFが形成される。保護膜PFは、第1の処理ガスから生成したプラズマ中のタングステン種が、マスクMF上に付着、堆積して形成されると考えられる。保護膜PFは、マスクMFの側壁に形成される。保護膜PFは、マスクMFの上面や凹部RCの少なくとも一部にわたって形成されてもよい。保護膜PFは、エッチングによる副生成物を含んでよい。
保護膜PF中のタングステンは、プラズマ中のHF種との反応性が低く、マスクMFに対する保護を提供する。すなわち、保護膜PFは、マスクMFの側壁がHF種により除去されてマスクMFの形状が悪化することを抑制する。マスクMFの形状悪化が抑制されるので、マスクMFの側壁に衝突してシリコン含有膜SFの側壁に向かうイオンが減少する。これにより、シリコン含有膜SFの側壁が横方向(図5の左右方向)にエッチングされること(ボーイング)が抑制される。なお、ボーイングは、エッチングの形状異常の一つである。
図5Bに示すように、期間T2(1サイクル目の工程ST22)における処理により、シリコン含有膜SFが深さ方向にさらにエッチングされ、凹部RCの深さが大きくなる。期間T2(工程ST22)においてプラズマ処理空間10s内に供給されるタングスタン含有ガスの流量は、期間T1(工程ST21)に比べて小さいか又はゼロである(図4B参照)。そのため、期間T2の間、マスクMFへのタングステン含有膜の堆積が減少又はゼロになり、保護膜PFが徐々に削られる。そして、期間T2(工程ST22)の終了時には、保護膜PFの一部又は全部が除去される。これにより、保護膜PFによる開口OPの幅が狭くなる又は閉塞することが抑制される。なお、期間T2の終了時において、マスクMFの側壁の一部が除去されてもよい。
図5Cに示すように、期間T3(2サイクル目の工程ST21)における処理により、シリコン含有膜SFが深さ方向にさらにエッチングされ、凹部RCの深さが大きくなる。また、期間T1(1サイクル目の工程ST21)と同様、マスクMF上に保護膜PFが再び形成される。上述のとおり、保護膜PFは、マスクMFに対する保護を提供し、シリコン含有膜SFにおけるボーイングの発生を抑制し得る。
図5Dに示すように、期間T4(2サイクル目の工程ST22)における処理により、シリコン含有膜SFが深さ方向にさらにエッチングされ、凹部RCの深さが大きくなる。そして、期間T2(1サイクル目の工程ST22)と同様、期間T4(工程ST22)の終了時には、保護膜PFの一部又は全部が除去される。期間T4の終了時において、マスクMFの側壁の一部が除去されてもよい。なお、図5Dは、期間T4の終了時に底部BTが下地膜UFに達する例を示しているが、これに限られるものではなく、3つ以上のサイクル後に底部BTが下地膜UFに達するようにしてよい。底部BTが下地膜UFに達した状態における凹部RCのアスペクト比は、例えば、20以上でよく、30以上、40以上、50以上、又は100以上でもよい。
本処理方法は、工程ST23において停止条件が満たされると判定されるまで、工程ST21及び工程ST22を含むサイクルを繰り返す。工程ST21(期間T1及び期間T3)では、保護膜PFを形成することで、エッチングに伴うマスクMFの形状悪化が抑制され、これによりシリコン含有膜SFのボーイングが抑制され得る。また工程ST22(期間T2及び期間T4)では、工程ST21で形成された保護膜PFの一部又は全部を除去することで、開口OPの閉塞が抑制され、シリコン含有膜SFのエッチングレートの低下が抑制され得る。このように本処理方法によれば、保護膜PFの形成(工程ST21)と除去(工程ST22)とを交互に繰り返すことで、マスクMFの保護と開口OPの閉塞抑制とをバランスさせてエッチングを行うことができる。すなわち、ボーイングによる形状悪化とエッチングレートの低下との双方を抑制しつつ、シリコン含有膜SFのエッチングを行うことができる。
<変形例>
