JP2023125262A5 - - Google Patents
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Description
＜実施形態２＞
本形態は、保護層２０の一部を２層構造にしたセンサ素子２について示す。図５に示すように、本形態の保護層２０の遮蔽側部分２２は、気孔率が相対的に大きい内側層２２１と、内側層２２１の外側に積層され、内側層２２１に比べて気孔率が相対的に小さい外側層２２２とによって構成されている。内側層２２１は、センサ素子２の対向方向Ｄにおける遮蔽側の部分の保温効果を高めるために、保護層２０のヒータ側部分２１及び外側層２２２に比べて気孔率を高くしたものである。
本形態は、保護層２０の一部を２層構造にしたセンサ素子２について示す。図５に示すように、本形態の保護層２０の遮蔽側部分２２は、気孔率が相対的に大きい内側層２２１と、内側層２２１の外側に積層され、内側層２２１に比べて気孔率が相対的に小さい外側層２２２とによって構成されている。内側層２２１は、センサ素子２の対向方向Ｄにおける遮蔽側の部分の保温効果を高めるために、保護層２０のヒータ側部分２１及び外側層２２２に比べて気孔率を高くしたものである。
遮蔽側部分２２の厚みｔ２が大きくなるほど、印加電圧を高くしてもセンサ素子２のサンプルに割れが生じにくくなることが分かった。そして、この割れは、遮蔽側部分２２の厚みｔ２が４９８μｍ未満になると、低い印加電圧であっても生じやすくなることが分かった。そのため、遮蔽側部分２２の厚みｔ２が４９８μｍ以上であることにより、センサ素子２の耐久性が向上することが分かった。また、遮蔽側部分２２の厚みｔ２は、温度分布がどれだけ生じにくくなるかを考慮して、例えば、７３０μｍ以下とすればよい。
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Applications Claiming Priority (1)
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Publications (2)
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|---|---|
| JP2023125262A JP2023125262A (ja) | 2023-09-07 |
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Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| JP2022029257A Pending JP2023125262A (ja) | 2022-02-28 | 2022-02-28 | ガスセンサ |
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2022
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