JP2023104351A

JP2023104351A - スクリーンマスク用メッシュ、スクリーンマスク、スクリーンマスクの製造方法及び印刷物の製造方法

Info

Publication number: JP2023104351A
Application number: JP2022005280A
Authority: JP
Inventors: 華奈松本; Kana Matsumoto; 恵坪井; Megumi Tsuboi; 芙早子飯島; Fusako Iijima; 希仁青木; Marehito Aoki; 晃一旭; Koichi Asahi
Original assignee: Mitani Micronics Co Ltd
Current assignee: Mitani Micronics Co Ltd
Priority date: 2022-01-17
Filing date: 2022-01-17
Publication date: 2023-07-28

Abstract

【課題】メッシュの耐久性及び印刷精度を確保できるスクリーンマスク用メッシュ、スクリーンマスク、及び印刷物の製造方法を提供する。【解決手段】一形態にかかるスクリーンマスク用メッシュは、第１方向に沿って配され、第２方向に並ぶ複数の縦糸と、第２方向に沿って配され、第１方向に複数並ぶ横糸と、で編成されるメッシュであって、前記横糸が縦糸の線径より細い。【選択図】図３

Description

本発明の実施形態は、スクリーンマスク用メッシュ、スクリーンマスク、スクリーンマスクの製造方法及び印刷物の製造方法に関する。

印刷手法の一つであるスクリーン印刷法は，線材で編成されたメッシュ上に樹脂組成物で形成されマスク膜を有するスクリーンマスクを用い、マスク膜に形成されたパターン開口に対応する任意のパターンで塗布材を対象物に塗布することで印刷物を形成する方法である。このスクリーン印刷法は、例えば配線、電極、蛍光材料の印刷等、種々の印刷に用いられ、電子部品等を含む様々な分野で利用されている。例えばメッシュは線材が縦横に複数配列され編成されている。縦糸と横糸には同じ線材が用いられるのが一般的である。

特開２０１３－１６９７８３号公報

このようなスクリーンマスクにおいて、メッシュの耐久性の確保及び印刷精度の確保が求められる。

本発明の一形態にかかるスクリーンマスク用メッシュは、第１方向に沿って配され、第２方向に並ぶ複数の縦糸と、第２方向に沿って配され、第１方向に複数並ぶ横糸と、で編成されるメッシュであって、前記横糸が縦糸よりも細い。

本発明の実施形態によれば、メッシュの耐久性及び印刷精度を確保できるスクリーンマスク用メッシュ、スクリーンマスク、スクリーンマスクの製造方法及び印刷物の製造方法を提供できる。

第１実施形態にかかるスクリーン印刷装置の構成を示す平面図。同スクリーン印刷装置の断面図。同スクリーン印刷装置の断面図。同スクリーン印刷装置のスクリーンマスクの断面図。同スクリーンマスクのメッシュの構成を示す平面図。同スクリーンマスクのメッシュの構成を示す断面図。同実施形態にかかるスクリーンマスクのメッシュの製造工程を示す説明図。同実施形態にかかるスクリーンマスクのメッシュの製造工程を示す説明図。同実施形態にかかるスクリーンマスクのメッシュの弾性強度及び引っ張り荷重と伸び量の関係を示す説明図。メッシュの一例についての線材評価の説明図。メッシュの一例についてのＣＡＬ加工の説明図。

以下、本発明の第１実施形態にかかるスクリーン印刷装置１０及びスクリーンマスク２０について図１乃至図６を参照して説明する。図１は本実施形態に係るスクリーン印刷装置１０をＺ方向から見た平面図であり、図２はＸ方向から見た断面図である。図３はスクリーン印刷装置１０をＹ方向から見た断面図である。図４スクリーンマスクの断面図、図５はメッシュの平面図、図６はメッシュの断面図である。図７及び図８はメッシュの製造装置の概略構成であり、メッシュを製造するための装置の構成を示している。
図９は、メッシュのヤング率および引っ張り強度と伸び量の関係を示す説明図である。なお、各図では説明のため、適宜構成を拡大、縮小、省略して示している。図中矢印Ｘ，Ｙ，Ｚは互いに直交する３方向をそれぞれ示している。本実施形態において、一例として縦糸２２ａ，２６ａ，２７ａが第１方向に沿って延び、横糸２２ｂ，２６ｂ，２７ｂが第１方向と直交する第２方向に、延出する例を示す。