本開示の実施形態は、本開示の範囲及び趣旨から逸脱することなく種々の変形をなし得る。
例えば、図4Aでは、HFガスの流量が工程ST2を通して一定である例を示したがこれに限られない。一例では、HFガスの流量及び/又は処理ガスに占める流量比(以下「流量/流量比」ともいう。)は、工程ST21(期間T1、期間T3等)と工程ST22(期間T2、期間T4等)とで異ならせてよい。またHFガスの流量/流量比は、サイクル毎に変化させてもよく、例えば、あるサイクル(期間T1、期間T2)と別のあるサイクル(期間T3、期間T4)とで異なる流量/流量比でよい。また例えば、HFガスの流量/流量比は、工程ST21や工程ST22の各エッチングの最中に変化させてよい。一例では、期間T1中にHFガスの流量/流量比を漸次又は段階的に増加又は減少させてもよい(期間T2、T3、T4等においても同様である)。なお、第1の処理ガス又は第2の処理ガスがリン含有ガス等その余のガスを含む場合、当該その余のガスの流量についても工程ST2を通して一定でなくてよく、上記と同様、適宜変化させてよい。
また例えば、図4Bに示す例では、工程ST21(期間T1、期間T3等)におけるタングステン含有ガスの流量(F2)及び工程ST22(期間T2、期間T4等)におけるタングステン含有ガスの流量/流量比はそれぞれ一定であるが、これに限られない。例えば、タングステン含有ガスの流量/流量比を、工程ST21のあるサイクル(期間T1)と別のあるサイクル(期間T3)とで異ならせてよい。またタングステン含有ガスの流量/流量比を、工程ST22のあるサイクル(期間T2)と別のあるサイクル(期間T4)とで異ならせてよい。一実施形態において、タングステン含有ガスの流量/流量比は、サイクル数に応じて設定されてよい。例えば、サイクル数が所与の回数を超えると、又は、所与のサイクル数ごとに、工程ST21(期間T3等)におけるタングステン含有ガスの流量/流量比を小さくしてよい。これにより、エッチングにより形成される凹部RCが深くなるにしたがって、タングステン含有ガスの流量/流量比が小さくなるようにしてよい。一例では、2回目以降の少なくとも1つのサイクルの工程ST21(期間T3等)におけるタングステン含有ガスの流量/流量比は、1回目のサイクルの工程ST21(期間T1)におけるタングステン含有ガスの流量/流量比よりも小さくてよい。タングスタン含有ガスの流量/流量比の減少量は適宜設定されてよく、一例では、1回目のサイクルの1/3以下である。また例えば、タングステン含有ガスの流量/流量比を、工程ST21や工程ST22の各エッチングの最中に変化させてもよい。一例では、期間T1中にHFガスの流量/流量比を漸次又は段階的に増加又は減少させてよい(期間T2、T3、T4等においても同様である)。
また例えば、図6に示すように、工程ST21と工程ST22との順番は逆でもよい。すなわち、はじめに第2の処理ガスを用いてシリコン含有膜SFのエッチングを行った後(工程ST22)、第1の処理ガスを用いてシリコン含有膜SFのエッチングを行ってよい(工程ST21)。
また例えば、図7に示すように、工程ST21の終了後にも停止条件を満たしているか否かを判定してよい。すなわち、工程ST21の終了後においても停止条件を満たしているかを判定し(工程ST24)、停止条件を満たしている場合は、工程ST22に進まず、エッチングを終了するようにしてもよい。
本開示の他の態様において、工程ST2の最初から又は途中から、工程ST21(第1のエッチング)と工程ST22(第2のエッチング)とを交互に実行することに代えて、工程ST21のみを実行してよい。この場合、工程ST21におけるタングスタン含有ガスの流量比は、不活性ガスを除く処理ガスの総流量に対して、0,1体積%以上0.3体積%以下であってよい。
また例えば、本処理方法は、容量結合型のプラズマ処理装置1以外にも、誘導結合型プラズマやマイクロ波プラズマ等、任意のプラズマ源を用いたプラズマ処理装置を用いて実行してよい。
