JP2023091249A - 半導体結晶ウェハの製造方法および製造装置 - Google Patents
半導体結晶ウェハの製造方法および製造装置 Download PDFInfo
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Abstract
Description
前記半導体結晶インゴットの側面全体に周回する複数の凹溝を形成する溝加工工程と、
前記溝加工工程において形成された複数の凹溝に配置された複数のワイヤーにより前記半導体結晶インゴットをスライス状に切断して半導体結晶ウェハを得る切断工程と、
前記切断工程によりスライス状に切断した半導体ウェハに対して、その一面のうねりを除去するうねり除去工程と
を備え、
前記うねり除去工程は、前記切断工程により切断された複数の半導体結晶ウェアの2枚を一対として、両面が研削面の平板砥石を両側から挟み込んだ状態で、該平板砥石を揺動させることにより該一対の半導体ウェアの各一面のうねりを除去することを特徴とする。
前記半導体結晶インゴットの側面全体に周回する複数の凹溝を形成するためのドラム砥石であって、該複数の凹溝に対応した複数の凸部が側面に形成された溝加工ドラム砥石と、
前記ドラム砥石により側面全体に周回する複数の凹溝が形成された前記半導体結晶インゴットに対して、複数の凹溝に配置された複数のワイヤーを周回させながら前進させて切断するワイヤーソー部と、
前記ワイヤーソー部によりスライス状に切断された半導体ウェハに対して、その一面のうねりを除去するうねり除去部と
を備え、
前記うねり除去部は、
両面が研削面の平板砥石と、
前記平板砥石を板面方向に揺動させる揺動機構と、
前記ワイヤーソー部により切断された複数の半導体結晶ウェアの2枚を一対として、前記平板砥石を両側から挟み込んだ状態で支持するウェア支持部と
を有し、前記ウェア支持部により一対の半導体ウェアが前記平板砥石を両側から挟み込んだ状態で、前記揺動機構により該平板砥石を揺動させることにより該一対の半導体ウェアの各一面のうねりを除去することを特徴とする。
Claims (2)
- 円筒形状に研削加工された半導体結晶インゴットからスライス状にウェハを切り出す半導体結晶ウェハの製造方法であって、
前記半導体結晶インゴットの側面全体に周回する複数の凹溝を形成する溝加工工程と、
前記溝加工工程において形成された複数の凹溝に配置された複数のワイヤーにより前記半導体結晶インゴットをスライス状に切断して半導体結晶ウェハを得る切断工程と、
前記切断工程によりスライス状に切断した半導体ウェハに対して、その一面のうねりを除去するうねり除去工程と
を備え、
前記うねり除去工程は、前記切断工程により切断された複数の半導体結晶ウェアの2枚を一対として、両面が研削面の平板砥石を両側から挟み込んだ状態で、該平板砥石を揺動させることにより該一対の半導体ウェアの各一面のうねりを除去することを特徴とする半導体結晶ウェハの製造方法。 - 円筒形状に研削加工された半導体結晶インゴットからスライス状にウェハを切り出す半導体結晶ウェハの製造装置であって、
前記半導体結晶インゴットの側面全体に周回する複数の凹溝を形成するためのドラム砥石であって、該複数の凹溝に対応した複数の凸部が側面に形成された溝加工ドラム砥石と、
前記ドラム砥石により側面全体に周回する複数の凹溝が形成された前記半導体結晶インゴットに対して、複数の凹溝に配置された複数のワイヤーを周回させながら前進させて切断するワイヤーソー部と、
前記ワイヤーソー部によりスライス状に切断された半導体ウェハに対して、その一面のうねりを除去するうねり除去部と
を備え、
前記うねり除去部は、
両面が研削面の平板砥石と、
前記平板砥石を板面方向に揺動させる揺動機構と、
前記ワイヤーソー部により切断された複数の半導体結晶ウェアの2枚を一対として、前記平板砥石を両側から挟み込んだ状態で支持するウェア支持部と
を有し、前記ウェア支持部により一対の半導体ウェアが前記平板砥石を両側から挟み込んだ状態で、前記揺動機構により該平板砥石を揺動させることにより該一対の半導体ウェアの各一面のうねりを除去することを特徴とする半導体結晶ウェハの製造装置。
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