図１乃至図６に示すように、スクリーン印刷装置１０は、スクリーンマスク２０と、スクリーンマスク２０の印刷面側である一方の面（表面）に対向して印刷媒体３０を保持する保持部材１２と、スクリーンマスク２０の印刷面側とは反対の他方の面（裏面）に当接した状態で移動可能に構成されたスキージ１３と、スキージ１３を移動させる移動手段と、スクリーンマスク２０を印刷媒体３０に対向して支持する支持手段と、を備える。

スクリーン印刷装置１０は、印刷媒体３０の表面に、各種印刷材料を所定のパターンで形成する。スクリーン印刷装置１０は、例えば、チップ部品（コンデンサー、チップ抵抗、インダクター、サーミスター等）、タッチパネル、液晶基板（Ｌｉｑｕｉｄｃｒｙｓｔａｌｄｉｓｐｌａｙ，ＬＣＤ）シール、ＬＴＣＣ（ＬｏｗＴｅｍｐｅｒａｔｕｒｅＣｏ－ｆｉｒｅｄｃｅｒａｍｉｃｓ）基板、太陽電池用電極、その他の電子部品等の製造に用いられる。

スクリーンマスク２０は、フレーム２１と、フレーム２１に張設されたメッシュ２２（スクリーンマスク用メッシュ）と、メッシュ２２に形成されたマスク膜２３と、を備える。スクリーンマスク２０において、印刷を行う際に印刷媒体３０の表面に対向する側を表面とし、その反対側であって塗布材が供給される側を裏面とする。

フレーム２１は、互いに平行な２対の辺を有し、例えば所望のサイズの方形の開口を備える枠状に構成される。フレーム２１はメッシュ２２の外周縁を支持し、開口にメッシュ２２を張設する。本実施形態では一例として、フレーム２１の開口部のＹ方向の寸法＝２７５ｍｍ、Ｘ方向の寸法＝２７５ｍｍ、とした。

またフレーム２１は、所定量の塗布材をマスク膜２３の裏面側に保持する枠としても機能する。フレーム２１とメッシュ２２は、例えば合成ゴム系やシアノアクリレート系の接着剤により接合部で接合されている。

メッシュ２２は、伸び率の異なる内側のメインメッシュ２６と外側のサポートメッシュ２７とが例えばＵＶ硬化性の接着剤により接合部で固定されて接続された、いわゆるコンビネーション型である。メッシュ２２は、フレーム２１の開口部分にマスク膜２３を保持する。

メインメッシュ２６は、正方形状又は長方形状に構成されている。本実施形態においては一例としてメインメッシュ２６はＹ方向の寸法＝２２０ｍｍ、Ｘ方向の寸法＝２００ｍｍの長方形とした。

メインメッシュ２６は、線材である縦糸２６ａと横糸２６ｂとが編まれて形成された織物であり、縦糸２６ａと横糸２６ｂがそれぞれ複数列に配列され、塗布材を透過可能に開口した透過部である孔部２６ｃを多数有している。メインメッシュ２６の縦糸２６ａと横糸２６ｂは、例えば金属材料で構成されている。一例として、縦糸２６ａと横糸２６ｂはいずれも同じ材料で構成される。縦糸２６ａ及び横糸２６ｂは、タングステン化合物を含む金属材料で構成される。

本実施形態において一例として、メインメッシュ２６は、例えば縦糸２６ａが、図１中の矢印に沿うスキージ１３の移動方向に延び、横糸２６ｂがスキージ１３の移動方向と直交する幅方向に沿うように設置される。なお、設置方向として縦糸２６ａと横糸２６ｂの方向を入れ替えても良く、あるいはいずれもスキージ１３の移動方向に対して斜めに傾斜させてもよい。