<実施例>
次に、本処理方法の実施例について説明する。本開示は、以下の実施例によって何ら限定されるものではない。
(実施例1)
実施例1では、プラズマ処理装置1を用いて本処理方法を適用し、図3に示す基板Wと同様の構造を有する基板をエッチングした。マスクMFとしては、アモルファスカーボン膜を用いた。シリコン含有膜SFとしては、シリコン窒化膜及びシリコン酸化膜が交互に繰り返し積層された積層膜を用いた。工程ST21で用いた第1の処理ガスは、HFガス、リン含有ガス及びWFガスを含んでいた。工程ST22で用いた第2の処理ガスは、HFガス及びリン含有ガスを含んでいた。そして、工程ST21(30秒)及び工程ST22(30秒)のサイクルを15サイクル繰り返し、合計15分間のエッチングを行った。エッチング中、基板支持部11の温度は10℃に設定した。
(参考例1及び参考例2)
参考例1及び2では、プラズマ処理装置1を用いて、実施例1と同一の構成の基板をエッチングした。参考例1では、実施例1で用いた第1の処理ガスと同じ処理ガスを用いて、15分間エッチングを行った。また参考例2では、実施例1で用いた第2の処理ガスと同じ構成の処理ガスを用いて、15分間エッチングを行った。参考例1及び参考例2いずれもエッチング中、基板支持部11の温度は10℃に設定した。
実施例1、参考例1及び参考例2によるエッチング後のシリコン含有膜SFのエッチング深さ:D[nm]、ボーイング(最大開口幅):B[nm]、エッチング深さ(D)に対するボーイング(B)の割合:B/D、及び、エッチングレート:E[nm/分]は、表1のとおりである。
実施例1は、参考例1に比べて、エッチング深さ(D)に対するボーイング(B)の割合(B/D)が低く、ボーイングがより抑制されていた。また実施例1は、参考例1に比べてエッチングレートが高かった。実施例2は、参考例2に比べて、エッチングレートは低下したものの、エッチング深さDに対するボーイングの割合(B/D)が大幅に低く、ボーイングが大幅に抑制されていた。すなわち、実施例1におけるシリコン含有膜SFのエッチングは、参考例1及び参考例2に比べ、ボーイングを抑制しつつ、エッチングレートの低下を抑制できていた。
(実施例2)
実施例2では、プラズマ処理装置1を用いて本処理方法を適用し、実施例1と同一の構成の基板をエッチングした。すなわち、図3に示す基板Wと同様の構造を有する基板をエッチングした。マスクMFとしては、アモルファスカーボン膜を用いた。シリコン含有膜SFとしては、シリコン窒化膜及びシリコン酸化膜が交互に繰り返し積層された積層膜を用いた。工程ST21で用いた第1の処理ガスは、HFガス、リン含有ガス、Oガス及びWFガスを含んでいた。工程ST22で用いた第2の処理ガスは、HFガス、リン含有ガス及びOガスを含んでいた。工程ST21(15秒)及び工程ST22(45秒)のサイクルを15サイクル繰り返し、合計15分間のエッチングを行った。エッチング中、基板支持部11の温度は10℃に設定した。
(参考例3)
参考例3では、プラズマ処理装置1を用いて、実施例1と同一の構成の基板をエッチングした。参考例3では、処理ガスとして、Cガス、Cガス、CHFガス、CHガス及びOガスを用いたエッチング(25秒)と、処理ガスとしてCガス、Cガス、CHガス、Oガス及びKrガスを用いたエッチング(50秒)のサイクルを14サイクル繰り返し、合計17.5分のエッチングを行った。エッチング中、基板支持部11の温度は10℃に設定した。
実施例2、参考例3によるエッチング後のシリコン含有膜SFのエッチング深さ:D[nm]、ボーイング(最大開口幅):B[nm]、エッチング深さ(D)に対するボーイング(B)の割合:B/D、及び、エッチングレート:E[nm/分]は、表2のとおりである。
