JP2023086258A - 計量装置 - Google Patents
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Abstract
Description
第1のロードセル、及び前記第1のロードセルから間隔を空けて位置している第2のロードセル、
前記第1のロードセル及び第2のロードセル上のそれぞれにある、第1及び第2の昇降システム、並びに
前記第1及び第2の昇降システムに支持される支持部、被計量物を載置する載置部、及び前記支持部と前記載置部との間の連結部を有する載置プレート
を具備する、計量装置であって、
前記第1及び第2のロードセルの少なくとも一方が、被計量物の重量を測定することができ、かつ
前記載置プレートは、計量前の状態で地面に支持されるように構成されている。
図1は、本発明の計量装置の1つの実施形態の概略図を示している。図2は、図1の計量装置で被計量物を計量している状態の概略図を示している。図3は、本発明の計量装置の他の1つの実施形態の概略図を示している。図4は、図3の計量装置で被計量物を計量している状態の概略図を示している。図5は、図3の本発明の計量装置の斜視図を示している。
本発明は、さらに上記の計量装置を具備する液体注入及び抽出装置に関する。液体注入及び抽出装置については、上面に開口を有する容器に棒状体を自動で挿入して、前記容器に液体を注入し又は前記容器から液体を抽出する装置であれば特に限定されない。ここで、計量装置によって容器が計量される。
前記容器の開口の位置を計測することができる計測システム、
前記容器の上部に存在しており、前記計測システムによって計測した位置まで前記棒状体を移動させることができる棒状体提供システム、
上記の計量装置、及び
これらの動作を制御するための制御システム、
を具備する。
2a,2b…第1及び第2の昇降システム
3…載置プレート
3a…支持部
3b…載置部
3c…連結部
3d…第2の支持部
3e…第2の連結部
4…第3の昇降システム
8…地面
10,11,12…棒状体
13…チューブ状配管
14…撹拌機
15…傾斜機構
20…計測システム
30,31,32…棒状体提供システム
40…容器位置変更システム
41…側壁
42…側壁のない部分
43…歯車
44…モーター
50…制御システム
60…計量装置
70…架台
100…液体注入及び抽出装置
200…容器
210…開口
220…無人搬送車又は台車
Claims (8)
- 第1のロードセル、及び前記第1のロードセルから間隔を空けて位置している第2のロードセル、
前記第1のロードセル及び第2のロードセル上のそれぞれにある、第1及び第2の昇降システム、並びに
前記第1及び第2の昇降システムに支持される支持部、被計量物を載置する載置部、及び前記支持部と前記載置部との間の連結部を有する載置プレート
を具備する計量装置であって、
前記第1及び第2のロードセルの少なくとも一方が、前記被計量物の重量を測定することができ、かつ
前記載置プレートは、計量前の状態で地面に支持されるように構成されている、
計量装置。 - 計計量前の状態で、前記載置部の底面が接地しており、かつ前記載置部の厚みは30mm以下である、請求項1に記載の計量装置。
- 前記載置部上にさらにターンテーブルを含む、請求項1又は2に記載の計量装置。
- 載置プレートの一部を持ち上げることで載置プレートを傾けることができる、第3の昇降システムをさらに具備する、請求項1~3のいずれか一項に記載の計量装置。
- 前記被計量物が、液体を含む樹脂製ドラムである、請求項4に記載の計量装置。
- 上面に開口を有する容器に棒状体を自動で挿入して、前記容器に液体を注入し又は前記容器から液体を抽出する、液体注入及び抽出装置であって、請求項1~5のいずれか一項に記載の計量装置を具備する、液体注入及び抽出装置。
- 前記容器が、100リットル以上1000リットル以下の液体を含むことができる、請求項6に記載の液体注入及び抽出装置。
- 前記液体が、半導体製造プロセスで用いられる研磨スラリー又は薬液である、請求項7に記載の液体注入及び抽出装置。
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