例えば製造過程において、メインメッシュ２６は、図７，８に示すように、縦糸２６ａが所定のピッチで並んで配列されている状態で縦糸２６ａの両側を支持ローラ１０１、１０２で保持し、一方向に所定の張力を与える。そして隣接する縦糸２６ａ同士を、引っ張り方向及び横方向と直交する上方と下方に交互になるように支持部材１０４で支持し、複数本の横糸２６ｂを、上下の縦糸２６ａの間に、引っ張り方向とは交差する方向に通して投入し、支持体１０３で１０１側に２６ａと同ピッチになるように詰めていく。そして、縦糸２６ａの上下位置を入れ替えて横糸２６ｂの投入を繰り返し、横糸２６ｂが縦糸２６ａの一方と他方を交互に通る様に編成する。このように製織されたメインメッシュ２６は、縦糸２６ａの方が横糸２６ｂよりも上下に動かされ負荷が大きく、縦糸２６ａの波形のうねりが大きい。すなわち、縦糸２６ａ及び横糸２６ｂはいずれも波形を呈しているが、より縦糸の方がより振幅が大きい波形となる。

このようなメッシュ２２の製造過程において、縦糸の方が振れ幅の大きい波形となる分、縦糸２６ａの第１方向の張力が高くなり、編成後のメッシュ２２における、縦糸２６ａの並列方向（すなわち横糸２６ｂの延出方向）の両側が、中央に向かう応力が生じる。そのため、支持部材１０４に配置される金属板のエッジによって擦れやすくなり、縦糸が切れやすい現象（断線）が起こる。

このため、横糸は縦糸の線径の５０％－９７％の太さであり、より好ましくは８０％－９７％である。このように横糸２６ｂの線径を細くし、縦糸を太くすることによって横糸２６ｂの波形のうねりを縦糸同等レベルにすることで、縦糸２６ａの波形のうねりが小さくなり、中央に向かう応力が少なくなることで、縦糸の断線を防ぐことができる。

メインメッシュ２６は、縦糸２６ａが横糸２６ｂよりも太く構成される。またメインメッシュ２６は、縦糸２６ａが横糸２６ｂよりもヤング率が高く構成される。言い換えると、横糸２６ｂは縦糸２６ａよりもヤング率が低く構成される。

一例として、横糸２６ｂの線径ｄ２が縦糸２６ａの線径ｄ１の３％－５０％程度細く構成される。言い換えると横糸２６ｂの線径ｄ２は縦糸２６ａの線径ｄ１の５０％－９７％の太さである。縦糸２６ａは線径ｄ１＝φ１３μｍであり配列の密度が４３０本／ｉｎｃｈに構成されている。一方横糸２６ｂは線径ｄ２＝φ１１μｍであり配列の密度が４３０本／ｉｎｃｈに構成されている。

一例として、例えばメインメッシュ２６において、縦糸２６ａの線径ｄ１を１３．０μｍ－１３．３μｍとし、横糸２６ｂの線径ｄ２を１２．７μｍ－１３．０μｍとすることで、断線を防止できる。