実施例2は、参考例3に比べて、エッチングレートが大幅に高い。また実施例2は、参考例3に比べて、エッチング深さ(D)に対するボーイング(B)の割合(B/D)も同等以上に低く、ボーイングも抑制されていた。すなわち、実施例2は、参考例3に比べて、エッチングレートを大幅に高めつつ、ボーイングを抑制できていた。
(実施例3)
実施例3では、プラズマ処理装置1を用いて本処理方法を適用し、実施例1と同一の構成の基板をエッチングした。工程ST21で用いた第1の処理ガスは、HFガス、リン含有ガス、WFガス、ハロゲン含有ガス、ハイドロフルオロカーボンガス及びフルオロカーボンガスを含んでいた。工程ST22で用いた第2の処理ガスは、WFガスを含まない点を除き、第1の処理ガスと同様である。工程ST2においては、工程ST21(20秒)及び工程ST22(40秒)を11サイクル繰り返し、合計11分間のエッチングを行った。
(実施例4)
実施例4は、工程ST2において、工程ST21(40秒)及び工程ST22(20)秒のサイクルを繰り返した点を除き、実施例3と同様である。
(参考例4及び参考例5)
参考例4及び5では、プラズマ処理装置1を用いて、実施例1と同一の構成の基板をエッチングした。参考例4では、実施例3で用いた第2の処理ガスと同じ処理ガスを用いて11分間エッチングを行った。また参考例5では、実施例1で用いた第1の処理ガスと同じ構成の処理ガスを用いて11分間エッチングを行った。
表3は、実施例3、実施例4、参考例4及び参考例5によるエッチングの結果を示す。表3において、D[nm]は、エッチング後のシリコン含有膜SFのエッチング深さを示す。B[nm]はボーイング(最大開口幅)を示す。BT[nm]は、凹部RCの底部、具体的には、マスク膜MFと凹部RCの界面から5μmの深さにおける開口幅を示す。
表3に示すように、実施例3及び実施例4は、参考例4及び参考例5に比べて凹部RCの底部の開口幅が広がっており、先細りが抑制されていた。また実施例3及び実施例4のボーイングは、参考例4及び参考例5と同程度に抑えられていた。
図8は、実施例3及び参考例4のエッチングの結果を示す図である。図8において、(a1)及び(b1)は、それぞれ、実施例3及び参考例4にかかるエッチング後の凹部RCの底部の断面形状を示す図である。(a2)及び(b2)は、それぞれ、実施例3及び参考例4にかかるエッチング後の凹部RCの断面形状を示す図である。
図8の(a1)に示すように、実施例3にかかるエッチングでは、凹部RCの底部の開口幅が大きくなく、底部の断面形状は矩形状になっていた。これに対し、図8の(b1)に示すように、参考例4にかかるエッチングでは、凹部RCの底部の開口幅が小さく、底部に向けて断面形状は先細っていた。また図8の(a2)に示すように、実施例3にかかるエッチングでは、複数の凹部RCのそれぞれが深さ方向に沿ってエッチングされ、曲がりやヨレが抑制されていた。これに対し、図8の(b2)に示すように、実施例4にかかるエッチングでは、複数の凹部RCのいくつかに曲がりやヨレが発生していた。
図9は、実施例3、実施例4、参考例4及び参考例5のエッチングの結果を示す図である。図9は、工程ST21の継続時間とエッチングにより生じるヨレとの関係を示す。図9において、縦軸は、参考例4における凹部RCのヨレ量を100%とした場合のヨレ量σ[%]を示す。横軸は、工程ST2の1つのサイクル(60秒)における工程ST21の継続時間を示す(参考例4は工程ST21を実行しないので0秒とし、参考例5は工程ST21のみを実行するので60秒としている)。
図9に示すように、実施例3、実施例4及び参考例5は、参考例4に比べてヨレがいずれも抑制されており、また1つのサイクルにおける工程ST21の継続時間が長いほどヨレがより抑制されていた。
本開示の実施形態は、以下の態様をさらに含む。
(付記1)
チャンバを有するプラズマ処理装置において実行されるプラズマ処理方法であって、
(a)シリコン含有膜と前記シリコン含有膜上のマスクとを有する基板を提供する工程と、