また、他の一例として、縦糸２６ａの線径ｄ１を１３．０μｍとし、横糸２６ｂの線径ｄ２を１１μｍとすることで、高精細と耐刷性を両立させることができる。

すなわち、メインメッシュ２６は、メッシュ厚みが縦糸の厚さ方向の寸法、すなわち線径ｄ１の２倍よりも薄く構成される。

メインメッシュ２６の縦糸２６ａ及び横糸２６ｂは、線材の状態で測ったヤング率が、２５００Ｎ／ｍｍ^２－４０００Ｎ／ｍｍ^２であり、より好ましくは３０００Ｎ／ｍｍ^２－３７００Ｎ／ｍｍ^２、さらに好ましくは、３５０１Ｎ／ｍｍ^２－３７００Ｎ／ｍｍ^２である。
ここで、ヤング率は以下の式１で表される。
ヤング率（Ｎ／ｍｍ^２）＝傾き×標点距離（ｍｍ）／試験片の断面積（ｍｍ^２）
［式１］
例えば試験条件について、一例として、試験機：オートグラフＡＧＳ－Ｓ，５ｋＮロードセル（島津製作所）を用い、試験片を、線径１３μｍ、長さ３００ｍｍの線材、標点距離は２００ｍｍとし、試験片が破断するまで引っ張り、引張時の立ち上がり初めのほぼ直線になった部分を最小二乗法により傾きを算出する。例えば図９に示すように、試験片のスペックを例えばサイズが線径１３μｍ、長さ３００ｍｍの線材とした場合、標点距離を２００ｍｍとして、２００ｍｍ離れた２箇所で試験片を両脇で挟み、試験片が破断するまで引っ張り、最小二乗法を用いて、傾きを算出する。なお、試験片の断面積は引っ張り方向に直交する断面となり、形状に依存する。例えば線径１３μｍの円形の線材である場合には断面積は１３２．６μｍ^２となる。例えば傾きは、小さいほど柔らかく、大きいほど硬いということになる。

サポートメッシュ２７は、メインメッシュ２６の外周に接着剤によって接合されている。サポートメッシュ２７は、縦糸２７ａと横糸２７ｂとが編まれて形成された織物であり、線材が複数列に配列されて構成されている。サポートメッシュ２７は、メインメッシュ２６よりも伸び率が低く構成されている。サポートメッシュ２７の、縦糸２７ａと横糸２７ｂとは、例えば、金属のワイヤで構成され、例えばステンレスを含む金属材料で構成される。

サポートメッシュ２７の外形はフレーム２１の開口部分２１ａの形状に対応する形状であって、Ｘ方向の寸法とＹ方向の寸法が同等の正方形状に構成されている。サポートメッシュ２７の外周が接着剤等によってフレーム２１に接合され、支持されている。

マスク膜２３は、光硬化性の樹脂組成物、例えばＰＶＡ、ＰＶＡｃ、シリコン樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂等からなる層である。マスク膜２３は、メッシュ２２に形成され、フレーム２１の開口部分に配されている。マスク膜２３には、マスクレス露光によって、印刷用の所定のパターン開口２３ａが形成されている。パターン開口２３ａはメインメッシュ２６の部分に形成されている。例えばパターン開口２３ａは所定形状のラインパターンである。本実施形態において、メインメッシュ２６の外縁よりも内側にパターンが形成される有効エリアが規定され、その有効エリアの内側に、パターン開口２３ａが形成される。

マスク膜２３は、パターン開口２３ａにおいて感光性樹脂が存在せず、メッシュ２２の孔部を通過して塗布材が裏面から表面へと透過可能な印刷部を構成する。マスク膜２３のパターン開口２３ａ以外であってメッシュ２２の孔部が感光性樹脂で塞がれた部位は、塗布材としてのインクを透過しない非印刷部を構成する。

マスク膜２３が形成されたメッシュ２２は、例えばスキージ１３による押圧力によって撓み変形し、押圧力が解除されることで復元するように、弾性変形可能に構成されている。マスク膜２３のパターン開口２３ａに塗布材が保持された状態で、メッシュ２２の弾性変形によりマスク膜２３が印刷媒体３０に接離することで、塗布材がパターン開口２３ａから印刷媒体３０に転写される。

スキージ１３は例えばウレタンゴム・シリコンゴム・合成ゴム・金属・プラスチック等の材料から、例えば薄い板状に構成される。例えば、スキージ１３は先端の厚みが低減するように面取りされている。スキージ１３はフレーム２１に対して往復移動可能に構成されている。例えばスキージ１３は移動方向と直交する方向においてマスク膜２３の領域の全長にわたる長さを有して構成される。スキージ１３の先端部分がスクリーンマスク２０の裏面に当接し、表側に押しつけられた状態で、Ｙ方向に沿う移動方向に移動することで、マスク膜２３の全面を押圧し、塗布材が予め充填されたパターン開口２３ａから塗布材を表側に押し出す。

支持手段は、印刷媒体３０に対して所定の間隔Ｇ１を開けて平行に、フレーム２１を支持する。移動手段は、スキージ１３を所定の速度で第１方向に沿って移動させる。

次に、本実施形態にかかるスクリーン印刷装置１０を用いたスクリーン印刷法により印刷物を製造する印刷物の製造方法について説明する。まず、スクリーンマスク２０の表面側を保持部材１２で保持された印刷媒体３０の表面に対向させて配置する。

そして、高粘度のペースト状の塗布材をスクリーンマスク２０の裏面側、すなわち、印刷媒体３０とは反対側の面から供給し、塗布材をパターン開口２３ａ内に充填させる。

次に、スクリーンマスク２０の裏面、すなわち印刷面側とは反対側の面に、スキージ１３を配置する。このとき、例えばスキージ１３を、印刷媒体３０の表側の面に対して所定の角度で配置する。そして、スキージ１３をメッシュ２２及びマスク膜２３の裏面において、所定の印圧で印刷媒体３０側に向けて押しつけながら、Ｙ方向に沿って、所定の速度で移動させる。

スキージ１３は、例えばマスク膜２３の裏面全面にわたる領域でマスク膜２３を押圧する。スキージ１３の押圧により、マスク膜２３は押圧される部分が表側に変位するように変形し、印刷媒体３０に当接する。スキージ１３が通過した塗布材がパターン開口２３ａから印刷媒体３０側に押し出される。

スキージ１３が通過した後、マスク膜２３及びメッシュ２２が復元するように変形して印刷媒体３０から離れるとともに、一部の塗布材が印刷媒体３０上に転写されて残ることで、印刷媒体３０上にパターン印刷がなされ、印刷物が完成する。例えば、パターン開口２３ａとして複数の同じモジュールパターンを同時に描画し、印刷後に印刷物を切断して分割することで、同じモジュールパターンを有する複数の印刷物が製造される。なお塗布材は、例えば金属材や樹脂材などを含む各種材料であり、印刷対象の種類、例えば、電子部品、ディスプレイ、等によって、多様な材料が用いられる。

印刷時にはＸ方向に長いスキージ１３を、Ｚ方向に押し付けながら、Ｙ方向に所定量移動させる。この移動と押しつけによってメッシュ２２が変形して伸びる。

次に、本実施形態にかかるスクリーンマスク２０の製造方法について説明する。

マスク材となる乳剤は、光硬化性の樹脂であり、たとえばポリビニルアルコール（ＰＶＡ）、ポリ酢酸ビニル（ＰＶＡｃ）、シリコン樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂等を包含する液体である。

まず、フレーム２１の枠内にメッシュ２２を平面となるように取り付ける。この状態で、乳剤をメッシュ２２上に塗布する塗布処理を行う。このとき、乳剤を平らにならしながら塗布することで、メッシュ２２上に、乳剤が平板状に形成される。このとき、塗布する回数に応じて厚さが変わるため、必要に応じて複数回塗布を繰り返す。また、乾燥後に膜厚を測定し場合によっては追加で塗布することもある。本実施形態では乾燥後に乳厚が所望の厚さとなるように乳剤の厚さを設定する。

次に、マスクを用いないマスクレス露光により、露光処理を行う。具体的には、所定の露光パターン領域に、乳剤の表面側を紫外線ランプや紫外線ＬＥＤ等の照射ヘッドに向けて配置し、照射ヘッドにより光を照射させ、乳剤の表面を照らす露光処理を行う。

露光処理によって、露光パターン領域の部位に対応して、乳剤の紫外線が照射された部分が紫外線によって硬化する。

露光処理後、エッチング処理として、水や溶剤により、乳剤の表面側を洗い流す。この処理によって乳剤の未硬化部分が洗い流される。すなわち、乳剤の層において、未硬化領域は全て洗い流され、厚み方向において表面側から裏面側まで貫通するパターン開口２３ａが形成される。以上により乳剤から、所定の形状のパターン開口２３ａを有するマスク膜２３が形成される。