(b)前記シリコン含有膜をエッチングする工程と、を含み、
前記(b)の工程は、
(b-1)フッ化水素ガスとタングステン含有ガスとを含む第1の処理ガスから生成したプラズマを用いて、前記シリコン含有膜をエッチングする工程と、
(b-2)フッ化水素ガスを含む第2の処理ガスから生成したプラズマを用いて、前記シリコン含有膜をエッチングする工程であって、前記第2の処理ガスは、タングステン含有ガスを含まない、又は、前記第1の処理ガスにおける前記タングステン含有ガスの流量比よりも小さい流量比でタングステン含有ガスを含む工程と、を含む、
プラズマ処理方法。
(付記2)
前記(b)の工程において、前記(b-1)の工程と前記(b-2)の工程とを交互に繰り返す、付記1に記載のプラズマ処理方法。
(付記3)
前記(b)の工程において、前記(b-1)の工程と前記(b-2)の工程とを含むサイクルを複数回繰り返し、
2回目以降の少なくとも1つの前記サイクルの前記(b-1)の工程において、前記第1の処理ガスに対する前記タングステン含有ガスの流量比は、1回目の前記サイクルの前記(b-1)の工程における前記流量比よりも小さい、付記1に記載のプラズマ処理方法。
(付記4)
前記第1の処理ガスに含まれるタングステン含有ガス及び前記第2の処理ガスに含まれるタングステン含有ガスの少なくとも一方は、WFaCl(a及びbはそれぞれ0以上6以下の整数であり、aとbとの和は2以上6以下である)ガスである、付記1乃至付記3のいずれか1つに記載のプラズマ処理方法。
(付記5)
前記第1の処理ガスに含まれるタングステン含有ガス及び前記第2の処理ガスに含まれる前記タングステン含有ガスの少なくとも一方は、WFガス及びWClガスの少なくともいずれかのガスである、付記1乃至付記4のいずれか1つに記載のプラズマ処理方法。
(付記6)
前記第1の処理ガスにおいて、不活性ガスを除く全てのガスのうち、前記フッ化水素ガスの流量が最も多い、付記1乃至付記5のいずれか1つに記載のプラズマ処理方法。
(付記7)
前記第1の処理ガスにおいて、不活性ガスを除く全てのガスのうち、前記タングステン含有ガスの流量が最も少ない、付記1乃至付記6のいずれか1つに記載のプラズマ処理方法。
(付記8)
前記第1の処理ガスにおいて、フッ化水素ガスの流量は、前記タングステン含有ガスの流量の10倍以上である、付記1乃至付記7のいずれか1つに記載のプラズマ処理方法。
(付記9)
前記第1の処理ガス及び前記第2の処理ガスの少なくとも一方は、リン含有ガスをさらに含む、付記1乃至付記8のいずれか1つに記載のプラズマ処理方法。
(付記10)
前記リン含有ガスは、ハロゲン化リンガスである、付記9に記載のプラズマ処理方法。
(付記11)
前記第1の処理ガス及び前記第2の処理ガスの少なくとも一方は、炭素含有ガスをさらに含む、付記1乃至付記10のいずれか1つに記載のプラズマ処理方法。
(付記12)
前記炭素含有ガスは、フルオロカーボンガス又はハイドロフルオロカーボンガスのいずれかである、付記11に記載のプラズマ処理方法。
(付記13)
前記第1の処理ガス及び前記第2の処理ガスの少なくとも一方は、酸素含有ガスをさらに含む、付記1乃至付記12のいずれか1つに記載のプラズマ処理方法。
(付記14)
前記第1の処理ガス及び前記第2の処理ガスの少なくとも一方は、フッ素以外のハロゲン含有ガスをさらに含む、付記1乃至付記13のいずれか1つに記載のプラズマ処理方法。
(付記15)
前記マスクは、ホールパターン又はスリットパターンを有する、付記1乃至付記14のいずれか1つに記載のプラズマ処理方法。
(付記16)
チャンバを有するプラズマ処理装置において実行されるプラズマ処理方法であって、
(a)シリコン含有膜と前記シリコン含有膜上のマスクとを有する基板を提供する工程と、
(b)前記シリコン含有膜をエッチングする工程と、を含み、
前記(b)の工程は、
(b-1)フッ化水素種とタングステン、チタン又はモリブデンの少なくともいずれかを含有する化学種とを含む第1のプラズマを用いて前記シリコン含有膜をエッチングする工程と、
(b-2)フッ化水素種を含む第2のプラズマを用いて前記シリコン含有膜をエッチングする工程であって、前記第2のプラズマは、前記化学種を含まない、又は、前記化学種を前記第1のプラズマにおける前記化学種の分圧よりも小さい分圧で含む工程と、を含む、
プラズマ処理方法。
(付記17)
前記(b)の工程において、前記(b-1)の工程と前記(b-2)の工程とを交互に繰り返す、付記16に記載のプラズマ処理方法。
(付記18)
前記フッ化水素種は、フッ化水素ガス又はハイドロフルオロカーボンガスの少なくとも1種のガスから生成される、付記16又は付記17のいずれかに記載のプラズマ処理方法。
(付記19)
前記フッ化水素種は、炭素数が2以上のハイドロフルオロカーボンガスから生成される、付記16又は付記17のいずれかに記載のプラズマ処理方法。
(付記20)
前記フッ化水素種は、フッ素含有ガス及び水素含有ガスから生成される、付記16又は付記17のいずれかに記載のプラズマ処理方法。
(付記21)
前記第1のプラズマ及び前記第2のプラズマの少なくとも一方は、リン含有種をさらに含む、付記16乃至付記20のいずれか一つに記載のプラズマ処理方法。
(付記22)
チャンバ、前記チャンバ内に設けられた基板支持部、プラズマ生成部、及び、制御部を備え、
前記制御部は、
(a)シリコン含有膜と前記シリコン含有膜上のマスクとを有する基板を、前記基板支持部上に提供する制御と、
(b)前記シリコン含有膜をエッチングする制御と、を実行し、
前記(b)の制御は、
(b-1)フッ化水素ガスとタングステン含有ガスとを含む第1の処理ガスから生成したプラズマを用いて、前記シリコン含有膜をエッチングする制御と、
(b-2)フッ化水素ガスを含む第2の処理ガスから生成したプラズマを用いて、前記シリコン含有膜をエッチングする工程であって、前記第2の処理ガスは、タングステン含有ガスを含まない、又は、前記第1の処理ガスにおける前記タングステン含有ガスの流量比よりも小さい流量比でタングステン含有ガスを含む制御と、を含む、
プラズマ処理システム。
(付記23)
チャンバを有するプラズマ処理装置において実行されるデバイス製造方法であって、
(a)シリコン含有膜と前記シリコン含有膜上のマスクとを有する基板を提供する工程と、
(b)前記シリコン含有膜をエッチングする工程と、を含み、
前記(b)の工程は、
(b-1)フッ化水素ガスとタングステン含有ガスとを含む第1の処理ガスから生成したプラズマを用いて、前記シリコン含有膜をエッチングする工程と、
(b-2)フッ化水素ガスを含む第2の処理ガスから生成したプラズマを用いて、前記シリコン含有膜をエッチングする工程であって、前記第2の処理ガスは、タングステン含有ガスを含まない、又は、前記第1の処理ガスにおける前記タングステン含有ガスの流量比よりも小さい流量比でタングステン含有ガスを含む工程と、を含む、
デバイス製造方法。
(付記24)
チャンバ、前記チャンバ内に設けられた基板支持部、プラズマ生成部を備えるプラズマ処理システムのコンピュータに、
(a)シリコン含有膜と前記シリコン含有膜上のマスクとを有する基板を、前記基板支持部上に提供する制御と、
(b)前記シリコン含有膜をエッチングする制御と、を実行させ、
前記(b)の制御は、
(b-1)フッ化水素ガスとタングステン含有ガスとを含む第1の処理ガスから生成したプラズマを用いて、前記シリコン含有膜をエッチングする制御と、
(b-2)フッ化水素ガスを含む第2の処理ガスから生成したプラズマを用いて、前記シリコン含有膜をエッチングする工程であって、前記第2の処理ガスは、タングステン含有ガスを含まない、又は、前記第1の処理ガスにおける前記タングステン含有ガスの流量比よりも小さい流量比でタングステン含有ガスを含む制御と、を含む、