以上のように構成されたメッシュ２２及びスクリーンマスク２０によれば、横糸のヤング率が縦糸のヤング率よりも低いことにより、印刷精度及び印刷時の耐久性を向上できる。

図１０は、実施形態１にかかるメッシュと、比較例１のメッシュについて、引っ張り荷重と伸び量の関係を示すグラフである。図１０は、線径を等しくした比較例１にかかるメッシュと、線径が異なる実施形態１のメッシュについて、それぞれメッシュ状に編み上げた場合の、縦糸及び横糸の、伸度と引っ張り荷重とを、示すグラフである。
試験条件について、一例として、試験機：オートグラフＡＧＳ－Ｓ，５ｋＮロードセル（島津製作所）を用い、標点距離は２００ｍｍとし、メッシュ状の試験片が破断するまで引っ張り、引張時の立ち上がり初めのほぼ直線になった部分を最小二乗法により傾きを算出する。すなわち、２００ｍｍ離れた２箇所で試験片を両脇で挟み、試験片が破断するまで引っ張り、最小二乗法を用いて、傾きを算出する。ここで、試験片の断面積は引っ張り方向に直交する断面となり、形状に依存する。

実施形態１のメッシュの寸法条件は、縦糸の線径＝φ１３μｍ，横糸の線径＝φ１１μｍとして、比較例の寸法条件は縦糸の線径＝φ１３μｍ，横糸の線径＝φ１３μｍとした。いずれの試験も、ＭＦＴ４３０メッシュ（１ｉｎｃｈあたりφ１３μｍが４３０本入るメッシュ）である。試験片は、メッシュの状態で５０ｍｍ×３００ｍｍでカットしたものを用い、横糸が編まれた状態で縦糸方向と横糸方向へ引っ張る。すなわち、１つの試験片には複数本の線材、すなわち縦糸及び横糸がそれぞれ含まれるため、これらの複数の線材を引っ張り、その引っ張り強度の増加量と、伸び量の増加量の割合、として傾きを算出する。断面積は、メッシュ状の試験片における複数本の線材の合計断面積となる。したがって比較例１における、縦糸及び横糸の断面積と、実施形態１における縦糸の断面積は４３０本／２５．４ｍｍ＊５０ｍｍ＊（（０．０１３ｍｍ／２）^２）＊３．１４となる。実施形態１における横糸の断面積は、４３０本／２５．４ｍｍ＊５０ｍｍ＊（（０．０１１ｍｍ／２）^２）＊３．１４となる。なお、傾きはメッシュ状の試験片をそれぞれ、縦に引っ張った場合と、横に引っ張った場合において、最初の段階の立ち上がり部分の傾き、すなわち引っ張り強度の増加量／伸び量の増加量である。本実施形態において、例えば引っ張り強度／伸び量が直線に近いラインを呈する立ち上がり領域（弾性域）における傾きを比較した。一例として、例えば図１０に示すように、立ち上がり領域において線材が波状から直線状となった後の点Ｐ１から、立ち上がり領域にある別の点Ｐ２まで間の傾きを比較した。

図１０に示されるように、比較例として、縦糸と横糸を同じ線径及び強度として編んだメッシュは、縦糸の方が伸び易く、横糸の方が伸びにくく強い傾向がある。一方、本実施形態のように横糸の線径を縦糸よりも細く構成した場合には、図１０に示すように、横糸と縦糸の引っ張り強度の立ち上がりの傾きが近い値となる。

すなわち、実施形態にかかるメッシュは、縦糸と横糸の傾きが近い値になるため、伸び特性が均一となり、印刷精度が向上する。すなわち、横糸を縦糸よりも細くすることで、織った後の縦と横の傾きを合わせることで、印刷精度も向上できる。
例えば実施形態１において、メッシュ２２の状態で測った横糸の傾きは、縦糸の傾きに近い値であり、例えば８０％以上１２０％以下が好ましく、さらに好ましくは９０％以上１１０％以下が好ましい。