プログラム。
(付記25)
付記24に記載のプログラムを格納した、記憶媒体。
1……プラズマ処理装置、2……制御部、10……プラズマ処理チャンバ、10s……プラズマ処理空間、11……基板支持部、13……シャワーヘッド、20……ガス供給部、31a……第1のRF生成部、31b……第2のRF生成部、32a……第1のDC生成部、SF……シリコン含有膜、MF……マスク、OP……開口、PF……保護膜、RC……凹部、UF……下地膜、W……基板

Claims (20)

  1. チャンバを有するプラズマ処理装置において実行されるプラズマ処理方法であって、
    (a)シリコン含有膜と前記シリコン含有膜上のマスクとを有する基板を提供する工程と、
    (b)前記シリコン含有膜をエッチングする工程と、を含み、
    前記(b)の工程は、
    (b-1)フッ化水素ガスとタングステン含有ガスとを含む第1の処理ガスから生成したプラズマを用いて、前記シリコン含有膜をエッチングする工程と、
    (b-2)フッ化水素ガスを含む第2の処理ガスから生成したプラズマを用いて、前記シリコン含有膜をエッチングする工程であって、前記第2の処理ガスは、タングステン含有ガスを含まない、又は、前記第1の処理ガスにおける前記タングステン含有ガスの流量比よりも小さい流量比でタングステン含有ガスを含む工程と、を含む、
    プラズマ処理方法。
  2. 前記(b)の工程において、前記(b-1)の工程と前記(b-2)の工程とを交互に繰り返す、請求項1に記載のプラズマ処理方法。
  3. 前記(b)の工程において、前記(b-1)の工程と前記(b-2)の工程とを含むサイクルを複数回繰り返し、
    2回目以降の少なくとも1つの前記サイクルの前記(b-1)の工程において、前記第1の処理ガスに対する前記タングステン含有ガスの流量比は、1回目の前記サイクルの前記(b-1)の工程における前記流量比よりも小さいか、または、
    2回目以降の少なくとも1つの前記サイクルの前記(b-1)の工程の時間は、1回目の前記サイクルの前記(b-1)の工程の時間よりも短い、請求項1に記載のプラズマ処理方法。
  4. 前記第1の処理ガスに含まれるタングステン含有ガス及び前記第2の処理ガスに含まれるタングステン含有ガスの少なくとも一方は、WFaCl(a及びbはそれぞれ0以上6以下の整数であり、aとbとの和は2以上6以下である)ガスである、請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載のプラズマ処理方法。
  5. 前記第1の処理ガスに含まれるタングステン含有ガス及び前記第2の処理ガスに含まれる前記タングステン含有ガスの少なくとも一方は、WFガス及びWClガスの少なくともいずれかのガスである、請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載のプラズマ処理方法。
  6. 前記第1の処理ガスにおいて、不活性ガスを除く全てのガスのうち、前記フッ化水素ガスの流量が最も多い、請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載のプラズマ処理方法。
  7. 前記第1の処理ガスにおいて、不活性ガスを除く全てのガスのうち、前記タングステン含有ガスの流量が最も少ない、請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載のプラズマ処理方法。
  8. 前記第1の処理ガスにおいて、フッ化水素ガスの流量は、前記タングステン含有ガスの流量の10倍以上である、請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載のプラズマ処理方法。
  9. 前記第1の処理ガス及び前記第2の処理ガスの少なくとも一方は、リン含有ガスをさらに含む、請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載のプラズマ処理方法。
  10. 前記リン含有ガスは、ハロゲン化リンガスである、請求項9に記載のプラズマ処理方法。
  11. 前記第1の処理ガス及び前記第2の処理ガスの少なくとも一方は、炭素含有ガスをさらに含む、請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載のプラズマ処理方法。
  12. 前記炭素含有ガスは、フルオロカーボンガス又はハイドロフルオロカーボンガスのいずれかである、請求項11に記載のプラズマ処理方法。
  13. 前記第1の処理ガス及び前記第2の処理ガスの少なくとも一方は、酸素含有ガスをさらに含む、請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載のプラズマ処理方法。
  14. 前記第1の処理ガス及び前記第2の処理ガスの少なくとも一方は、フッ素以外のハロゲン含有ガスをさらに含む、請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載のプラズマ処理方法。
  15. 前記マスクは、ホールパターン又はスリットパターンを有する、請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載のプラズマ処理方法。
  16. チャンバを有するプラズマ処理装置において実行されるプラズマ処理方法であって、
    (a)シリコン含有膜と前記シリコン含有膜上のマスクとを有する基板を提供する工程と、
    (b)前記シリコン含有膜をエッチングする工程と、を含み、
    前記(b)の工程は、
    (b-1)フッ化水素種とタングステン、チタン又はモリブデンの少なくともいずれかを含有する化学種とを含む第1のプラズマを用いて前記シリコン含有膜をエッチングする工程と、
    (b-2)フッ化水素種を含む第2のプラズマを用いて前記シリコン含有膜をエッチングする工程であって、前記第2のプラズマは、前記化学種を含まない、又は、前記化学種を前記第1のプラズマにおける前記化学種の分圧よりも小さい分圧で含む工程と、を含む、
    プラズマ処理方法。
  17. 前記フッ化水素種は、フッ化水素ガス又はハイドロフルオロカーボンガスの少なくとも1種のガスから生成される、請求項16に記載のプラズマ処理方法。
  18. 前記フッ化水素種は、炭素数が2以上のハイドロフルオロカーボンガスから生成される、請求項16に記載のプラズマ処理方法。
  19. 前記フッ化水素種は、フッ素含有ガス及び水素含有ガスから生成される、請求項16に記載のプラズマ処理方法。
  20. チャンバ、前記チャンバ内に設けられた基板支持部、プラズマ生成部、及び、制御部を備え、
    前記制御部は、
    (a)シリコン含有膜と前記シリコン含有膜上のマスクとを有する基板を、前記基板支持部上に提供する制御と、
    (b)前記シリコン含有膜をエッチングする制御と、を実行し、
    前記(b)の制御は、
    (b-1)フッ化水素ガスとタングステン含有ガスとを含む第1の処理ガスから生成したプラズマを用いて、前記シリコン含有膜をエッチングする制御と、
    (b-2)フッ化水素ガスを含む第2の処理ガスから生成したプラズマを用いて、前記シリコン含有膜をエッチングする工程であって、前記第2の処理ガスは、タングステン含有ガスを含まない、又は、前記第1の処理ガスにおける前記タングステン含有ガスの流量比よりも小さい流量比でタングステン含有ガスを含む制御と、を含む、
    プラズマ処理システム。
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