また、上記実施形態によれば、例えばスキージの移動方向である摺り方向に延びる縦糸の強度を強くすることで、スキージを摺り方向に移動させて繰り返し印刷しても縦糸の耐久性を落ちにくくすることができる。したがって、印刷時に経糸に対する摩擦などの負荷がスキージの移動方向にかかるのを低減できる。また、通常印刷時に邪魔になり印刷物の高さにバラつきを与えていた影響も、横糸を細くすることによって、より均一な高さの印刷物をえることができる。

また、上記実施形態によれば、横糸２６ｂの線径を縦糸２６ａの線径の１０％－５０％程度、縦糸よりも細く設定するため縦糸の波形のカーブが緩やかとなるため線材の負荷を抑えられ、線材の破断が防止できる。また、横糸２６ｂを細くすることで、メッシュ２２の紗厚を薄くすることができる。例えば図１１に示すメッシュ１２６のように、横糸１２６ｂの径＝縦糸１２６ａの径とした場合には、紗厚が大きくなることから、厚さを薄くするためにＣＡＬ加工をすることがあり、加工による負荷でメッシュの不良につながるが、本実施形態によれば横糸が細くなるため紗を薄くでき、メッシュに負荷を掛けるＣＡＬ加工が不要となり、製造効率も向上できる。

なお、本発明は上記各実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。

なお、上記実施形態では、いわゆるコンビネーション型のメッシュを例示したがこれに限定されるものではない。例えば、メッシュは、１種類のメインメッシュのみで構成されていてもよい。また、メインメッシュを構成する縦糸と横糸が異なる材料で構成されていてもよい。また、サポートメッシュ２７については、縦糸と横糸とを同じ強度としてもよく、あるいはサポートメッシュ２７も縦糸が横糸よりも強度が強い構成としてもよい。

また、パターン開口２３ａは各種形状に適用できる。例えばパターン開口２３ａが複数並列に配されるライン状の開口を有する構成であり、当該ライン状の開口がそれぞれ、縦糸２６ａと平行に延出し、縦糸２６ａ間の隙間に対応配置される。この場合、パターン開口２３ａが、縦糸２６ａ方向に延びることで、パターン開口２３ａが縦糸２６ａによって塞がれず、良好な印刷形状を得ることができる。例えば太陽光パネルのフィンガー部等、平行な複数のライン状のパターンを形成する際に、印刷物の凹凸が少なく、良好な印刷形状を得ることが可能となる。

この他、上記実施形態に例示された各構成要素を削除してもよく、各構成要素の形状、構造、材質等を変更してもよい。上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。

１０…スクリーン印刷装置、１２…保持部材、１３…スキージ、２０…スクリーンマスク、２１…フレーム、２１ａ…開口部分、２２…メッシュ部（スクリーンマスク用メッシュ）、２３…マスク膜、２３ａ…パターン開口、２６…メインメッシュ、２６ａ…縦糸、２６ｂ…横糸、２７…サポートメッシュ、２７ａ…縦糸、２７ｂ…横糸、３０…印刷媒体。

本発明の一形態にかかるスクリーンマスク用メッシュは、第１方向に沿って配され、第２方向に並ぶ複数の縦糸と、第２方向に沿って配され、第１方向に複数並ぶ横糸と、で編成されるメッシュであって、前記横糸が前記縦糸の線径より細く、前記縦糸及び前記横糸は、線材の状態で測定した、ヤング率が２５００Ｎ／ｍｍ ^２以上４０００Ｎ／ｍｍ ^２以下であるとともに、前記横糸は前記縦糸よりもヤング率が低く構成され、前記縦糸及び前記横糸はいずれも波形を呈し、前記横糸は縦糸の線径の５０％－９７％の太さであり、前記縦糸及び前記横糸は、タングステン化合物を含む線材で構成される。

この他、上記実施形態に例示された各構成要素を削除してもよく、各構成要素の形状、構造、材質等を変更してもよい。上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。以下に、本願出願の当初の特許請求の範囲に記載された発明を付記する。
（１）
第１方向に沿って配され、第２方向に並ぶ複数の縦糸と、第２方向に沿って配され、第１方向に複数並ぶ横糸と、で編成されるメッシュであって、
前記横糸が縦糸の線径より細いスクリーンマスク用メッシュ。
（２）
前記縦糸及び前記横糸は、線材の状態で測定した、ヤング率が２５００Ｎ／ｍｍ ^２以上４０００Ｎ／ｍｍ ^２以下であるとともに、
前記横糸は縦糸の線径の５０％－９７％の太さであり、
前記縦糸及び前記横糸は、タングステン化合物を含む線材で構成される（１）記載のスクリーンマスク用メッシュ。
（３）
メッシュに編まれた状態で測定した、前記横糸の傾きは縦糸の傾きの８０％－１２０％であり、
メッシュの厚みが、前記縦糸の線径の２倍よりも小さい、（１）または（２）に記載のスクリーンマスク用メッシュ。
（４）
（１）乃至（３）のいずれかに記載のスクリーンマスク用メッシュと、
前記スクリーンマスク用メッシュに設けられ、パターン開口を有するマスク膜と、を備えるスクリーンマスク。
（５）
前記パターン開口は、並列する複数のライン状の開口を有し、
前記複数のライン状の開口は、複数の前記縦糸の間の隙間に配置され、前記縦糸の延出方向に沿って延びる、（４）に記載のスクリーンマスク。
（６）
（１）乃至（３）のいずれかに記載のスクリーンマスク用メッシュに、
マスクレス露光によってパターニングし、パターン開口を有するマスク膜を形成する、スクリーンマスクの製造方法。
（７）
請求項４または５に記載のスクリーンマスクの前記マスク膜に、塗布材を保持させ、スキージを前記縦糸の延出方向に沿って移動させ、前記マスク膜の前記パターン開口から、前記マスク膜の印刷面側に対向配置された印刷媒体に、前記塗布材を塗布する、印刷物の製造方法。

Claims

第１方向に沿って配され、第２方向に並ぶ複数の縦糸と、第２方向に沿って配され、第１方向に複数並ぶ横糸と、で編成されるメッシュであって、
前記横糸が縦糸の線径より細いスクリーンマスク用メッシュ。
前記縦糸及び前記横糸は、線材の状態で測定した、ヤング率が２５００Ｎ／ｍｍ^２以上４０００Ｎ／ｍｍ^２以下であるとともに、
前記横糸は縦糸の線径の５０％－９７％の太さであり、
前記縦糸及び前記横糸は、タングステン化合物を含む線材で構成される請求項１記載のスクリーンマスク用メッシュ。
メッシュに編まれた状態で測定した、前記横糸の傾きは縦糸の傾きの８０％－１２０％であり、
厚みが、前記縦糸の線径の２倍よりも小さい、請求項１または２に記載のスクリーンマスク用メッシュ。
請求項１乃至請求項３のいずれかに記載のスクリーンマスク用メッシュと、
前記スクリーンマスク用メッシュに設けられ、パターン開口を有するマスク膜と、を備えるスクリーンマスク。
前記パターン開口は、並列する複数のライン状の開口を有し、
前記複数のライン状の開口は、複数の前記縦糸の間の隙間に配置され、前記縦糸の延出方向に沿って延びる、請求項４に記載のスクリーンマスク。
請求項１乃至請求項３のいずれかに記載のスクリーンマスク用メッシュに、
マスクレス露光によってパターニングし、パターン開口を有するマスク膜を形成する、スクリーンマスクの製造方法。
請求項４または５に記載のスクリーンマスクの前記マスク膜に、塗布材を保持させ、
スキージを前記縦糸の延出方向に沿って移動させ、前記マスク膜の前記パターン開口から、前記マスク膜の印刷面側に対向配置された印刷媒体に、前記塗布材を塗布する、印刷物の製造方法。